Uhlíkové nanostruktury fullereny, nanotrubky. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
|
|
- Adéla Vlčková
- před 6 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Uhlíkové nanostruktury fullereny, nanotrubky Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. 1
2 Nanostruktury uhlíku 3D, 0D 1D 2D 2
3 Micro -> Nano 3
4 Dnešní téma Jak lze syntetizovat fullereny. Jak lze deponovat diamantovou vrstvu s ~nm krystaly. Rozdíl mezi nanotrubkami a vlákny, jaké jsou vlastnosti nanotrubek. Jak lze růst uhlíkové nanotrubky. Jakou roli hraje substrát, bariérová vrstva, katalyzátor jak jej připravit. Co přináší při depozici nanotrubek plazma. Jak nanotrubky analyzovat. 4
5 Fullereny Kroto, Curl, Smalley Huffmann, Krätschmer 1996 Nobel Prize in Chemistry Struktura respektuje IPR Isolated pentagonal rule, rychle roste počet isomerů d C60 = 0,7 nm krystalická forma fullerit velký účinný průřez pro záchyt nízko-energetických elektronů srovnatelný s SF 6 Za pokojové teploty mohou molekuly v krystalu rotovat. C 60 : Buckminsterfullerene, H. W. Kroto, J. R. Heath, S. C. O'Brien, R. F. Curl & R. E. Smalley, Nature 318, (14 November 1985) 5
6 Fullereny syntéza Laserová ablace odpařování uhlíkového terče v He atmosféře Tlak ~ 100 Torr (13 kpa) separace odstředění v centrifůze a kapalinová chromatografie. Rychlá detekce barva roztoku v toulenu nebo CS 2 C 60 vínová, C 70 hnědá. Obloukový výboj He atmosféra, 13 kpa, Oblouk v kontaktu nebo konstantní proud desítky až 100 A, 24V. Depozit na stěnách aparatury. Analýza hmotová spektroskrometrie C amu, C amu. Nukleární magnetická rezonance C 60 1 čára, C 70 5 čar. Lawrence T. Scott, Methods for the Chemical Synthesis of Fullerenes, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, , Hot Topic: Organic solar cells with fullerenes 6
7 Syntéza fullerenů rozkladem organických sloučenin ve vf. výboji Nerezová nádoba 20 cm průměr, 25 cm výška Rozkládané uhlovodíky toluen, benzen, CCl 4 (0,2 0,3 cm 3 /min) Výkon - 27 MHz,2 kw, doba syntézy minut Pracovní atmosféra Helium Torr 7
8 Krátká poznámka o růstu diamantových vrstev s ~nm krystaly -nanokrystalický x ultra-nanokrystalický diamant nukleace a růst 8
9 Ultra-nanokrystalický diamant - nukleace Bias Enhanced Nucleation BEN in-situ nukleace diamantové vrstvy ~ cm 2 9
10 Ultra-nanokrystalický diamant Vysoká koncentrace CH 4-10 procent proti 1-2 tradičně, 2x snížena drsnost vrstvy H/N/C mixtures T. Frgala, PhD Thesis preferenční růst 100 směru 10
11 Uhlíkové nanotrubky 11 K. Hata et.al., Water-Assisted Highly Efficient Synthesis of Impurity-Free Single-Walled Carbon Nanotubes, Science, 2004, 306, 1363
12 Struktura: nanotrubky x nanovlákna Nanovlákna rovina svírá s osou nenulový úhel Nanotrubky Carbon nanotubes (CNTs) stěna rovnoběžná s osou -jednostěnné (SWCNTs) zig-zag (n,0), armchair (n,n), chiral (n,m) -mnohostěnné (MWCNTs) a délka základního vektoru a 3a C nm a C C C 0,144 nm a a 1,a 2 vektory báze,,, a C chirální vektor C na 1 ma 2 ( 0 m n ) 2 2 L délka C L C a n m nm d t průměr d t L / chirální úhel sin 2 cos 2 3m, 2 2 n m nm 2n m, 2 2 n m nm 0 6 3m tan 2n m N.M.Rodrigeuz et al., Langmuir 11, 3862(1995), S.Iijima, Nature 354, 56(1991), Saito, G. Dresselhaus, M.S. Dresselhaus, Physical properties of Carbon nanotubes, Imperial college Press, London,
13 Vlastnosti nanotrubek Konfigurace SWCNTs a) armchair (10,10) b) zigzag (12,0) c) chiralní (7,16) SWCNTs jsou vodiči pro n-m =3i nebo polovodiče pro n-m 3i s zakázaným pásem Eg~ ev v závislosti na hodnotách n, m, mnohostěnné nanotrubky mají zakázaný pás Eg ~ 0 ev V krystalu se uspořádávají do trsu, closed packed triangular lattice, vzdálenost mezi vrstvami je 3.4 A, hustota 1.35 g/ cm 3, vzdálenost v MWCNTs je 0,34 0,39 podle průměru Nanotrubky mají unikátní mechanické vlastnosti Youngův modul 1 TPa (SWCNT) a 1,2 TPa (MWCNT), Ocel 230 GPa Mez pevnosti v tahu GPa Maximální deformace % Elektrické vlastnosti odpor 10-4 W/cm Maximální proudová hustota A/m 2 kvantová vodivost (12,9 kw) -1 Tepelná vodivost Jednostěnné W/mK Mnohostěnné >3000 W/mK, měd 400 W/mK H. J. Dai, Surf. Sci. 500, 218 {2002) Emisní vlastnosti: několik A/cm 2 při hustotě nanotrubek /cm 2 K. B.K. Teo, C. Singh, M. Chhowalla, W. I. Milne, Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, Vol. 10, Eds. H.S. Nalwa, American Scientific Publishers, Los Angeles,
