Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování
|
|
- Zdeňka Šmídová
- před 7 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: Datum:
2 Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tenkou vrstvu můžeme definovat jako materiál o tloušťce od několika desítek nanometrů až po několik mikrometrů, který je nanesen (vytvořen) na základním nosném materiálu. Existuje více metod příprav tenkých vrstev, v této práci se zaměřím na metodu vakuového naprašovaní tenkých vrstev a její využití v praxi a běžném životě. U této metody se využívá při nanášení tenké vrstvy v pracovní komoře sníženého tlaku přibližně v hodnotách 10-1 Pa. V dnešní době mají tenké vrstvy velmi širokou škálu využití v mnoha oborech dnešního života. Využití vakuového naprašování v praxi: a) v elektronice Jednou z nejznámějších aplikací vakuového naprašování je nanášení tenkých vrstev v elektrotechnice. Na keramických substrátech jsou tenké vrstvy využívány pro realizaci především pasivních sítí (vodivé, odporové a dielektrické vrstvy), i když u některých materiálů lze pozorovat i polovodičové vlastnosti (byl realizován i tenkovrstvý tranzistor TFT Thin Film Transistor). Tenkovrstvé pasivní sítě se vyznačují velmi dobrými elektrickými vlastnostmi (nízké tolerance, nízký teplotní součinitel a vysoká stabilita) a využívají se jak pro realizaci přesných odporových sítí, tak pro hybridní tenkovrstvé obvody. Typickými materiály pro nanášení tenkých vrstev jsou zlato, hliník a chromnikl pro napařování. S ohledem na zajištění pravidelnosti růstu vrstvy a pro dosažení její homogenity při malé konečné tloušťce jsou kladeny vyšší požadavky na jakost povrchu substrátu, aby výsledná vytvořená tenky vrstva splňovala všechny požadavky. b) v optice Další využití vakuového naprašování je v optice. Tyto tenké vrstvy se nevyužívají pouze jako zrcadla, ale mají i mnohé další využití k povrchové úpravě skel či průhledných folií, kde se využívá materiálů, které jsou elektricky vodivé. Za pomocí těchto vrstev můžeme průhledné materiály vyhřívat za pomocí Jouleova tepla, svádět nežádoucí elektrostatické náboje z nevodivých povrchů, či je využít jako transparentní elektrody k plochým zobrazovacím prvkům a solárním článkům. K transparentním a elektricky vodivým vrstvám se řadí tenké vrstvy typu ZnO, SnO 2, In 2 O 3, popř. se vrstvy dopují různými příměsmi pro
3 zlepšení elektrických a optických vlastností, např. ZnO:Al, ZnO:In, SnO 2 :F, SnO 2 :Sb, In 2 O 3 :Te, In 2 O 3 :Sn. Jako další úprava skel se využívají tzv. termoizolační fólie. Tato fólie je nanesená reflexní vrstva na skle metodou vakuového naprašování. Reflexní vrstva se nejčastěji skládá z několika velmi tenkých vrstev kysličníků kovů např. titan nebo měď, které jsou kombinovány s několika vrstvami chemicky čistého kovu, kde úkolem této reflexní vrstvy není odrážet světelné záření, ale tepelné záření. Nejčastější využití je u velkých prosklených ploch na budovách, kde termoemisní fólie na sklech slouží jako ochrana před teplem přenášeným slunečním zářením z vnějšího prostoru do vnitřních, avšak nezabraňuje prostupu světelných paprsků. Zároveň termoizolační fólie slouží jako tepelná izolace zabraňující únikům tepla z vnitřních do vnějších prostorů. Vše je umožněno i při zachování zcela úplné průhledností skla. V dnešní době se již testují tyto fólie i u výroby skel do automobilů, kde se za pomocí fólie zabrání v chladnějším počasí vysrážení vody na sklech a následnému vytvoření námrazy. Princip funkce je zobrazen na obr. č. 1. Obrázek č. 1. Princip funkce termoizolační fólie [ 3 ] Jak již je zmíněno výše dají se tenké vrstvy také využít jako zrcadla (reflexní vrstvy) a také jako antireflexní vrstvy. Avšak u těchto vrstev je odrazivost silně závislá na druhu využitého materiálu a záření o dané vlnové délce, které na něj dopadá a také na úhlu dopadu paprsku. Závislost reflexe na vlnové délce záření pro různé materiály je zobrazena níže. Proto pro tvorby jednotlivých zrcadel a antireflexních povrchů musíme dbát na správný výběr materiálu. Tyto zrcadla se využívají např. u reflektorů v automobilech.
