Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011

Podobné dokumenty
Plazmové metody. Elektrické výboje v plynech

Elektrická zařízení III.ročník

Plazma v technologiích

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Samostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

Elektrický proud v plynech

Přednáška 4. Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje

Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Hradec Králové, Vocelova 1338, příspěvková organizace

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V PLYNU, SAMOSTATNÝ A NESAMOSTATNÝ VÝBOJ

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Základy spektroskopických metod

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

Integrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673, Slaný

Mgr. Ladislav Blahuta

Tenká vrstva - aplikace

Obloukový výboj. 1. Depozice povlaků NNO 2. Atmosférické výboje 3. Plazmové svařování a dělení materiálu

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH

AD1M14VE2. Přednášející: Ing. Jan Bauer Ph.D. bauerja2(at)fel.cvut.cz. Speciální aplikace výkonové elektroniky + řízení pohonů

Přehled metod depozice a povrchových

Plazma. magnetosféra komety. zbytky po výbuchu supernovy. formování hvězdy. slunce

Tématické okruhy teoretických zkoušek Part 66 1 Modul 3 Základy elektrotechniky

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

OPTICK SPEKTROMETRIE

AUTOMATICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Maturitní temata z fyziky pro 4.B, OkB ve školním roce 2011/2012

Elektrostatické pole. Vznik a zobrazení elektrostatického pole

Maturitní témata fyzika

DOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace

Technika vysokých napětí. Elektrické výboje v elektroenergetice

Odporové topné články. Elektrické odporové pece

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev

ELEKTRICKÉ ZDROJE TEPLA

Speciální metody obrábění

Plazmatická úprava povrchu materiálů ve školní laboratoři

Úvod do fyziky plazmatu

Netřískové způsoby obrábění

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

Plynové lasery pro průmyslové využití

Měření vakua. Vacuum Technology J.Šandera, FEEC, TU Brno 1

OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE

Převod mezi kelviny a Celsiovými stupni se počítá podle vztahu:

Vliv mikrovlnného plazmatu vzduchu na smáčivost povrchů syntetických polymerů. Bc. Ivana Kupská

Hmotnostní spektrometrie

Analýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji

Urychlovače nabitých částic

PRŮRAZ VZDUCHOVÉ MEZERY MEZI ELEKTRODAMI GENERÁTORU NÍZKOTEPLOTNÍ PLAZMY (reg.číslo GAČR 101/05/0643)

ZŠ ÚnO, Bratří Čapků 1332

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o.

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

Maturitní otázky z předmětu FYZIKA

Laboratorní úloha č. 2 Vzájemná induktivní vazba dvou kruhových vzduchových cívek - Faradayův indukční zákon. Max Šauer

Číslo: Anotace: Prosinec Střední průmyslová škola a Vyšší odborná škola technická Brno, Sokolská 1

Elektřina: Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Nesamostatný výboj TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

OES S BUZENÍM V PLAZMATU

Elektřina. Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

TECHNIKA VYSOKÝCH NAPĚŤÍ. Elektrická pevnost

Základní experiment fyziky plazmatu

Úvod do fyziky plazmatu

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ KATEDRA TECHNOLOGIÍ A MĚŘENÍ BAKALÁŘSKÁ PRÁCE

MASARYKOVA UNIVERZITA PŘÍRODOVĚDECKÁ FAKULTA SEKCE CHEMIE ODDĚLENÍ ANALYTICKÉ CHEMIE. Disertační práce

IONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:

METODY OBRÁBĚNÍ. Dokončovací metody, nekonvenční metody, dělení mat.

2 Experiment Rady a doporučení pro práci s plynovými láhvemi Rady a doporučení pro práci s vysokým napětím

III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách

Modul výkonových spínačů s tranzistory N-FET

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ KATEDRA ELEKTROENERGETIKY A EKOLOGIE DIPLOMOVÁ PRÁCE

OES S BUZENÍM V PLAZMATU

12 Měření na zářivce

Vznik tepla z elektrické energie

Značky systémů analogových měřicích přístrojů

Osnova: 1. Zdroje stejnosměrného napětí 2. Zatěžovací charakteristika

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Obrábění. Název: Téma: Fyzikální metody obrábění 1. Ing. Kubíček Miroslav. Autor:

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Dělení a svařování svazkem plazmatu

OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE

TECHNIKA VYSOKÝCH NAPĚŤÍ. #4 Elektrické výboje v elektroenergetice

Fyzika, maturitní okruhy (profilová část), školní rok 2014/2015 Gymnázium INTEGRA BRNO

Vedení elektrického proudu v plynech a ve vakuu

Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování. Počítačová simulace procesu

RENTGENKY ČASU. Vojtěch U l l m a n n f y z i k OD KATODOVÉ TRUBICE PO URYCHLOVAČE

MATURITNÍ TÉMATA Z FYZIKY

vodič u něho dochází k transportu el. nabitých částic, který je nevratný, dochází ke vzniku proudu a disipaci energie

Projekt: Inovace oboru Mechatronik pro Zlínský kraj Registrační číslo: CZ.1.07/1.1.08/

