Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory

Rozměr: px
Začít zobrazení ze stránky:

Download "Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory"

Transkript

1 Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt

2 Vymezení pojmů: tloušťka vrstvy od několika desítek nanometrů až po jednotky mikrometrů v tenké vrstvě dochází ke změnám fyzikálního chování ve srovnání s objemovým materiálem. Důvodem je vliv velmi malých rozměrů. Svůj vliv na změnu fyzikálních vlastností má i samotná depoziční technologie, která často probíhá při termodynamicky nerovnovážných podmínkách a iniciuje vznik metastabilních fází vrstva je připravena na základním materiálu substrátu materiály: anorganické: čisté kovy (Au, Pt, Al, Cu - kontakty), oxidy kovů a polovodiče (SnO 2, ZnO, In 2 O 3, TiO 2, ZrO 2 ) organické: celá škála, speciální nároky na depozice, nejjednodušší odstředivka, dále opak nedestruktivní depozice z plynné fáze nebo plazmatu

3 Aplikace Elektronika záznamová digitální média, fotočlánky, monitory, tranzistory, detekčních vrstvy chemických senzorů Elektrotechnika vodiče, kontakty Strojírenství zvyšují otěruvzdornost nebo tvrdost, ochrana proti korozi Optika ochrana proti UV záření nebo poškrábání, antireflexní vrstvy Dekorační technika

4 Diagnostika tenkých vrstev: Tenké vrstvy Zjišťuje se: 1. povrchová morfologie, homogenita Optická mikroskopie AFM Obrazová analýza 2. Tloušťka Kalotest Váhové metody Optické metody Talystep

5 Metody dosahování hlubokého vakua Technologické postupy přípravy tenkých vrstev vyžadují často velmi hluboké vakuum (až 10-8 Pa). K dosažení vakua jsou používány: rotační vývěvy: jsou zařazeny jako první stupeň a používají se k předčerpání pracovního prostoru (dosahovaný tlak: 10-1 Pa). difuzní vývěvy: využívají vysokorychlostní proud par (většinou olejových, dříve rtuťových) k nasměrování molekul odčerpávaného plynu k odtahu; čerpaný plyn není schopen difundovat proti proudu olejových par (dosahovaný tlak: 10-5 Pa)

6 Metody dosahování hlubokého vakua kryovývěvy: kondenzují plyny a páry na studených površích (chladicí médium stlačené hélium, kapalný dusík, suchý led), často bývá v kombinaci s difuzní vývěvou pro odstranění olejových par (kryopast, studená past) (dosahovaný tlak: 10-5 Pa) sorpční vývěvy: kryovývěvy s vrstvou sorpčního materiálu (zeolitu) na studeném povrchu, po nasycení sorpční vrstvy je nutné provést desorpci (ohřev) (dosahovaný tlak: 10-5 Pa) turbomolekulární vývěvy: udělují molekulám plynu kinetickou energii v žádaném směru opakovanými kolizemi s rotorem turbíny (velmi vysoké otáčky, nároky na kvalitu ložisek) (dosahovaný tlak: Pa) ionizační vývěvy: urychlují molekuly ionizovaného plynu v silném elektrickém poli směrem k pevné chemisorpční elektrodě (dosahovaný tlak: Pa)

7 CVD Chemická depozice z plynné fáze (Chemica Vapour Deposition - CVD), je technologický postup tvorby tenkých vrstev, který využívá chemické reakcí v plynné fázi. Může se jednat o reakce mezi více prekurzory, nebo rozkladnou reakci jedné látky. Reakční produkt vytváří následně na substrátu tenkou vrstvu. CVD probíhá za zvýšené teploty a vedlejší produkty chemických procesů jsou odsáty vakuem, nebo odstraněny proudem plynu.

8 CVD

9 CVD Si, SiO 2 Tenké vrstvy křemíku a oxidu křemičitého se připravují pyrolytickým rozkladem silanu (SiH 4 ) nebo jeho chlorovaných derivátů (SiH 3 Cl, SiH 2 Cl 2, SiCl 4 ). Probíhá-li proces v inertní atmosféře (dusík) je produktem rozkladné reakce křemík (teploty nad 600 C). V přítomnosti kyslíku je výsledným produktem oxid křemičitý. Depozice SiO 2 se provádějí při teplotách nad 250 C a rychlosti růstu vrstvy jsou řádově ve stovkách nanometrů. Modernější metoda deponování vrstev SiO 2 je označována zkratkou TEOS. Při této CVD metodě je hlavním prekurzorem tetra-ethyl-ortho-silicate (TEOS). Hlavním rozdílem ve srovnání s CVD využívající silanu a jeho derivátů je ten, že křemíkový atom je v molekule TEOS již obklopen atomy kyslíku. Reakce tedy může probíhat v inertním plynu nebo vakuu. Touto metodou lze připravit vysoce čistý SiO 2. V případě použití prekurzorů SiH 4 a jeho chlorovaných derivátů jsou atomy vodíku a chlóru zdrojem nečistot v připravené vrstvě. Přídavek kyslíku nebo ozónu v reakční směsi zvyšuje rychlost růstu vrstvy. TEOS se velmi snadno rozkládá vzdušnou vlhkostí, ovšem toxicita a výbušnost TEOS jsou nesrovnatelně nižší než v případě silanu. Reakce probíhá při teplotách C.