14 Metody syntézy nanotrubek Vysokoteplotní metody - obloukový výboj mezi uhlíkovými elektrodami - laserová ablace uhlíkového terče -vysoká teplota (3500 C), -krátká doba růstu několik ms -V případě SWCNTs nutný katalyzátor přechodový kov Fe, Ni, Co atd. Nízkoteplotní metody - metody CVD ( thermal, hot filament, PECVDrf,mw,dc) -Teplota C, doba depozice minuty až hodiny, pouze jedna nanotrubka roste z katalytické částice (Fe,Ni,Mo,Co), která určuje její průměr -PECVD vertikální uspořádání díky přítomnosti el.pole (0,1 V/mm), jinak pouze hustotou růstu(van der Walls), snížení depoziční teploty, kompatibilita se současnými mikroelektronickými procesy - HiPCO High pressure CO decomposition atm CO, CO+ ppm Fe(CO) 5, CoMoCAT K.B.K. Teo, R.G. Lacerda, M.H. Yang, A.S. Teh, L.A.W. Robinson, S.H. Dalal, N.L. Rupesinghe, M. Chhowalla, S.B. Lee, D.A. Jefferson, D.G. Hasko, G.A.J. Amaratunga, W.I. Milne, P. Legagneux, L. Gangloff, E. Minoux, J.P. Schnell, and D. Pribat. "Carbon Nanotube Technology for Solid State and Vacuum Electronics" IEE Proceedings in Circuits, Devices and Systems (Nanoelectronics issue) 151, 443 (2004). 14
15 CoMoCAT SWNT are grown by CO disproportionation (decomposititon into C and carbon dioxide) at in flow of pure CO at a total pressure that typically ranges from 1 to 10 atm,
16 Katalyzátor Katalyzátor Fe,Co,Mo,Ni nebo kombinace transition metals konečná rozpustnost kovu v C, u Fe v C to může být i několik procent v závislosti na podmínkách, především teplotě -> difúze,saturace a precipitace -> růst CNT,CNF. Obecně oba typy struktur charakterizuje při vyšších teplotách mechanismus VLS Vapor-Liquid -Solid Musí být částice! Vysoká mobilta částic i pod teplotou tání, Base a tip růstový mód > kopíruje průměr částice Metody přípravy katalyzátoru chemické kapalný katalyzátor, koloidní částice, fyzikální napařování, naprašování Chemická příprava kobalt acetát a nikl acetát je rozpuštěn v ethanolu (0,05 wt) -> dipcoating 10 minut s vytažením rychlostí 4 cm/min. Následuje žíhaní substrátu v peci 5 minut 400 C na vzduchu. Takto vzniknout částice oxidů kovů. Katalyzátor na substrátech a tzv. plovoucí katalyzátor generovaný přímo v systému z organokovu pentakarbonyl železa Fe (CO) 5, ferrocen Fe C10H10. Výrazný vliv na velikost částic má interakce se substrátem! Využití Al 2 O 3 napaření Al 20 nm přežíhání na 500 C na vzduchu po 10 minut vytvoří Al 2 O 3 vrstvu. zastavení růstu - catalyst poisoning- a-c K. B.K. Teo, C. Singh, M. Chhowalla, W. I. Milne, Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, Vol. 10, Eds. H.S. Nalwa, American Scientific Publishers, Los Angeles,
17 Interakce s bariérovou vrstvou Tvorba sloučeniny materiálu substrátu a katalyzátoru snížení katalytické aktivity či uplné znemožnění růstu Řešení použítí mezivrstvy-buffer layer, neinteraguje s katalyzátorem, plní různé funkce zabránění difúze, zlepšení adheze a funkčních vlastnosti soustavy (elekt. a tepelná vodiv.) Buffer layer na Si SiO 2,TiN,Al 2 O 3 apod. může mít vliv na proces růstu CNTs Y. J. Jung, B. Wei, R. Vajtai, and P. M. Ajayan, "Mechanism of Selective Growth of Carbon Nanotubes on SiO 2 /Si Patterns", Nano Letters, 3, 561 (2003). Cao et.al., Appl. Phys. Lett., Vol. 84, No. 1,2004 T. de los Arcos et al., Carbon 42 (2004), 187; X.Li, Nano Lett., Vol. 5, No. 10, 2005,
18 Vliv podmínek při vytváření katalyzátoru 500 C, Si/SiO 2 (50 nm) substrate S. Pisana et al., Physica E, 37(1-2), 2007,
19 SiO 2 x Al 2 O 3 Si/SiO2 (Al 2 O 3 )/Fe(2,5 nm) pretreatmen: a) vakuum b) Ar a c) H 2 v 750 C, 10 Pa, 15 minut. 19
20 Růst nanotrubek s různou mezivrstvou Růst CNts a) SiO x b) Al x O y and c) bez buffer vrstvy. Ar/H 2 /CH /430/42 sccm, 60 s, 400W, C 20
21 Růst nanotrubek na definovaných plochách 21
