Získávání nízkých tlaků
|
|
- Hana Bednářová
- před 8 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Vývěvy s přenosem hybnosti Princip činnosti : Molekulám čerpaného plynu se uděluje přídavná hybnost v takovém směru, aby se pohybovaly ve směru čerpání, tj. z čerpaného objemu směrem k výstupu vývěvy. Této změny hybnosti se dosahuje - nárazem na pohybující se pevnou látku - difúzí do proudu nosné páry. V prvním případě se molekuly čerpaného plynu se dostávají do interakce s povrchem rotoru. Doba setrvání na povrchu je vzhledem k rychlosti interakce a materiálu rotoru (obvykle nerezová ocel) prakticky nulová ( S s ) a molekuly se odrážejí podle zákonů mechaniky (úhel dopadu ~ úhel odrazu). Tato interakce způsobuje předání hybnosti molekulám v takovém směru, aby se pohybovaly od vstupu z čerpaného objemu směrem k výstupu vývěvy.
2 Připomínáme, že rychlosti tepelného molekul se blíží 1000 m.s -1 a proto je nezbytné, aby obvodová rychlost rotoru v místě interakce byla řádově stejně velká. Ve druhém případě se využívá difúze čerpaného plynu do proudu rychle se pohybující páry pracovního média. Vlivem srážek molekul plynu s molekulami páry získávají vysokou rychlost i molekuly plynu. Páry média spolu s čerpaným plynem pak postupují do difuzéru, v němž se zpomalí a jejich tlak vzroste. I když se intenzivně pracuje na vývoji tohoto druhu vývěv, nebyla doposud postavena vývěva, která by měla výstupní tlak rovný tlaku atmosférickému. Proto za ně musí být zařazena předčerpávající vývěva (rotační, šroubová), která čerpaný plyn stlačuje na tlak převyšující tlak atmosférický.
3 Rootsovy vývěvy Rootsovy vývěvy mají dva rotory otáčející se proti sobě. Tyto rotory mají takový tvar, aby při jejich otáčení nevznikla mezi stěnou a rotory, ani mezi rotory a stěnou mezera. Těsnění je zajištěno přesností výroby. Mezi lopatkami navzájem, ani mezi lopatkami a rotorem neexistuje tření, nejsou tedy zapotřebí žádné mazací, ani těsnící látky. Převodovka, která je nutná pro synchronizaci pohybu rotorů je umístěna mimo prostor vývěvy. To znamená, že vývěva nemůže být znečišťována ani parami oleje z převodovky.
4
5
6 Otáčky rotorů jsou v rozmezí1500 až 3000 min -1. Pokud je tlak natolik nízký, že proudění v mezerách mezi rotory a skříní je molekulární, čerpací rychlost je vysoká. Při přechodu na proudění viskózní roste vakuová vodivost a čerpací rychlost rychle klesá. Tím je dán maximální možný výstupní tlak Rootsových vývěv. Obvykle se používají jako boostery ve velkých čerpacích systémech pomocné vývěvy zvyšující čerpací rychlost rotačních nebo šroubových vývěv.
7 Turbomolekulární vývěvy V současné době nejčastěji používané vývěvy pro dosažení vysokého a velmi vysokého vakua. Čerpací systém je tvořen soustavou lopatkami opatřených rotorů a statorů. Molekuly čerpaného plynu dopadají na lopatky rotoru prvního stupně a po krátké době rotor opouštějí s rychlostí složenou z rychlosti tepelného pohybu a obvodové rychlosti rotoru.
8 Molekuly pokračují do oblasti statoru, jehož opačně natočené lopatky usměrní pohyb molekul ve směru osy otáčení rotoru. Tím se dostanou do oblasti druhého stupně rotoru a proces usměrnění jejich pohybu axiálním směrem pokračuje. Technické problémy : Obvodová rychlost rotorů musí být řádově rovna rychlosti tepelného pohybu. Např. pro dusík je v a přibližně 480 m.s -1. To znamená, že rotor malé vývěvy o průměru 10 cm musí mít otáčky min -1. Pro větší vývěvy sice potřebné otáčky klesají s průměrem, ale momenty setrvačnosti a tím i dynamické problémy rostou se čtvercem průměru. Turbomolekulární vývěvy proto představují výrobky vysoké technické úrovně. Pohánějí je bezkartáčové stejnosměrné motory s komplikovanou regulací.
9
10 Tyto vývěvy se vyrábějí s čerpacími rychlostmi v rozsahu od 10 l.s -1 do 5000 l.s -1. Běžně se dosahuje mezní tlak řádu 10-5 Pa, u speciálních konstrukcí umožňujících dříve popsaný proces ohřívání a zchlazení vývěvy to je 10-7 Pa. Vysoké otáčky rotoru vyžadují jeho speciální uložení, užívají se levitující magnetická ložiska. Nezbytná jsou bezpečnostní opatření pro případ výpadku napájení a potřeby postupného snižování otáček.
11 Difúzní vývěvy Princip vysvětlíme na technicky jednodušší parní ejektorové vývěvě. Páry pracovního média (obvykle voda) se urychlují v trysce až na nadzvukové rychlosti, jejich tlak klesá a strhávají molekuly čerpaného plynu. Společně proudí do difuzéru, v němž se rozpínají a zpomalují, kinetická energie se mění v tlakovou. Plyny se tak stlačují a stlačené odvádějí. Tyto vývěvy mají mezní tlak až 10 Pa a stavějí se pro průmyslové účely (sušení, metalurgie apod.) s vysokými čerpacími rychlostmi).
12 Difúzní vývěvy jsou vícestupňové ejektorové vývěvy, pracovní médium jsou speciální oleje s nízkou tenzí nasycených par.