10 CVD Nitrid křemíku Depozice nitridu křemíku využívá reakce mezi dichlorsilanem (méně častěji silanem) a amoniakem (NH 3 ) při teplotách C. Rychlost růstu vrstvy je cca 10 nm/min. 3 SiCl 2 H NH 3 Si 3 N HCl + 6 H 2 nebo Karbid křemíku 3 SiH NH 3 Si 3 N H 2 Zdrojem pro depozice karbidu křemíku jsou alkylsilany (např. CH 3 SiCl 3 ), které jsou v pracovní komoře redukovány vodíkem při teplotách cca 1300 C.

11 CVD Vysoce čisté kovy Technologie CVD se uplatňuje především pro přípravu vysoce čistého molybdenu, tantalu, titanu, niklu a wolframu. Pro přípravu Mo, Ta a Ti jsou jako prekurzory používány jejich pentachloridy. 2 MCl H 2 2 M + 10 HCl Častým zdrojem pro příprav Mo, W a především Nio jsou karbonylové prekurzory: Ni(CO) 4 Ni + 4 CO Obvyklým zdrojem pro přípravu W je hexafluorid wolframu: WF6 W + 3 F2 WF6 + 3 H2 W + 6 HF Běžnější kovy jako hliník nebo měď nebyly metodou CVD nikdy připravovány.

12 CVD Vrstvy na bázi uhlíku v závisloti na podmínkách depozice mohou mít uhlíkové vrstvy grafitovou, diamantovou nebo polymerní strukturu rozkladné reakce nízkomolekulárních uhlovodíků (CH 4, C 2 H 2 ) v přítomnosti vodíku, velmi složité chemické procesy, štěpení uhlovodíků a vodíku na atomy případně volné radikály nutná teplota až 1500 C diamantové povlaky mají nižší součinitel tření než teflon a dobře odvádějí teplo (několikrát větší tepelná vodivost než měď) zvyšují výkon řezných nástrojů a až padesátinásobně prodlužují jejich životnost DLC diamond like carbon polykarbonát uhlíkové vrstvy se rovněž připravují technologií PECVD nebo PVD

13 PECVD CVD iniciované plazmou (PECVD Plasme Enhanced CVD) tato metoda využívá plazmatu pro iniciaci chemických reakcí (vytvoření výboje v plynu). Dochází ke srážkám elektronů s vysokou energií s těžkými molekulami plynu a následné produkci vysoce reaktivních částic. PECVD umožňuje dosáhnout depozice při nížších teplotách. Například pro depozici nitridu křemíku klasickou metodou CVD je nutná teplota cca 800 C. Depozice metodou PECVD ze stejných prekurzorů je možná již při teplotě 250 C. Umožněna je tak tvorba vrstev na teplotně citlivých substrátech. PECVD dále umožňuje nahradit nebezpečné prekurzory jinými a díky složitějším průběhům reakcí v přítomnosti plazmatu je rovněž umožněna depozice nových materiálů. Nevýhoda: horší selektivita produktů, horší řízení reakce, možnost poškození energetickými ionty a uv zářením.

14 PVD PVD (Physical Vapour Deposition) je technologický postup nanášení tenkých vrstev kondenzací par pevného materiálu na různých površích. Jedná se o fyzikální proces, který není doprovázený žádnou chemickou reakcí (na rozdíl od technologie CVD). PVD technologie se zpravidla dělí podle převedení pevné fáze do plynné: napařování - vysokoteplotní odpaření ve vakuu pomocí odporového ohřevu (často označované jako napařování). EBPVD - Electron Beam Physical Vapor Deposition odpařovaný materiál je zapojen jako anoda, k ohřevu a odpaření dochází v důsledku bombardování povrchu materiálu svazkem elektronů. naprašování deponovaný materiál je zapojen jako katoda a jeho povrch je bombardován ionty pracovního plynu. Atomy deponované látky jsou takto odprašovány z povrchu terče a vytvářejí povlak na substrátu. PLD pulsed laser deposition terč deponovaného materiálu je vystaven dopadajícím pulzům laserového svazku, atomy materiálu tak získají dostatečné množství tepelné a mechanické energie na převedení do plynného nebo plazmatického stavu.

15 PVD magnetronové naprašování Základní prinicp magnetronového naprašování je stejný jako u klasických naprašovacích metod - deponovaný materiál je zapojen jako katoda a jeho povrch je bombardován ionty pracovního plynu. Atomy deponované látky jsou takto odprašovány z povrchu terče a vytvářejí povlak na substrátu. V případě magnetronového naprašování je plazma lokalizováno pomocí magnetického pole v těsné blízkosti katody. Siločáry magnetického pole prodlužují dráhu elektronů v plazmatu a zvyšují tak počet ionizujících kolizí s neutrálními částicemi pracovního plynu. Vzniká tak velmi husté plazma, které je zdrojem většího množství bombardujících iontů.