4 Obrázek č. 2. Závislost reflexe na vlnové délce pro úhle dopadu 0 pro antireflexní materiály [ 5 ] Obrázek č. 3. Závislost reflexe na vlnové délce pro úhle dopadu 0 pro reflexní materiály [ 5 ]
5 c) ve strojírenství c - 1) Úprava chování povrchu v kontaktu s vodou Dalším využitím naprašování je změna chování povrchu při přítomnosti vody, tedy úprava smáčivost povrchu materiálu překrytím původního povrchu tenkou vrstvou s požadovanými povrchovými vlastnostmi. Původně nesmáčivý povrch lze takto upravit na smáčivý (hydrofilní), např. za účelem barvení, tisku, zvýšení adheze, nebo naopak smáčivý povrch upravit na nesmáčivý (hydrofobní), např. povrch kovového materiálu bude po úpravě odpuzovat vodu a bude tak chráněn před korozí. c 2) Úprava tvrdosti povrchu Lze však také upravovat mechanické vlastnosti povrchu. Nanesením tenké vrstvy můžeme také docílit odolnosti povrchu proti otěru (poškození poškrábání). Tvrdost vrstvy je možné řídit v rozmezí GPa. Například velmi tvrdé vrstvy TiN x, TiAlN x a C-diamant se nanášejí na řezné nástroje (vrtáky, frézky, pilky), což až několikanásobně prodlužuje jejich život a zrychluje výrobu. Velice tvrdé vrstvy vykazují obvykle vysoké vnitřní pnutí, které snižuje přilnavost (adhezi) k podkladovému materiálu. Tuto nepříznivou vlastnost lze poměrně dobře kompenzovat depozicí jedné nebo více mezivrstev, tvoření tzv. multivrstev, která mají však také i další využití. Obrázek č. 4. Řez Mo/Si multivrstvou, která se využívá u krátkovlnných laserů jako zrcadlo [ 4 ] d) rentgenová technika Zde se využívá multivrstev vytvořených vakuovým naprašováním jako rentgenových zrcadel. Neboť problémem krátkovlnných leserů je neexistence bezeztrátových zrcadel tj. charakteristickým vysokým koeficientem reflexe. K tomuto účelu se právě využívajíá molybden/křemíkové systémy, které mohou být požity pro rentgenové záření v rozmezí vlnových délek od 12 nm do 30 nm. Maximální hodnoty odrazivosti dosahují až 70 % pro kolmý dopad. Pro velmi krátké vlnové délky rentgenového záření (pod 4 nm) nemohou být multivrstvové systémy vyrobeny kvůli nerovnostem rozhraní, které způsobují značnou
6 degradaci odrazivosti. Nicméně periodické multivrstvy mohou být pořád použity pro šikmý dopad, kdy je jejich odrazivost mnohem vyšší než u monovrstvových povlaků Závěr Využití tenkých vrstev je v dnešní době velmi rozsáhlé a za pomocí dalších metod výroby tenkých vrstev se využívá v dalších odvětvích jako je např. potravinářství. Vakuové naprašování má však velmi velkou výhodu oproti další metodě a to vakuovému napařování. Výhoda spočívá v tom, že dokážeme na povrchy materiálů nanášet také sloučeniny, což nám vakuové napařování neumožní z důvodu rozdílných teplot tání materiálů obsažených ve sloučeninách.
7 Zdroje informací a použitá literatura: [ 1 ] ČECH, Vladimír ; PŘIKRYL, Radek. Vakuové a plazmotechnické techniky povrchových úprav. Průmyslové spektrum [online]. 13. dubna 2005, MM 2005 / 4, [cit ]. Dostupný z WWW: < [ 2 ] LIBRA, M: Vakuum technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003, č. 2, s [ 3] Benda - folie.cz [online]. 16. listopadu 2010 [cit ]. Termoizolační fólie. Dostupné z WWW: < [ 4 ] ÚPT AVČR : Depozice tenkých vrstev magnetronovým naprašováním [online] [cit ]. Dostupné z WWW: < [ 5 ] Přístrojová optika [online]. 21. listopadu 2008 [cit ]. Vakuové nanášení tenkých vrstev. Dostupné z WWW: <
VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VAKUOVÁ TECHNIKA Semestrální projekt Téma: Aplikace vakuového napařovaní v optice Vypracoval:
VíceOptiky do laserů CO2
Optiky do laserů CO2 SMĚROVÁ ZRCADLA S OPTIMALIZOVANOU ODRAZIVOSTÍ DO LASEROVÝCH REZONÁTORŮ A PAPRSKOVÝCH VEDENÍ Každé zrcadlo má svůj vlastní název, podle toho, kde se v laseru CO2 nachází a za jakým
VíceNanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a
VíceTECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceTenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VícePRINCIP MĚŘENÍ TEPLOTY spočívá v porovnání teploty daného tělesa s definovanou stupnicí.