13 Molekuly čerpaného plynu pronikají do oblasti trysek a difundují do proudu par proudících z trysek s nadzvukovou rychlostí. Srážkami s molekulami par jsou usměrněny do prostoru kondenzace páry prvního stupně na chlazené stěně vývěvy. Odtud difundují do páry vystupující z dalšího stupně a děj se opakuje, až se čerpané molekuly shromažďují v dolní části vývěvy odkud jsou odčerpávány tzv. předvakuovou vývěvou (rotační, šroubovou apod.). Výstupní tlak par je 10 0 až 10 1 Pa a mezní tlak předvakuové vývěvy nesmí tuto hodnotu překračovat. Nevýhodou je určitý zpětný tok olejových par do čerpaného objemu. Čelí se tomu nasazením chlazeného lapače olejových par na vstup vývěvy. Lapače ale představují členy s nízkou vakuovou vodivostí a proto podstatně snižují efektivní čerpací rychlost vývěv.
14 Výhodou difúzních vývěv je konstrukční jednoduchost a z toho vyplývající nízká cena. Dále odolnost a dlouhá životnost, schopnost čerpat jakékoli plyny. Kromě výše zmíněného zpětného proudu olejových par je nevýhodou i poměrně dlouhá doba náběhu (30-60 minut) a stejně dlouhá doba ochlazování. Spotřebu chladící vody lze omezit chladícím okruhem, což ovšem navyšuje cenu. Oleje jsou drahé moderní silikonové oleje stojí USD 1000/ litr a více, ale spotřeba je malá a životnost až dva roky při nepřetržitém provozu. Mezní tlak závisí na způsobu chlazení lapače olejových par. Bez lapače je mezní tlak řádově 10-4 Pa, s vodou chlazeným lapačem 10-5 Pa a při chlazením LN2 (kapalný dusík) až 10-7 Pa. Rozsah čerpacích rychlostí je zhruba stejný jako u turbomolekulárních vývěv.
15 VÝVĚVY S VAZBOU MOLEKUL Kryogenní vývěvy Využívá se vysoké adsorpční schopnosti zeolitů. Jsou to hlinitokřemičitanové sloučeniny s vysokou pórovitostí aktivní plocha dosahuje až 1000 m 2 / g. Adsorbují prakticky všechny plyny, ale jejich adsorpční schopnost při pokojové teplotě je příliš nízká a z toho důvodu je třeba je chladit. Běžně se používá kapalný dusík s teplotou varu 77 K, ve speciálních případech (vysoká cena) hélium s pracovní teplotou 20 K (teplota varu 4 K). Obvykle se používají v paralelním zapojení několik vývěv na výstupu aparatury, postupně se zapojují pro předčerpání od atmosférického tlaku a další čerpání až do mezního tlaku, který činí 10-7 Pa (dusík) nebo 10-9 Pa (hélium).
16
17 Titanová sublimační vývěva Využívá se vysoká chemická reaktivita titanu, který váže O 2, N 2, H 2. Vývěvy jsou velmi jednoduché: titan je nanesen na vyhřívaném drátu, při tlaku 10-3 Pa sublimuje, atomy ulpívají na stěně vývěvy a přitom se chemicky váží uvedené plyny. Vznikající sloučeniny mají tlak nasycených par řádově 10-8 Pa a tím je určen mezní tlak těchto vývěv. Atomy netečných plynů (Ar, Kr, Ne..) jsou zabudovány do vrstvy oxidů. Optimální pracovní tlak je 10-4 až 10-7 Pa, čerpací rychlosti jsou vysoké.
18 Iontová vývěva kombinuje princip transportních a sorpčních vývěv: výboj mezi anodou a katodami ionizuje čerpaný plyn, magnetické pole ovlivňuje pohyb vzniklých iontů, které z povrchu katod odprašují titan. Atomy titanu se usazují na stěnách a vážou plyny stejně jako u předchozího typu vývěvy. Mezní tlak je až 10-9 Pa. Vzhledem k vysoké ceně a energetické náročnosti se používají jen pro speciální účely (elektronové mikroskopy, urychlovače částic apod.)
19 Měření nízkých tlaků MĚŘENÍ NÍZKÝCH TLAKŮ Metody měření nízkých tlaků se dělí na dvě základní skupiny: 1. Přímé měření ze silových účinků tlaku plynu, výsledek nezávisí na druhu plynu, některé metody jsou absolutní, slouží ke kalibraci měřidel ze druhé skupiny. 2. Nepřímé měření ze změn těch fyzikálních vlastností plynů, které závisí na tlaku (tepelná vodivost, ionizační schopnost apod.). Výsledky všech nepřímých metod závisejí na chemickém složení měřeného plynu. Výsledek měření často ovlivňují i některé parametry prostředí, zejména teplota. Důsledkem těchto skutečností je, že relativní nejistoty výsledků často dosahují i několika desítek procent.
20 Měření nízkých tlaků Přímé měření nízkých tlaků Měří se silový účinek vyvolaný tlakem plynu obvykle srovnávací metodou (porovnání známého a měřeného tlaku) Hrubé vakuum měří se membránovými tlakoměry s různým tvarem membrán a převodem na výchylku ručky na stupnici. Bourdonův vakuoměr : deformačním prvkem je tvarovaná kapilára (3), pohyb konce kapiláry je mechanickým převodem převáděn na výchylku ručky na stupnici. Rozsah je Pa, rel. nejistota okolo 10 %, údaj nezávisí na druhu plynu, ale je pouze informativní.
