Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015
|
|
- Luděk Horáček
- před 8 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června ) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF Masarykovy Univerzity, Brno lenkaz@physics.muni.cz Přednáška shrne základní vlastnosti nízkoteplotního laboratorního plazmatu a představí typy výbojů, které jsou využívány pro plazmochemickou depozice z plynné fáze (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD). Možnosti PECVD technologie pak budou demonstrovány na příkladu depozice diamantových vrstev, tvrdých amorfních uhlíkových vrstev (diamond like carbon, DLC), vrstev na bázi křemíku (amorfní křemík, oxid nebo nitrid křemíku) a polymerů s bioaktivními funkčními skupinami. Kromě výběru prekurzoru a depozičních podmínek pro jednotlivé typy materiálů bude věnována pozornost i pochopení procesů v plynné fázi (homogenní reakce) a procesů souvisejících s růstem vrstvy (heterogenní reakce, vliv iontů dopadajících na substrát). Budou diskutovány i konkrétní aplikace, v nichž se PECVD výše zmíněných materiálů významně uplatňuje. 2) Generování plazmatu za sníženého tlaku Pavel Kudrna, Matematicko-fyzikální fakulta, Karlova Univerzita v Praze Pavel.Kudrna@mff.cuni.cz Rozdělení zdrojů plazmatu - bez magnetického pole a s magnetickým polem, dále podle napájení na stejnosměrné, střídavé popř. vysokofrekvenční nebo i laserové, podle způsobu provozu pulsní či kontinuálně pracující a potom generování aktivního plazmatu a plazma dohasínající. Doutnavý výboj. Výboj s dutou katodou. Plazmatická tryska. Rovinný a válcový magnetron. Dohasínající plazma ve stacionárním a proudícím prostředí. Kapacitně a induktivně buzené plazma. Mikrovlnné rezonátory jako zdroje plazmatu, surfatron. Plazma buzené laserovým pulsem. Hallův plazmový motor. Vakuový oblouk se žhavenou katodou.
2 3) Depozice plazmových polymerů A. Choukourov, O. Kylian, H. Biederman, Matematicko-fyzikální fakulta, Karlova Univerzita v Praze Hynek.Biederman@mff.cuni.cz Šíře materiálů, které je možné nanášet pomocí technologií založených na nerovnovážném plazmatu, je velmi rozsáhlá a zahrnuje jak kovy, či oxidy kovů, tak v neposlední řadě i tzv. plazmové polymery. Termín plazmový polymer označuje materiál, který vzniká jako výsledek průchodu organických plynů nebo par plazmatem. Na rozdíl od klasických polymerů, které obsahují pravidelně se opakující monomerní jednotky, mají plazmové polymery velmi neuspořádanou strukturu, přičemž jednotlivé řetězce jsou velmi krátké, náhodně rozvětvené a ukončené, a vykazují vyšší stupeň zesíťování. Výsledné vlastnosti deponovaných vrstev závisí na mnoha faktorech, jako je například použitý výchozí monomer, tlak, výkon a vzdálenost substrátu od aktivního plazmatu atd. Toto činí přípravu plazmových polymerů relativně složitým procesem. Na druhou stranu velká flexibilita plazmové polymerace dovoluje měnit vlastnosti deponovaných vrstev (chemické složení, morfologie, smáčivost, mechanické vlastnosti atd.) v širokém rozsahu a umožňuje přípravu materiálů s vlastnostmi, které jsou jen velmi obtížně dosažitelné klasickými způsoby polymerace. Cílem této přednášky je podat základní přehled o technikách používaných k přípravě plazmových polymerů (PE-CVD, magnetronové naprašování, plazmatem asistované vypařování ve vakuu) a to jak ve formě tenkých vrstev, nanostrukturovaných vrstev, tak i plasmově polymerizovaných nanočástic. Možné využití takto připravovaných materiálů bude demonstrováno na vybraných příkladech. 4) Tvrdé nanokompozitní vrstvy. Současný stav a trendy. Jindřich Musil, Fakulta aplikovaných věd, Západočeská univerzita v Plzni, Česká republika musil@kfy.zcu.cz Přednáška je rozdělena do pěti částí. První část vysvětluje zvýšenou tvrdost nanokompozitních vrstev. Druhá část je věnována tepelné stabilitě nanokopozitních vrstev a vytváření rtg amorfních vrstev s tepelnou stabilitou a oxidační odolností při teplotách nad 1000 C. Třetí část ukazuje, jak lze vytvořit ohebné tvrdé nanokompozitní vrstvy s vysokou odolností proti jejich praskání při ohybu. Čtvrtá část je věnována ohebným více funkčním antibakteriálním, hydrofobním a opticky transparentním povlakům a ochraně vrstev proti jejich praskání. Pátá část ukazuje klíčovou roli energie dodávané do vrstvy během jejího růstu na její fyzikální a funkční vlastnosti. V závěru jsou naznačeny vybrané trendy dalšího vývoje nových nanokompozitních vrstev s unikátními vlastnostmi.