22 PECVD růst CNTs Doutnavý výboj, vyhřívaná grafitová elektroda, směs C 2 H 2 a NH 3, Ni katalyzátor Chhowalla et al., J. Appl. Phys., Vol. 90, No. 10, 2001,
23 PECVD růst CNTs 23
24 CNTs v za použití kapacitně vázaného výboje 24
25 PECVD růst za atmosférického tlaku v pochodňovém výboji Microwave plasma torch operating at 2,45 GHz, max. 2 kw power, dual gas flow Center - Ar( sccm)/ Outer - H 2 ( sccm)/ch 4 (10-50 sccm) Si/Fe, Si/SiO x /Fe, Si/Al x O y /Fe substrates Fe(1-10 nm) vacuum evaporated, SiO x PECVD O. Jašek, M. Eliáš, L. Zajíčková et al., Materials Science and Eng. C, 26, 2006,
26 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji SEM analýza nanotrubek deponovaných na substrát s vrstvou Fe 10 nm (Q CH4 =50 sccm, Q H2 =300 sccm, Ar=1000 sccmt S =700 0 C, t d =15 min.). 26
27 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji 1500x 40000x 20000x 60000x 27
28 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji Fotografie nanotrubek na substrátu s vrstvou Fe deponovaných za následujících podmínek (Q CH4 =20 sccm, T S =700 0 C t d =15 min.). Zobrazení materiálového kontrast. Bílé těčky jsou částice Fe na koncích nanotrubek TEM snímek 28
29 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji - HRTEM 29
30 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji SE/BSE Catalyst poisoning 30
31 Depozice na substrátech bez mezivrstvy SiO 2 Ar 1000 sccm, CH4 50 sccm, H2 300 sccm Fe 10 nm, minut 31
32 Ramanovská spektroskopie - CNTs Si/SiO 2 /Ni 10 nm, pretreatment 100 sccm H 2,700 C, 5 min, 200 W depozice 50 sccm H 2, 50 sccm CH 4, 30 mins,700 C, 200 W D-pás odpovídá chybám a defektům ve struktuře rovin (disorder) G-pás je tzv. tangenciální mód odpovídající vibracím dvojce C-C v rovině grafitu RBM mód odpovídá vibracím kolmým na osu nanotrubky tzv. dýchaní 32
33 CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji floating catalyst TEM micrograph of MWCNTs/SWCNTs deposited from mixture of Ar/H 2 /CH 4 and Fe(CO) 5 Raman spectra of deposited nanostructures 33
34 Další kapitoly pro CNTs -Čistění CNTs -Umisťování CNTs - optimalizace ve směru chirality CNTs - 34
35 Lekce 7 1. Kterou metodou bylo poprvé připraveno větší množství fullerenů? Popište podmínky depozice touto metodou. 2. Kolik čar bude mít NMR spektrum fulerenu C 60 a kolik fullerenu C 70? 3. Jak ovlivní proces nukleace diamantová vrstvy výslednou velikost krystalů ve vrstvě? Jmenujte metodu, kterou lze řídit nukleaci během růstu diamantové vrstvy. 4. Jakou metodou lze připravit mnohostěnné uhlíkové nanotrubky bez katalyzátoru? Jakou plynovou atmosféru a o jakém tlaku použijete? 5. Jakou podobu musí mít katalyzátor při depozici uhlíkových nanotrubek metodou depozice z plynné fáze? Proč používáme přechodové kovy jako katalyzátor? 6. Jakou úlohu hraje velikost nanočástic katalyzátoru při růstu uhlíkových nanotrubek? 7. Co je úlohou bariérové vrstvy při růstu uhlíkových nanotrubek metodou depozice z plynné fáze? 8. Jaké rozdíly vykazuje depozice uhlíkových nanotrubek z plynné fáze v přitomnosti plazmatu oproti situaci bez něj? 9. Uveďte alespoň tři metody jak, lze určit velikost uhlíkových nanotrubek a přítomnost katalyzátoru. Jak určíte složení katalyzátoru? 10. Popište základní charakteristiky Ramanovského spektra uhlíkových nanotrubek. Jak se liší spektrum jednostěnných a mnohostěnných nanotrubek? 35
Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza
Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza Jiřina Matějková UPT Brno AV ČR Ondřej Jašek- KFE Přírodovědecká fakulta MU Brno, jasek@physics.muni.cz Marek Eliáš, Lenka Zajíčková, Vít Kudrle,
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
Přehled metod depozice a povrchových
Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical
Příprava grafénu. Petr Jelínek
Příprava grafénu Petr Jelínek Schéma prezentace Úvod do tématu Provedené experimenty - příprava grafénu - charakterizace Plánovaná činnost - experimenty Závěr 2 Pohled do historie 1960 HOPG (Arthur Moore)
Depozice uhlíkových nanotrubek