21 Měření nízkých tlaků Membránový manometr s vlnovcovou membránou uzavírající vyčerpaný prostor s definovaným tlakem. Průhyb membrány se mechanicky převádí na otáčení ručky na stupnici. Dolní mez rozsahu je Pa, vlastnosti obdobné jako v předchozím případě.
22 Měření nízkých tlaků Kapacitní vakuoměr Moderní verze membránového vakuoměru. Průhyb membrány nerezová ocel nebo keramika) je měřen kapacitním snímačem. Prostor pod membránou je vyčerpán na nízký tlak p 0 určující dolní mez rozsahu. Přístroje měří tlak p až v rozsahu 4 řádů, nejnižší dolní mez je 10-3 Pa.
23 Měření nízkých tlaků Piezoelektrický membránový vakuoměr Další moderní varianta membránového vakuoměru. Membrána je zhotovena z piezoelelktrické keramiky, elektrické napětí vyvolané její deformací je snímáno napařenými kovovými kontakty. Dolní mez rozsahu je 10 1 Pa. Výhodou je, stejně jako v předchozím případě, elektrický výstup využívaný pro regulaci procesů. Tento typ vakuoměrů má vysokou přesnost, relativní nejistota údaje může být okolo 1 %.
24 Měření nízkých tlaků Nepřímé měření nízkých tlaků Tepelné vakuoměry Na údaj o tlaku plynu se převádí výsledek měření jeho tepelné vodivosti. Nevýhodou je závislost údaje na druhu měřeného plynu a relativně malý rozsah lineární části. Výhodou je nízká cena, spolehlivost a odolnost.
25 Měření nízkých tlaků Piraniho měrka Měrným elementem je velmi tenké žhavené vlákno, obvykle platinové, jehož teplota se udržuje na konstantní hodnotě. Měří se proud potřebný k udržení této teploty a elektronicky převádí na tlak. Zařízení vyžaduje kalibraci pomocí absolutního tlakoměru (zajišťuje výrobce), výstupem je kalibrační křivka dodávaná k přístroji.
26 Měření nízkých tlaků Ionizační vakuoměry Penningův ionizační vakuoměr se studenou katodou Mezi elektrodami hoří výboj, který se udržuje díky magnetickému poli zakřivení drah elektronů (Lorentzova síla) prodlužuje jejich dráhu a zvyšuje pravděpodobnost ionizace. Ionizační proud je mírou tlaku. Dolní mez měření je podle typu 10-5 až 10-4 Pa. Cena je raltivně nízká, zařízení je velmi odolné s dlouhou životností.
27 Měření nízkých tlaků Triodové ionizační vakuoměry Princip : ze žhavené katody jsou emitovány elektrony ionizující plyn. Elektrické pole je přitahuje k elektrodě K E, která je tvořena síťkou, okolo které kmitají a vznikající kladné ionty jsou přitahovány k elektrodě K I. Mírou tlaku je ionizační proud. Dolní mez rozsahu je až 10-8 Pa. Charakteristika je nelineární, přístroj vyžaduje kalibraci. Je to nejcitlivější vakuoměr.
28 Měření nízkých tlaků Realizace ionizačního vakuometru
Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ
Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ CHARAKTERISTIKY VÝVĚV vývěva = zařízení snižující tlak plynu v uzavřeném objemu parametry: mezní tlak čerpací rychlost pracovní tlak výstupní tlak
VíceVývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru
Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Paroproudové vývěvy Molekuly plynu získávají dodatečnou rychlost ve směru čerpání prostřednictvím proudu pracovní látky(voda, pára, plyn). Většinou je
VíceFyzikální základy moderních technologií
Fyzikální základy moderních technologií Obsah přednášky : I. Vakuová technika II. Plazma a aplikace plazmových technologií III. Moderní lasery a jejich aplikace IV. Piezoelektrické jevy a jejich aplikace
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006
Vybrané technologie povrchových úprav Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Základní parametry vývěv Mezní tlak vývěvy p mez Tlak na výstupu vývěvy, od kterého je schopna funkce p 0 Čerpací schopnost
VíceKonstrukce vakuových zařízení
Konstrukce vakuových zařízení Základní parametry vývěv Mezní tlak vývěvy p mez Tlak na výstupu vývěvy, od kterého je schopná funkce p 0 (je schopná pracovat od atmosférického tlaku?) Čerpací schopnost
VícePřednáška 8. Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, ejektorové a difúzní vývěvy. Martin Kormunda
Přednáška 8 Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, ejektorové a difúzní vývěvy Vodokružní vývěva vývěva využívá rotační pohyb podobně jako rotační olejová vývěva obdobně vznikají uzavřené komory
VíceIonizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1.