3 5a) Vliv plazmochemických procesů na čerpací systémy Jiří Kubáň, Vakuum servis s.r.o., Rožnov pod Radhoštěm a) Plasmochemické leptání b) Reaktivní iontové leptání c) Plasmochemické depozice 5b) Návrh vakuových systémů a čerpání pro chemické procesy Iva Jungwirthová, Edwards, Praha iva.jungwirthova@edwardsvacuum.com Přednáška se bude zabývat obecnými pravidly pro návrh vakuových systému při použití chemických látek. Tato pravidla vyplývají z následujících vlastností chemických látek: Toxicita Žíravost Oxidace Hořlavost, samovznícení, výbušnost Vzájemné interakce jednotlivých látek Dále bude pojednáno jednotlivých kategoriích vývěv a jejich kompatibilitě s chemickými procesy: Turbomolekulární vývěvy Olejové rotační vývěvy Kapalinokružní vývěvy Membránové vývěvy Suché vývěvy 6) Příprava aktivních povrchových vrstev pro aplikace v medicíně Marián Lehocký, Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně lehocky@post.cz Přednáška bude věnována popisu přípravy aktivních vrstev na polymerní substráty v nízkotlakém plazmatu, které naleznou uplatnění v medicíně. Samotná příprava probíhá v několika krocích. Prvním krokem je úprava syntetických polymerních materiálů v nízkotlakém radiofrekvenčně buzeném plazmatu ve vhodně zvolené reakční atmosféře, čímž se vytvoří reakční místa. Na takto modifikovaný substrát se naroubuje nízkomolekulární monomer za účelem syntézy tzv. molekulárního hřebene, který je pak dále schopen vázat biologicky aktivní účinné složky. Součástí přednášky bude i charakterizace
4 povrchu materiálů během procesu úpravy i následné ukázky upraveného materiálu ve vztahu k biologicky aktivním účinným složkám. 7) Analytické metody na bázi nízkotlakého doutnavého výboje GD-OES a GD-MS Petr Šmíd, AQura GmbH, Hanau, SRN petr.smid@aqura.de Optická emisní (GD-OES) a hmotnostní (GD-MS) spektrometrie s buzením pomocí doutnavého výboje zaznamenaly prudký rozvoj především v 80. a 90. letech 20. století. V současné době se řadí k etablovaným analytickým technikám pro přímé stanovení prvkového složení látek v pevném stavu. Uvedenými metodami lze provádět jak objemovou analýzu, tak studovat povrchy a hloubkové profily moderních i klasických materiálů. Uvedený přehledový příspěvek se v úvodu bude zabývat fyzikálním principem obou analytických technik, jakož i popisem potřebného přístrojového vybavení. Dále popíše rozsáhlé možnosti ale i hranice těchto analytických metod a na příkladu různých aplikací ukáže užitečnost těchto dvou technik pro průmysl i výzkum a vývoj. Na závěr bude krátce provedeno srovnání s jinými technikami pro přímou analýzu prvkového složení a krátce zmíněno přístrojové vybavení pro GD-OES a GD-MS dostupné v současné době na trhu. 8) Regulační systémy s využití MFC (Mass Flow Controller) Libor Dolák, D-Ex Instruments, Brno ldolak@dex.cz Většina technických oborů se dnes již neobejde bez přímého měření a regulace hmotnostního průtoku kapalných a plynných médií. Každý takový regulační systém se skládá z hmotnostního průtokoměru termického nebo Coriolisova typu a akčního členu tj. proporcinálního regulačního ventilu nebo v případě kapalin zubového čerpadla s možností řízení otáček. PID -regulační funkce je realizována na základní elektronické desce průtokoměru; její výstup zajišťuje optimální ovládání ventilu nebo čerpadla tak, aby při skokové změně žádané hodnoty průtoku bylo dosaženo odezvy v co nejkratším čase a bez zbytečného překmitu. Parametry regulační funkce konstanty P, I, D, jsou optimálně nastaveny podle zadaných procesních podmínek přímo výrobcem MFC (Mass Flow Controller). Současně je uživateli dána možnost parametry P, I, D nastavit podle vlastního uvážení a charakteru regulovaného systému, zejména pokud se jedná o speciální požadavky na regulovaný systém, které např. upřednostňují co nejrychlejší odezvu bez ohledu na případný překmit.