MASARYKOVA UNIVERZITA V BRNĚ, PŘÍRODOVĚDECKÁ FAKULTA Depozice uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném plazmovém hořáku Bakalářská práce Brno, 2006 Petr Synek Zde bych chtěl poděkovat všem, bez jejichž podpory
Nanotechnologie a jejich aplikace. doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc.
Nanotechnologie a jejich aplikace doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc. Předpona pochází z řeckého νανος což znamená trpaslík 10-9 m 380-780 nm rozsah λ viditelného světla Srovnání známých malých útvarů SPM Vyjasnění
Uhlíkové nanostruktury nanotrubky, grafén. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
Uhlíkové nanostruktury nanotrubky, grafén Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. 1 Uhlíkové nanotrubky - čištění Odleptání amorfního uhlíku a defektů Principem je nižší stabilita defektních míst než struktury nanotrubky.
Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů
Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů 7. června/june 2013 9:30 h 17:30 h Laboratoř metalomiky a nanotechnologií, Mendelova univerzita v Brně a Středoevropský technologický institut Budova D, Zemědělská
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
Chování látek v nanorozměrech
Univerzita J.E. Purkyně v Ústí nad Labem Chování látek v nanorozměrech Pavla Čapková Přírodovědecká fakulta Univerzita J.E. Purkyně v Ústí nad Labem Březen 2014 Chování látek v nanorozměrech: Co se děje
galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39
Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857
Plazmatické metody pro úpravu povrchů
Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů
Základní typy článků:
Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,
Metody depozice povlaků - CVD
Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční
GRAFEN VERSUS MWCNT; POROVNÁNÍ DVOU FOREM UHLÍKU V DETEKCI TĚŽKÉHO KOVU. Název: Školitel: Mgr. Dana Fialová. Datum: 15.3.2013
Název: Školitel: GRAFEN VERSUS MWCNT; POROVNÁNÍ DVOU FOREM UHLÍKU V DETEKCI TĚŽKÉHO KOVU Mgr. Dana Fialová Datum: 15.3.2013 Reg.č.projektu: CZ.1.07/2.3.00/20.0148 Název projektu: Mezinárodní spolupráce
DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
Přednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD
Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven
Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE
1 VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE Použití práškové metalurgie Prášková metalurgie umožňuje výrobu součástí z práškových směsí kovů navzájem neslévatelných (W-Cu, W-Ag), tj. v tekutém stavu nemísitelných nebo
Uhlíkové nanotrubičky (CNT) a jejich aplikační možnosti. Martina Koutná
Uhlíkové nanotrubičky (CNT) a jejich aplikační možnosti Martina Koutná Bakalářská práce 2014 ABSTRAKT Tato práce se zabývá popisem uhlíkových nanotrubiček (CNT). První část práce je věnována historii
Budoucnost patří uhlíkatým nanomateriálům
Budoucnost patří uhlíkatým nanomateriálům Otakar Frank Oddělení elektrochemických materiálů Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského, v.v.i. Akademie věd ČR otakar.frank@jh-inst.cas.cz www.nanocarbon.cz Nanoúvod
Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
Využití kalorimetrie při studiu nanočástic. Jindřich Leitner VŠCHT Praha
Využití kalorimetrie při studiu nanočástic Jindřich Leitner VŠCHT Praha Obsah přednášky 1. Velikost a tvar nanočástic 2. Povrchová energie 3. Teplota a entalpie tání 4. Tepelná kapacita a entropie 5. Molární
Fullereny. Nanomateriály na bázi uhlíku
Fullereny Nanomateriály na bázi uhlíku Modifikace uhlíku základní alotropické modifikace C grafit diamant fullereny další modifikace grafen amorfní uhlík uhlíkaté nanotrubičky fullerit Modifikace uhlíku
Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada
Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze
Skupenské stavy látek. Mezimolekulární síly
Skupenské stavy látek Mezimolekulární síly 1 Interakce iont-dipól Např. hydratační (solvatační) interakce mezi Na + (iont) a molekulou vody (dipól). Jde o nejsilnější mezimolekulární (nevazebnou) interakci.