1 SENZORY TEPLOTY TEPLOTA je jednou z nejdůležitějších veličin ovlivňujících téměř všechny stavy a procesy v přírodě Ke stanovení teploty se využívá závislosti určitých fyzikálních veličin na teplotě (A
VíceSolární kolektory - konstrukce
1/70 Solární kolektory - konstrukce základní typy části kolektoru materiály statistiky Solární kolektory - rozdělení 2/70 1 Solární tepelný kolektor 3/70 Transparentní kryt - zasklení Absorbér Sběrná trubka
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ
Středoškolská technika 2019 Setkání a prezentace prací středoškolských studentů na ČVUT ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ Jakub Chlaň, Matouš Hyk, Lukáš Procházka Střední škola elektrotechniky
VíceStudijní opora pro předmět Technologie elektrotechnické výroby
Studijní opora pro předmět Technologie elektrotechnické výroby Doc. Ing. Václav Kolář Ph.D. Předmět určen pro: Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství, VŠB-TU Ostrava. Navazující magisterský studijní
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VíceZákladní typy článků:
Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,
Více1 Moderní nástrojové materiály
1 Řezné materiály jsou podle ISO 513 členěné do šesti základních skupin, podle typu namáhání břitu. - Skupina P zahrnuje nástrojové materiály určené k obrábění většiny ocelí, které dávají dlouhou třísku
VíceLasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika
Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury
VíceChemické metody plynná fáze
Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké
VíceOchrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin. Sdílení tepla sáláním. Balení pro mikrovlnný ohřev
Převod tepla obalem z potraviny do vnějšího prostředí a naopak Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin 1 Obecně tepelné procesy snaha o co nejmenší
VícePřednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD
Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven
VíceElektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM
Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM Historie 1931 E. Ruska a M. Knoll sestrojili první elektronový prozařovací mikroskop 1939 první vyrobený elektronový mikroskop firma Siemens rozlišení 10 nm 1965 první
VíceZvyšování kvality výuky technických oborů
Zvyšování kvality výuky technických oborů Klíčová aktivita V.2 Inovace a zkvalitnění výuky směřující k rozvoji odborných kompetencí žáků středních škol Téma V.2.20 Stavebně truhlářské výrobky a jejich
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VícePLOCHÉ SLUNEČNÍ KOLEKTORY REGULUS
PLOCHÉ SLUNEČNÍ KOLEKTORY REGULUS Ploché sluneční kolektory se vyznačují velkou plochou zasklení a velkým absorbérem. Jejich výkon je při plném slunečním záření velký. Využívají většinu sluneční energie,
VíceProč elektronový mikroskop?
Elektronová mikroskopie Historie 1931 E. Ruska a M. Knoll sestrojili první elektronový prozařovací mikroskop,, 1 1939 první vyrobený elektronový mikroskop firma Siemens rozlišení 10 nm 1965 první komerční
VícePlochý solární kolektor ZELIOS XP 2.5-1 V / H
Plochý solární kolektor ZELIOS XP 2.5-1 V / H Inovovaný, vysoce výkonný solární kolektor (XP=extra power) s celkovou plochou 2,5 m 2 pro celoroční použití v uzavřených systémech. Pro nucený oběh teplonosné
VíceSpin coating. Jiří Frydrych. Tato prezentace je spolufinancována Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem České republiky.