5 Vyráběné kompaktní regulátory hmotn. průtoku (MFC) umožňují okamžité zahájení dávkování po připojení průtokoměru do systému řízení (v nejjednoduším případě k autonomní napájecí a ovládací jednotce) a po připojení ke zdroji média. Velmi často je požadována regulace hmotn. průtoku v součinnosti s regulací tlaku média v prac. komoře, reaktoru apod. V takovém případě lze použít buď samostatný tlakový regulační systém EPC (Electronic Pressure Controller) nebo lze využít společný akční člen tj. regulační proporc. ventil s tím, že vstupní veličinou pro PID funkci je kombinace dvou proměnných průtok a tlak v nastavitelném poměru.
Přehled metod depozice a povrchových
Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical
VíceVytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze
Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Teoretické základy: Plazmochemická depozice z plynné fáze metoda PECVD Rozvoj plazmochemických metod vytváření tenkých
VícePlazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada
Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VícePlazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VícePlazmatické metody pro úpravu povrchů
Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceTenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VíceMikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS
Tribologie Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS vypracoval: Tomáš Píza Obsah - Co je to MEMS - Materiály pro MEMS - Výroba MEMS - Pohon MEMS Co to je MEMS - zkratka z anglických slov Micro-Electro-Mechanical-Systems
VíceNanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková
Přírodovědecká fakulta UJEP Ústí n.l. a Ústecké materiálové centrum na PřF UJEP http://sci.ujep.cz/faculty-of-science.html Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková Kontakt: Doc. RNDr.
VíceZákladní typy článků:
Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,
VíceTECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší
Vícegalvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39
Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857
VíceUniverzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická. Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD.
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně Fakulta technologická Ing. Ondřej Hudeček Ing. Tomáš Sedláček, PhD. 1 Obsah Úvod do problematiky Dostupná technologická zařízení Pracující v podtlaku Pracující při atmosférických
VíceMonika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ
Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ CHARAKTERISTIKY VÝVĚV vývěva = zařízení snižující tlak plynu v uzavřeném objemu parametry: mezní tlak čerpací rychlost pracovní tlak výstupní tlak
VícePlazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
VíceIONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:
Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006
Vybrané technologie povrchových úprav Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Základní parametry vývěv Mezní tlak vývěvy p mez Tlak na výstupu vývěvy, od kterého je schopna funkce p 0 Čerpací schopnost
VíceTechnologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení
VíceIradiace tenké vrstvy ionty
Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,
VícePřednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD
Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven
VíceTENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením)
TENKÉ VRSTVY Lze připravit : 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) Metody fyzikální (Physical Vapor Deposition PVD) Metody chemické (Chemical Vapor Deposition-
VíceMASARYKOVA UNIVERZITA
MASARYKOVA UNIVERZITA Přírodovědecká fakulta Ústav fyzikální elektroniky BAKALÁŘSKÁ PRÁCE Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev Václav Pekař Vedoucí bakalářské práce: Mgr. Lenka Zajíčková,
VíceVývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru
Vývěvy s transportem molekul z čerpaného prostoru Paroproudové vývěvy Molekuly plynu získávají dodatečnou rychlost ve směru čerpání prostřednictvím proudu pracovní látky(voda, pára, plyn). Většinou je
VíceLasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika
Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury
VíceNano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ
Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Hi-tech Nano a mikro technologie v chemickém inženýrství umožňují: Samočisticí
VíceElektřina: Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.
Elektřina pro bakalářské obory Elektron ( v antice ) =?? Petr Heřman Ústav biofyziky, K.LF Elektron ( v antice ) = jantar Jak souvisí jantar s elektřinou?? Jak souvisí jantar s elektřinou: Mechanické působení
VíceGas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011
Gas Discharges Overview of Different Types Jan Voráč ÚFE 14. listopadu 2011 Obrázky použité v této prezentaci jsou nestoudně ukradeny z internetu, z archivů pracovníků ÚFE MU, ze skript Základy fyziky
VíceElektřina. Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.
