Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická. Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD.

Rozměr: px
Začít zobrazení ze stránky:

Download "Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická. Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD."

Transkript

1 Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD. 1

2 Obsah Úvod do problematiky Dostupná technologická zařízení Pracující v podtlaku Pracující při atmosférických tlacích Podpůrné plyny využívané při plazmatických procesech Aplikace plazmy Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností implementací Plazmové leptání Plasmové depozice 2

3 Úvod do problematiky 3

4 Plazma Definice Čtvrté skupenství hmoty Ionizovaný plyn Kvazineutrální avšak silně vodivá Ve vesmíru více jak 99 % Vznik Odtržení elektronu z elektronového obalu atomů plynu, resp. roztržením molekul (ionizace) dodáním energie či srážkami mezi sebou. Nejběžněji dodávaná energie původu elektrického -> elektrony -> naráží do neutrálních částic: Elastické srážky změna kinetické energie Plastické srážky vznik excitovaných neutrálních částic resp. iontů Klasifikace Elektronová hustota Teplota plasmy Horká (9 700 C) - vysoká elektronová hustota; plastické kolize mezi elektrony a částicemi vytváří reaktivní částice, elastické zahřívají těžké částice a tak se energie elektronů spotřebovává Studená ( C) nízká elektronová hustota; plastické srážky způsobují chemické změny plazmatu, menší množství elastických srážek lehce zahřívá těžké částice 4

5 Plazma Definice Čtvrté skupenství hmoty Ionizovaný plyn Kvazineutrální avšak silně vodivá Ve vesmíru více jak 99 % Vznik Odtržení elektronu z elektronového obalu atomů plynu, resp. roztržením molekul (ionizace) dodáním energie či srážkami mezi sebou. Nejběžněji dodávaná energie původu elektrického -> elektrony -> naráží do neutrálních částic: Elastické srážky změna kinetické energie Plastické srážky vznik excitovaných neutrálních částic resp. iontů Klasifikace Elektronová hustota Teplota plasmy Horká (9 700 C) - vysoká elektronová hustota; plastické kolize mezi elektrony a částicemi vytváří reaktivní částice, elastické zahřívají těžké částice a tak se energie elektronů spotřebovává Studená ( C) nízká elektronová hustota; plastické srážky způsobují chemické změny plazmatu, menší množství elastických srážek lehce zahřívá těžké částice Obr. 1 Fáze vzniku plazmatu 5

6 Plazma Definice Čtvrté skupenství hmoty Ionizovaný plyn Kvazineutrální avšak silně vodivá Ve vesmíru více jak 99 % Vznik Odtržení elektronu z elektronového obalu atomů plynu, resp. roztržením molekul (ionizace) dodáním energie či srážkami mezi sebou. Nejběžněji dodávaná energie původu elektrického -> elektrony -> naráží do neutrálních částic: Elastické srážky změna kinetické energie Plastické srážky vznik excitovaných neutrálních částic resp. iontů Klasifikace Elektronová hustota Teplota plasmy Horká (9 700 C) - vysoká elektronová hustota; plastické kolize mezi elektrony a částicemi vytváří reaktivní částice, elastické zahřívají těžké částice a tak se energie elektronů spotřebovává Studená ( C) nízká elektronová hustota; plastické srážky způsobují chemické změny plazmatu, menší množství elastických srážek lehce zahřívá těžké částice 6

7 Dostupná technologická zařízení 7

8 Dostupná technologická zařízení Pracující v podtlaku <1,3 kpa Středně-nízké tlaky <1, ; 1,3> kpa Nízké tlaky <1, ; 1, > kpa Velmi nízké tlaky <1, kpa Pracující při atmosférických tlacích Korónový výboj Dielektrický bariérový výboj (tichý) Doutnavý výboj Obloukový výboj 8

9 Plazma ve středně-nízkých tlacích Paralelně uložené elektrody 9

10 Plazma ve středně-nízkých tlacích Magnetronové plazmatické zdroje 10

11 Plazma ve středně-nízkých tlacích Indukčně spřažené plazmatické zdroje 11

12 Plazma v nízkých tlacích Zdroj plasmy založený na ostřelování elektrony 12

13 Plazma v nízkých tlacích Plazma generovaná mikrovlnným zářením 13

14 Plazma ve velmi nízkých tlacích Aplikací, které by vyžadovaly práci při tak nízkých tlacích mnoho není a proto je tato varianta velmi ojedinělá Technologické řešení těchto systémů je velmi podobné výše jmenovaným Mikroelektronika díky velmi dlouhé střední volné dráze mezi atomy je možno dosahovat extrémních přesností kupříkladu přesná mřížka leptaných procesorů (64 nm, 32nm atd.) a dalších mikroelektronických komponent Pro napařování či depozici, protože takto dopravované částice razí dráhu od zdroje přímo na substrát bez nežádoucích kolizí Nevýhodou je značná rozptýlenost částic v plynu a tím vysoce snížená pravděpodobnost vzniku dostatečného množství plastických srážek Ke zvýšení účinnosti je nezbytné zapojit do systému soustavu magnetů usměrňující tok částic v komoře 14