Spin coating Jiří Frydrych Tato prezentace je spolufinancována Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem České republiky. Obsah prezentace Obecný úvod do problematiky nanášení tenkých filmů metodou
VícePrášková metalurgie. 1 Postup výroby slinutých materiálů. 1.1 Výroba kovových prášků. 1.2 Lisování pórovitého výlisku
Pomocí práškové metalurgie se vyrábí slitiny z kovů, které jsou v tekutém stavu vzájemně nerozpustné a proto netvoří slitiny nebo slitiny z vysoce tavitelných kovů (např. wolframu). 1 Postup výroby slinutých
VíceMikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS
Tribologie Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS vypracoval: Tomáš Píza Obsah - Co je to MEMS - Materiály pro MEMS - Výroba MEMS - Pohon MEMS Co to je MEMS - zkratka z anglických slov Micro-Electro-Mechanical-Systems
VícePřehled metod depozice a povrchových
Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical
VíceVÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE
1 VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE Použití práškové metalurgie Prášková metalurgie umožňuje výrobu součástí z práškových směsí kovů navzájem neslévatelných (W-Cu, W-Ag), tj. v tekutém stavu nemísitelných nebo
VíceČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE Fakulta strojní, Ústav techniky prostředí. Protokol
ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE Fakulta strojní, Ústav techniky prostředí Protokol o zkoušce tepelného výkonu solárního kolektoru při ustálených podmínkách podle ČSN EN 12975-2 Ing. Tomáš Matuška,
VícePlazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
VíceTECHNOLOGIE OPTICKÝCH VLÁKEN A KABELŮ
TECHNOLOGIE OPTICKÝCH VLÁKEN A KABELŮ Výhody optického přenosu signálu: Vysoká přenosová rychlost Velká kapacita a šířka přenosových pásem Nízká výkonová úroveň Odolnost proti rušivým vlivům necitlivost
VíceSPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ
Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STROJÍRENSKÁ TECHNOLOGIE TŘETÍ JANA ŠPUNDOVÁ 06.04.2014 Název zpracovaného celku: SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ Používají se pro obrábění těžkoobrobitelných
VíceProduktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost
Elektricky vodivý iglidur Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost HENNLICH s.r.o. Tel. 416 711 338 ax 416 711 999 lin-tech@hennlich.cz
VíceDiamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad
České vysoké učení technické v Praze Fakulta biomedicínského inženýrství Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad Ing. Petr Písařík petr.pisarik@fbmi.cvut.cz Kladno Listopad 2010 Cíl
VíceUniverzita Tomáše Bati ve Zlíně
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Ústav elektrotechniky a měření Optoelektronika Přednáška č. 8 Milan Adámek adamek@ft.utb.cz U5 A711 +420576035251 Optoelektronika 1 Optoelektronika zabývá se přeměnou elektrické
VíceStudium tenkých mazacích filmů spektroskopickou reflektometrií
Studium tenkých mazacích filmů spektroskopickou reflektometrií Ing. Vladimír Čudek Ústav konstruování Odbor metodiky konstruování Fakulta strojního inženýrství Vysoké učení technické v Brně OBSAH EHD mazání
VíceElektricky vodivý iglidur F. Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost
Elektricky vodivý Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost 59 Elektricky vodivý. Materiál je extrémní tuhý a tvrdý, kromě
Více6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití
6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití 6.1 Úvod Monolitické integrované obvody není výhodné pro některé aplikace, zejména pro přístroje s některými náročnějšími
VíceStřední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace
Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace Registrační číslo projektu: Číslo DUM: Tematická oblast: Téma: Autor: CZ.1.07/1.5.00/34.0245 VY_32_INOVACE_08_A_07
VíceVLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD
23. 25.11.2010, Jihlava, Česká republika VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD Ing.Petr Beneš Ph.D. Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž Katedra
VíceChemické metody přípravy tenkých vrstev
Chemické metody přípravy tenkých vrstev verze 2013 Povrchové filmy monomolekulární Langmuirovy filmy PAL (povrchově aktivní látky) na polární kapalině (vodě), 0,205 nm 2 na 1 molekulu, tloušťka dána délkou
VícePovrchová úprava bez chromu Cr VI
Povrchová úprava bez chromu Cr VI Základem této povrchové úpravy jsou materiály Delta Tone 9000 a Delta Protect KL 100, takzvané basecoaty, což jsou anorganické povlaky plněné ZN a Al mikrolamelami rozptýlenými