Elektrostatika: Elektřina pro bakalářské obory Souvislost a analogie s mechanikou. Elektron ( v antice ) =?? Petr Heřman Ústav biofyziky, UK.LF Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou. Elektron
VíceANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ
Středoškolská technika 2019 Setkání a prezentace prací středoškolských studentů na ČVUT ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ Jakub Chlaň, Matouš Hyk, Lukáš Procházka Střední škola elektrotechniky
VíceNávrhy bakalářských prací pro akademický rok 2019/2020
Návrhy bakalářských prací pro akademický rok 2019/2020 Téma č. 1 Kryogenní zpracování slinutých karbidů Ing. Vojtěch Průcha Téma č. 2 Porušování korozí pod napětím v prostředí nízkotlaké páry Ing. Jaromír
VíceNahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování. Počítačová simulace procesu
Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování Počítačová simulace procesu Magnetronové naprašování princip metody vývoj technologie Magnetronové naprašování princip metody Zdroj: Jan Valter,
VíceTenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností
Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti
VíceFYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA
FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody
VíceHmotnostní spektrometrie
Hmotnostní spektrometrie Princip: 1. Ze vzorku jsou tvořeny ionty na úrovni molekul, nebo jejich zlomků (fragmentů), nebo až volných atomů dodáváním energie, např. uvolnění atomů ze vzorku nebo přímo rozštěpení
VíceKonstrukce vakuových zařízení
Konstrukce vakuových zařízení Základní parametry vývěv Mezní tlak vývěvy p mez Tlak na výstupu vývěvy, od kterého je schopná funkce p 0 (je schopná pracovat od atmosférického tlaku?) Čerpací schopnost
VíceAnomální doutnavý výboj
Anomální doutnavý výboj Výboje v plynech ve vakuu Základní procesy ve výboji Odprašování dopadající kladné ionty vyrážejí z katody částice, tím dochází k úbytku hmoty katody a zmenšování rozměrů. Odprašování
VícePlynové lasery pro průmyslové využití
Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.3 Plynové lasery pro průmyslové využití Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Využití plynových laserů v průmyslových aplikacích Atomární - He-Ne
VíceFyzikální metody depozice KFY / P223
Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování
VíceKatedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev
Chemické metody přípravy vrstev Metoda sol-gel Historie nejstarší příprava silikagelu 1939 patent na výrobu antireflexních vrstev na fotografické čočky 60. léta studium vrstev SiO 2 a TiO 2 70. léta výroba
VíceSYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH
Západočeská univerzita v Plzni SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH Antonín Kříž Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, e-mail: kriz@kmm.zcu.cz Tento příspěvek vznikl na základě řešení
VíceMěřicí princip hmotnostních průtokoměrů
Měřicí princip hmotnostních průtokoměrů 30.7.2006 Petr Komp 1 Úvod Department once on the title page Co to je hmotnostní průtokoměr? Proč měřit hmotnostní průtok? Měření hmotnostního průtoku s využitím
VíceTVORBA MOTIVŮ TENKOVRSTVÝMI METODAMI
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV ELEKTROTECHNOLOGIE FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF
VíceMetody depozice povlaků - CVD
Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční
VíceKatedra materiálu.
Katedra materiálu Vedoucí katedry: prof. Ing. Petr Louda, CSc. Zástupce vedoucího katedry: doc. Ing. Dora Kroisová, Ph.D. Tajemnice katedry: Ing. Daniela Odehnalová http://www.kmt.tul.cz/ EF TUL, Gaudeamus
VíceÚvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.
Aktivní prostředí v plynné fázi. Plynové lasery Inverze populace hladin je vytvářena mezi energetickými hladinami některé ze složek plynu - atomy, ionty nebo molekuly atomární, iontové, molekulární lasery.
VíceKAN ( ) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně
Akademie věd České republiky Nanotechnologie pro společnost Ústav jaderné fyziky AV ČR Jiří Vacík KAN 400480701 (2007 2011) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně
VícePlazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying
Plazmové depozice povlaků Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmový nástřik patří do kategorie žárových nástřiků. Žárový nástřik je částicový proces vytváření povlaků o tloušťce obvykle větší než 50 µm,
VíceVyužití technologie Ink-jet printing pro přípravu mikro a nanostruktur II.
