Uhlíkové nanostruktury fullereny, nanotrubky. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Podobné dokumenty
Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Přehled metod depozice a povrchových

Příprava grafénu. Petr Jelínek

Depozice uhlíkových nanotrubek

Nanotechnologie a jejich aplikace. doc. RNDr. Roman Kubínek, CSc.

Uhlíkové nanostruktury nanotrubky, grafén. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

Chování látek v nanorozměrech

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Základní typy článků:

Metody depozice povlaků - CVD

GRAFEN VERSUS MWCNT; POROVNÁNÍ DVOU FOREM UHLÍKU V DETEKCI TĚŽKÉHO KOVU. Název: Školitel: Mgr. Dana Fialová. Datum:

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

Přednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE

Uhlíkové nanotrubičky (CNT) a jejich aplikační možnosti. Martina Koutná

Budoucnost patří uhlíkatým nanomateriálům

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Využití kalorimetrie při studiu nanočástic. Jindřich Leitner VŠCHT Praha

Fullereny. Nanomateriály na bázi uhlíku

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Skupenské stavy látek. Mezimolekulární síly

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY

Oddělení fyziky vrstev a povrchů makromolekulárních struktur

Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

Keramika. Technická univerzita v Liberci Nekovové materiály, 5. MI Doc. Ing. K. Daďourek 2008

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o.

NANOSTRUKTURY NA BÁZI UHLÍKU A POLYMERU PRO VYUŽITÍ V BIOELEKTRONICE A V MEDICÍNE

Uhlík a jeho alotropy

Uhlík v elektrotechnice

Metalografie ocelí a litin

V005. Studium interakce tranzitních kovů s nanodiamanty a fullerény a příprava a modifikace jejich kompozitů. ( )

ZŠ ÚnO, Bratří Čapků 1332

Katedra materiálu.

vodič u něho dochází k transportu el. nabitých částic, který je nevratný, dochází ke vzniku proudu a disipaci energie

10/21/2013. K. Záruba. Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje. velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita

Katedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev

Molekulová spektroskopie 1. Chemická vazba, UV/VIS

Seminární práce Nanomateriály uhlíkové NANOtrubky

Hydrogenovaný grafen - grafan

Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

Chemické metody přípravy tenkých vrstev

Požadavky na technické materiály

nm. mory_cz_02_68x68mm_02.indd :31

Plazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika

TECHNIKY VYTVÁŘENÍ NANOSTRUKTUROVANÝCH POVRCHŮ ELEKTROD U MIKROSOUČÁSTEK TECHNIQUES TO CREATE NANOSTRUCTURED SURFACES OF ELECTRODES FOR MICRO DEVICES

CHEMICKY ČISTÁ LÁTKA A SMĚS

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ

Nanogrant KAN ( )

Iradiace tenké vrstvy ionty

Uhlíkové nanotrubice. Rozdělení, struktura. Eva Košťáková KNT, FT, TUL

Třídění látek. Chemie 1.KŠPA

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.

Uhlíkové nanotrubice. Rozdělení, struktura. Eva Kuželová Košťáková KNT, FT, TUL

Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011

Lasery RTG záření Fyzika pevných látek

Úvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.

Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková

Mikroskopie rastrující sondy

Tenká vrstva - aplikace

Slitiny titanu pro použití (nejen) v medicíně

Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )

Adhezní síly v kompozitech

Katalýza na nanostrukturách edí

Výstupní práce Materiály a technologie přípravy M. Čada

Glass temperature history

Podivuhodný grafen. Radek Kalousek a Jiří Spousta. Ústav fyzikálního inženýrství a CEITEC Vysoké učení technické v Brně. Čichnova

Nové typy materiálů na bázi uhlíku. Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba

Zdroj: Bioceramics: Propertie s, Characterization, and applications (Biokeramika: Vlastnosti, charakterizace a aplikace) Překlad: Václav Petrák

Nauka o materiálu. Přednáška č.2 Poruchy krystalické mřížky

Tepelné rozklady železo obsahujících sloučenin pohledem Mössbauerovy spektroskopie