VíceCZ.1.07/1.1.30/01.0038 SPŠ
Monitorovací indikátor: 06.43.10 Počet nově vytvořených/inovovaných produktů Akce: Přednáška, KA 5 Číslo přednášky: 3 Téma: APLIKACE TENKÝCH VRSTEV NA OBRÁBĚCÍCH NÁSTROJÍCH Lektor: Ing. Jiří Hodač Třída/y:
VíceSpektrometrické metody. Reflexní a fotoakustická spektroskopie
Spektrometrické metody Reflexní a fotoakustická spektroskopie odraz elektromagnetického záření - souvislost absorpce a reflexe Kubelka-Munk funkce fotoakustická spektroskopie Měření odrazivosti elmg záření
VíceTECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE Úvod Litografické technologie jsou požívány při výrobě integrovaných obvodů (IO). Výroba IO začíná definováním jeho funkce a
VíceLasery optické rezonátory
Lasery optické rezonátory Optické rezonátory Optickým rezonátorem se rozumí dutina obklopená odrazovými plochami, v níž je pasivní dielektrické prostředí. Rezonátor je nezbytnou součástí laseru, protože
VíceGlass temperature history
Glass Glass temperature history Crystallization and nucleation Nucleation on temperature Crystallization on temperature New Applications of Glass Anorganické nanomateriály se skelnou matricí Martin Míka
VíceFyzikální metody nanášení tenkých vrstev
Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)
VícePÁJENÍ. Osnova učiva: Druhy pájek. Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STT první Jindřich RAYNOCH 31.10.2012 Název zpracovaného celku: PÁJENÍ A LEPENÍ
Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STT první Jindřich RAYNOCH 31.10.2012 Název zpracovaného celku: PÁJENÍ A LEPENÍ PÁJENÍ Osnova učiva: Úvod Rozdělení pájek Význam tavidla Metody pájení Stroje a zařízení
VíceJ.Kubíček 2018 FSI Brno
J.Kubíček 2018 FSI Brno Chemicko-tepelným zpracováním označujeme způsoby difúzního sycení povrchu různými prvky. Nasycujícími (resp. legujícími) prvky mohou být kovy i nekovy. Cílem chemickotepelného zpracování
Vícečlen švýcarské skupiny BCI
> úvod povlakování Tento katalog nabízí základní přehled tvrdých a kluzných vrstev deponovaných PVD technologiemi našeho povlakovacího centra na nástroje a strojní součástí včetně možností předúprav. V
VíceManuální, technická a elektrozručnost
Manuální, technická a elektrozručnost Realizace praktických úloh zaměřených na dovednosti v oblastech: Vybavení elektrolaboratoře Schématické značky, základy pájení Fyzikální principy činnosti základních
VíceSNÍMAČE PRO MĚŘENÍ TEPLOTY
SNÍMAČE PRO MĚŘENÍ TEPLOTY 10.1. Kontaktní snímače teploty 10.2. Bezkontaktní snímače teploty 10.1. KONTAKTNÍ SNÍMAČE TEPLOTY Experimentální metody přednáška 10 snímač je připevněn na měřený objekt 10.1.1.
VícePrincipy chemických snímačů
Principy chemických snímačů Název školy: SPŠ Ústí nad Labem, středisko Resslova Autor: Ing. Pavel Votrubec Název: VY_32_INOVACE_05_AUT_99_principy_chemickych_snimacu.pptx Téma: Principy chemických snímačů
VíceCo je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)
Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur) -přenesení dané struktury na povrch strukturovaného substrátu Princip - interakce
VíceVysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích. Institute of Technology And Business In České Budějovice
13. VYUŽITÍ NEKOVOVÝCH MATERIÁLŮ VE STROJÍRENSKÝCH APLIKACÍCH, TRENDY VÝVOJE NEKOVOVÝCH MATERIÁLŮ Vysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích Institute of Technology And Business In České
VíceVY_32_INOVACE_F 18 16
Název a adresa školy: Střední škola průmyslová a umělecká, Opava, příspěvková organizace, Praskova 399/8, Opava, 746 01 IČO: 47813121 Projekt: OP VK 1.5 Název operačního programu: Typ šablony klíčové aktivity:
Víceλ, (20.1) 3.10-6 infračervené záření ultrafialové γ a kosmické mikrovlny
Elektromagnetické vlny Optika, část fyziky zabývající se světlem, patří spolu s mechanikou k nejstarším fyzikálním oborům. Podle jedné ze starověkých teorií je světlo vyzařováno z oka a oko si jím ohmatává
VíceJ. Kubíček FSI Brno 2018
J. Kubíček FSI Brno 2018 Fosfátování je povrchová úprava, kdy se na povrch povlakovaného kovu vylučují nerozpustné fosforečnany. Povlak vzniká reakcí iontů z pracovní lázně s ionty rozpuštěnými z povrchu
VíceZasklení jako významný prvek obálky budov
Zasklení jako významný prvek obálky budov Požadavky Estetika, design, komfort více denního světla a přirozné prostředí Potřeba úspory energie při možnosti vyhovět trendům v architektuře Charakteristiky
VícePlazmatické metody pro úpravu povrchů
Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů
VícePředmět: Stroje a zařízení v oděvní výrobě. Strojní šicí jehla,,povrchové úpravy yjehel Nové trendy jehel. Ing. Katarína Zelová, Ph.D.