16 PVD Aplikace PVD technologií: největší uplatnění - tvorba vrstev z tvrdých materiálů na řezných nástrojích tvorba ochranných vrstev proti abrazivnímu opotřebení a na snižování tření (automobilový průmysl vstřikovací systémy, podvozky, ložiska, čerpadla) dekorativní účely optika, elektronika a polovodičový průmysl, záznamová média (ochranné vrstvy) velmi vhodná pro polymerní substráty PVD technologie jsou ve velké míře využívány také pro vědecké účely

17 PVD & CVD - porovnání Vlastnosti vrstev: PVD: výhody: depozice probíhají při nižších teplotách a připravené vrstvy mají menší vnitřní pnutí nevýhody: horší adheze vrstev k substrátu a horší teplotní stabilita CVD: výhody: vynikající odolnost vrstev proti opotřebení nevýhody: energeticky a časově velmi náročná, prekurzory jsou často jedy nebo ekologicky závadné plyny Škála materiálů: CVD: výběr substrátů je omezen vysokou teplotou procesu, výběr deponovaných materiálů je omezen rozsahem prvků majících sloučeniny v plynném skupenství PVD: umožňuje nanášet celou řadu materiálů kovy, slitiny, směsi, polovodiče, supravodiče, polymery, širší je i výběr substrátů

18 PVD & CVD - porovnání Tlak: PVD: obecně se používají velmi nízké pracovní tlaky (na rozdíl od CVD), max. je 100 Pa, spíše však velmi vysoké vakuum (napařování: Pa, naprašování: Pa). CVD: velký rozsah tlaků, od 10-6 Pa až do atmosférického tlaku, obvykle však jednotky Pa. Teplota: PVD: C CVD: ~ 1000 C Tloušťka: PVD: 2-5 mikrometrů CVD: 5-10 mikrometrů

19 MOVPE MOVPE (Metalorganic vapour phase epitaxy) je technologie depozice tenkých vrstev z par spojená s chemickou reakcí. Využívá reakce organokovové sloučeniny s hydridem příslušného prvku. Příklad přípravy indiumfosfidu z prekurzorů trimethylindia a fosfanu: (CH 3 ) 3 In + PH 3 InP + 3 CH 4 nevyžaduje vysoké vakuum, MOVPE probíhá při tlacích kpa růst polovodičových vrstev na bázi Ga, As, Al, In, P a dalších prvků hlavní technologie pro přípravu laserových diod, LED a solárních článků

20 MBE MBE (Molecular beam epitaxy) technologie umožňující růst monokrystalických vrstev materiálů velmi vysoké čistoty ohřev ultračistých prvků v oddělených Knudsenových celách a jejich pomalá sublimace velmi vysoké vakuum (až 10-8 Pa), využití kryovývěv velmi pomalé rychlosti růstu (méně než nm/hod) beam dlouhá volná dráha odpařovaných atomů, odpařované atomy mezi sebou neinteragují, k interakci dochází až na substrátu polovodičový průmysl polovodičové lasery, LED

21 Iontová implantace princip iontové implantace spočívá v bombardování materiálu ionty s energií 10 3 až 10 6 ev po definovanou dobu ionty jsou zachyceny na určitých pozicích v krystalové mřížce a dále jsou neutralizovány proces probíhá při tlaku cca 10-4 Pa principielně lze ůze zavádět libovolný prvek do libovolné pevné látky koncentrace zaváděné příměsi může převyšovat mez rozpustnosti v dané pevné látce využívá se ve strojírenství pro zvýšení odolnosti proti opotřebení ocelí, významné je zvyšování odolnosti proti opotřebení kyčelních protéz z titanových slitin, svoje uplatnění nalézá v polovodičovém průmyslu

22 coating technologie (spin-, dip-, spray-) technologie spin- dip- a spray- coating představují způsoby nanášení tenkých vrstev z roztoků případně prášků SPIN COATING: nanesení roztoku deponované látky ve vhodném těkavém rozpouštědle na rotující substrát během rozlévání roztoku po rotujícím substrátu dojde k odpaření a odstředění rozpouštědla vznik tenké vrstvy deponovaného materiálu na substrátu tloušťka vzniklé vrstvy je určena především frekvencí otáček substrátu, viskozitou a koncentrací tdrojového roztoku

23 coating technologie (spin-, dip-, spray-) DIP COATING: nanášení tenkých vrstev je založeno na namáčení substrátu v roztoku deponované látky 1 ponoření do roztoku deponované látky 2 vytahování substrátu z roztoku konstantní rychlostí za definované teploty a atmosférických podmínek 3 odpaření rozpouštědla z povrchu substrátu

24 coating technologie (spin-, dip-, spray-) SPRAY COATING: studené nástřiky - urychlování práškových částic nebo roztoku deponovaného materiálu tlakovým plynným médiem v trysce a rozstřikování proti povlakovanému povrchu konvenční technologie využívají jako hnací médium tlakový vzduch a povlakování probíhá při pokojové teplotě, touto technologií jsou nanášeny povlaky z mědi a hliníku proud částic musí dosáhnout rychlosti vedoucí k plastické deformaci částic deponovaného materiálu při kontaktu s povrchem substrátu a k jejich mechanickému ukotvení na povrchu termické nástřiky materiál je sprejován v ohřátém nebo roztaveném stavu na povlakovaný povrch, příprava silnějších vrstev (od 20 mikrometrů až po několik milimetrů), umožňuje nanášení kovů, slitin, plastů, keramiky nebo kompozitních materiálů