Hmotnostní spektrometrie

Fyzikální metody depozice KFY / P223

PLASMA ENHANCED CVD. Modifikace práškových částic diamantu v chemické plazmové rotační reaktorové komoře

Hmotnostní spektrometrie

Vysoká škola technická a ekonomická v Českých Budějovicích. Institute of Technology And Business In České Budějovice

SPEKTROMETRIE. aneb co jsem se dozvěděla. autor: Zdeňka Baxová

Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze

Nanotrubky. Seminární práce. Autor: Jiří Gabryš Datum: Obor: Nové technické materiály

Chemické metody plynná fáze

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

Separace plynů a par. Karel Friess. Ústav fyzikální chemie, VŠCHT Praha. Seminář Praha

Oxidace allotropických forem uhlíku

I N V E S T I C E D O R O Z V O J E V Z D Ě L Á V Á N Í

Jiří Oswald. Fyzikální ústav AV ČR v.v.i.

Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě

Plazma v technologiích

Fyzikální vlastnosti materiálů FX001

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory

Druhy vláken. Technická univerzita v Liberci Kompozitní materiály, 5. MI Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Transkript:

Uhlíkové nanostruktury fullereny, nanotrubky Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. 1

Nanostruktury uhlíku 3D, 0D 1D 2D 2

Micro -> Nano 3

Dnešní téma Jak lze syntetizovat fullereny. Jak lze deponovat diamantovou vrstvu s ~nm krystaly. Rozdíl mezi nanotrubkami a vlákny, jaké jsou vlastnosti nanotrubek. Jak lze růst uhlíkové nanotrubky. Jakou roli hraje substrát, bariérová vrstva, katalyzátor jak jej připravit. Co přináší při depozici nanotrubek plazma. Jak nanotrubky analyzovat. 4

Fullereny 1985 - Kroto, Curl, Smalley 1990 - Huffmann, Krätschmer 1996 Nobel Prize in Chemistry Struktura respektuje IPR Isolated pentagonal rule, rychle roste počet isomerů d C60 = 0,7 nm krystalická forma fullerit velký účinný průřez pro záchyt nízko-energetických elektronů srovnatelný s SF 6 Za pokojové teploty mohou molekuly v krystalu rotovat. C 60 : Buckminsterfullerene, H. W. Kroto, J. R. Heath, S. C. O'Brien, R. F. Curl & R. E. Smalley, Nature 318, 162-163 (14 November 1985) 5

Fullereny syntéza Laserová ablace odpařování uhlíkového terče v He atmosféře Tlak ~ 100 Torr (13 kpa) separace odstředění v centrifůze a kapalinová chromatografie. Rychlá detekce barva roztoku v toulenu nebo CS 2 C 60 vínová, C 70 hnědá. Obloukový výboj He atmosféra, 13 kpa, Oblouk v kontaktu nebo konstantní proud desítky až 100 A, 24V. Depozit na stěnách aparatury. Analýza hmotová spektroskrometrie C 60-720 amu, C 70 840 amu. Nukleární magnetická rezonance C 60 1 čára, C 70 5 čar. Lawrence T. Scott, Methods for the Chemical Synthesis of Fullerenes, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 4994 5007., Hot Topic: Organic solar cells with fullerenes 6

Syntéza fullerenů rozkladem organických sloučenin ve vf. výboji Nerezová nádoba 20 cm průměr, 25 cm výška Rozkládané uhlovodíky toluen, benzen, CCl 4 (0,2 0,3 cm 3 /min) Výkon - 27 MHz,2 kw, doba syntézy 10-30 minut Pracovní atmosféra Helium 60 150 Torr 7

Krátká poznámka o růstu diamantových vrstev s ~nm krystaly -nanokrystalický x ultra-nanokrystalický diamant nukleace a růst 8

Ultra-nanokrystalický diamant - nukleace Bias Enhanced Nucleation BEN in-situ nukleace diamantové vrstvy ~ 10 12 cm 2 9

Ultra-nanokrystalický diamant Vysoká koncentrace CH 4-10 procent proti 1-2 tradičně, 2x snížena drsnost vrstvy H/N/C mixtures T. Frgala, PhD Thesis preferenční růst 100 směru 10