15 Plazma při atmosférických tlacích Korónový výboj 15

16 Plazma při atmosférických tlacích Dielektrický bariérový výboj (tichý) 16

17 Plazma při atmosférických tlacích Doutnavý výboj 17

18 Plazma při atmosférických tlacích Obloukový výboj 18

19 Podpůrné plyny využívané při plazmatických procesech 19

20 Podpůrné plyny využívané při plazmatických procesech Inertní plyny Převážně He, Ar, Ne Velmi kvalitní a homogenní plazma Energie vzniká především srážkami Rozprašování, ale také na předúpravy a čistění Zlepšují adhezi, štěpí nebo navazují H Kyslíkaté plyny Nejčastěji na modifikaci povrchů O 2 reaguje s mnoha polymery za vzniku karboxylových, karbonylových, hydroxylových aj. Dochází k fyzikálnímu narušování povrchu Mimo kyslík také CO, CO 2, SO 2 nebo H 2 O plazma Dusíkaté a fluoridové plyny Smáčivost, tiskuschopnost, biokompatibilita Nejčastěji N 2, NH 3 Dále pak F 2, HF pro zvýšení hydrofobity Uhlovodíkové plyny Metan, etan, etylén, acetylén a benzen Generace hydrogenovaných uhlíkatých filmů Mimořádná mikrotvrdost, antireflexivní, nepropustnost pro páry Organosilikátové plyny Především pro plazmovou polymeraci Opouzdření na mikroelektroniku a dielektrika, antireflexivní povlaky, tenkostěnné povlaky vedoucí světlo v integrované optice Silany (Si), disilany (SiSi), disiloxany (SiOSi), disilanazaty (SiNHSi) a disilthiany (SiSSi) 20

21 Aplikace plazmy 21

22 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností Většinou korónový nebo doutnavý výboj Úprava jen několika málo prvních monomolekulárních vrstev materiálu I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Povrchovou energii Obr. 2 Změna kontaktního úhlu PET vystaveného různým trváním CO 2 OAUGDP plasmou jako funkce času ve dnech po úpravě Obr. 3 Změna povrchové energie PP netkané textilie (34 g/m 2 ) vystavené různým trváním CO 2 OAUGDP plasmou jako funkce času ve dnech po úpravě 22

23 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Navlhavost Obr. 4 SEM snímek PP vlákna a) neupraveného b) upraveného OAUGDP plazmou po dobu 30 s s CO 2 podpůrným plynem 23

24 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Navlhavost Obr. 5 Fotografie PET fólie zachycující vodní kontaktní úhel a) neupraveného b) upraveného vzorku OAUGDP plazmou po dobu 10 s s CO2 podpůrným plynem při frekvenci 3 khz a napětí 9 kv 24

25 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Navlhavost Obr. 6 Schéma MOD VIII reaktoru pracujícím na principu OAUGDP (CO 2, VF zdroj 3 khz, napětí 7,5 kv RMS ) 25

26 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Potiskovatelnost, barvitelnost, omyvatelnost Obr. 7 Fotografie zachycující předúpravy plastových dílců: před tiskem, flokováním či lakováním pomocí technologie APPJ 26

27 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Přilnavost či kohezní vlastnosti Obr. 8 Fotografie zachycující předúpravy plastových dílců:před druhým vstřikováním, zvyšovaní adheze datových nosičů pomocí technologie APPJ 27

28 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností I přes šetrnost úpravy lze výrazně měnit - Sterilnost resp. čistotu Obr. 9 TEM snímek buněk E. Coli před a) a po b) 30 s vystavení plazmatem v rámci technologie OAUGDP při 10 kv RMS a 7,1 khz a vzduchem jako podpůrným plynem Obr. 10 Schéma zmiňované aparatury OAUGDP 28

29 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností Podstata úpravy Přidáním/ubráním povrchové vrstvičky nebo povrchového náboje Změna chemické struktury povrchu Změna povrchových vlastností po fyzikální stránce Nikdy Nepoškozuje nebo nemění vlastnosti v objemu materiálu Neimplementuje do povrchu ionty či atomy Neodstraňuje větší množství materiálu z povrchu Nepřenáší na povrch více jak několik monovrstev Upravuje Objemné výrobky Tenké filmy či fólie Tkaniny a netakané textilie Přírodní či syntetická vlákna Sypké směsi Dělení Aktivní - substrát zastupuje pozici elektrody Pasivní substrát je obstřelován 29

30 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností implementací Většinou se využívá plazmy o vysoké hustotě se záporným potenciálem ke stěnám komory Ionty se urychlují a vpravují do materiálu Ještě častěji je, ale využíváno vzniku radikálů štěpením polymerního povrchu Zde se penetruje hlouběji do povrchu takže už se nejedná jen o modifikaci povrchu Velmi hojně využíváno v metalurgii, pro zlepšování tribologických vlastností, odolnosti vůči korozi, tepelné odolnosti atd. Často také v mikroelektronice, biomedicíně (implantáty, katétry aj.), úpravě plastových povrchů z hlediska změny navlhavosti, adheze a elektroforetických vlastností 30

31 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností implementací Obr. 14 Schéma ilustrující zamezení trombózy okolo PET katetru (vlevo) upraveného pomocí amonné plazmové implementace (vpravo) 31

32 Využití plazmy jako zdroje pro úpravu povrchových vlastností implementací Obr. 15 Postup úpravy PE povrchu k dosažení antibakteriální aktivity jak vůči gram negativním tak gram pozitivním bakteriím 32

33 Plazmové leptání Velmi tenká hranice od předešlého čistění povrchu Využití převážně v mikroelektronice Jak ve vakuu tak při atmosférických podmínkách i při nízkých teplotách Pro leptání plastů nejčastěji Ar, He, Ne v kombinaci s O 2 nebo N 2 33

34 Plazmové leptání Obr. 16 Chemické děje mezi He a O 2 při jejich pobytu v plazmatu Obr. 17 Leptání iontovým paprskem z Ar plazmy Obr. 18 Chemické děje mezi He a N 2 při jejich pobytu v plazmatu 34