25 coating technologie (spin-, dip-, spray-) HVOF sprejování High Velocity Oxygen Fuel Spraying směšování acetylenu a kyslíku jako reakčních plynů s dusíkem jako transportním plynem a s nástřikovým materiálem, zapálením je směs přiváděna k detonaci prachové částice dosahují rychlosti až 750 m/s vzdálenost mezi povrchem obrobku a výtokem z trysky činí mm topný plyn dosahuje maximální teploty 4000 C po každém výbuchu je spalovací komora propláchnuta dusíkem

26 coating technologie (spin-, dip-, spray-) plasmový spray coating deponovaný materiál ve formě prášku je injektován do vysokoteplotního plasmového oblaku, kde dojde k jeho ohřevu na vysokou teplotu a akceleraci směrem k povlakovanému povrchu

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD

Více

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší

Více

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze

Více

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev

Více

OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU

OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU Ing. Alexander Sedláček S.A.F. Praha, spol. s r.o. 1. Úvod, princip 2. Přehled metod vytváření ochranných povlaků 3. Použití technologií žárového

Více

Iradiace tenké vrstvy ionty

Iradiace tenké vrstvy ionty Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,

Více

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Plazmatické metody pro úpravu povrchů Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů

Více

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury

Více

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s

Více

Plazma v technologiích

Plazma v technologiích Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,

Více

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF

Více

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Přednáška 3 Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Realizace vypařovadel, směrovost vypařování, vypařování sloučenin a slitin, Vypařování elektronovým svazkem a MBE Napařování

Více

VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE

VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE 1 VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE Použití práškové metalurgie Prášková metalurgie umožňuje výrobu součástí z práškových směsí kovů navzájem neslévatelných (W-Cu, W-Ag), tj. v tekutém stavu nemísitelných nebo

Více

Metody depozice povlaků - CVD

Metody depozice povlaků - CVD Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční

Více

IONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:

IONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip: Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální

Více

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a

Více

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti

Více

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody

Více

Chemické metody plynná fáze

Chemické metody plynná fáze Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké

Více

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VAKUOVÁ TECHNIKA Semestrální projekt Téma: Aplikace vakuového napařovaní v optice Vypracoval:

Více

Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )

Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické

Více

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST Úvod Povrchové úpravy zlepšující tribologické charakteristiky kovových materiálů: A) Povrchové vrstvy a povlaky s vysokou tvrdostí pro podmínky adhezívního

Více

Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu

Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích Pedagogická fakulta Katedra aplikované fyziky a techniky diplomová práce Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu Vypracoval: Martin Günzel

Více

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STROJÍRENSKÁ TECHNOLOGIE TŘETÍ JANA ŠPUNDOVÁ 06.04.2014 Název zpracovaného celku: SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ Používají se pro obrábění těžkoobrobitelných

Více

Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace

Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace Registrační číslo projektu: Číslo DUM: Tematická oblast: Téma: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0245 VY_32_INOVACE_08_A_07

Více

Laserové depoziční metody - obecná charakteristika

Laserové depoziční metody - obecná charakteristika Laserové depoziční metody - obecná charakteristika Laserové odprašování zdrojového materiálu z tzv. targetu (terče), upraveného do zhutnělé formy (lisovaná či zmražená tableta) vhodné pro depozici. Laserové

Více

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)

Více

Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ

Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ CHARAKTERISTIKY VÝVĚV vývěva = zařízení snižující tlak plynu v uzavřeném objemu parametry: mezní tlak čerpací rychlost pracovní tlak výstupní tlak

Více

TENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením)

TENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) TENKÉ VRSTVY Lze připravit : 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) Metody fyzikální (Physical Vapor Deposition PVD) Metody chemické (Chemical Vapor Deposition-

Více

Úpravy brýlových čoček. LF MU Brno Brýlová technologie

Úpravy brýlových čoček. LF MU Brno Brýlová technologie Úpravy brýlových čoček LF MU Brno Brýlová technologie Struktura prezentace Rozdělení úprav brýlových čoček Tenké vrstvy Antireflexní vrstva Reflexní vrstva Hydrofobní vrstva Absorpční vrstva Tvrzení Fototropní

Více

Povrchová úprava bez chromu Cr VI

Povrchová úprava bez chromu Cr VI Povrchová úprava bez chromu Cr VI Základem této povrchové úpravy jsou materiály Delta Tone 9000 a Delta Protect KL 100, takzvané basecoaty, což jsou anorganické povlaky plněné ZN a Al mikrolamelami rozptýlenými

Více

Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě

Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Náplní laboratorní úlohy je proměření základních parametrů plynových vodivostních senzorů: i) el. odpor a ii)

Více

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Hi-tech Nano a mikro technologie v chemickém inženýrství umožňují: Samočisticí

Více

EU peníze středním školám digitální učební materiál

EU peníze středním školám digitální učební materiál EU peníze středním školám digitální učební materiál Číslo projektu: Číslo a název šablony klíčové aktivity: Tematická oblast, název DUMu: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0515 III/2 Inovace a zkvalitnění výuky

Více

Vodík jako alternativní ekologické palivo. palivové články a vodíkové hospodářství

Vodík jako alternativní ekologické palivo. palivové články a vodíkové hospodářství Vodík jako alternativní ekologické palivo palivové články a vodíkové hospodářství Charakteristika vodíku vodík je nejrozšířenějším prvkem ve vesmíru na Zemi je třetím nejrozšířenějším prvkem po kyslíku

Více

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická. Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD.

Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická. Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD. Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD. 1 Obsah Úvod do problematiky Dostupná technologická zařízení Pracující v podtlaku Pracující při atmosférických

Více

Inženýrské výzvy v oblasti žárového stříkání

Inženýrské výzvy v oblasti žárového stříkání Inženýrské výzvy v oblasti žárového stříkání Radek Mušálek 1,2 musalek@ipp.cas.cz 1 Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v.v.i. 2 Katedra materiálů FJFI Oddělení materiálového inženýrství ČVUT v Praze Praha Praha

Více

Získávání nízkých tlaků

Získávání nízkých tlaků Vývěvy s přenosem hybnosti Princip činnosti : Molekulám čerpaného plynu se uděluje přídavná hybnost v takovém směru, aby se pohybovaly ve směru čerpání, tj. z čerpaného objemu směrem k výstupu vývěvy.

Více

3.3 Výroba VBD a druhy povlaků

3.3 Výroba VBD a druhy povlaků 3.3 Výroba VBD a druhy povlaků 3.3.1 Výroba výměnných břitových destiček Slinuté karbidy Slinuté karbidy jsou materiály vytvořené pomocí práškové metalurgie. Skládají se z tvrdých částic: karbidu wolframu

Více

Úvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství.

Úvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství. Laserové kalení Úvod Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství. poslední době se začínají komerčně prosazovat

Více

Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru

Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Paroproudové vývěvy Molekuly plynu získávají dodatečnou rychlost ve směru čerpání prostřednictvím proudu pracovní látky(voda, pára, plyn). Většinou je

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. 1. OXIDACE KŘEMÍKU Oxid křemíku SiO2 se během technologického procesu užívá k vytváření: a) Maskovacích vrstev b) Izolačních vrstev (izolují prvky

Více

Polotovary vyráběné práškovou metalurgií

Polotovary vyráběné práškovou metalurgií Polotovary vyráběné práškovou metalurgií Obsah 1. Co je to prášková metalurgie? 2. Schéma procesu 3. Výhody a nevýhody práškové metalurgie 4. Postup práškové metalurgie 5. Výrobky práškové metalurgie 6.

Více

METODY OBRÁBĚNÍ. Dokončovací metody, nekonvenční metody, dělení mat.

METODY OBRÁBĚNÍ. Dokončovací metody, nekonvenční metody, dělení mat. METODY OBRÁBĚNÍ Dokončovací metody, nekonvenční metody, dělení mat. Dokončovací metody obrábění Dokončovací metody takové způsoby obrábění, kterými dosahujeme u výrobku přesného geometrického tvaru a jakosti

Více

STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV

STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV *J. Mihulka **M. Másilko ***L. Unzeitig ****supervisor: O. Kovářík *Gymnázium, Roudnice nad Labem, Havlíčkova 175 ** Gymnázium, Roudnice nad Labem, Havlíčkova 175

Více

Svafiování elektronov m paprskem

Svafiování elektronov m paprskem Svafiování elektronov m paprskem Svařování svazkem elektronů je proces tavného svařování, při kterém se kinetická energie rychle letících elektronů mění na tepelnou při dopadu na povrch svařovaného materiálu.

Více

Koroze kovů. Koroze lat. corode = rozhlodávat

Koroze kovů. Koroze lat. corode = rozhlodávat Koroze kovů Koroze lat. corode = rozhlodávat Koroze kovů Koroze kovů, plastů, silikátových materiálů Principy korozních procesů = korozní inženýrství Strojírenství Mechanická pevnost Vzhled Elektotechnika

Více

PŘIPRAVENÉ METODOU MAGNETRONOVÉHO NAPRAŠOV

PŘIPRAVENÉ METODOU MAGNETRONOVÉHO NAPRAŠOV TRANSPARENTNÍ FOTOAKTIVNÍ VRSTVY TiO 2 PŘIPRAVENÉ METODOU MAGNETRONOVÉHO NAPRAŠOV OVÁNÍ ZA NÍZKÝCH N TEPLOT Ing. Petr Zeman, Ph.D. habilitační přednáška Tato prezentace je spolufinancována Evropským sociálním

Více

iglidur H2 Nízká cena iglidur H2 Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty

iglidur H2 Nízká cena iglidur H2 Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty Nízká cena iglidur Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty 399 iglidur Nízká cena. Pro aplikace s vysokými požadavky na teplotní odolnost. Může být podmíněně

Více

Test vlastnosti látek a periodická tabulka

Test vlastnosti látek a periodická tabulka DUM Základy přírodních věd DUM III/2-T3-2-08 Téma: Test vlastnosti látek a periodická tabulka Střední škola Rok: 2012 2013 Varianta: A Zpracoval: Mgr. Pavel Hrubý Mgr. Josef Kormaník TEST Test vlastnosti

Více

Svařování svazkem elektronů

Svařování svazkem elektronů Svařování svazkem elektronů RNDr.Libor Mrňa, Ph.D. 1. Princip 2. Interakce elektronů s materiálem 3. Konstrukce elektronové svářečky 4. Svařitelnost materiálů, svařovací parametry 5. Příklady 6. Vrtání

Více

Plazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec

Plazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec Plazmové svařování a dělení materiálu Jaromír Moravec 1 Definice plazmatu Definice plazmatu je následující: Plazma je kvazineutrální soubor částic s volnými nosiči nábojů, který vykazuje kolektivní chování.