Uhlíkové nanotrubky 11 K. Hata et.al., Water-Assisted Highly Efficient Synthesis of Impurity-Free Single-Walled Carbon Nanotubes, Science, 2004, 306, 1363

Struktura: nanotrubky x nanovlákna Nanovlákna rovina svírá s osou nenulový úhel Nanotrubky Carbon nanotubes (CNTs) stěna rovnoběžná s osou -jednostěnné (SWCNTs) zig-zag (n,0), armchair (n,n), chiral (n,m) -mnohostěnné (MWCNTs) a délka základního vektoru a 3a C nm a C C C 0,144 nm 3 1 3 1 a a 1,a 2 vektory báze,,, a 2 2 2 2 C chirální vektor C na 1 ma 2 ( 0 m n ) 2 2 L délka C L C a n m nm d t průměr d t L / chirální úhel sin 2 cos 2 3m, 2 2 n m nm 2n m, 2 2 n m nm 0 6 3m tan 2n m N.M.Rodrigeuz et al., Langmuir 11, 3862(1995), S.Iijima, Nature 354, 56(1991), Saito, G. Dresselhaus, M.S. Dresselhaus, Physical properties of Carbon nanotubes, Imperial college Press, London, 1998 12

Vlastnosti nanotrubek Konfigurace SWCNTs a) armchair (10,10) b) zigzag (12,0) c) chiralní (7,16) SWCNTs jsou vodiči pro n-m =3i nebo polovodiče pro n-m 3i s zakázaným pásem Eg~ 0.4-0.7 ev v závislosti na hodnotách n, m, mnohostěnné nanotrubky mají zakázaný pás Eg ~ 0 ev V krystalu se uspořádávají do trsu, closed packed triangular lattice, vzdálenost mezi vrstvami je 3.4 A, hustota 1.35 g/ cm 3, vzdálenost v MWCNTs je 0,34 0,39 podle průměru Nanotrubky mají unikátní mechanické vlastnosti Youngův modul 1 TPa (SWCNT) a 1,2 TPa (MWCNT), Ocel 230 GPa Mez pevnosti v tahu 60-100 GPa Maximální deformace 10-30 % Elektrické vlastnosti odpor 10-4 W/cm Maximální proudová hustota 10 12-10 13 A/m 2 kvantová vodivost (12,9 kw) -1 Tepelná vodivost Jednostěnné 1750-5800 W/mK Mnohostěnné >3000 W/mK, měd 400 W/mK H. J. Dai, Surf. Sci. 500, 218 {2002) Emisní vlastnosti: několik A/cm 2 při hustotě nanotrubek 10 8-10 9 /cm 2 K. B.K. Teo, C. Singh, M. Chhowalla, W. I. Milne, Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, Vol. 10, Eds. H.S. Nalwa, American Scientific Publishers, Los Angeles, 2003 http://www.applied-nanotech.com/cntproperties.htm, http://www.pa.msu.edu/cmp/csc/ntproperties/ 13

Metody syntézy nanotrubek Vysokoteplotní metody - obloukový výboj mezi uhlíkovými elektrodami - laserová ablace uhlíkového terče -vysoká teplota (3500 C), -krátká doba růstu několik ms -V případě SWCNTs nutný katalyzátor přechodový kov Fe, Ni, Co atd. Nízkoteplotní metody - metody CVD ( thermal, hot filament, PECVDrf,mw,dc) -Teplota 500-1200 C, doba depozice minuty až hodiny, pouze jedna nanotrubka roste z katalytické částice (Fe,Ni,Mo,Co), která určuje její průměr -PECVD vertikální uspořádání díky přítomnosti el.pole (0,1 V/mm), jinak pouze hustotou růstu(van der Walls), snížení depoziční teploty, kompatibilita se současnými mikroelektronickými procesy - HiPCO High pressure CO decomposition 10-30 atm CO, CO+ ppm Fe(CO) 5, CoMoCAT K.B.K. Teo, R.G. Lacerda, M.H. Yang, A.S. Teh, L.A.W. Robinson, S.H. Dalal, N.L. Rupesinghe, M. Chhowalla, S.B. Lee, D.A. Jefferson, D.G. Hasko, G.A.J. Amaratunga, W.I. Milne, P. Legagneux, L. Gangloff, E. Minoux, J.P. Schnell, and D. Pribat. "Carbon Nanotube Technology for Solid State and Vacuum Electronics" IEE Proceedings in Circuits, Devices and Systems (Nanoelectronics issue) 151, 443 (2004). 14