Ionizační manometry Princip: ionizace molekul a měření počtu nabitých částic Rozdělení podle způsobu ionizace: Manometry se žhavenou katodou Manometry se studenou katodou Manometry s radioaktivním zářičem
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VíceTeoretické základy vakuové techniky
Procesy při čerpání soustavy Předpokládejme, že vývěvou čerpáme vakuovou soustavu od počátečního atmosférického tlaku až do vysokého vakua. Zpočátku jde o objemový proces, čerpané plyny vykazují viskózní
VíceIONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:
Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální
VícePřednáška 10. Měření nízkých tlaků : membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační vakuoměry. Martin Kormunda
Přednáška 10 Měření nízkých tlaků : membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační vakuoměry. Měření ve vakuové technice jde o metody měření fyzikálních veličin, které jsme dříve definovali:
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Základy vakuové techniky Doc. Ing. Karel Daďourek 2006
Vybrané technologie povrchových úprav Základy vakuové techniky Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Střední rychlost plynů Rychlost molekuly v p = (2 k N A ) * (T/M 0 ), N A = 6. 10 23 molekul na mol (Avogadrova
VíceRovnice kontinuity V potrubí a vývěvou musí proudit vždy stejné množství plynu. Platí
Rovnice kontinuity V potrubí a vývěvou musí proudit vždy stejné množství plynu. Platí n n n n n n S p S p S p t V p t V p t V p q q q q............... 2 2 1 1 2 2 2 1 1 1 3 2 1 = = = = = = = = = = Vacuum
VíceZáklady vakuové techniky
Základy vakuové techniky Střední rychlost plynů Rychlost molekuly v p = (2 k N A ) * (T/M 0 ), N A = 6. 10 23 molekul na mol (Avogadrova konstanta), k = 1,38. 10-23 J/K.. Boltzmannova konstanta, T.. absolutní
VícePřednáška 9. Vývěvy s vazbou molekul: kryosorpční, zeolitové, iontové a sublimační vývěvy. Martin Kormunda
Přednáška 9 Vývěvy s vazbou molekul: kryosorpční, zeolitové, iontové a sublimační vývěvy. Sorpční vývěvy využívají převážně jevu adsorpce molekul na povrchu tak jsou molekuly odstraňovány z čerpaného objemu
Více5. Získávání a měření nízkých tlaků
5. Získávání a měření nízkých tlaků Úvod Přesto, že latinské slovo vacume znamená prázdný, neznáme dosud prostor, který by byl charakterizován neexistencí látky. Výrazu vakuum připisujeme prostor, který
Vícep V = n R T Při stlačování vkládáme do systému práci a tím se podle 1. věty termodynamické zvyšuje vnitřní energie systému U = q + w
3. DOPRAVA PLYNŮ Ve výrobních procesech se často dopravují a zpracovávají plyny za tlaků odlišných od tlaku atmosférického. Podle poměru stlačení, tj. poměru tlaků před a po kompresi, jsou stroje na dopravu
VícePřednáška 6. Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy, šroubové vývěvy.
Přednáška 6 Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy, šroubové vývěvy. Vývěvy Základní rozdělení: transportní přenášejí molekuly od vstupního hrdla k výstupnímu
VíceF4160. Vakuová fyzika 1. () F / 23
F4160 Vakuová fyzika 1 Pavel Slavíček email: ps94@sci.muni.cz () F4160 1 / 23 Osnova: Úvod a historický vývoj Volné plyny statický stav plynů dynamický stav plynů Získávání vakua - vývěvy s transportem
VíceSorpční vývěvy. 1. Vývěvy využívající fyzikální adsorpce (kryogenní vývěvy)
Sorpční vývěvy Využívají adsorpce, tedy vazby molekul na povrch pevných látek. Lze je rozdělit do dvou skupin:. vývěvy využívající fyzikální adsorpce. vývěvy využívající chemisorpce. Vývěvy využívající
VíceMěření vakua. Vacuum Technology J.Šandera, FEEC, TU Brno 1
Měření vakua Je třeba měřit vakuum ve velkém rozsahu (10-10 až 10 5 Pa) Používají se mechanické a elektrické principy Co požadujeme po vakuometrech: - absolutní měření a nezávislost údaje na druhu plynu
VíceVakuová fyzika 1 1 / 40
Měření tlaku Měření celkových tlaků Měření parciálních tlaků Rozdělení měřících metod Vakuová fyzika 1 1 / 40 Absolutní metody - hodnota tlaku je určena přímo z údaje měřícího přístroje, nebo výpočtem
VíceKOMPRESORY F 1 F 2. F 3 V 1 p 1. V 2 p 2 V 3 p 3
KOMPRESORY F 1 F 2 F 3 V 1 p 1 V 2 p 2 V 3 p 3 1 KOMPRESORY V kompresorech se mění mechanická nebo kinetická energie v energii tlakovou, při čemž se vyvíjí teplo. Kompresory jsou stroje tepelné, se zřetelem
VíceVakuové tepelné zpracování
Vakuové tepelné zpracování Výhody vakuového TZ Prakticky neexistuje oxidace - bez znatelného ovlivnění, leštěný povrch zůstává lesklý. Nízká spotřeba energie - malé tepelné ztráty. Vakuové pece bývají
Více3. VÁZANÉ P L Y N Y... 81
Obsah PŘEDMLUVA... 12 L Ú V O D...' ' ' ' ' 14 1.1. Problematika nízkých tlaků... 14 1.2. V akuum... 14 1.3. Význam vysokého vakua pro vědu, techniku a prům ysl... 14 1.4. Využiti vysokého a velmi vysokého
VícePrimární etalon pro měření vysokého a velmi vysokého vakua
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV MIKROELEKTRONIKY FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF
VíceVybrané technologie povrchového zpracování. Vakuové tepelné zpracování Doc. Ing. Karel Daďourek 2006
Vybrané technologie povrchového zpracování Vakuové tepelné zpracování Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Výhody vakuového tepelného zpracování Prakticky neexistuje oxidace - povrchy jsou bez znatelného ovlivnění,
VícePopis výukového materiálu
Popis výukového materiálu Číslo šablony III/2 Číslo materiálu VY_32_INOVACE_ SZ _ 20. 12. Autor: Ing. Luboš Veselý Datum vypracování: 28. 02. 2013 Předmět, ročník Tematický celek Téma Druh učebního materiálu
VíceReferát z atomové a jaderné fyziky. Detekce ionizujícího záření (principy, technická realizace)
Referát z atomové a jaderné fyziky Detekce ionizujícího záření (principy, technická realizace) Měřicí a výpočetní technika Šimek Pavel 5.7. 2002 Při všech aplikacích ionizujícího záření je informace o
VíceStřední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hustopeče, Masarykovo nám. 1
Číslo projektu Číslo materiálu Název školy CZ.1.07/1.5.00/34.0394 VY_32_INOVACE_15_OC_1.01 Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hustopeče, Masarykovo nám. 1 Autor Tématický celek Ing. Zdenka
VíceZákladní pojmy. p= [Pa, N, m S. Definice tlaku: Síla působící kolmo na jednotku plochy. diference. tlaková. Přetlak. atmosférický tlak. Podtlak.