Více

Prášková metalurgie. Výrobní operace v práškové metalurgii

Prášková metalurgie. Výrobní operace v práškové metalurgii Prášková metalurgie Výrobní operace v práškové metalurgii Prášková metalurgie - úvod Prášková metalurgie je obor zabývající se výrobou práškových materiálů a jejich dalším zpracováním (tj. lisování, slinování,

Více

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala ÚPRAVA VODY V ENERGETICE Ing. Jiří Tomčala Úvod Voda je v elektrárnách po palivu nejdůležitější surovinou Její množství v provozních systémech elektráren je mnohonásobně větší než množství spotřebovaného

Více

Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1

Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1 Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1 Zkoušecí kartičku si PODEPIŠ a zapiš na ni ČÍSLO VARIACE TESTU (číslo v pravém horním rohu). Odpovědi zapiš na zkoušecí kartičku, do testu prosím nepiš.

Více

Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad

Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad České vysoké učení technické v Praze Fakulta biomedicínského inženýrství Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad Ing. Petr Písařík petr.pisarik@fbmi.cvut.cz Kladno Listopad 2010 Cíl

Více

Bezpečnostní inženýrství. - Detektory požárů a senzory plynů -

Bezpečnostní inženýrství. - Detektory požárů a senzory plynů - Bezpečnostní inženýrství - Detektory požárů a senzory plynů - Úvod 2 Včasná detekce požáru nebo úniku nebezpečných látek = důležitá součást bezpečnostního systému Základní požadavky včasná detekce omezení

Více

Kyslík a vodík. Bezbarvý plyn, bez chuti a zápachu, asi 14krát lehčí než vzduch. Běžně tvoří molekuly H2. hydridy (např.

Kyslík a vodík. Bezbarvý plyn, bez chuti a zápachu, asi 14krát lehčí než vzduch. Běžně tvoří molekuly H2. hydridy (např. 1 Kyslík a vodík Kyslík Vlastnosti Bezbarvý reaktivní plyn, bez zápachu, nejčastěji tvoří molekuly O2. Kapalný kyslík je modrý. S jinými prvky tvoří sloučeniny oxidy (např. CO, CO2, SO2...) Výskyt Nejrozšířenější

Více

Speciální metody obrábění

Speciální metody obrábění Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: Základy výroby druhý M. Geistová 6. září 2012 Název zpracovaného celku: Speciální metody obrábění Speciální metody obrábění Použití: je to většinou výkonné beztřískové

Více

Dělení a svařování svazkem plazmatu

Dělení a svařování svazkem plazmatu Dělení a svařování svazkem plazmatu RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Osnova: Fyzikální podstat plazmatu Zdroje průmyslového plazmatu Dělení materiálu plazmou Svařování plazmovým svazkem Mikroplazma Co je to plazma?

Více

CHEMICKO - TEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ

CHEMICKO - TEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10;s platností do r. 2016 vnávaznosti na platnost norem. Zákaz šířění a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.

Více

Chemie povrchů verze 2013

Chemie povrchů verze 2013 Chemie povrchů verze 2013 Definice povrchu složitá, protože v nanoměřítku (na úrovni velikosti atomů) je elektronový obal atomů difúzní většinou definován fyzikální adsorpcí nereaktivních plynů Vlastnosti

Více

Vakuové tepelné zpracování

Vakuové tepelné zpracování Vakuové tepelné zpracování Výhody vakuového TZ Prakticky neexistuje oxidace - bez znatelného ovlivnění, leštěný povrch zůstává lesklý. Nízká spotřeba energie - malé tepelné ztráty. Vakuové pece bývají

Více

Nauka o materiálu. Přednáška č.11 Neželezné kovy a jejich slitiny

Nauka o materiálu. Přednáška č.11 Neželezné kovy a jejich slitiny Nauka o materiálu Rozdělení neželezných kovů a slitin Jako kritérium pro rozdělení do skupin se volí teplota tání s př přihlédnutím na další vlastnosti (hustota, chemická stálost..) Neželezné kovy s nízkou

Více

CENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL

CENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL Projekt: CENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL Kurz: Technologie třískového obrábění 1 Obsah Technologie třískového obrábění... 3 Obrábění korozivzdorných ocelí... 4 Obrábění litiny... 5 Obrábění

Více

Obloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141

Obloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141 Obloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141 Při svařování metodou 141 hoří oblouk mezi netavící se elektrodou a základním matriálem. Ochranu elektrody i tavné lázně před

Více

Mgr. Ladislav Blahuta

Mgr. Ladislav Blahuta Mgr. Ladislav Blahuta Střední škola, Havířov-Šumbark, Sýkorova 1/613, příspěvková organizace Tento výukový materiál byl zpracován v rámci akce EU peníze středním školám - OP VK 1.5. Výuková sada ZÁKLADNÍ

Více

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ Katedra technologií a měření DIPLOMOVÁ PRÁCE Optické vlastnosti dielektrických tenkých vrstev Bc. Martin Malán 214 Abstrakt Předkládaná diplomová

