Příloha 4 Technická specifikace veřejné zakázky Dodávka vakuových vývěv, vakuových ventilů a vakuových komponent část položka název, popis kusů 1 VAKUOVÉ VÝVĚVY 1.1 Turbo molekulární vývěva s řídící jednotkou 5 příruba: DN 100 ISO-K čerpací rychlost pro N2: > 250 l/s max. povolený tlak na výstupu: > 15 mbar kompresní poměr pro H2: > 5.10 5 max. průtok plynu pro N2: > 5 mbar l/s doba náběhu: < 3 min stupeň krytí: IP 54 pracovní poloha libovolná elektronická řídící jednotka ve verzi pro radiační prostředí umístitelná až 100 m od vývěvy 1.2 Příslušné kabelové propojení k 1.1, 70 m 1 1.3 Příslušné kabelové propojení k 1.1, 50 m 1 1.4 Příslušné kabelové propojení k 1.1, 30 m 1 1.5 Příslušné kabelové propojení k 1.1, 3 m 1 1.6 Turbo molekulární vývěva s řídící jednotkou 4 příruba: DN 100 CF-F čerpací rychlost pro N2: > 250 l/s max. povolený tlak na výstupu: > 15 mbar kompresní poměr pro H2: > 5.10 5 max. průtok plynu pro N2: > 5 mbar l/s doba náběhu: < 3 min stupeň krytí: IP 54 pracovní poloha libovolná elektronická řídící jednotka zavzdušňovací ventil vzduchové chlazení příslušné kabelové propojení 3 m 1.7 Bezolejová předčerpávací vývěva 5 pracovní teplota 40 C chlazení vzduch napájení 230 V +/-10 %, 50 spotřeba energie při konečném tlaku max. 500 W čerpací rychlost 12 až 15 m3/h konečný tlak 0.03 hpa vlastní těsnost 5 10-7 hpa l/s rozměry max. L,W,H - max. 600x200x300 vstupní DN ISO KF 25 výstupní DN ISO KF 16 1
teplota okolí 12 až 40 C vstupní tlak 1012 hpa 1.8 Bezolejová předčerpávací vývěva 1 pracovní teplota 40 C chlazení vzduch napájení 230 V +/-10 %, 50 spotřeba energie při konečném tlaku max. 750 W čerpací rychlost 25 až 40 m3/h konečný tlak 0.03 hpa vlastní těsnost 5 10-7 hpa l/s rozměry max. L,W,H - max. 700x250x400 vstupní DN ISO KF 25 výstupní DN ISO KF 25 teplota okolí 12 až 40 C vstupní tlak 1012 hpa 2
část položka název, popis kusů 2 VAKUOVÉ VENTILY 2.1 Deskový ventil ISO DN 100 4 může být otevřený pro rozdíl tlaků 3.10 1 hpa konečná/otevírací doba 2 s materiál desek a pružin nerez ovládání el. 24 V DC ovládání elektropneumatické signalizace polohy 250 V/5 A max teplota použití 120 C ovládací tlak vzduch (přetlak) max. 700 kpa vodivost pro molekulární tok 2000 l/s 2.2 Deskový ventil ISO DN 63 6 může být otevřený pro rozdíl tlaků 3.10 1 hpa konečná/otevírací doba 2 s materiál desek a pružin nerez ovládání el. 24 V DC ovládání elektropneumatické signalizace polohy 250 V/5 A max teplota použití 120 C ovládací tlak vzduch (přetlak) max. 700 kpa vodivost pro molekulární tok 500 l/s 2.3. Deskový ventil ISO DN 63 ruční 2 může být otevřený pro rozdíl tlaku 3.10 1 hpa vodivost pro molekulární tok 500 l/s 2.4 Ventil rohový DN 16 pneu/24dc 6 teplota ovládání a řídícího ventilu max. 50 C max teplota použití 150 C max čas uzavření 100 ms ovládací tlak vzduch (přetlak) max. 800 kpa vodivost pro molekulární tok 5 l/s 3