CoMoCAT SWNT are grown by CO disproportionation (decomposititon into C and carbon dioxide) at 700-950 in flow of pure CO at a total pressure that typically ranges from 1 to 10 atm, http://www.ou.edu/engineering/nanotube/comocat.htm, http://www.chasmtek.com/technology.html 15

Katalyzátor Katalyzátor Fe,Co,Mo,Ni nebo kombinace transition metals konečná rozpustnost kovu v C, u Fe v C to může být i několik procent v závislosti na podmínkách, především teplotě -> difúze,saturace a precipitace -> růst CNT,CNF. Obecně oba typy struktur charakterizuje při vyšších teplotách mechanismus VLS Vapor-Liquid -Solid Musí být částice! Vysoká mobilta částic i pod teplotou tání, Base a tip růstový mód > kopíruje průměr částice Metody přípravy katalyzátoru chemické kapalný katalyzátor, koloidní částice, fyzikální napařování, naprašování Chemická příprava kobalt acetát a nikl acetát je rozpuštěn v ethanolu (0,05 wt) -> dipcoating 10 minut s vytažením rychlostí 4 cm/min. Následuje žíhaní substrátu v peci 5 minut 400 C na vzduchu. Takto vzniknout částice oxidů kovů. Katalyzátor na substrátech a tzv. plovoucí katalyzátor generovaný přímo v systému z organokovu pentakarbonyl železa Fe (CO) 5, ferrocen Fe C10H10. Výrazný vliv na velikost částic má interakce se substrátem! Využití Al 2 O 3 napaření Al 20 nm přežíhání na 500 C na vzduchu po 10 minut vytvoří Al 2 O 3 vrstvu. zastavení růstu - catalyst poisoning- a-c K. B.K. Teo, C. Singh, M. Chhowalla, W. I. Milne, Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology, Vol. 10, Eds. H.S. Nalwa, American Scientific Publishers, Los Angeles, 2003 16

Interakce s bariérovou vrstvou Tvorba sloučeniny materiálu substrátu a katalyzátoru snížení katalytické aktivity či uplné znemožnění růstu Řešení použítí mezivrstvy-buffer layer, neinteraguje s katalyzátorem, plní různé funkce zabránění difúze, zlepšení adheze a funkčních vlastnosti soustavy (elekt. a tepelná vodiv.) Buffer layer na Si SiO 2,TiN,Al 2 O 3 apod. může mít vliv na proces růstu CNTs Y. J. Jung, B. Wei, R. Vajtai, and P. M. Ajayan, "Mechanism of Selective Growth of Carbon Nanotubes on SiO 2 /Si Patterns", Nano Letters, 3, 561 (2003). Cao et.al., Appl. Phys. Lett., Vol. 84, No. 1,2004 T. de los Arcos et al., Carbon 42 (2004), 187; X.Li, Nano Lett., Vol. 5, No. 10, 2005,1997 17

Vliv podmínek při vytváření katalyzátoru 500 C, Si/SiO 2 (50 nm) substrate S. Pisana et al., Physica E, 37(1-2), 2007, 1-5 18

SiO 2 x Al 2 O 3 Si/SiO2 (Al 2 O 3 )/Fe(2,5 nm) pretreatmen: a) vakuum b) Ar a c) H 2 v 750 C, 10 Pa, 15 minut. 19

Růst nanotrubek s různou mezivrstvou Růst CNts a) SiO x b) Al x O y and c) bez buffer vrstvy. Ar/H 2 /CH 4 1540/430/42 sccm, 60 s, 400W, 700-750 C 20

Růst nanotrubek na definovaných plochách http://www.kennano.com/ 21

PECVD růst CNTs Doutnavý výboj, vyhřívaná grafitová elektroda, směs C 2 H 2 a NH 3, Ni katalyzátor Chhowalla et al., J. Appl. Phys., Vol. 90, No. 10, 2001,5308 22