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF MICROELECTRONICS KATODOVÉ
Oddělení fyziky vrstev a povrchů makromolekulárních struktur
Oddělení fyziky vrstev a povrchů makromolekulárních struktur Témata diplomových prací 2014/2015 Studium změn elektrické vodivosti emeraldinových solí vystavených pokojovým a mírně zvýšeným teplotám klíčová
Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042
Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem
Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015
Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF
Keramika. Technická univerzita v Liberci Nekovové materiály, 5. MI Doc. Ing. K. Daďourek 2008
Keramika Technická univerzita v Liberci Nekovové materiály, 5. MI Doc. Ing. K. Daďourek 2008 Tuhost a váha materiálů Keramika má největší tuhost z technických materiálů Keramika je lehčí než kovy, ale
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
NANOSTRUKTURY NA BÁZI UHLÍKU A POLYMERU PRO VYUŽITÍ V BIOELEKTRONICE A V MEDICÍNE
Nanotechnologie pro společnost, KAN400480701 NANOSTUKTUY NA BÁZI UHLÍKU A POLYMEU PO VYUŽITÍ V BIOELEKTONICE A V MEDICÍNE ÚJF Řež, leden 2009 Temata řešená v rámci projektu na VŠCHT A4 Nanostruktury vytvořené
Uhlík a jeho alotropy
Uhlík Uhlík a jeho alotropy V přírodě se uhlík nachází zejména v karbonátových usazeninách, naftě, uhlí, a to jako směs grafitu a amorfní formy C. Rozeznáváme dvě základní krystalické formy uhlíku: a)
Uhlík v elektrotechnice
Uhlík v elektrotechnice Až do nedávné doby se vědělo, že uhlík má pouze formu diamantu nebo grafitu. Jejich využití je v elektrotechnice dlouhodobě známé. Avšak s nástupem zájmu vědeckých pracovišť o děje
Metalografie ocelí a litin
Metalografie ocelí a litin Metalografie se zabývá pozorováním a zkoumáním vnitřní stavby neboli struktury kovů a slitin. Dále také stanoví, jak tato struktura souvisí s chemickým složením, teplotou a tepelným
V005. Studium interakce tranzitních kovů s nanodiamanty a fullerény a příprava a modifikace jejich kompozitů. ( )
V005 Studium interakce tranzitních kovů s nanodiamanty a fullerény a příprava a modifikace jejich kompozitů. (2006-2009) J. Vacík, V. Lavrentiev, V. Bejšovec, V. Hnatowicz Hybridizace Hybridizace organických
ZŠ ÚnO, Bratří Čapků 1332
Úvodní obrazovka Menu (vlevo nahoře) Návrat na hlavní stránku Obsah Výsledky Poznámky Záložky edunet Konec Chemie 1 (pro 12-16 let) LangMaster Obsah (střední část) výběr tématu - dvojklikem v seznamu témat
Katedra materiálu.