Základní pojmy Definice tlaku: Síla působící kolmo na jednotku plochy F p= [Pa, N, m S 2 ] p Přetlak tlaková diference atmosférický tlak absolutní tlak Podtlak absolutní nula t 2 ozdělení tlakoměrů Podle
VíceF6450. Vakuová fyzika 2. Vakuová fyzika 2 1 / 32
F6450 Vakuová fyzika 2 Pavel Slavíček email: ps94@sci.muni.cz Vakuová fyzika 2 1 / 32 Osnova Vázané plyny Sorpční vývěvy kryogenní zeolitové sublimační iontové getrové - vypařované, nevypařované (NEG)
VíceUniverzita Palackého v Olomouci Přírodovědecká fakulta Katedra experimentální fyziky DIPLOMOVÁ PRÁCE
Univerzita Palackého v Olomouci Přírodovědecká fakulta Katedra experimentální fyziky DIPLOMOVÁ PRÁCE Techniky získávání nízkých tlaků v experimentálních aparaturách, měření vakua Autor: Radek Pavlačka
VíceEXPERIMENTÁLNÍ METODY I. 4. Měření tlaků
FSI VUT v Brně, Energetický ústav Odbor termomechaniky a techniky prostředí prof. Ing. Milan Pavelek, CSc. EXPERIMENTÁLNÍ METODY I OSNOVA 4. KAPITOLY Úvod do problematiky měření tlaků Kapalinové tlakoměry
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VíceTransportní vývěvy. Mechanické vývěvy. 1. Pístová vývěva
Transportní vývěvy Mechanické vývěvy Základem těchto vývěv je pracovní komora, periodicky zvětšující a zmenšující svůj objem. Historicky nejstarší vývěva tohoto typu je: 1. Pístová vývěva Výpočet čerpací
VíceIntegrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673, Slaný
Označení materiálu: VY_32_INOVACE_STEIV_FYZIKA2_12 Název materiálu: Elektrický proud v plynech. Tematická oblast: Fyzika 2.ročník Anotace: Prezentace slouží k výkladu elektrického proudu v plynech. Očekávaný
VícePrincipy chemických snímačů
Principy chemických snímačů Název školy: SPŠ Ústí nad Labem, středisko Resslova Autor: Ing. Pavel Votrubec Název: VY_32_INOVACE_05_AUT_99_principy_chemickych_snimacu.pptx Téma: Principy chemických snímačů
VíceTento dokument vznikl v rámci projektu Využití e-learningu k rozvoji klíčových kompetencí reg. č.: CZ.1.07/1.1.38/01.0021.
Tento dokument vznikl v rámci projektu Využití e-learningu k rozvoji klíčových kompetencí reg. č.: CZ.1.07/1.1.38/01.0021. Stroje na dopravu kapalin Čerpadla jsou stroje, které dopravují kapaliny a kašovité
VícePlazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
VíceExperimentální metody EVF I.: Vysokovakuová čerpací jednotka
Experimentální metody EVF I.: Vysokovakuová čerpací jednotka Vypracovali: Štěpán Roučka, Jan Klusoň, Vratislav Krupař Zadání Seznámit se s obsluhou vysokovakuové aparatury čerpané rotační a difúznívývěvouauvéstjidochodu.
VíceROZDĚLENÍ PODLE VELIKOSTI
MĚŘENÍ TLAKU 1 ROZDĚLENÍ TLAKU p = ROZDĚLENÍ PODLE VELIKOSTI : Podtlak Přetlak tlak určitého prostředí proti normálnímu atmosférickému okolí ROZDĚLENÍ PODLE CHARAKTERU : Atmosférický tlak = Tlak barometrický
VíceAnemometrie - žhavené senzory
Anemometrie - žhavené senzory Fyzikální princip metody Metoda je založena na ochlazování žhaveného senzoru proudícím médiem. Teplota senzoru: 50 300 C Ochlazování závisí na: Vlastnostech senzoru Fyzikálních
Více(elektrickým nebo spalovacím) nebo lidskou #9. pro velké tlaky a menší průtoky
zapis_hydraulika_cerpadla - Strana 1 z 6 10. Čerpadla (#1 ) v hydraulických zařízeních slouží jako zdroj - také jim říkáme #2 #3 obecně slouží na #4 (čerpání, vytlačování) kapalin z jednoho místa na druhé
VíceVolba vhodného typu mísiče může být ovlivněna následujícími podmínkami
MÍSENÍ ZRNITÝCH LÁTEK Mísení zrnitých látek je zvláštním případem míchání. Zrnité látky mohou být konglomerátem několika chemických látek. Z tohoto důvodu obvykle bývá za složku směsí považován soubor
Více2010 Brno. Hydrotermická úprava dřeva - cvičení vnější parametry sušení
2010 Brno 06 - cvičení vnější parametry sušení strana 2 Proč určujeme parametry prostředí? správné řízení sušícího procesu odvislné na správném řízení naplánovaného sušícího procesu podle naměřených hodnot
Víceiglidur UW500 Pro horké tekutiny iglidur UW500 Pro použití pod vodou při vysokých teplotách Pro rychlé a konstantní pohyby
Pro horké tekutiny iglidur Pro použití pod vodou při vysokých teplotách Pro rychlé a konstantní pohyby 341 iglidur Pro horké tekutiny. Kluzná pouzdra iglidur byla vyvinuta pro aplikace pod vodou při teplotách
VíceMol. fyz. a termodynamika
Molekulová fyzika pracuje na základě kinetické teorie látek a statistiky Termodynamika zkoumání tepelných jevů a strojů nezajímají nás jednotlivé částice Molekulová fyzika základem jsou: Látka kteréhokoli
VíceMěření charakteristik fotocitlivých prvků
Měření charakteristik fotocitlivých prvků Úkol : 1. Určete voltampérovou charakteristiku fotoodporu při denním osvětlení a při osvětlení E = 1000 lx. 2. Určete voltampérovou charakteristiku fotodiody při