rozdíl tlaků v konečném směru 500 kpa rozdíl tlaků v otvíracím směru 200 kpa elektrický přístroj ukazující polohu 250 V AC 0.1 A ; 50 V DC/ 0.25 A materiál sedla a vlnovce nerez příruba vstup DN 16 ISO - KF příruba výstup DN 16 ISO - KF otevírací doba 100 ms životnost 10000000 cyklů el. ovládání 24 V DC (2,5 W) vlastní těsnost 1 10-9 hpa l/s 2.5 Napouštěcí ventil Js 10 1 max teplota použití 150 C může být otevřený pro rozdíl tlaku z 200 kpa max čas uzavření 60 ms vodivost pro molekulární tok 1 l/s rozdíl tlaků v konečném směru 1000 kpa rozdíl tlaků v otvíracím směru 500 kpa příruba (v) DN 10 ISO - KF příruba (ven) DN 10 ISO - KF otevírací doba 45 ms životnost 1500000 cyklů el. ovládání 24 V DC četnost otevírání 50 /min vlastní těsnost 1 10-9 hpa l/s 2.6 Ventil rohový, DN 25 7 ovládání pneumatické, prac. tlak 1.10-6 Pa, těsnost 1.10-9 mbarl/s, materiál ventilu Al, těsnění NBR (viton) 2.7 ventil zavzdušňovací, KF 16, 2 prac. tlak 1.10-6 Pa, těsnost 1.10-9 mbarl/s, materiál ventilu Al, těsnění NBR (viton) 2.8 ventil rohový, DN 25 2 ovládání ruční, prac. tlak 1.10-6 Pa, těsnost 1.10-9 mbarl/s, materiál ventilu Al, těsnění NBR (viton) 2.9 ventil rohový, DN 40 2 ovládání ruční, prac. tlak 1.10-6 Pa, těsnost 1.10-9 mbarl/s, materiál ventilu Al, těsnění NBR (viton) 2.10 ventil typu "gate valve" DN 40 1 ovládání pneumatické, prac. tlak 1.10-6 Pa, těsnost 1.10-9 mbarl/s, materiál ventilu Al, těsnění NBR (viton)+b8 2.11 ultravakuový ventil typu "gate valve", příruby: DN 100 CF-F 1 minimální rozsah tlaku: e-10-1600 mbar, max. teplota: 250 C, max. netěsnost: < e-9 mbar.l/s, materiál těla ventilu: nerez ocel, těsnění: kov (tělo), Viton (deska), ovládání ruční - klikou (přenos pohybu na desku: nerez. vlnovec) 4
část položka název, popis kusů 3 VAKUOVÉ KOMPONENTY 3.1 vlnovcový kus DN 63 (100-200mm) 3 3.2 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 16 20 3.3 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 25 20 3.4 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 40 20 3.5 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 63 10 3.6 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 100 10 3.7 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 160 2 3.8 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 320 2 3.9 centrovací kroužek s těsněním NBR DN 400 1 3.10 křížový kus DN 25 2 3.11 křížový kus DN 40 2 3.12 křížový kus DN 63 1 3.13 T kus DN 40 2 3.14 koleno DN 63 1 3.15 redukce DN 100/63 1 3.16 vlnovcový kus DN 40 (50-150mm) 2 3.17 průzor ISO 160 2 3.18 elektrická průchodka 9žil DN16 ISO KF, p50v g 2A p 2 3.19 ISO KF 2 3.20 elektrická průchodka zásuvka 2 - inner plug, 9žil DN16 ISO KF 2 3.21 elektrická průchodka p 7žil KF40,380V 16A p gdn40 ISO p KF 1 3.22 KF 7žil 1 3.23 elektrická průchodka zásuvka 2 - inner plug DN40 ISO KF 7žil 1 3.24 průchodka BNC DN16 ISO KF 2 3.25 průchodka MHV DN16 ISO KF 2 5