Senzory ionizujícího záření

HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE - kvalitativní i kvantitativní detekce v GC a LC - pyrolýzní hmotnostní spektrometrie - analýza polutantů v životním

Polovodiče ELEKTROTECHNIKA TO M Á Š T R E J BAL

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ

teplo se šíří z teplejšího prostředí do chladnějšího: a) vedením

Výukový materiál zpracován v rámci projektu EU peníze školám Registrační číslo projektu: CZ.1.07/1.5.00/

Mol. fyz. a termodynamika

Profilová část maturitní zkoušky 2017/2018

Maturitní témata profilová část

Polovodičové diody Elektronické součástky pro FAV (KET/ESCA)

ODBORNÝ VÝCVIK VE 3. TISÍCILETÍ. Elektroerozivní obrábění řezání drátovou pilou

Anomální doutnavý výboj

Transkript:

Gas Discharges Overview of Different Types Jan Voráč ÚFE 14. listopadu 2011 Obrázky použité v této prezentaci jsou nestoudně ukradeny z internetu, z archivů pracovníků ÚFE MU, ze skript Základy fyziky plazmy Viktora Martišovitše a z knihy Industrial Plasma Engineering J. R. Rotha Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 1 / 14

Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 2 / 14

Výboje buzené stejnosměrně

V-A Charakteristika [Martišovitš] Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 4 / 14

V-A Charakteristika [Roth] Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 5 / 14

V-A Charakteristika [Wiki] A: random pulses by cosmic radiation; B: saturation current; C: avalanche Townsend discharge; D: self-sustained Townsend discharge; E: unstable region: corona discharge; F: sub-normal glow discharge; G: normal glow discharge; H: abnormal glow discharge; I: unstable region: glow-arc transition; J: electric arc; K: electric arc Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 6 / 14

Nesamostatný výboj Detekce ionizačního záření Na obrázku schema Geiger-Müllerova čítače Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 7 / 14

Koróna Vzniká tam, kde je elektrické pole dost silné na vznik elektronové laviny a zároveň podmínky neumožňují přejít v doutnavý výboj či oblouk. Důležitou roli hraje fotoionizce. Je třeba silně nehomogenní elektrické pole, typicky v okolí hran s velmi malým poloměrem křivosti, a vyšší tlak, alespoň 1 kpa Aplikace: Elektrostatické čištění vzduchu, produkce ozónu, čištění vody, povrchové úpravy, laserové tiskárny Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 8 / 14

Doutnavý/tlecí výboj / Glow discharge / Glimmentladung / Décharge luminescente Aplikace: zdroje světla, plynové lasery, základní výzkum Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 9 / 14

Elektrický oblouk/oblúk / Electric Arc / Lichtbogen / Arc électrique Izotermické plazma, katoda se vlivem silného elektrického proudu zahřívá a dochází k termoemisi elektronů U snadno tavitelných kovů dochází k vypařování a chybějící skupenské teplo pak neumožní dosáhnout teplot potřebných k termoemisi. I přesto lze dosáhnout oblouku pomocí autoemise (překonání výstupní práce pomocí silného vnějšího elektrického pole). Proud z katody vychází relativně úzkým kanálem (katodovou skvrnou) o obrovské proudové hustotě ( 10 8 A/cm 2 ) Aplikace: zdroje světla (silné projektory, jevištní osvětlení), svařování, obrábění, dříve pouliční osvětlení Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 10 / 14

Výboje buzené střídavě

Induktivně vázané plazma / Inductively Coupled Plasma Energii do výboje dodávájí indukční elektrické proudy potřebujeme časově proměnné magnetické pole Typicky se používá cívka a střídavé vysokofrekvenční napětí Tyto výboje mívají vysokou teplotu a hustotu elektronů, mají podobné využití jako elektrický oblouk Plazma nemusí být v přímém kontaktu s elektrodou omezí se eroze elektrod a prodlouží se životnost systému. Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 12 / 14

Kapacitně vázané plazma / Capacitively Coupled Plasma Zapaluje se mezi dvěma elektrodami, jejichž uspořádání připomíná kondenzátor (např. planparalelními), z nichž jedna je uzeměná, na druhou je přivedeno střídavé napětí Slabě ionizované nerovnovážné plazma, připomíná doutnavý výboj V průmyslu se velmi často používá k depozicím či leptání Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 13 / 14

Dielectric/Resistive Barrier Discharge Na elektrody přivedeme napětí, jež způsobí dielektrický průraz prostředí (např. vzduchu) Zapálení el. oblouku zabráníme tím, že mu postavíme do cesty dielektrikum o vyšší elektrické pevnosti (DBD), případně materiál s vysokým odporem, v řádu MΩ/cm (RBD) V případě DBD se stochasticky objevují filamenty, každý z nich hoří několik desítek nanosekund a v plazmatu se tak nestihne ustavit tepelná rovnováha Aplikace: úprava povrchů, výroba ozónu Jan Voráč (ÚFE) Gas Discharges 14. listopadu 2011 14 / 14