35 Plazmové leptání Obr. 19 Využití plazmatického leptání při výrobě mikroprocesorů 35

36 Plazmové leptání Obr. 20 Naleptaný křemíkový plátek 36

37 Plazmové leptání Obr. 21 a) SEM snímek PMMA povrchu upraveného metodou přímého plazmatického leptání b) vykazující velmi dobré antireflexivní vlastnosti (průchod svetla) Obr. 22 Příklad využití antireflexního nano-strukturovaného povrchu (PMMA) na krycí sklo přístrojové desky Audi A6 (vlevo neupravený, vpravo upravený povrch) 37

38 Plasmové depozice Rozdíl od implementace se na povrch nanáší vrstva naprosto odlišných vlastností Deponuje se procesy polymerace a kopolymerace v plazmatu, napařováním a rozprašováním plazmy Filmy mohou disponovat vlastnostmi: Vodivé/nevodivé Anti/Reflexivní Vhodnými pro optické a magnetické datové nosiče Výjimečnými dekorativními vlastnostmi Zajišťujícími vysokou oděruvzdornost a antikorozivní odolnost Velmi nízkou propustností pro plyny a vodní páry Dostatečnou biokompatibilitu s tkání Rozlišujeme Napařování Fyzikální podstaty Naprašování Chemická depozice napařováním Chemické podstaty 38

39 Plasmové depozice - Napařováním Obr. 23 Schéma systému umožňujícího depozici materiálu sprejováním v plazmatu Obr. 24 Schéma plazmového VF hořáku 39

40 Plasmové depozice - Naprašováním Obr. 25 Schéma systému umožňujícího depozici materiálu jeho obstřelováním ve formě terčíku ionty uniklými z plazmy 40

41 Chemická depozice napařováním V tomto případě se jedná o depozici využívající chemických procesů mezi plazmou a jednoho nebo více druhů hmoty mezi sebou Rozlišujeme Přímé napařování Nepřímé napařování Prekurzor je nejčastěji v plynném skupenství, ale také jemné částice Nanášet se tak mohou Oxidy (SiO x, SiO2, InOx, SnOx, TiO2, CaO2 atd.) Polymery (polyoelfiny, fluoropolyemry, silikonové polymery) Uhlíkové povlaky (DLC uhlík, nanotuby atd.) Plasmové polymerace vytvoření tenké vrstvy na povrchu substrátu díky polymeraci organického monomeru, jako CH 4, C 2 H 6, C 2 F 4 a C 3 F 6, přítomných v plazmatu Lze rozlišovat polymeraci Plazmatem iniciovanou Polymerace probíhající přímo v plazmatu Vzniklý polymer kratší makromolekuly, náhodně větvené a především vysoce síťované 41

42 Chemická depozice napařováním Obr. 26 Schéma systému plazmou asistované depozice napařováním ve vakuu Obr. 27 Schéma systému APPJ umožňující depozici tenkých vrstev při atmosférickém tlaku 42

43 Chemická depozice napařováním Obr. 28 Různé varianty průmyslového využití APPJ Obr. 27 Schéma systému APPJ umožňující depozici tenkých vrstev při atmosférickém tlaku 43

44 Plazmové depozice Aplikace Mikroelektronika Optika Biomedicína (Ne)permeabilní membrány Automobilový průmysl Obalový průmysl Nábytkářský průmysl Petrochemický průmysl Textilie a vlákna 44

45 Plazmové depozice Obr. 29 Schéma vysoce tvrdým polymerem potažené optické vlákno 45

46 Plazmové depozice Obr. 30 Mikro-indentační zkouška tvrdosti na povlaku připraveného plazmovou depozicí na PMMA substrát. 46

47 Plazmové depozice Obr. 31 SEM snímek zachycující deponovanou vrstvu směsi etylenu a CO 2 do níž byly následně zakomponovány stříbrné nanočástice 47

48 Plazmové depozice Obr. 32 Plazmovou depozicí potáhnutý stent, výrazně zvyšující jeho biokompatibilitu s lidskou tkání 48

49 Plazmové depozice Obr. 33 Plastový substrát potisknutý plazmovým naprašováním (vlevo); využití této technologie při výrobě ohebných OLED displejů (vpravo) 49

50 Plazmové depozice Obr. 34 Příklady využití plazmové depozice v praxi 50

51 Závěr Šetrnost k opracovávaným materiálům i přes tuto skutečnost velmi efektivní Konvečními metodami nenapodobitelné procesy (deponování, změna povrchových vlastností, nano-povrchy, biokompatibilita) Zároveň mnohdy výrazně šetrnější k životnímu prostředí Někdy vyšší cena zařízení redukována výraznou úsporou materiálových nákladů 51

52 52

Plazma v technologiích

Plazma v technologiích Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,

Více

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze

Více

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Plazmatické metody pro úpravu povrchů Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů

Více

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná

Více

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD

Více

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s

Více

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF

Více

Openair - Plasma Systems

Openair - Plasma Systems Openair - Plasma Systems Co je plazma? Plazma je čtvrté skupenství hmoty, které je vytvářeno působením velkého množství energie na plyny, které se pak stávají ionizovanými a vykazují stejný počet kladných

Více

Úvod do fyziky plazmatu

Úvod do fyziky plazmatu Úvod do fyziky plazmatu Plazma Velmi často se o plazmatu mluví jako o čtvrtém skupenství hmoty Název plazma pro ionizovaný plyn poprvé použil Irwing Langmuir (1881 1957) v roce 1928, protože mu chováním

Více

Plazma. magnetosféra komety. zbytky po výbuchu supernovy. formování hvězdy. slunce

Plazma. magnetosféra komety. zbytky po výbuchu supernovy. formování hvězdy. slunce magnetosféra komety zbytky po výbuchu supernovy formování hvězdy slunce blesk polární záře sluneční vítr - plazma je označována jako čtvrté skupenství hmoty - plazma je plyn s významným množstvím iontů

Více

Integrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673, Slaný

Integrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673, Slaný Označení materiálu: VY_32_INOVACE_STEIV_FYZIKA2_12 Název materiálu: Elektrický proud v plynech. Tematická oblast: Fyzika 2.ročník Anotace: Prezentace slouží k výkladu elektrického proudu v plynech. Očekávaný

Více

Plazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec

Plazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec Plazmové svařování a dělení materiálu Jaromír Moravec 1 Definice plazmatu Definice plazmatu je následující: Plazma je kvazineutrální soubor částic s volnými nosiči nábojů, který vykazuje kolektivní chování.