Ústav fyziky a měřicí techniky Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Využití technologie Ink-jet printing pro přípravu mikro a nanostruktur II. Výrobci, specializované technologie a aplikace Obsah
VíceNanogrant KAN ( )
Nanogrant KAN400480701 (2007 2011) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně Ústav jaderné fyziky AV ČR, Mgr. Jiří Vacík, CSc., koordinátor projektu ( Výroční seminář
VíceStudentská 1402/2 461 17 Liberec 1 tel.: +420 485 353 006 cxi.tul.cz. Technologická zařízení
Technologická zařízení Oddělení prototypových technologií a procesů 3D tiskárna Objet Connex 500 Systém od firmy Objet je určen pro výrobu rozměrných a přesných modelů. Maximální rozměry modelů: 490 x
VíceTest vlastnosti látek a periodická tabulka
DUM Základy přírodních věd DUM III/2-T3-2-08 Téma: Test vlastnosti látek a periodická tabulka Střední škola Rok: 2012 2013 Varianta: A Zpracoval: Mgr. Pavel Hrubý Mgr. Josef Kormaník TEST Test vlastnosti
VíceChemické metody přípravy tenkých vrstev
Chemické metody přípravy tenkých vrstev verze 2013 Povrchové filmy monomolekulární Langmuirovy filmy PAL (povrchově aktivní látky) na polární kapalině (vodě), 0,205 nm 2 na 1 molekulu, tloušťka dána délkou
VícePřevodník tlaku P30 / P31
PMA a Company of WEST Control Solutions Převodník tlaku P30 / P31 Rozsahy 0...1 bar až do 0...400 bar Dvouvodičové zapojení s výstupem 4...20 ma nebo třívodičové s výstupem 0..10 V Přetížení až 4-násobek
VíceZlepšení Viskositního Indexu pomocí polymerů.
Zlepšení Viskositního Indexu pomocí polymerů. Zlepšení indexu viskozity pomocí polymerů (VII) se používá ke změně přírodních viskozitních vlastností základových olejů: jedná se o oleje rozpustné s polymery
VíceFyzikální metody nanášení tenkých vrstev
Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace
DOUTNAVÝ VÝBOJ 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace Doutnavý výboj Připomeneme si voltampérovou charakteristiku výboje v plynech : Doutnavý výboj Připomeneme si, jaké
VíceF4160. Vakuová fyzika 1. () F / 23
F4160 Vakuová fyzika 1 Pavel Slavíček email: ps94@sci.muni.cz () F4160 1 / 23 Osnova: Úvod a historický vývoj Volné plyny statický stav plynů dynamický stav plynů Získávání vakua - vývěvy s transportem
VíceCHEMICKÁ A BIOLOGICKÁ KOROZE STAVEBNÍCH HMOT... Biologická koroze (biokoroze) obecně Základní pojmy, členění, charakteristika Podmínky pro působení
CHEMICKÁ A BIOLOGICKÁ KOROZE STAVEBNÍCH HMOT... Biologická koroze (biokoroze) obecně Základní pojmy, členění, charakteristika Podmínky pro působení biodeteriogenů Biokoroze stavebních materiálů Vznik a
Víceruvzdorné povlaky endoprotéz Otěruvzdorn Obsah TRIBOLOGIE Otěruvzdorné povlaky endoprotéz Fakulta strojního inženýrství
Otěruvzdorn ruvzdorné povlaky endoprotéz Obsah Základní části endoprotéz Požadavky na materiály Materiály endoprotéz Keramické povlaky DLC povlaky MPC povlaky Metody vytváření povlaků Testy povlaků Závěr
VíceTenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické
VíceHmotnostní spektrometrie. Historie MS. Schéma MS
Hmotnostní spektrometrie MS mass spectrometry MS je analytická technika, která se používá k měření poměru hmotnosti ku náboji (m/z) u iontů původně studium izotopového složení dnes dynamicky se vyvíjející
VíceVakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev
VíceTENKOVRSTVÁ TECHNOLOGIE HYDROGENOVANÉHO KŘEMÍKU PRO FOTOVOLTAICKÉ APLIKACE. oddělení tenkých vrstev F Y Z I K Á L N Í Ú S T A V A V Č R P R A H A
TENKOVRSTVÁ TECHNOLOGIE HYDROGENOVANÉHO KŘEMÍKU PRO FOTOVOLTAICKÉ APLIKACE J I Ř Í S T U C H L Í K oddělení tenkých vrstev F Y Z I K Á L N Í Ú S T A V A V Č R P R A H A Oddělení tenkých vrstev FZÚ O B
VíceNanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a
VíceDiamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad
České vysoké učení technické v Praze Fakulta biomedicínského inženýrství Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad Ing. Petr Písařík petr.pisarik@fbmi.cvut.cz Kladno Listopad 2010 Cíl
Více1. Řešitelský kolektiv: VŠCHT Praha: Prof. Dr. Ing. Josef Krýsa Ing. Jiří Zita, PhD Ing. Martin Zlámal
Příloha - Závěrečná zpráva - Centralizovaný projekt č. C40: Laboratoř pro přípravu a testování samočisticích vlastností tenkých nanočásticových vrstev Program na podporu vzájemné spolupráce vysokých škol
VíceUniverzita Karlova v Praze Matematicko-fyzikální fakulta DIPLOMOVÁ PRÁCE. Martin Petr
Univerzita Karlova v Praze Matematicko-fyzikální fakulta DIPLOMOVÁ PRÁCE Martin Petr Příprava hydrofobních flurouhlíkových vrstev pomocí metod plazmové polymerace Katedra makromolekulární fyziky Vedoucí
VíceÚvod do fyziky plazmatu
Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování
DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem
VíceObloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141
Obloukové svařování wolframovou elektrodou v inertním plynu WIG (TIG) - 141 Při svařování metodou 141 hoří oblouk mezi netavící se elektrodou a základním matriálem. Ochranu elektrody i tavné lázně před
VícePlazmové metody. Co je to plazma? Jak se uplatňuj. ují plazmové metody v technice?
Plazmové metody Co je to plazma? Jak se uplatňuj ují plazmové metody v technice? Co je to plazma? Plazma je látkové skupenství hmoty, ČTVRTÉ skupenství a vykazuje určité specifické vlastnosti. (správně
VícePotravinářské aplikace
Potravinářské aplikace Nanodisperze a nanokapsle Funkční složky (např. léky, vitaminy, antimikrobiální prostředky, antioxidanty, aromatizující látky, barviva a konzervační prostředky) jsou základními složkami
VíceCOMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
POROVNÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT S VELICE ROZDÍLNOU ODOLNOSTÍ PŘI INDENTAČNÍCH ZKOUŠKÁCH COMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS Matyáš Novák,
VíceKalení Pomocí laserového paprsku je možné rychle a kvalitně tepelně zušlechtit povrch materiálu až do hloubek v jednotkách milimetrů.
Kalení Pomocí laserového paprsku je možné rychle a kvalitně tepelně zušlechtit povrch materiálu až do hloubek v jednotkách milimetrů. Výhody laserového kalení: Nižší energetická náročnost (kalení pouze
VíceFakulta elektrotechniky a komunikačních technologíı Ústav automatizace a měřicí techniky v Brně
Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologíı Ústav automatizace a měřicí techniky Algoritmy řízení topného článku tepelného hmotnostního průtokoměru Autor práce: Vedoucí
VíceSPOLUPRÁCE WESTINGHOUSE S ČVUT A FZÚ AV ČR
SPOLUPRÁCE WESTINGHOUSE S ČVUT A FZÚ AV ČR NA PROJEKTU OCHRANY POVRCHU ZIRKONIOVÝCH SLITIN KOMPOZITNÍMI POLYKRYSTALICKÝMI DIAMANTOVÝMI POVLAKY (2014 2016) Michal Šimoník Customer Account Engineer Květen
VíceCZ.1.07/1.1.30/01.0038 SPŠ
Monitorovací indikátor: 06.43.10 Počet nově vytvořených/inovovaných produktů Akce: Přednáška, KA 5 Číslo přednášky: 3 Téma: APLIKACE TENKÝCH VRSTEV NA OBRÁBĚCÍCH NÁSTROJÍCH Lektor: Ing. Jiří Hodač Třída/y:
Víceenergetického využití odpadů, odstraňování produktů energetického využití odpadů, hodnocení dopadů těchto technologií na prostředí.
Příjemce projektu: Partner projektu: Místo realizace: Ředitel výzkumného institutu: Celkové způsobilé výdaje projektu: Dotace poskytnutá EU: Dotace ze státního rozpočtu ČR: VŠB Technická univerzita Ostrava
VíceTento dokument vznikl v rámci projektu Využití e-learningu k rozvoji klíčových kompetencí reg. č.: CZ.1.07/1.1.38/01.0021.