Více

8. Třískové obrábění

8. Třískové obrábění 8. Třískové obrábění Třískovým obráběním rozumíme výrobu strojních součástí z polotovarů, kdy je přebytečný materiál odebírán řezným nástrojem ve formě třísek. Dynamický vývoj technologií s sebou přinesl

Více

Fyzikální metody depozice KFY / P223

Fyzikální metody depozice KFY / P223 Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování

Více

ZŠ ÚnO, Bratří Čapků 1332

ZŠ ÚnO, Bratří Čapků 1332 Animovaná chemie Top-Hit Analytická chemie Analýza anorganických látek Důkaz aniontů Důkaz kationtů Důkaz kyslíku Důkaz vody Gravimetrická analýza Hmotnostní spektroskopie Chemická analýza Nukleární magnetická

Více

Zplyňování biomasy. Sesuvný generátor. Autotermní zplyňování Autotermní a alotermní zplyňování

Zplyňování biomasy. Sesuvný generátor. Autotermní zplyňování Autotermní a alotermní zplyňování Zplyňování = termochemická přeměna uhlíkatého materiálu v pevném či kapalném skupenství na výhřevný energetický plyn pomocí zplyňovacích médií a tepla. Produktem je plyn obsahující výhřevné složky (H 2,

Více

Zařízení na tepelné zpracování. Katedra materiálu SF TU v Liberci 2010

Zařízení na tepelné zpracování. Katedra materiálu SF TU v Liberci 2010 Zařízení na tepelné zpracování Katedra materiálu SF TU v Liberci 2010 Požadavky na zařízení Ohřev zpravidla odporový elektrický, výjimečně plynový Maximální dosažitelná teplota : - běžná univerzální zařízení

Více

Bez PTFE a silikonu iglidur C. Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost

Bez PTFE a silikonu iglidur C. Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost Bez PTFE a silikonu iglidur Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost HENNLIH s.r.o. Tel. 416 711 338 Fax 416 711 999 lin-tech@hennlich.cz www.hennlich.cz 613 iglidur Bez PTFE a

Více

A U T O R : I N G. J A N N O Ž I Č K A S O Š A S O U Č E S K Á L Í P A V Y _ 3 2 _ I N O V A C E _ 1 3 0 8 _ K O R O Z E A O C H R A N A P R O T I K

A U T O R : I N G. J A N N O Ž I Č K A S O Š A S O U Č E S K Á L Í P A V Y _ 3 2 _ I N O V A C E _ 1 3 0 8 _ K O R O Z E A O C H R A N A P R O T I K A U T O R : I N G. J A N N O Ž I Č K A S O Š A S O U Č E S K Á L Í P A V Y _ 3 2 _ I N O V A C E _ 1 3 0 8 _ K O R O Z E A O C H R A N A P R O T I K O R O Z I _ P W P Název školy: Číslo a název projektu:

Více

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Obrábění. Název: Téma: Fyzikální metody obrábění 1. Ing. Kubíček Miroslav. Autor:

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Obrábění. Název: Téma: Fyzikální metody obrábění 1. Ing. Kubíček Miroslav. Autor: Střední průmyslová škola a Vyšší odborná škola technická Brno, Sokolská 1 Šablona: Název: Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Obrábění Téma: Fyzikální metody obrábění 1 Autor: Ing. Kubíček

Více

Tenké vrstvy (TV ) Hybridní Integrované Obvody (HIO)

Tenké vrstvy (TV ) Hybridní Integrované Obvody (HIO) Tenké vrstvy (TV ) (Thin Films) + Hybridní Integrované Obvody (HIO) (Hybrid Integrated Circuits) (3) Doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc., Fellow IMAPS Vysoké Učení Technické v Brně, FEKT, ÚMEL e-mail: szend@feec.vutbr.cz

Více

Nauka o materiálu. Přednáška č.14 Kompozity

Nauka o materiálu. Přednáška č.14 Kompozity Nauka o materiálu Úvod Technické materiály, které jsou určeny k dalšímu technologickému zpracování zahrnují širokou škálu možného chemického složení, různou vnitřní stavbu a různé vlastnosti. Je nutno

Více

Technologie I. Pájení

Technologie I. Pájení Technologie I. Pájení Pájení Pájením se nerozebíratelně metalurgickou cestou působením vhodného TU v zdroje Liberci tepla, spojují stejné nebo různé kovové materiály (popř. i s nekovy) pomocí přídavného

Více

Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev. Martin Kormunda

Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev. Martin Kormunda Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev Co je to za techniky? Procesy vyváření tenkých vrstev fyzikálními metodami využívají procesy probíhající za nízkého tlaku k dosažení efektivního transportu částic

Více

Depozice tenkých vrstev I.