PECVD růst CNTs 23

CNTs v za použití kapacitně vázaného výboje 24

PECVD růst za atmosférického tlaku v pochodňovém výboji Microwave plasma torch operating at 2,45 GHz, max. 2 kw power, dual gas flow Center - Ar(500-1500 sccm)/ Outer - H 2 (250-500 sccm)/ch 4 (10-50 sccm) Si/Fe, Si/SiO x /Fe, Si/Al x O y /Fe substrates Fe(1-10 nm) vacuum evaporated, SiO x PECVD O. Jašek, M. Eliáš, L. Zajíčková et al., Materials Science and Eng. C, 26, 2006, 1189 25

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji SEM analýza nanotrubek deponovaných na substrát s vrstvou Fe 10 nm (Q CH4 =50 sccm, Q H2 =300 sccm, Ar=1000 sccmt S =700 0 C, t d =15 min.). 26

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji 1500x 40000x 20000x 60000x 27

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji Fotografie nanotrubek na substrátu s vrstvou Fe deponovaných za následujících podmínek (Q CH4 =20 sccm, T S =700 0 C t d =15 min.). Zobrazení materiálového kontrast. Bílé těčky jsou částice Fe na koncích nanotrubek TEM snímek 28

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji - HRTEM 29

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji SE/BSE Catalyst poisoning 30

Depozice na substrátech bez mezivrstvy SiO 2 Ar 1000 sccm, CH4 50 sccm, H2 300 sccm Fe 10 nm, 20-25 minut 31

Ramanovská spektroskopie - CNTs Si/SiO 2 /Ni 10 nm, pretreatment 100 sccm H 2,700 C, 5 min, 200 W depozice 50 sccm H 2, 50 sccm CH 4, 30 mins,700 C, 200 W D-pás odpovídá chybám a defektům ve struktuře rovin (disorder) G-pás je tzv. tangenciální mód odpovídající vibracím dvojce C-C v rovině grafitu RBM mód odpovídá vibracím kolmým na osu nanotrubky tzv. dýchaní 32

CNTs v mikrovlnném pochodňovém výboji floating catalyst TEM micrograph of MWCNTs/SWCNTs deposited from mixture of Ar/H 2 /CH 4 and Fe(CO) 5 Raman spectra of deposited nanostructures 33

Další kapitoly pro CNTs -Čistění CNTs -Umisťování CNTs - optimalizace ve směru chirality CNTs - 34

Lekce 7 1. Kterou metodou bylo poprvé připraveno větší množství fullerenů? Popište podmínky depozice touto metodou. 2. Kolik čar bude mít NMR spektrum fulerenu C 60 a kolik fullerenu C 70? 3. Jak ovlivní proces nukleace diamantová vrstvy výslednou velikost krystalů ve vrstvě? Jmenujte metodu, kterou lze řídit nukleaci během růstu diamantové vrstvy. 4. Jakou metodou lze připravit mnohostěnné uhlíkové nanotrubky bez katalyzátoru? Jakou plynovou atmosféru a o jakém tlaku použijete? 5. Jakou podobu musí mít katalyzátor při depozici uhlíkových nanotrubek metodou depozice z plynné fáze? Proč používáme přechodové kovy jako katalyzátor? 6. Jakou úlohu hraje velikost nanočástic katalyzátoru při růstu uhlíkových nanotrubek? 7. Co je úlohou bariérové vrstvy při růstu uhlíkových nanotrubek metodou depozice z plynné fáze? 8. Jaké rozdíly vykazuje depozice uhlíkových nanotrubek z plynné fáze v přitomnosti plazmatu oproti situaci bez něj? 9. Uveďte alespoň tři metody jak, lze určit velikost uhlíkových nanotrubek a přítomnost katalyzátoru. Jak určíte složení katalyzátoru? 10. Popište základní charakteristiky Ramanovského spektra uhlíkových nanotrubek. Jak se liší spektrum jednostěnných a mnohostěnných nanotrubek? 35