Předmět: Strojní šicí jehla,,povrchové úpravy yjehel Nové trendy jehel Špice a hroty jehel Ing. Katarína Zelová, Ph.D. STROJNÍ ŠICÍ JEHLA 2 Strojní šicí jehla je finálním členem ústrojí pohybu jehly její
VíceCena za set Kč SESTAVA OBSAHUJE: Nádrž 250 L se dvěma trubkovými výměníky 1 ks. Čerpadlová skupina dvoucestná 1 ks.
Solární system SESTAVA OBSAHUJE: Nádrž 250 L se dvěma trubkovými výměníky 1 ks. Čerpadlová skupina dvoucestná 1 ks. Plochý solární kolektor 2 m 2 ks Solární regulátor 1 ks Solární nádoba 18 L 1 ks Připojovací
VíceKatedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev
Chemické metody přípravy vrstev Metoda sol-gel Historie nejstarší příprava silikagelu 1939 patent na výrobu antireflexních vrstev na fotografické čočky 60. léta studium vrstev SiO 2 a TiO 2 70. léta výroba
Vícegalvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39
Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857
Vícezařízení 2. přednáška Fakulta elektrotechniky a informatiky prof.ing. Petr Chlebiš, CSc.
Konstrukce elektronických zařízení 2. přednáška prof.ing. Petr Chlebiš, CSc. Pasivní a konstrukční prvky - Rezistory - Kondenzátory - Vinuté díly, cívky, transformátory - Konektory - Kontaktní prvky, spínače,
VíceVakuové trubkové solární kolektory
1/70 jednostěnná vakuová trubka plochý absorbér dvojstěnná vakuová trubka (Sydney) válcový absorbér vakuum 1 mpa Vakuové solární kolektory 2/70 vakuové trubkové ploché vakuové kolektory 1 3/70 Jednostěnná
VíceOtázky pro samotestování. Téma1 Sluneční záření
Otázky pro samotestování Téma1 Sluneční záření 1) Jaká je vzdálenost Země od Slunce? a. 1 AU b. 6378 km c. 1,496 x 10 11 m (±1,7%) 2) Jaké množství záření dopadá přibližně na povrch atmosféry? a. 1,60210-19
VíceJŠÍ NEJRYCHLE ØEŠENÍ
NEJRYCHLEJŠÍ ØEŠENÍ BRONZE 20, EXTERIOR, sr. RAZANTNÍ OCHRANA PŘED PŘENOSEM TEPLA DO INTERIÉRU - Dostatečná ochrana proti oslnění - Vysoká reflexe, výrazný zrcadlový vzhled - Unikátní vrstva proti poškrábání
VíceSprávné návrhy tepelné izolace plochých střech a chyby při realizaci Pavel Přech projektový specialista
Správné návrhy tepelné izolace plochých střech a chyby při realizaci Pavel Přech projektový specialista Návrhy skladeb plochých střech Úvod Návrhy skladeb,řešení Nepochůzná střecha Občasně pochůzná střecha
Vícespeciální topné kabely
speciální topné kabely KABELOVÉ TOPNÉ SYSTÉMY SR samoregulační topný kabel - popis SR samoregulační topný kabel - oblast použití FTS0 kabel pro vysoké teploty - popis FTS0 kabel pro vysoké teploty - oblast
VíceOTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU
OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU Ing. Alexander Sedláček S.A.F. Praha, spol. s r.o. 1. Úvod, princip 2. Přehled metod vytváření ochranných povlaků 3. Použití technologií žárového
VíceINVESTICE DO ROZVOJE VZDĚLÁVÁNÍ. Příklady použití tenkých vrstev Jaromír Křepelka
Příklady použití tenkých vrstev Jaromír Křepelka Příklad 01 Spočtěte odrazivost prostého rozhraní dvou izotropních homogenních materiálů s indexy lomu n 0 = 1 a n 1 = 1,52 v závislosti na úhlu dopadu pro
Víceití v moderní architektuře
6/7/2009 1 Skla pro fasády a jejich použit ití v moderní architektuře Protisluneční zasklení Akustické zasklení Bezpečnostní zasklení Ing. Pavel Čumpelík marketing stavebního skla Střední Evropa 6/7/2009
VíceZOBRAZOVÁNÍ ZRCADLY. Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Septima - Optika
ZOBRAZOVÁNÍ ZRCADLY Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Septima - Optika Úvod Vytváření obrazů na základě zákonů optiky je častým jevem kolem nás Základní principy Základní principy Zobrazování optickými přístroji
Více7. Kondenzátory. dielektrikum +Q + + + + + + + + U - - - - - - - - elektroda. Obr.2-11 Princip deskového kondenzátoru
7. Kondenzátory Kondenzátor (někdy nazývaný kapacitor) je součástka se zvýrazněnou funkční elektrickou kapacitou. Je vytvořen dvěma vodivými plochami - elektrodami, vzájemně oddělenými nevodivým dielektrikem.