Více

Metody depozice povlaků - CVD

Metody depozice povlaků - CVD Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší

Více

Plazmatická úprava povrchu materiálů ve školní laboratoři

Plazmatická úprava povrchu materiálů ve školní laboratoři Plazmatická úprava povrchu materiálů ve školní laboratoři LUKÁŠ PAWERA, PETR SLÁDEK PDF MU Brno Nové technologie jsou mnohdy obtížně dostupné pro studenty ve školních podmínkách. Často nákladné doprovodné

Více

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev

Více

Úvod do fyziky plazmatu

Úvod do fyziky plazmatu Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:

Více

Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1

Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1 Složení látek a chemická vazba Číslo variace: 1 Zkoušecí kartičku si PODEPIŠ a zapiš na ni ČÍSLO VARIACE TESTU (číslo v pravém horním rohu). Odpovědi zapiš na zkoušecí kartičku, do testu prosím nepiš.

Více

Ionizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1.

Ionizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1. Ionizační manometry Princip: ionizace molekul a měření počtu nabitých částic Rozdělení podle způsobu ionizace: Manometry se žhavenou katodou Manometry se studenou katodou Manometry s radioaktivním zářičem

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. 1. OXIDACE KŘEMÍKU Oxid křemíku SiO2 se během technologického procesu užívá k vytváření: a) Maskovacích vrstev b) Izolačních vrstev (izolují prvky

Více

Hmotnostní spektrometrie

Hmotnostní spektrometrie Hmotnostní spektrometrie Princip: 1. Ze vzorku jsou tvořeny ionty na úrovni molekul, nebo jejich zlomků (fragmentů), nebo až volných atomů dodáváním energie, např. uvolnění atomů ze vzorku nebo přímo rozštěpení

Více

Přednáška 4. Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje

Přednáška 4. Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje Přednáška 4 Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje Jak nahradit ohřev při vypařování Co třeba bombardovat ve vakuu

Více

POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI S VÚAnCh

POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI S VÚAnCh Bakalářská či diplomová práce ve spolupráci s Výzkumným ústavem anorganické chemie, a.s.? To je řešení skutečných úloh vycházejících z potřeb praxe. POZVÁNKA NA EXKURZI PRO ZÁJEMCE O ŘEŠENÍ DP, BP VE SPOLUPRÁCI

Více

Plazmové metody. Co je to plazma? Jak se uplatňuj. ují plazmové metody v technice?

Plazmové metody. Co je to plazma? Jak se uplatňuj. ují plazmové metody v technice? Plazmové metody Co je to plazma? Jak se uplatňuj ují plazmové metody v technice? Co je to plazma? Plazma je látkové skupenství hmoty, ČTVRTÉ skupenství a vykazuje určité specifické vlastnosti. (správně

Více

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody

Více

Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu

Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích Pedagogická fakulta Katedra aplikované fyziky a techniky diplomová práce Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu Vypracoval: Martin Günzel

Více

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)

Více

Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM

Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM Historie 1931 E. Ruska a M. Knoll sestrojili první elektronový prozařovací mikroskop 1939 první vyrobený elektronový mikroskop firma Siemens rozlišení 10 nm 1965 první

Více

IONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:

IONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip: Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální

Více

Chemické metody plynná fáze

Chemické metody plynná fáze Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké

Více

VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ TÉMATA PŘEDNÁŠEK

VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ TÉMATA PŘEDNÁŠEK VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ TÉMATA PŘEDNÁŠEK TRANSPORT LÁTEK MEMBRÁNAMI Transport látek porézními membránami - Plouživý tok nestlačitelných tekutin vrstvou částic - Plouživý tok stlačitelných tekutin

Více

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů 7. června/june 2013 9:30 h 17:30 h Laboratoř metalomiky a nanotechnologií, Mendelova univerzita v Brně a Středoevropský technologický institut Budova D, Zemědělská

Více

Iradiace tenké vrstvy ionty

Iradiace tenké vrstvy ionty Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,

Více

Základní experiment fyziky plazmatu

Základní experiment fyziky plazmatu Základní experiment fyziky plazmatu D. Vašíček 1, R. Skoupý 2, J. Šupík 3, M. Kubič 4 1 Gymnázium Velké Meziříčí, david.vasicek@centrum.cz 2 Gymnázium Ostrava-Hrabůvka příspěvková organizace, jansupik@gmail.com

Více

Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru

Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Paroproudové vývěvy Molekuly plynu získávají dodatečnou rychlost ve směru čerpání prostřednictvím proudu pracovní látky(voda, pára, plyn). Většinou je

Více

lní úpravy povrchu textilních materiálů Fyzikáln Martina Viková LCAM DTM FT TU Liberec, martina.vikova@vslib.cz Přednášky z : Textilní fyzika

lní úpravy povrchu textilních materiálů Fyzikáln Martina Viková LCAM DTM FT TU Liberec, martina.vikova@vslib.cz Přednášky z : Textilní fyzika Fyzikáln lní úpravy povrchu textilních materiálů Martina Viková LCAM DTM FT TU Liberec, martina.vikova@vslib.cz Smáčen ení adheze pro dosažení dobrého smáčení pevné látky kapalinou je třeba aby povrchové

Více

Vliv plazmatické předúpravy na adhezní vlastnosti textilií

Vliv plazmatické předúpravy na adhezní vlastnosti textilií Obsah 1 ÚVOD... 8 2 LITERÁRNÍ PRŮZKUM... 10 2.1 Plazma... 10 2.1.1 Fyzikální popis plazmatu... 10 2.1.2 Výskyt plazmy v přírodě... 11 2.1.3 Rozdělení plazmatu... 13 2.1.4 Vlastnosti plazmatu... 15 2.1.5

Více

OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU

OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU Ing. Alexander Sedláček S.A.F. Praha, spol. s r.o. 1. Úvod, princip 2. Přehled metod vytváření ochranných povlaků 3. Použití technologií žárového

Více

Úvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.

Úvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu. Aktivní prostředí v plynné fázi. Plynové lasery Inverze populace hladin je vytvářena mezi energetickými hladinami některé ze složek plynu - atomy, ionty nebo molekuly atomární, iontové, molekulární lasery.

Více

Zarovnávací vrstvy jsou z vnitřní strany zvrásněny

Zarovnávací vrstvy jsou z vnitřní strany zvrásněny - LCD- LCD zobrazovací jednotka, která při své činnosti využívá technologii kapalných (tekutých) krystalů Používá se zejména jako zobrazovací jednotka pro: o Přenosné počítače (notebook, laptop) o nepočítačová

Více

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala ÚPRAVA VODY V ENERGETICE Ing. Jiří Tomčala Úvod Voda je v elektrárnách po palivu nejdůležitější surovinou Její množství v provozních systémech elektráren je mnohonásobně větší než množství spotřebovaného

Více

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení

Více

STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV

STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV STUDIUM PLASMATICKY NANÁŠENÝCH VRSTEV *J. Mihulka **M. Másilko ***L. Unzeitig ****supervisor: O. Kovářík *Gymnázium, Roudnice nad Labem, Havlíčkova 175 ** Gymnázium, Roudnice nad Labem, Havlíčkova 175

Více

Fyzikální metody depozice KFY / P223

Fyzikální metody depozice KFY / P223 Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování

Více

Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.2. Základní konstrukční součásti laserů. Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011

Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.2. Základní konstrukční součásti laserů. Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.2 Základní konstrukční součásti laserů Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Konstrukce laseru 1 - Aktivní prostředí 2 - Čerpací zařízení 3 - Optický

Více

Celosvětová produkce plastů

Celosvětová produkce plastů PRODUKCE PLASTŮ Zpracování plastů cvičení 1 TU v Liberci, FS Celosvětová produkce plastů Mil. tun Asie (bez Japonska) 16 % Střední a západní Evropa 21 % Společenství nezávislých států 3 % 235 mil. tun

Více

VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ SYLABY PŘEDNÁŠEK TRANSPORT LÁTEK MEMBRÁNAMI MEMBRÁNOVÉ MATERIÁLY

VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ SYLABY PŘEDNÁŠEK TRANSPORT LÁTEK MEMBRÁNAMI MEMBRÁNOVÉ MATERIÁLY VÝUKOVÝ MODUL MEMBRÁNOVÝCH PROCESŮ SYLABY PŘEDNÁŠEK TRANSPORT LÁTEK MEMBRÁNAMI zodpovědni: P. Mikulášek, H. Jiránková, M. Šípek, K. Friess, K. Bouzek Transport látek porézními membránami (P. Mikulášek)

Více

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH Jan Hruška TV-FYZ Ahoj, tak jsme tady znovu a pokusíme se Vám vysvětlit problematiku vedení elektrického proudu v látkách. Co je to vlastně elektrický proud? Na to

Více

Elektrická zařízení III.ročník

Elektrická zařízení III.ročník Elektrická zařízení III.ročník (Ing. Jiří Hájek) Přehled témat a tématických celků, odpřednášených pro žáky SPŠE oboru Zařízení silnoproudé elektrotechniky v rámci předmětu Elektrická zařízení El. světlo

Více

Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace

Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace Registrační číslo projektu: Číslo DUM: Tematická oblast: Téma: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0245 VY_32_INOVACE_08_A_05

Více

Sekunda (2 hodiny týdně) Chemické látky a jejich vlastnosti Směsi a jejich dělení Voda, vzduch

Sekunda (2 hodiny týdně) Chemické látky a jejich vlastnosti Směsi a jejich dělení Voda, vzduch Sekunda (2 hodiny týdně) Chemické látky a jejich vlastnosti Směsi a jejich dělení Voda, vzduch Atom, složení a struktura Chemické prvky-názvosloví, slučivost Chemické sloučeniny, molekuly Chemická vazba

Více

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti

Více

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. STEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Plyny jsou tvořeny elektricky neutrálními molekulami. Proto jsou za

Více

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Přednáška 3 Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Realizace vypařovadel, směrovost vypařování, vypařování sloučenin a slitin, Vypařování elektronovým svazkem a MBE Napařování

Více

Základy obsluhy plazmatických reaktorů, seznámení s laboratorní technikou

Základy obsluhy plazmatických reaktorů, seznámení s laboratorní technikou Úloha č. 1 Základy obsluhy plazmatických reaktorů, seznámení s laboratorní technikou Úkoly měření: 1. Zopakujte si základní pojmy z oblasti fyziky plazmatu a plazmochemie. Využijte přednáškové texty a

Více

ZÁŘENÍ V ASTROFYZICE

ZÁŘENÍ V ASTROFYZICE ZÁŘENÍ V ASTROFYZICE Plazmový vesmír Uvádí se, že 99 % veškeré hmoty ve vesmíru je v plazmovém skupenství (hvězdy, mlhoviny, ) I na Zemi se vyskytuje plazma, např. v podobě blesků, polárních září Ve sluneční

Více

Dělení a svařování svazkem plazmatu

Dělení a svařování svazkem plazmatu Dělení a svařování svazkem plazmatu RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Osnova: Fyzikální podstat plazmatu Zdroje průmyslového plazmatu Dělení materiálu plazmou Svařování plazmovým svazkem Mikroplazma Co je to plazma?