VíceRegulační pohony. Radomír MENDŘICKÝ. Regulační pohony
Radomír MENDŘICKÝ 1 Pohony posuvů obráběcích strojů (rozdělení elektrických pohonů) Elektrické pohony Lineární el. pohon Rotační el. pohon Asynchronní lineární Synchronní lineární Stejnosměrný Asynchronní
VíceLOPATKOVÉ STROJE LOPATKOVÉ STROJE
Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STROJÍRENSTVÍ ČTVRTÝ BIROŠČÁKOVÁ I. 22. 11. 2013 Název zpracovaného celku: LOPATKOVÉ STROJE LOPATKOVÉ STROJE Lopatkové stroje jsou taková zařízení, ve kterých dochází
VíceOběhová čerpadla R2CE(D) - R4CE(D) s frekvenčním měničem
Oběhová čerpadla R2CE(D) - R4CE(D) s frekvenčním měničem Samostatná a zdvojená elektronicky řízená oběhová čerpadla vhodná do topných systémů. Čerpadla jsou dalším krokem v inovativní technologii CPS,
VíceSTEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.
STEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Plyny jsou tvořeny elektricky neutrálními molekulami. Proto jsou za
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace
DOUTNAVÝ VÝBOJ 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace Doutnavý výboj Připomeneme si voltampérovou charakteristiku výboje v plynech : Doutnavý výboj Připomeneme si, jaké
Víceiglidur H2 Nízká cena iglidur H2 Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty
Nízká cena iglidur Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty 399 iglidur Nízká cena. Pro aplikace s vysokými požadavky na teplotní odolnost. Může být podmíněně
VíceZáklady elektrotechniky
Základy elektrotechniky Přednáška Stejnosměrné stroje 1 Konstrukční uspořádání stejnosměrného stroje 1 - hlavní póly 5 - vinutí rotoru 2 - magnetický obvod statoru 6 - drážky rotoru 3 - pomocné póly 7
VíceMECHANICKÉ PŘEVODOVKY S KONSTANTNÍM PŘEVODOVÝM POMĚREM
MECHANICKÉ PŘEVODOVKY S KONSTANTNÍM PŘEVODOVÝM POMĚREM Vysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích Institute of Technology And Business In České Budějovice Tento učební materiál vznikl v
VíceObloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141
Obloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141 Při svařování metodou 141 hoří oblouk mezi netavící se elektrodou a základním matriálem. Ochranu elektrody i tavné lázně před
VíceFYZIKÁLNÍ PRAKTIKUM FJFI ČVUT V PRAZE. Úloha 11: Termická emise elektronů
FYZIKÁLNÍ PRAKTIKUM FJFI ČVUT V PRAZE Datum měření: 15.4.2011 Jméno: Jakub Kákona Pracovní skupina: 4 Ročník a kroužek: Pa 9:30 Spolupracovníci: Jana Navrátilová Hodnocení: Úloha 11: Termická emise elektronů
VíceTeplotně a chemicky odolný, FDA kompatibilní iglidur A500
Teplotně a chemicky odolný, FDA kompatibilní Produktová řada Samomazný a bezúdržbový Je v souladu s předpisy FDA (Food and Drug Administration) Pro přímý kontakt s potravinami a léčivy Teplotní odolnost
VíceFyzika je přírodní věda, která zkoumá a popisuje zákonitosti přírodních jevů.
Fyzika je přírodní věda, která zkoumá a popisuje zákonitosti přírodních jevů. Násobky jednotek název značka hodnota kilo k 1000 mega M 1000000 giga G 1000000000 tera T 1000000000000 Tělesa a látky Tělesa
VíceDOPRAVNÍ A ZDVIHACÍ STROJE
OBSAH 1 DOPRAVNÍ A ZDVIHACÍ STROJE (V. Kemka).............. 9 1.1 Zdvihadla a jeřáby....................................... 11 1.1.1 Rozdělení a charakteristika zdvihadel......................... 11 1.1.2
VíceNázev zpracovaného celku: Spojky
Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: Silniční vozidla třetí NĚMEC V. 5.5.2013 Název zpracovaného celku: Spojky Spojka je mechanismus zajišťující spojení hnací a hnané hřídele, případně umožňující krátkodobé
VíceAnomální doutnavý výboj
Anomální doutnavý výboj Výboje v plynech ve vakuu Základní procesy ve výboji Odprašování dopadající kladné ionty vyrážejí z katody částice, tím dochází k úbytku hmoty katody a zmenšování rozměrů. Odprašování
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceVítězslav Bártl. květen 2013
VY_32_INOVACE_VB16_K Jméno autora výukového materiálu Datum (období), ve kterém byl VM vytvořen Ročník, pro který je VM určen Vzdělávací oblast, vzdělávací obor, tematický okruh, téma Anotace Vítězslav
VícePopis výukového materiálu
Popis výukového materiálu Číslo šablony III/2 Číslo materiálu VY_52_INOVACE_ SZ_20. 8 Autor: Ing. Luboš Veselý Datum vytvoření: 14. 02. 2013 Předmět, ročník Tematický celek Téma Druh učebního materiálu
VíceCW01 - Teorie měření a regulace
Ústav technologie, mechanizace a řízení staveb CW01 - Teorie měření a regulace ZS 2012/2013 8.8 2014 - Ing. Václav Rada, CSc. Ústav technologie, mechanizace a řízení staveb Teorie měření a regulace měření
VíceÚvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství.