Tento dokument vznikl v rámci projektu Využití e-learningu k rozvoji klíčových kompetencí reg. č.: CZ.1.07/1.1.38/01.0021. Stroje na dopravu kapalin Čerpadla jsou stroje, které dopravují kapaliny a kašovité
VíceCEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
CEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Operační program Výzkum a Vývoj pro Inovace prioritní osa 2.1 Regionální VaV centra Reg.č. CZ.1.05/2.1.00/03.0086
VíceAplikace tenkých vrstev na zdvihátka ventilů motoru formule CTU CarTech
Aplikace tenkých vrstev na zdvihátka ventilů motoru formule CTU CarTech Závěrečná zpráva Vedoucí projektu: Doc. Tomáš Polcar, Ph.D. Katedra řídící techniky FEL ČVUT v Praze polcar@fel.cvut.cz Řešitel:
VíceCo je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)
Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur) -přenesení dané struktury na povrch strukturovaného substrátu Princip - interakce
VíceVAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VAKUOVÁ TECHNIKA Semestrální projekt Téma: Aplikace vakuového napařovaní v optice Vypracoval:
VíceVyužití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů
Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů Zuzana Rašková Technické muzeum v Brně, Purkyňova 105, 612 00 Brno, raskova@technicalmuseum.cz 24.7.2006 1 Nječastější kovové sbírkové
VíceMol. fyz. a termodynamika
Molekulová fyzika pracuje na základě kinetické teorie látek a statistiky Termodynamika zkoumání tepelných jevů a strojů nezajímají nás jednotlivé částice Molekulová fyzika základem jsou: Látka kteréhokoli
VíceVýkonové vypínače jsou určeny ke spínání jmenovitého i zkratového proudu.
Výkonové vypínače Výkonové vypínače jsou určeny ke spínání jmenovitého i zkratového proudu. Podle principu můžeme vypínače rozdělit na: magnetické kapalinové (kotlové, máloolejové, vodní) tlakovzdušné
VíceVLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD
23. 25.11.2010, Jihlava, Česká republika VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD Ing.Petr Beneš Ph.D. Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž Katedra
VíceVodík jako alternativní ekologické palivo. palivové články a vodíkové hospodářství
Vodík jako alternativní ekologické palivo palivové články a vodíkové hospodářství Charakteristika vodíku vodík je nejrozšířenějším prvkem ve vesmíru na Zemi je třetím nejrozšířenějším prvkem po kyslíku
VíceÚvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství.
Laserové kalení Úvod Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství. poslední době se začínají komerčně prosazovat
VíceVYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA CHEMICKÁ ÚSTAV CHEMIE MATERIÁLŮ FACULTY OF CHEMISTRY INSTITUTE OF MATERIALS SCIENCE STUDIUM PLAZMOVÝCH PRODUKTŮ POMOCÍ HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE
VíceSenzory průtoku tekutin
Senzory průtoku tekutin Průtok - hmotnostní - objemový - rychlostní Druhy proudění - laminární parabolický rychlostní profil - turbulentní víry Způsoby měření -přímé: dávkovací senzory, čerpadla -nepřímé:
VíceLaserové depoziční metody - obecná charakteristika
Laserové depoziční metody - obecná charakteristika Laserové odprašování zdrojového materiálu z tzv. targetu (terče), upraveného do zhutnělé formy (lisovaná či zmražená tableta) vhodné pro depozici. Laserové
VíceVlastnosti W 1,3. Modul pružnosti 194 000 189 000 173 000. Součinitel tepelné roztažnosti C od 20 C. Tepelná vodivost W/m. C Měrné teplo J/kg C
1 SVERKER 3 2 Charakteristika SVERKER 3 je wolframem legovaná nástrojová ocel s vysokým obsahem uhlíku a chrómu, která vykazuje následující charakteristické znaky: Maximální odolnost proti opotřebení Vysoká
VíceMgr. Ladislav Blahuta
Mgr. Ladislav Blahuta Střední škola, Havířov-Šumbark, Sýkorova 1/613, příspěvková organizace Tento výukový materiál byl zpracován v rámci akce EU peníze středním školám - OP VK 1.5. Výuková sada ZÁKLADNÍ
Více