VíceSystémy tisku CTP a CTF
České vysoké učení technické v Praze Fakulta stavební Obor Geodézie a kartografie Katedra mapování a kartografie Kartografické polygrafie a reprografie Systémy tisku CTP a CTF semestrální práce Fialová
VíceÚpravy brýlových čoček. LF MU Brno Brýlová technologie
Úpravy brýlových čoček LF MU Brno Brýlová technologie Struktura prezentace Rozdělení úprav brýlových čoček Tenké vrstvy Antireflexní vrstva Reflexní vrstva Hydrofobní vrstva Absorpční vrstva Tvrzení Fototropní
VíceCOMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES
POROVNÁNÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI Z RŮZNÝCH TECHNOLOGICKÝCH PROCESŮ COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES Ivo Štěpánek
VíceLOGO. Struktura a vlastnosti pevných látek
Struktura a vlastnosti pevných látek Rozdělení pevných látek (PL): monokrystalické krystalické Pevné látky polykrystalické amorfní Pevné látky Krystalické látky jsou charakterizovány pravidelným uspořádáním
Víceakustika zvuk, zdroj zvuku šíření zvuku odraz zvuku tón, výška tónu kmitočet tónu hlasitost zvuku světlo, zdroj světla přímočaré šíření světla
- určí, co je v jeho okolí zdrojem zvuku, pozná, že k šíření zvuku je nezbytnou podmínkou látkové prostředí - chápe odraz zvuku jako odraz zvukového vzruchu od překážky a dovede objasnit vznik ozvěny -
Více1. Kondenzátory s pevnou hodnotou kapacity Pevné kondenzátory se vyrábí jak pro vývodovou montáž, tak i miniatrurizované pro povrchovou montáž SMD.
Kondenzátory Kondenzátory jsou pasivní elektronické součástky vyrobené s hodnotou kapacity udané výrobcem. Na součástce se udává kapacita [F] a jmenovité napětí [V], které udává maximální napětí, které
VíceVozítko na solární pohon. Hung Pham Huy, Le Dinh Tuan, Jan Novák 7.A Gymnázium Cheb Nerudova 7
Vozítko na solární pohon Hung Pham Huy, Le Dinh Tuan, Jan Novák 7.A Gymnázium Cheb Nerudova 7 Krátký souhrn projektu: Náš tým věří, že perspektiva lidstva leží v obnovitelných zdrojích. Proto jsme se rozhodli
VíceMATERIÁLY PRO TENKÉ VRSTVY INFRAČERVENÝCH ZRCADEL JITKA MOHELNÍKOVÁ. Obsah
Chem. Listy 00, 57 6 (006) MATERIÁLY PRO TENKÉ VRSTVY INFRAČERVENÝCH ZRCADEL JITKA MOHELNÍKOVÁ Fakulta stavební VUT v Brně, Veveří 95, 60 00 Brno mohelnikova.j@fce.vutbr.cz Došlo.7.05, přijato..05. Klíčová
VíceÚvod. Úvod. Všeobecně 4. Spojovací systém nn 7. Ukončovací systém vn 8. Spojovací systém vn 9. Řízení elektrického pole v kabelových souborech 10
2 Úvod Úvod Všeobecně 4 Spojovací systém nn 7 Ukončovací systém vn 8 Spojovací systém vn 9 Řízení elektrického pole v kabelových souborech 10 Odolnost vůči prostředí a stárnutí 11 Technologie teplem smrštitelných
VíceČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE Fakulta strojní, Ústav techniky prostředí. Protokol
ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE Fakulta strojní, Ústav techniky prostředí Protokol o zkoušce tepelného výkonu solárního kolektoru při ustálených podmínkách podle ČSN EN 12975-2 Ing. Tomáš Matuška,
VíceProjekt Pospolu. Polovodičové součástky diody. Pro obor M/01 Informační technologie