Laserové kalení Úvod Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství. poslední době se začínají komerčně prosazovat
Více3. Výroba stlačeného vzduchu - kompresory
echatronika 02 - Pneumatika 1 z 5 3. Výroba stlačeného - kompresory Kompresory jsou stroje ke stlačování (kompresi), neboli zvýšení jeho tlaku Mění mechanickou energii motoru (otáčivého pohybu) na tlakovou
VíceÚvod. Rozdělení podle toku energie: Rozdělení podle počtu fází: Rozdělení podle konstrukce rotoru: Rozdělení podle pohybu motoru:
Indukční stroje 1 konstrukce Úvod Indukční stroj je nejpoužívanější a nejrozšířenější elektrický točivý stroj a jeho význam neustále roste (postupná náhrada stejnosměrných strojů). Rozdělení podle toku
Více20. května Abstrakt. (nejčastěji polovodiče a pokovování plastů). Zcela běžně jsou v provozech zavedeny vakuové destilace a filtrace, nebo
Měření charakteristik vakuové aparatury pomocí různých vývěv 20. května 2015 Abstrakt Cílem úlohy je sestavit vakuovou aparaturu s použitím různých vakuových vývěv a změřit základní charakteristiky této
VíceMODERNÍ TECHNOLOGIE A DLOUHOLETÁ ZKUŠENOST
MODERNÍ TECHNOLOGIE A DLOUHOLETÁ ZKUŠENOST RV, RK VODOKRUŽNÉ VÝVĚVY A KOMPRESORY SIGMA PUMPY HRANICE, s.r.o. Tovární č.p. 65, 5 Hranice I - Město, Česká republika tel.: 5 66, fax: 5 66 e-mail: sigmapumpy@sigmapumpy.com
VícePlazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec
Plazmové svařování a dělení materiálu Jaromír Moravec 1 Definice plazmatu Definice plazmatu je následující: Plazma je kvazineutrální soubor částic s volnými nosiči nábojů, který vykazuje kolektivní chování.
VíceNávod k montáži Senzor vlhkosti oleje LDH100 706104/01 08/2013
Návod k montáži Senzor vlhkosti oleje LDH100 706104/01 08/2013 Obsah 1 Poznámka na úvod 3 1.1 Použité symboly 3 2 Bezpečnostní pokyny 3 3 Použití z hlediska určení 4 3.1 Oblast nasazení 4 4 Funkce 5 4.1
VíceSpeciální metody obrábění
Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: Základy výroby druhý M. Geistová 6. září 2012 Název zpracovaného celku: Speciální metody obrábění Speciální metody obrábění Použití: je to většinou výkonné beztřískové
VíceElektřina a magnetizmus závěrečný test
DUM Základy přírodních věd DUM III/2-T3-20 Téma: závěrečný test Střední škola Rok: 2012 2013 Varianta: TEST - A Zpracoval: Mgr. Pavel Hrubý a Mgr. Josef Kormaník TEST Elektřina a magnetizmus závěrečný
VíceMgr. Ladislav Blahuta
Mgr. Ladislav Blahuta Střední škola, Havířov-Šumbark, Sýkorova 1/613, příspěvková organizace Tento výukový materiál byl zpracován v rámci akce EU peníze středním školám - OP VK 1.5. Výuková sada ZÁKLADNÍ
VíceROZDĚLENÍ SNÍMAČŮ, POŽADAVKY KLADENÉ NA SNÍMAČE, VLASTNOSTI SNÍMAČŮ
ROZDĚLENÍ SNÍMAČŮ, POŽADAVKY KLADENÉ NA SNÍMAČE, VLASTNOSTI SNÍMAČŮ (1.1, 1.2 a 1.3) Ing. Pavel VYLEGALA 2014 Rozdělení snímačů Snímače se dají rozdělit podle mnoha hledisek. Základním rozdělení: Snímače
VíceSvafiování elektronov m paprskem
Svafiování elektronov m paprskem Svařování svazkem elektronů je proces tavného svařování, při kterém se kinetická energie rychle letících elektronů mění na tepelnou při dopadu na povrch svařovaného materiálu.
Více6. Měření veličin v mechanice tuhých a poddajných látek
6. Měření veličin v mechanice tuhých a poddajných látek Pro účely měření mechanických veličin (síla, tlak, mechanický moment, změna polohy, rychlost změny polohy, amplituda, frekvence a zrychlení mechanických
VícePlyn. 11 plynných prvků. Vzácné plyny. He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn Diatomické plynné prvky H 2, N 2, O 2, F 2, Cl 2
Plyny Plyn T v, K Vzácné plyny 11 plynných prvků He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn 165 Rn 211 N 2 O 2 77 F 2 90 85 Diatomické plynné prvky Cl 2 238 H 2, N 2, O 2, F 2, Cl 2 H 2 He Ne Ar Kr Xe 20 4.4 27 87 120 1 Plyn
VíceSystémy analogových měřicích přístrojů
Systémy analogových měřicích přístrojů Analogové měřicí přístroje obsahují elektromechanická ústrojí, která využívají magnetických, tepelných či dynamických účinků elektrického proudu nebo účinků elektrostatického
VíceTEPELNÉ JEVY. Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Tercie
TEPELNÉ JEVY Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Tercie Vnitřní energie tělesa Každé těleso se skládá z látek. Látky se skládají z částic. neustálý neuspořádaný pohyb kinetická energie vzájemné působení
VíceVY_32_INOVACE_C 08 19. hřídele na kinetickou a tlakovou energii kapaliny. Poháněny bývají nejčastěji elektromotorem.