Více

VY_32_INOVACE_CHK4_5460 ŠAL

VY_32_INOVACE_CHK4_5460 ŠAL VY_32_INOVACE_CHK4_5460 ŠAL Výukový materiál v rámci projektu OPVK 1.5 Peníze středním školám Číslo projektu: CZ.1.07/1.5.00/34.0883 Název projektu: Rozvoj vzdělanosti Číslo šablony: III/2 Datum vytvoření:

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE Úvod Litografické technologie jsou požívány při výrobě integrovaných obvodů (IO). Výroba IO začíná definováním jeho funkce a

Více

III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách

III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách Osnova: 1. Elektrický proud a jeho vlastnosti 2. Ohmův zákon 3. Kirhoffovy zákony 4. Vedení el. proudu ve vodičích 5. Vedení el. proudu v polovodičích

Více

NEKONVENČNÍ ZPŮSOBY VÝROBY TEPELNÉ A ELEKTRICKÉ ENERGIE. Ing. Stanislav HONUS

NEKONVENČNÍ ZPŮSOBY VÝROBY TEPELNÉ A ELEKTRICKÉ ENERGIE. Ing. Stanislav HONUS NEKONVENČNÍ ZPŮSOBY VÝROBY TEPELNÉ A ELEKTRICKÉ ENERGIE Ing. Stanislav HONUS ORGANICKÝ MATERIÁL Spalování Chemické přeměny Chem. přeměny ve vodním prostředí Pyrolýza Zplyňování Chemické Biologické Teplo

Více

1. Látkové soustavy, složení soustav

1. Látkové soustavy, složení soustav , složení soustav 1 , složení soustav 1. Základní pojmy 1.1 Hmota 1.2 Látky 1.3 Pole 1.4 Soustava 1.5 Fáze a fázové přeměny 1.6 Stavové veličiny 1.7 Složka 2. Hmotnost a látkové množství 3. Složení látkových

Více

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Elektrický proud stejnosměrný

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Elektrický proud stejnosměrný Střední průmyslová škola a Vyšší odborná škola technická Brno, Sokolská 1 Šablona: Název: Téma: Autor: Číslo: Anotace: Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Elektrický proud stejnosměrný Rozdělení

Více

Mgr. Ladislav Blahuta

Mgr. Ladislav Blahuta Mgr. Ladislav Blahuta Střední škola, Havířov-Šumbark, Sýkorova 1/613, příspěvková organizace Tento výukový materiál byl zpracován v rámci akce EU peníze středním školám - OP VK 1.5. Výuková sada ZÁKLADNÍ

Více

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V PLYNU, SAMOSTATNÝ A NESAMOSTATNÝ VÝBOJ

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V PLYNU, SAMOSTATNÝ A NESAMOSTATNÝ VÝBOJ Škola: Autor: DUM: Vzdělávací obor: Tematický okruh: Téma: Masarykovo gymnázium Vsetín Mgr. Jitka Novosadová MGV_F_SS_2S2_D19_Z_ELMAG_Vedeni_elektrickeho_proudu_v_ plynech_samostatny_a_nesamostatny_vyboj_pl

Více

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Hi-tech Nano a mikro technologie v chemickém inženýrství umožňují: Samočisticí

Více

MECHANICKÉ VLASTNOSTI STRUKTUR KOV POLYMER SVOČ FST 2010

MECHANICKÉ VLASTNOSTI STRUKTUR KOV POLYMER SVOČ FST 2010 MECHANICKÉ VLASTNOSTI STRUKTUR KOV POLYMER SVOČ FST 21 Petra Bublíková Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 8, 36 14 Plzeň Česká republika ABSTRAKT Práce se zabývá studiem mechanických vlastností

Více

Fyzika je přírodní věda, která zkoumá a popisuje zákonitosti přírodních jevů.

Fyzika je přírodní věda, která zkoumá a popisuje zákonitosti přírodních jevů. Fyzika je přírodní věda, která zkoumá a popisuje zákonitosti přírodních jevů. Násobky jednotek název značka hodnota kilo k 1000 mega M 1000000 giga G 1000000000 tera T 1000000000000 Tělesa a látky Tělesa

Více

Plazmové metody. Elektrické výboje v plynech

Plazmové metody. Elektrické výboje v plynech Plazmové metody Elektrické výboje v plynech Plazmové metody aplikované v technice velkou většinou používají jako zdroje plazmatu elektrické výboje v plynech. Výboje rozdělujeme podle doby trvání na - ustálené

Více

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VAKUOVÁ TECHNIKA Semestrální projekt Téma: Aplikace vakuového napařovaní v optice Vypracoval:

Více

Vlákna a textilie na bázi hyaluronanu

Vlákna a textilie na bázi hyaluronanu CETRUM TRANSFERU BIOMEDICÍNSKÝCH TECHNOLOGIÍ HK CZ.1.05/3.1.00/10.0213 Vlákna a textilie na bázi hyaluronanu Seminář JAK VÝZKUMNĚ SPOLUPRACOVAT S FIRMOU CONTIPRO? CENTRUM TRANSFERU BIOMEDICÍNSKÝCH TECHNOLOGIÍ