Katedra materiálu Vedoucí katedry: prof. Ing. Petr Louda, CSc. Zástupce vedoucího katedry: doc. Ing. Dora Kroisová, Ph.D. Tajemnice katedry: Ing. Daniela Odehnalová http://www.kmt.tul.cz/ EF TUL, Gaudeamus
vodič u něho dochází k transportu el. nabitých částic, který je nevratný, dochází ke vzniku proudu a disipaci energie
Chování polymerů v elektrickém a magnetickém poli vodič u něho dochází k transportu el. nabitých částic, který je nevratný, dochází ke vzniku proudu a disipaci energie dielektrikum, izolant, nevodič v
10/21/2013. K. Záruba. Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje. velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita
Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita K. Záruba Optická mikroskopie Elektronová mikroskopie (SEM, TEM) Fotoelektronová
Katedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev
Chemické metody přípravy vrstev Metoda sol-gel Historie nejstarší příprava silikagelu 1939 patent na výrobu antireflexních vrstev na fotografické čočky 60. léta studium vrstev SiO 2 a TiO 2 70. léta výroba
Molekulová spektroskopie 1. Chemická vazba, UV/VIS
Molekulová spektroskopie 1 Chemická vazba, UV/VIS 1 Chemická vazba Silová interakce mezi dvěma atomy. Chemické vazby jsou soudržné síly působící mezi jednotlivými atomy nebo ionty v molekulách. Chemická
Seminární práce Nanomateriály uhlíkové NANOtrubky
Seminární práce Nanomateriály uhlíkové NANOtrubky Antonín Čajka Od fullerenů k nanotrubkám. Fullereny nejsou pouze dvacetistěny C 60. Existuje také spousta jiných, jejichž tvar je více oblý a připomíná
Hydrogenovaný grafen - grafan
Hydrogenovaný grafen - grafan Zdeněk Sofer, Daniel Bouša, Vlastimil Mazánek, Michal Nováček, Jan Luxa, Alena Libánská, Ondřej Jankovský, David Sedmidubský Ústav anorganické chemie, VŠCHT Praha, Technická
Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS
Tribologie Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS vypracoval: Tomáš Píza Obsah - Co je to MEMS - Materiály pro MEMS - Výroba MEMS - Pohon MEMS Co to je MEMS - zkratka z anglických slov Micro-Electro-Mechanical-Systems
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší
Chemické metody přípravy tenkých vrstev
Chemické metody přípravy tenkých vrstev verze 2013 Povrchové filmy monomolekulární Langmuirovy filmy PAL (povrchově aktivní látky) na polární kapalině (vodě), 0,205 nm 2 na 1 molekulu, tloušťka dána délkou
Požadavky na technické materiály
Základní pojmy Katedra materiálu, Strojní fakulta Technická univerzita v Liberci Základy materiálového inženýrství pro 1. r. Fakulty architektury Doc. Ing. Karel Daďourek, 2010 Rozdělení materiálů Požadavky
nm. mory_cz_02_68x68mm_02.indd :31
20.000 nm mory_cz_02_68x68mm_02.indd 1 17-07-16 12:31 Uhlík strukturou podobný diamantu (Tvrdý) povlak mory_cz_02_68x68mm_02.indd 2 17-07-16 12:31 mory_cz_02_68x68mm_02.indd 3 17-07-16 12:31 Uhlík strukturou
Plazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying
Plazmové depozice povlaků Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmový nástřik patří do kategorie žárových nástřiků. Žárový nástřik je částicový proces vytváření povlaků o tloušťce obvykle větší než 50 µm,
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a
Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika
Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury
TECHNIKY VYTVÁŘENÍ NANOSTRUKTUROVANÝCH POVRCHŮ ELEKTROD U MIKROSOUČÁSTEK TECHNIQUES TO CREATE NANOSTRUCTURED SURFACES OF ELECTRODES FOR MICRO DEVICES
TECHNIKY VYTVÁŘENÍ NANOSTRUKTUROVANÝCH POVRCHŮ ELEKTROD U MIKROSOUČÁSTEK TECHNIQUES TO CREATE NANOSTRUCTURED SURFACES OF ELECTRODES FOR MICRO DEVICES Jaromír Hubálek Ústav mikroelektroniky, FEKT, Vysoké
CHEMICKY ČISTÁ LÁTKA A SMĚS
CHEMICKY ČISTÁ LÁTKA A SMĚS Látka = forma hmoty, která se skládá z velkého množství základních stavebních částic: atomů, iontů a... Látky se liší podle druhu částic, ze kterých se skládají. Druh částic
Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ
Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Hi-tech Nano a mikro technologie v chemickém inženýrství umožňují: Samočisticí
Nanogrant KAN ( )
Nanogrant KAN400480701 (2007 2011) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně Ústav jaderné fyziky AV ČR, Mgr. Jiří Vacík, CSc., koordinátor projektu ( Výroční seminář
Iradiace tenké vrstvy ionty
Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,
Uhlíkové nanotrubice. Rozdělení, struktura. Eva Košťáková KNT, FT, TUL
Uhlíkové nanotrubice Rozdělení, struktura Eva Košťáková KNT, FT, TUL UHLÍK Uhlík je chemický prvek, tvořící základní kámen všech organických sloučenin a tím i všech živých organizmů. Charakteristickou
Třídění látek. Chemie 1.KŠPA
Třídění látek Chemie 1.KŠPA Systém (soustava) Vymezím si kus prostoru, látky v něm obsažené nazýváme systém soustava okolí svět Stěny soustavy Soustava může být: Izolovaná = stěny nedovolí výměnu částic
Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.
