Fries Research & Technology GmbH (FRT) Bergisch Gladbach, Germany www.frt-gmbh.com FRT - Fries Research & Technology Metrologické systémy Povrchová analýza Procesní kontrola FRT, Fries Research & Technology GmbH, Friedrich-Ebert-Strasse, 51429 Bergisch Gladbach, Germany Phone: +49 2204 842430, Fax: +49 2204 842431 Email: info@frt-gmbh.com, Web: www.frt-gmbh.com MTKJ Plzeň - 03/2007 1
12 let FRT - 1995 / 2007 FRT globálně - prodej a servis MTKJ Plzeň - 03/2007 2
FRT - typické měrné úlohy Topografie, profily drsnost, vlnitost výška textury radius křivky úhel Obrazové vyhodnocení průměr rozměr textura Kontrola waferů TTV průhyb zvlnění Tloušt ka vrstvy tenká vrstva tlustá vrstva multiplexní vrstva průběh tloušt ky FRT hlavní průmyslové zaměření Automobily Polovodiče mikroelektronika Optika MEMS / Nano Bartels Mikrotechnik MTKJ Plzeň - 03/2007 3
FRT multi-senzorové systémy FRT metrologické přístroje MicroProf 350 MicroProf 200 MicroProf mobile MTKJ Plzeň - 03/2007 4
FRT - TTV total thickness variation ( průběh tloušt ky) MFE - metrologie pro front end MTKJ Plzeň - 03/2007 5
FRT most mezi metrem a nanometrem 12 inch wafer mikrostruktura FRT - aplikace v elektronice - solder bumps drsnost profil koplanarita topografie průhyb MTKJ Plzeň - 03/2007 6
Kracík, P. - FRT GmbH FRT měření ve válcích profily drsnost nosná křivka úhly honování FRT MicroProf Cylinder FRT měření válců topografie 5 mm x 5 mm topografie 1mm x 1mm MTKJ Plzeň - 03/2007 7
FRT měření válců vlastnosti mobilita bezkontaktní měření rozlišení; vertikálně do 10 nm rozlišení; laterálně do 2 µm automatizované měření samokalibrace měrné úlohy: axiální profily (0, 90, 180, 270 ) radiální profily textury honování měření opotřebování automatické vyhodnocování FRT měření válců profily 0, 90, 180, 270 drsnost MTKJ Plzeň - 03/2007 8
FRT měření válců rozprostření úhlů při honování nosná křivka (Abott) objem oleje ve struktuře měření opotřebování FRT klikové,vačkové hřídele, a měření ložisek MTKJ Plzeň - 03/2007 9
FRT - aplikace u automobilových ložisek Metrologická měření os, tyčí, ložisek (vnitřní a vnější povrch), těsnění, klikových a vačkových hřídelí, válcových povrchů v blocích atd. Měření drsnosti, textury, průhybu, objemů,nosné křivky atd. FRT - aplikace u automobilových motorů pumpy, bloky, motor MTKJ Plzeň - 03/2007 10
FRT - aplikace u automobilových motorů těsnění vačková hřídel litina FRT - aplikace u automobilových motorů Profily a drsnost hřídelí, těsnění, bloků... Ra: 1.257 µm Rq: 1.527 µm Rz(ISO): 9.082 µm Rz(DIN): 8.371 µm Rmax: 10.098 µm Rp: 4.587 µm Rv: 5.519 µm Rt: 10.106 µm Rsk: 0.403 Rku: 2.647 RPc: 94.392/cm Rk: 3.792 µm Rpk: 1.775 µm Rvk: 0.944 µm Mr1: 17.311 % Mr2: 95.928 % V0: 0.019 µm3/µm2 MTKJ Plzeň - 03/2007 11
FRT - aplikace v elektronice tlustý film/ keramika FRT - řešení v MEMS Výška struktury šířka drsnost kontura MTKJ Plzeň - 03/2007 12
FRT - mikrostruktury FRT měření transparentních vrstev SU-08 na waferu MTKJ Plzeň - 03/2007 13
FRT - aplikace u automobilového interiéru FRT - aplikace u automobilového interiéru topografie 8 mm x 8 mm topografie 0,2 mm x 0,2 mm MTKJ Plzeň - 03/2007 14
FRT - aplikace u automobilového interiéru Výška struktury sebekontrola dělníka FRT - aplikace u automobilového interiéru TTV - globální variace tloušt ky, vestavěný airbag MTKJ Plzeň - 03/2007 15
FRT - aplikace u automobilového interiéru automatizace FRT - aplikace u automobilové optiky a osvětlení optika mikrooptika asféry MTKJ Plzeň - 03/2007 16
FRT MicroProf mobile mobilní měřící přístroj FRT - aplikace u automobilů - zákazníci Audi AG BMW AG Robert Bosch GmbH Benecke-Kaliko AG DAIMLERCHRYSLER Deuta Werke GmbH Emitec GmbH Eschmann-Stahl GmbH & Co. KG Texturing Group Ford Werke AG Hella KG Hueck & Co. Intier Automotive Eybl Interiors GmbH Osram Opto Semiconductors GmbH & Co. OHG Peguform Werke GmbH Rehau AG & Co. Siemens VDO Automotive AG Valeo Auto-Electric GmbH & Co. KG Voestalpine Stahl GmbH Volkswagen AG Witte-Velbert GmbH & Co. KG MTKJ Plzeň - 03/2007 17
FRT zákazníci MTKJ Plzeň - 03/2007 18