Více

9. ČIDLA A PŘEVODNÍKY

9. ČIDLA A PŘEVODNÍKY Úvod do metrologie - 49-9. ČIDLA A PŘEVODNÍKY (V.LYSENKO) Čidlo (senzor, detektor, receptor) je em jedné fyzikální veličiny na jinou fyzikální veličinu. Snímač (senzor + obvod pro zpracování ) je to člen

Více

optické vlastnosti polymerů

optické vlastnosti polymerů optické vlastnosti polymerů V.Švorčík, vaclav.svorcik@vscht.cz Definice světelného paprsku světlo se šíří ze zdroje podél přímek (paprsky) Maxwell: světlo se šířív módech (videch) = = jediná možná cesta

Více

Test vlastnosti látek a periodická tabulka

Test vlastnosti látek a periodická tabulka DUM Základy přírodních věd DUM III/2-T3-2-08 Téma: Test vlastnosti látek a periodická tabulka Střední škola Rok: 2012 2013 Varianta: A Zpracoval: Mgr. Pavel Hrubý Mgr. Josef Kormaník TEST Test vlastnosti

Více

Chemické složení vesmíru

Chemické složení vesmíru Společně pro výzkum, rozvoj a inovace - CZ/FMP.17A/0436 Chemické složení vesmíru Jak sledujeme chemické složení ve vesmíru? Libor Lenža, Hvězdárna Valašské Meziříčí, p. o. Mendelova univerzita v Brně,

Více

KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide

KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide KRITÉRIA VOLBY METODY A TRENDY TEPELNÉHO DĚLENÍ MATERIÁLŮ Ing. Martin Roubíček, Ph.D. - Air Liquide Metody tepelného dělení, problematika základních materiálů Tepelné dělení materiálů je lze v rámci strojírenské

Více

Otázka: Základní chemické pojmy. Předmět: Chemie. Přidal(a): berushka. Základní chemické pojmy

Otázka: Základní chemické pojmy. Předmět: Chemie. Přidal(a): berushka. Základní chemické pojmy Otázka: Základní chemické pojmy Předmět: Chemie Přidal(a): berushka Základní chemické pojmy ATOM nejmenší částice běžné hmoty částice, kterou nemůžeme chemickými prostředky dále dělit (fyzickými ale ano

Více

POVRCHY A JEJICH DEGRADACE

POVRCHY A JEJICH DEGRADACE POVRCHY A JEJICH DEGRADACE Ing. V. Kraus, CSc. Opakování z Nauky o materiálu 1 Povrch Rozhraní dvou prostředí (není pouze plochou) Skoková změna sil ovlivní: povrchovou vrstvu materiálu (relaxace, rekonstrukce)

Více

VÍTÁM VÁS NA PŘEDNÁŠCE Z PŘEDMĚTU TCT

VÍTÁM VÁS NA PŘEDNÁŠCE Z PŘEDMĚTU TCT VÍTÁM VÁS NA PŘEDNÁŠCE Z PŘEDMĚTU TCT opakování Jeden směr křížem Cros - cros náhodně náhodně náhodně NT ze staplových vláken vlákna pojená pod tryskou Suchá technologie Mokrá technologie vlákna Metody

Více

Úprava povrchu pomocí korony.

Úprava povrchu pomocí korony. Úprava povrchu pomocí korony. Úprava povrchu fólií koronou (Corona Treatment) se stala prakticky jednou z nejrozšířenějších metod. Tato metoda se používá pro úpravu povrchového napětí fólií z polymerů,

Více

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV MIKROELEKTRONIKY FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF

Více

Fyzika, maturitní okruhy (profilová část), školní rok 2014/2015 Gymnázium INTEGRA BRNO

Fyzika, maturitní okruhy (profilová část), školní rok 2014/2015 Gymnázium INTEGRA BRNO 1. Jednotky a veličiny soustava SI odvozené jednotky násobky a díly jednotek skalární a vektorové fyzikální veličiny rozměrová analýza 2. Kinematika hmotného bodu základní pojmy kinematiky hmotného bodu

Více

OBSAH 1 ÚVOD... 7. 1.1 Výrobek a materiál... 7 1.2 Přehled a klasifikace materiálů pro výrobu... 8 2 ZDROJE DŘEVA... 13

OBSAH 1 ÚVOD... 7. 1.1 Výrobek a materiál... 7 1.2 Přehled a klasifikace materiálů pro výrobu... 8 2 ZDROJE DŘEVA... 13 OBSAH 1 ÚVOD................................................. 7 1.1 Výrobek a materiál........................................ 7 1.2 Přehled a klasifikace materiálů pro výrobu..................... 8 2

Více

Tabulace učebního plánu. Obecná chemie. Vzdělávací obsah pro vyučovací předmět : Ročník: 1.ročník a kvinta

Tabulace učebního plánu. Obecná chemie. Vzdělávací obsah pro vyučovací předmět : Ročník: 1.ročník a kvinta Tabulace učebního plánu Vzdělávací obsah pro vyučovací předmět : CHEMIE Ročník: 1.ročník a kvinta Obecná Bezpečnost práce Názvosloví anorganických sloučenin Zná pravidla bezpečnosti práce a dodržuje je.

Více

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. STEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Plyny jsou tvořeny elektricky neutrálními molekulami. Proto jsou za

Více

Fyzikální vzdělávání. 1. ročník. Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník. Implementace ICT do výuky č. CZ.1.07/1.1.02/02.0012 GG OP VK

Fyzikální vzdělávání. 1. ročník. Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník. Implementace ICT do výuky č. CZ.1.07/1.1.02/02.0012 GG OP VK Fyzikální vzdělávání 1. ročník Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník 1 Elektřina a magnetismus - elektrický náboj tělesa, elektrická síla, elektrické pole, kapacita vodiče - elektrický proud v látkách, zákony

Více

FYZIKA 6. ročník 1_Látka a těleso _Vlastnosti látek _Vzájemné působení těles _Gravitační síla... 4 Gravitační pole...