Přednáška 3 Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Realizace vypařovadel, směrovost vypařování, vypařování sloučenin a slitin, Vypařování elektronovým svazkem a MBE Napařování
Uhlíkové nanotrubice. Rozdělení, struktura. Eva Kuželová Košťáková KNT, FT, TUL
Uhlíkové nanotrubice Rozdělení, struktura Eva Kuželová Košťáková KNT, FT, TUL CÍL Cíl: Pochopení a zapamatování struktury uhlíkových nanotrubic UHLÍKOVÉ NANOTRUBICE 3D VIZUALIZACE Snímky převzaty z: http://www.turbosquid.com,
Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011
Gas Discharges Overview of Different Types Jan Voráč ÚFE 14. listopadu 2011 Obrázky použité v této prezentaci jsou nestoudně ukradeny z internetu, z archivů pracovníků ÚFE MU, ze skript Základy fyziky
Lasery RTG záření Fyzika pevných látek
Lasery RTG záření Fyzika pevných látek Lasery světlo monochromatické koherentní malá rozbíhavost svazku lze ho dobře zfokusovat aktivní prostředí rezonátor fotony bosony laser stejný kvantový stav učební
Úvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.
Aktivní prostředí v plynné fázi. Plynové lasery Inverze populace hladin je vytvářena mezi energetickými hladinami některé ze složek plynu - atomy, ionty nebo molekuly atomární, iontové, molekulární lasery.
Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková
Přírodovědecká fakulta UJEP Ústí n.l. a Ústecké materiálové centrum na PřF UJEP http://sci.ujep.cz/faculty-of-science.html Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková Kontakt: Doc. RNDr.
Mikroskopie rastrující sondy
Mikroskopie rastrující sondy Metody charakterizace nanomateriálů I RNDr. Věra Vodičková, PhD. Metody mikroskopie rastrující sondy SPM (scanning( probe Microscopy) Metody mikroskopie rastrující sondy soubor
Tenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
Slitiny titanu pro použití (nejen) v medicíně
Slitiny titanu pro použití (nejen) v medicíně Josef Stráský a spol. Katedra fyziky materiálů MFF UK Obsah Vývoj slitin Ti pro použití v ortopedii Spolupráce: Beznoska s.r.o., Kladno Ultrajemnozrnné slitiny
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické
Adhezní síly v kompozitech
Adhezní síly v kompozitech Nanokompozity Pro 5. ročník nanomateriály Fakulta mechatroniky Katedra materiálu Strojní fakulty Technická univerzita v Liberci Doc. Ing. Karel Daďourek, 2010 Vazby na rozhraní
Katalýza na nanostrukturách edí
a životní prostřed edí Zdeněk Sobalík Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AVČR, Praha 300 250 200 150 100 50 0 1994 1996 1998 2000 2002 2004 2006 2008 10000 cat 8000 6000 4000 Počet publikací ve všech
Výstupní práce Materiály a technologie přípravy M. Čada
Výstupní práce Makroskopická veličina charakterizující povrch z pohledu elektronických vlastností. Je to míra vazby elektronu k pevné látce a hraje důležitou roli při procesech transportu nabitých částic
Glass temperature history
Glass Glass temperature history Crystallization and nucleation Nucleation on temperature Crystallization on temperature New Applications of Glass Anorganické nanomateriály se skelnou matricí Martin Míka
Podivuhodný grafen. Radek Kalousek a Jiří Spousta. Ústav fyzikálního inženýrství a CEITEC Vysoké učení technické v Brně. Čichnova 19. 9.
Podivuhodný grafen Radek Kalousek a Jiří Spousta Ústav fyzikálního inženýrství a CEITEC Vysoké učení technické v Brně Čichnova 19. 9. 2014 Osnova přednášky Úvod Co je grafen? Trocha historie Některé podivuhodné
Nové typy materiálů na bázi uhlíku. Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba
Nové typy materiálů na bázi uhlíku Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba Program prezentace Definice a vlastnosti Základní rozdělení Sorbenty Surovinová základna Technologie
Zdroj: Bioceramics: Propertie s, Characterization, and applications (Biokeramika: Vlastnosti, charakterizace a aplikace) Překlad: Václav Petrák
Zdroj: Bioceramics: Properties, Characterization, and applications (Biokeramika: Vlastnosti, charakterizace a aplikace) Překlad: Václav Petrák Kapitola 8., strany: 167-177 8. Sklokeramika (a) Nádoby Corning
Nauka o materiálu. Přednáška č.2 Poruchy krystalické mřížky
Nauka o materiálu Přednáška č.2 Poruchy krystalické mřížky Opakování z minula Materiál Degradační procesy Vnitřní stavba atomy, vazby Krystalické, amorfní, semikrystalické Vlastnosti materiálů chemické,
Tepelné rozklady železo obsahujících sloučenin pohledem Mössbauerovy spektroskopie