Projekt Pospolu Polovodičové součástky diody Pro obor 18-22-M/01 Informační technologie Autorem materiálu a všech jeho částí je Ing. Petr Voborník, Ph.D. Polovodičová součástka je elektronická součástka
VíceCharakteristika. Použití VLASTNOSTI MOLDMAXXL FYZIKÁLNÍ ÚDAJE
1 MOLDMAXXL 2 Charakteristika MOLDMAX XL je vysoce pevná slitina mědi s vysokou vodivostí, vyrobená firmou Brush Wellman Inc. MOLDMAX XL se používá pro výrobu různých tvarovek z plastu. Vyznačuje se následujícími
VíceOtázky pro samotestování. Téma1 Sluneční záření
Otázky pro samotestování Téma1 Sluneční záření 1) Jaká je vzdálenost Země od Slunce? a. 1 AU b. 6378 km c. 1,496 x 10 11 m (±1,7%) 2) Jaké množství záření dopadá přibližně na povrch atmosféry? a. 1,60210-19
VícePÁJENÍ. Nerozebiratelné spojení
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto mateirálů. Děkuji Ing. D.
VíceTechnologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení
VícePřednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.
Přednáška 3 Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Realizace vypařovadel, směrovost vypařování, vypařování sloučenin a slitin, Vypařování elektronovým svazkem a MBE Napařování
VíceVY_32_INOVACE_6/15_ČLOVĚK A PŘÍRODA. Předmět: Fyzika Ročník: 6. Poznámka: Vodiče a izolanty Vypracoval: Pták
VY_32_INOVACE_6/15_ČLOVĚK A PŘÍRODA Předmět: Fyzika Ročník: 6. Poznámka: Vodiče a izolanty Vypracoval: Pták Izolant je látka, která nevede elektrický proud izolant neobsahuje volné částice s elektrický
VíceProjekt: Inovace oboru Mechatronik pro Zlínský kraj Registrační číslo: CZ.1.07/1.1.08/03.0009
Projekt: Inovace oboru Mechatronik pro Zlínský kraj Registrační číslo: CZ.1.07/1.1.08/03.0009 Prvky III. A skupiny Nejdůležitějším a technicky nejvýznamnější kov této skupiny je hliník. Kromě hliníku jsou
VíceFyzika. 8. ročník. LÁTKY A TĚLESA měřené veličiny. značky a jednotky fyzikálních veličin
list 1 / 7 F časová dotace: 2 hod / týden Fyzika 8. ročník (F 9 1 01.1) F 9 1 01.1 (F 9 1 01.3) prakticky změří vhodně vybranými měřidly fyzikální veličiny a určí jejich změny elektrické napětí prakticky
VícePro vysoká zatížení iglidur Q
Pro vysoká zatížení Produktová řada Vynikající odolnost proti opotřebení, zejména pro extrémní zatížení Doporučeno pro extrémní pv hodnoty Dobrý koeficient tření Necitlivé na znečištění 541 Pro vysoká
VíceZákladní pojmy. p= [Pa, N, m S. Definice tlaku: Síla působící kolmo na jednotku plochy. diference. tlaková. Přetlak. atmosférický tlak. Podtlak.
Základní pojmy Definice tlaku: Síla působící kolmo na jednotku plochy F p= [Pa, N, m S 2 ] p Přetlak tlaková diference atmosférický tlak absolutní tlak Podtlak absolutní nula t 2 ozdělení tlakoměrů Podle
VíceMikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Odporové senzory
Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Odporové senzory Obecné vlastnosti odporových senzorů Odporové senzory kontaktové Měřící potenciometry Odporové tenzometry Odporové senzory teploty Odporové
Více