FYZIKA 6. ročník 1_Látka a těleso _Vlastnosti látek _Vzájemné působení těles _Gravitační síla... 4 Gravitační pole... FYZIKA 6. ročník 1_Látka a těleso... 2 2_Vlastnosti látek... 3 3_Vzájemné působení těles... 4 4_Gravitační síla... 4 Gravitační pole... 5 5_Měření síly... 5 6_Látky jsou složeny z částic... 6 7_Uspořádání

Více

VY_32_INOVACE_6/15_ČLOVĚK A PŘÍRODA. Předmět: Fyzika Ročník: 6. Poznámka: Vodiče a izolanty Vypracoval: Pták

VY_32_INOVACE_6/15_ČLOVĚK A PŘÍRODA. Předmět: Fyzika Ročník: 6. Poznámka: Vodiče a izolanty Vypracoval: Pták VY_32_INOVACE_6/15_ČLOVĚK A PŘÍRODA Předmět: Fyzika Ročník: 6. Poznámka: Vodiče a izolanty Vypracoval: Pták Izolant je látka, která nevede elektrický proud izolant neobsahuje volné částice s elektrický

Více

Ústav výrobního inženýrství NABÍDKA SPOLUPRÁCE. Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická

Ústav výrobního inženýrství NABÍDKA SPOLUPRÁCE. Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická Ústav výrobního inženýrství NABÍDKA SPOLUPRÁCE Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologická www.uvi.ft.utb.cz Oblasti spolupráce a služeb

Více

Mol. fyz. a termodynamika

Mol. fyz. a termodynamika Molekulová fyzika pracuje na základě kinetické teorie látek a statistiky Termodynamika zkoumání tepelných jevů a strojů nezajímají nás jednotlivé částice Molekulová fyzika základem jsou: Látka kteréhokoli

Více

Lepení materiálů. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D.

Lepení materiálů. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Lepení materiálů RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Princip Adheze Smáčivost Koheze Dělení lepidel Technologie lepení Volba lepidla Lepení kovů Zásady navrhování lepených konstrukcí Typy spojů Princip lepení Lepení

Více

Adresa místa konání: Na Slovance 2, 182 21 Praha 8 Cukrovarnická 10, 162 53 Praha 6

Adresa místa konání: Na Slovance 2, 182 21 Praha 8 Cukrovarnická 10, 162 53 Praha 6 Dny otevřených dveří 2010 Název ústavu: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Adresa místa konání: Na Slovance 2, 182 21 Praha 8 Cukrovarnická 10, 162 53 Praha 6 Datum a doba otevření: 4. 11. 9 až 16 hod. pro

Více

EU peníze středním školám digitální učební materiál

EU peníze středním školám digitální učební materiál EU peníze středním školám digitální učební materiál Číslo projektu: Číslo a název šablony klíčové aktivity: Tematická oblast, název DUMu: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0515 III/2 Inovace a zkvalitnění výuky

Více

Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ

Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ CHARAKTERISTIKY VÝVĚV vývěva = zařízení snižující tlak plynu v uzavřeném objemu parametry: mezní tlak čerpací rychlost pracovní tlak výstupní tlak

Více

Tenké vrstvy. historie předdepoziční přípravy stripping

Tenké vrstvy. historie předdepoziční přípravy stripping Tenké vrstvy historie předdepoziční přípravy stripping 1 HISTORIE TENKÝCH VRSTEV Historie depozice vrstev obloukovým odpařováním z katody sahá až do devatenáctého století. Pozorování pulzního a později

Více

Přednáška 10. Příprava substrátů: chemické ošetření, žíhání, iontové leptání.

Přednáška 10. Příprava substrátů: chemické ošetření, žíhání, iontové leptání. Přednáška 10 Příprava substrátů: chemické ošetření, žíhání, iontové leptání. Proč? Každá vrstva nanesená na povrch materiálu by měla být s povrchem nějak spojena. Nejčastěji budeme požadovat mechanickou

Více

ATOM. atom prvku : jádro protony (p + ) a neutrony (n) obal elektrony (e - ) protonové číslo 8 nukleonové číslo 16 (8 protonů + 8 neutronů v jádře)

ATOM. atom prvku : jádro protony (p + ) a neutrony (n) obal elektrony (e - ) protonové číslo 8 nukleonové číslo 16 (8 protonů + 8 neutronů v jádře) ATOM atom prvku : jádro protony (p + ) a neutrony (n) obal elektrony (e - ) protonové číslo 8 nukleonové číslo 16 (8 protonů + 8 neutronů v jádře) Atom lze rozložit na menší složky, označované jako subatomární

Více

Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042

Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem

Více

Úvod do studia organické chemie

Úvod do studia organické chemie Úvod do studia organické chemie 1828... Wöhler... uměle připravil močovinu Organická chemie - chemie sloučenin uhlíku a vodíku, případně dalších prvků (O, N, X, P, S) Příčiny stability uhlíkových řetězců:

Více

Chemie - 3. ročník. přesahy, vazby, mezipředmětové vztahy průřezová témata. očekávané výstupy RVP. témata / učivo. očekávané výstupy ŠVP.

Chemie - 3. ročník. přesahy, vazby, mezipředmětové vztahy průřezová témata. očekávané výstupy RVP. témata / učivo. očekávané výstupy ŠVP. očekávané výstupy RVP témata / učivo Chemie - 3. ročník Žák: očekávané výstupy ŠVP přesahy, vazby, mezipředmětové vztahy průřezová témata 1.1., 1.2., 1.3., 1.4., 2.1. 1. Látky přírodní nebo syntetické

Více