Název a adresa školy: Střední škola průmyslová a umělecká, Opava, příspěvková organizace, Praskova 399/8, Opava, 74601 Název operačního programu: OP Vzdělávání pro konkurenceschopnost, oblast podpory 1.5
VíceKonstrukční zásady návrhu polohových servopohonů
Konstrukční zásady návrhu polohových servopohonů Radomír Mendřický Elektrické pohony a servomechanismy 2.6.2015 Obsah prezentace Kinematika polohových servopohonů Zásady pro návrh polohových servopohonů
VícePohonné systémy OS. 1.Technické principy 2.Hlavní pohonný systém
Pohonné systémy OS 1.Technické principy 2.Hlavní pohonný systém 1 Pohonný systém OS Hlavní pohonný systém Vedlejší pohonný systém Zabezpečuje hlavní řezný pohyb Rotační Přímočarý Zabezpečuje vedlejší řezný
Více3. Výroba stlačeného vzduchu - kompresory
zapis_pneumatika_kompresory - Strana 1 z 6 3. Výroba stlačeného vzduchu - kompresory Kompresory jsou stroje ke stlačování ( #1 ) vzduchu, neboli zvýšení jeho tlaku Mění mechanickou energii motoru (otáčivého
VíceTento dokument vznikl v rámci projektu Zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Registrační číslo: CZ.1.07/1.5.00/34.0459.
Tento dokument vznikl v rámci projektu Zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Registrační číslo: CZ.1.07/1.5.00/34.0459 Autor: Ing. Jaroslav Zikmund Datum vytvoření: 2. 11. 2012 Ročník: II. Předmět: Motorová
VíceZdroje optického záření
Metody optické spektroskopie v biofyzice Zdroje optického záření / 1 Zdroje optického záření tepelné výbojky polovodičové lasery synchrotronové záření Obvykle se charakterizují zářivostí (zářivý výkon
VícePřednáška 5. Martin Kormunda
Přednáška 5 Metody získávání nízkých tlaků : čerpací rychlost, časový průběh čerpacího procesu, mezní tlak, zbytková atmosféra, rozdělení tlaku v systému při čerpání. Zásady návrhu vakuových systémů. Metody
VíceBez PTFE a silikonu iglidur C. Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost
Bez PTFE a silikonu iglidur Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost HENNLIH s.r.o. Tel. 416 711 338 Fax 416 711 999 lin-tech@hennlich.cz www.hennlich.cz 613 iglidur Bez PTFE a
VíceOVĚŘOVACÍ TEST l ZÁKLADNÍ
OVĚŘOVACÍ TEST l ZÁKLADNÍ 1. Speciálním vozidlem se rozumí drážní vozidlo (vyhláška č. 173/95 Sb. ve znění pozdějších předpisů) pro údržbu a opravy trolejového vedení, vybavené vlastním pohonem a speciálním
VícePro vysoké rychlosti iglidur L250
Pro vysoké rychlosti Produktová řada Pro rotační aplikace Velmi nízký koeficient tření Vynikající odolnost proti opotřebení HENNLICH s.r.o. Tel. 416 711 338 Fax 416 711 999 lin-tech@hennlich.cz www.hennlich.cz
VíceSTEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.
STEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Plyny jsou tvořeny elektricky neutrálními molekulami. Proto jsou za
VíceVnitřní energie. Teplo. Tepelná výměna.
Vnitřní energie. Teplo. Tepelná výměna. A) Výklad: Vnitřní energie vnitřní energie označuje součet celkové kinetické energie částic (tj. rotační + vibrační + translační energie) a celkové polohové energie
VíceVysoké teploty, univerzální
Vysoké teploty, univerzální Vynikající koeficient tření na oceli Trvalá provozní teplota do +180 C Pro střední a vysoké zatížení Zvláště vhodné pro rotační pohyb HENNLICH s.r.o. Tel. 416 711 338 Fax 416
VíceTest vlastnosti látek a periodická tabulka
DUM Základy přírodních věd DUM III/2-T3-2-08 Téma: Test vlastnosti látek a periodická tabulka Střední škola Rok: 2012 2013 Varianta: A Zpracoval: Mgr. Pavel Hrubý Mgr. Josef Kormaník TEST Test vlastnosti
VíceHydrodynamické mechanismy
Hydrodynamické mechanismy Pracují s kapalným médiem (hydraulická kapalina na bázi ropného oleje) a využívají silových účinků, které provázejí změny proudění kapaliny. Zařazeny sem jsou pouze mechanismy
VíceRV, RK SIGMA PUMPY HRANICE A KOMPRESORY 426 2.98 71.01
SIGMA PUMPY HRANICE VODOKRUŽNÉ VÝVĚVY A KOMPRESORY RV, RK SIGMA PUMPY HRANICE, s.r.o. Tovární 65, 75 Hranice tel.: 6/6, fax: 6/ 57 Email: sigmahra@sigmahra.cz 6.9 7. Použití Vývěvy RV se používají v mnoha
Více