Tepelné rozklady železo obsahujících sloučenin pohledem Mössbauerovy spektroskopie Libor Machala E-mail: libor.machala@upol.cz 21.10.2011 Workshop v rámci projektu Pokročilé vzdělávání ve výzkumu a aplikacích
Hmotnostní spektrometrie
Hmotnostní spektrometrie Podstatou hmotnostní spektrometrie je studium iontů v plynném stavu. Tato metoda v sobě zahrnuje tři hlavní části:! generování iontů sledovaných atomů nebo molekul! separace iontů
Fyzikální metody depozice KFY / P223
Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování
PLASMA ENHANCED CVD. Modifikace práškových částic diamantu v chemické plazmové rotační reaktorové komoře
PLASMA ENHANCED CVD Modifikace práškových částic diamantu v chemické plazmové rotační reaktorové komoře Autor: Przemysław Ceynowa, Koszalin University of Technology, Poland CO JE CVD? Chemical vapor deposition
Hmotnostní spektrometrie
Hmotnostní spektrometrie Princip: 1. Ze vzorku jsou tvořeny ionty na úrovni molekul, nebo jejich zlomků (fragmentů), nebo až volných atomů dodáváním energie, např. uvolnění atomů ze vzorku nebo přímo rozštěpení
Vysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích. Institute of Technology And Business In České Budějovice
6. FÁZOVÉ PŘEMĚNY KOVOVÝCH SOUSTAVÁCH Vysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích Institute of Technology And Business In České Budějovice Tento učební materiál vznikl v rámci projektu "Integrace
SPEKTROMETRIE. aneb co jsem se dozvěděla. autor: Zdeňka Baxová
SPEKTROMETRIE aneb co jsem se dozvěděla autor: Zdeňka Baxová FTIR spektrometrie analytická metoda identifikace látek (organických i anorganických) všech skupenství měříme pohlcení IČ záření (o různé vlnové
Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze
Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Teoretické základy: Plazmochemická depozice z plynné fáze metoda PECVD Rozvoj plazmochemických metod vytváření tenkých
Nanotrubky. Seminární práce. Autor: Jiří Gabryš Datum: 24.11.2005 Obor: Nové technické materiály
Nanotrubky Seminární práce Autor: Jiří Gabryš Datum: 24.11.2005 Obor: Nové technické materiály Skupina: HM371 Obsah 1 Úvod...1 2 Historie...1 2.1 Fullereny...1 2.2 Od fullerenů k nanotrubkám...2 3 Vlastnosti
Chemické metody plynná fáze
Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké
FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA
FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody
Separace plynů a par. Karel Friess. Ústav fyzikální chemie, VŠCHT Praha. Seminář 10. 5. 2012 Praha
Separace plynů a par Karel Friess Ústav fyzikální chemie, VŠCHT Praha Seminář 10. 5. 2012 Praha Membránové separace SEPARAČNÍ MEMBRÁNA pasivní nebo aktivní bariéra průchodu částic mezi dvěma fázemi Pro
Oxidace allotropických forem uhlíku
MASARYKOVA UNIVERZITA Přírodovědecká fakulta Obor: Chemie Oxidace allotropických forem uhlíku v prostředí plazmových výbojů Bakalářská práce Svatava Župková Vedoucí bakalářské práce: RNDr. Milan Alberti,
I N V E S T I C E D O R O Z V O J E V Z D Ě L Á V Á N Í
CHEMICKY ČISTÉ LÁTKY A SMĚSI Látka = forma hmoty, která se skládá z velkého množství základních částic: atomů, iontů a... 1. Přiřaďte látky: glukóza, sůl, vodík a helium k níže zobrazeným typům částic.
Jiří Oswald. Fyzikální ústav AV ČR v.v.i.
Jiří Oswald Fyzikální ústav AV ČR v.v.i. I. Úvod Polovodiče Zákládní pojmy Kvantově-rozměrový jev II. Luminiscence Si nanokrystalů III. Luminiscence polovodičových nanostruktur A III B V IV. Aplikace Pásová
Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě
Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Náplní laboratorní úlohy je proměření základních parametrů plynových vodivostních senzorů: i) el. odpor a ii)
Plazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
Fyzikální vlastnosti materiálů FX001
Fyzikální vlastnosti materiálů FX001 Ondřej Caha 1. Vazba v pevné látce, elastické a tepelné vlastnosti materiálů 2. Elektrické vlastnosti materiálů 3. Optické vlastnosti materiálů 4. Magnetické vlastnosti
Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení
Druhy vláken. Technická univerzita v Liberci Kompozitní materiály, 5. MI Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Druhy vláken Technická univerzita v Liberci Kompozitní materiály, 5. MI Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Druhy různých vláken Přírodní vlákna Skleněná vlákna Uhlíková a grafitová vlákna Aramidová a silonová