Depozice tenkých vrstev I. Depozice tenkých vrstev I. Naprašování Mgr. Tereza Schmidtová 15. dubna 2010 Aplikace Klasifikace Obecný přehled aplikací použití pro optické vlastnosti - laserová optika, zrcadla, reflexní a anti-reflexní

Více

EU peníze středním školám digitální učební materiál

EU peníze středním školám digitální učební materiál EU peníze středním školám digitální učební materiál Číslo projektu: Číslo a název šablony klíčové aktivity: Tematická oblast, název DUMu: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0515 III/2 Inovace a zkvalitnění výuky

Více

Základy vakuové techniky

Základy vakuové techniky Základy vakuové techniky Střední rychlost plynů Rychlost molekuly v p = (2 k N A ) * (T/M 0 ), N A = 6. 10 23 molekul na mol (Avogadrova konstanta), k = 1,38. 10-23 J/K.. Boltzmannova konstanta, T.. absolutní

Více

Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC

Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC 2011 Ústav fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha 1 Technologie naprašování kovů K depozicím kovů bude v rámci této práce využito naprašování,

Více

Omezování plynných emisí. Ochrana ovzduší ZS 2012/2013

Omezování plynných emisí. Ochrana ovzduší ZS 2012/2013 Omezování plynných emisí Ochrana ovzduší ZS 2012/2013 1 Úvod Různé fyzikální a chemické principy + biotechnologie Principy: absorpce adsorpce oxidace a redukce katalytická oxidace a redukce kondenzační

Více

Vybrané technologie povrchového zpracování. Vakuové tepelné zpracování Doc. Ing. Karel Daďourek 2006

Vybrané technologie povrchového zpracování. Vakuové tepelné zpracování Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Vybrané technologie povrchového zpracování Vakuové tepelné zpracování Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Výhody vakuového tepelného zpracování Prakticky neexistuje oxidace - povrchy jsou bez znatelného ovlivnění,

Více

Díly forem. Vložky forem Jádra Vtokové dílce Trysky Vyhazovače (nitridované) tlakové písty, tlakové komory (normálně nitridované) V 0,4

Díly forem. Vložky forem Jádra Vtokové dílce Trysky Vyhazovače (nitridované) tlakové písty, tlakové komory (normálně nitridované) V 0,4 1 VIDAR SUPREME 2 Charakteristika VIDAR SUPREME je Cr-Mo-V legovaná ocel pro práci za tepla, pro kterou jsou charakteristické tyto vlastnosti: Velmi dobrá odolnost proti náhlým změnám teploty a tvoření

Více

Lepení materiálů. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D.

Lepení materiálů. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Lepení materiálů RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Princip Adheze Smáčivost Koheze Dělení lepidel Technologie lepení Volba lepidla Lepení kovů Zásady navrhování lepených konstrukcí Typy spojů Princip lepení Lepení

Více

POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI S VÚAnCh

POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI S VÚAnCh Bakalářská či diplomová práce ve spolupráci s Výzkumným ústavem anorganické chemie, a.s.? To je řešení skutečných úloh vycházejících z potřeb praxe. POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI

Více

KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide

KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide Metody tepelného dělení, problematika základních materiálů Tepelné dělení materiálů je lze v rámci strojírenské

Více

Nové typy materiálů na bázi uhlíku. Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba

Nové typy materiálů na bázi uhlíku. Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba Nové typy materiálů na bázi uhlíku Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba Program prezentace Definice a vlastnosti Základní rozdělení Sorbenty Surovinová základna Technologie

Více

Úvod do fyziky plazmatu

Úvod do fyziky plazmatu Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:

Více

Mol. fyz. a termodynamika

Mol. fyz. a termodynamika Molekulová fyzika pracuje na základě kinetické teorie látek a statistiky Termodynamika zkoumání tepelných jevů a strojů nezajímají nás jednotlivé částice Molekulová fyzika základem jsou: Látka kteréhokoli

Více

6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití

6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití 6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití 6.1 Úvod Monolitické integrované obvody není výhodné pro některé aplikace, zejména pro přístroje s některými náročnějšími

Více

Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na TUL. nano.tul.cz

Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na TUL. nano.tul.cz Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na TUL nano.tul.cz Tyto materiály byly vytvořeny v rámci projektu ESF OP VK: Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na Technické univerzitě v Liberci Nanomateriály

Více

ELEKTROLÝZA. Autor: Mgr. Stanislava Bubíková. Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012. Ročník: osmý

ELEKTROLÝZA. Autor: Mgr. Stanislava Bubíková. Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012. Ročník: osmý Autor: Mgr. Stanislava Bubíková ELEKTROLÝZA Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012 Ročník: osmý Vzdělávací oblast: Člověk a příroda / Chemie / Chemické reakce 1 Anotace: Žáci se seznámí s elektrolýzou. V rámci

Více

Vlastnosti W 1,3. Modul pružnosti 194 000 189 000 173 000. Součinitel tepelné roztažnosti C od 20 C. Tepelná vodivost W/m. C Měrné teplo J/kg C

Vlastnosti W 1,3. Modul pružnosti 194 000 189 000 173 000. Součinitel tepelné roztažnosti C od 20 C. Tepelná vodivost W/m. C Měrné teplo J/kg C 1 SVERKER 3 2 Charakteristika SVERKER 3 je wolframem legovaná nástrojová ocel s vysokým obsahem uhlíku a chrómu, která vykazuje následující charakteristické znaky: Maximální odolnost proti opotřebení Vysoká

Více

PÁJENÍ. Nerozebiratelné spojení

PÁJENÍ. Nerozebiratelné spojení Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto mateirálů. Děkuji Ing. D.

Více

Typy interakcí. Obsah přednášky

Typy interakcí. Obsah přednášky Co je to inteligentní a progresivní materiál - Jaderné analytické metody-využití iontových svazků v materiálové analýze Anna Macková Ústav jaderné fyziky AV ČR, Řež 250 68 Obsah přednášky fyzikální princip

Více