MODIFIKACE POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ Ti6Al4V METODAMI VYUŽÍVAJÍCÍMI IONTOVÝCH A ELEKTRONOVÝCH SVAZKŮ

Podobné dokumenty
Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Tenká vrstva - aplikace

VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD

Metody depozice povlaků - CVD

Analýza PIN-on-DISC. Ing. Jiří Hájek Dr. Ing. Antonín Kříž ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ

Hodnocení opotřebení a změn tribologických vlastností brzdových kotoučů

Metodika hodnocení opotřebení povlaků

Náhrada povlaků tvrdého chromu povlaky na bázi niklu

COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST

Typy interakcí. Obsah přednášky

ruvzdorné povlaky endoprotéz Otěruvzdorn Obsah TRIBOLOGIE Otěruvzdorné povlaky endoprotéz Fakulta strojního inženýrství

Vlastnosti tenkých DLC vrstev

Slovo úvodem. strana 1

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?

VLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ

CYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý

Prášková metalurgie. 1 Postup výroby slinutých materiálů. 1.1 Výroba kovových prášků. 1.2 Lisování pórovitého výlisku

Hodnocení tribologických vlastností procesních kapalin

ELEKTRONICKÉ PRVKY TECHNOLOGIE VÝROBY POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ

Iradiace tenké vrstvy ionty

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o.

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování

1 Moderní nástrojové materiály

ELEKTROCHEMIE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI ELECTRO-CHEMICAL ANALYSIS ON SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE

HODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH. Klára Jacková, Ivo Štepánek

TEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek

EVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE

Nízká cena při vysokých množstvích

VLASTNOSTI KŘEMÍKOVANÝCH VRSTEV NA TITANU PROPERTIES OF SILICONIZED LAYERS ON TITANIUM. Magda Morťaniková Michal Novák Dalibor Vojtěch

VLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT

Vrstvy a povlaky 2007

Přehled metod depozice a povrchových

TEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU

Úvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství.

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

Plazma v technologiích

PVD povlaky pro nástrojové oceli

CZ.1.07/1.1.30/ SPŠ

DOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace

Vlastnosti a struktura oxidických vrstev na slitinách titanu

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

Elektricky vodivý iglidur F. Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost

COMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek

SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH

STUDY OF SELECTED DEPOSITION PARAMETERS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF THIN FILM SYSTEMS

Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev)

ŘEZNÉ MATERIÁLY. SLO/UMT1 Zdeněk Baďura

VLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek

ANALYTICKÝ PRŮZKUM / 1 CHEMICKÉ ANALÝZY DROBNÝCH KOVOVÝCH OZDOB Z HROBU KULTURY SE ZVONCOVÝMI POHÁRY Z HODONIC METODOU SEM-EDX

3.3 Výroba VBD a druhy povlaků

Zkoušení mechanických vlastností zkoušky tvrdosti. Metody charakterizace nanomateriálů 1

Diagram Fe N a nitridy

INTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II.

Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost

Teplotně a chemicky odolný, FDA kompatibilní iglidur A500

iglidur UW500 Pro horké tekutiny iglidur UW500 Pro použití pod vodou při vysokých teplotách Pro rychlé a konstantní pohyby

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?

Na Zemi tvoří vodík asi 15 % atomů všech prvků. Chemické slučování je děj, při kterém z látek jednodušších vznikají látky složitější.

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.

Pro vysoká zatížení iglidur Q

2. FYZIKÁLNÍ ZÁKLADY ANALYTICKÉ METODY RBS

DIFÚZNÍ SVAŘOVÁNÍ V OCHRANNÉ ATMOSFÉŘE S POUŽITÍM PŘECHODOVÝCH MEZIVRSTEV

VÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV

VYSOKOTEPLOTNÍ OXIDACE SLITIN TI-SI. T. Kubatík, D. Vojtěch, J. Šerák, B. Bártová, J. Verner

DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů

Mechanická modifikace topografie strojních součástí

Inovativní výrobky a environmentální technologie (reg. č. CZ.1.05/3.1.00/ ) ENVITECH

Experimentální studium utváření mazacích filmů při reverzaci a rozběhu třecích povrchů

LŠVT Mechanické vlastnosti: jak a co lze měřm. ěřit na tenkých vrstvách. Jiří Vyskočil, Andrea Mašková HVM Plasma, Praha

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Metody povrchové analýzy založené na detekci iontů. Pavel Matějka

Hodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů

Nauka o materiálu. Přednáška č.2 Poruchy krystalické mřížky

Požadavky na technické materiály

ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE FAKULTA STROJNÍ TECHNOLOGICKÉ POSTUPY

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

Výzkum slitin titanu - od letadel po implantáty

Pro vysoké rychlosti pod vodou

Vysoké teploty, univerzální

TRIBOLOGICKÁ ANALÝZA PIN-on-DISC. PIN-on-DISC TRIBOLOGICAL TEST. Jiří Hájek a Antonín Kříž b

J.Kubíček 2018 FSI Brno

METALOGRAFIE I. 1. Úvod

Hodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření

Aplikace metod využívajících iontové svazky k modifikaci slitiny Ti6Al4V

ACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION

Bez PTFE a silikonu iglidur C. Suchý provoz Pokud požadujete dobrou otěruvzdornost Bezúdržbovost

PROBLEMATICKÉ SVAROVÉ SPOJE MODIFIKOVANÝCH ŽÁROPEVNÝCH OCELÍ

VLIV KOROZNÍHO PORUŠENÍ NA PRUBEH DEPOSICNÍHO PROCESU A VLIV NA VÝSLEDNÉ VLASTNOSTI. Petr Fialka, Ivo Štepánek, Klára Jacková, Jirí Hána

FDA kompatibilní iglidur A180

iglidur H2 Nízká cena iglidur H2 Může být použit pod vodou Cenově výhodné Vysoká chemická odolnost Pro vysoké teploty

, Hradec nad Moravicí. LOUDA Petr Technická univerzita Liberec

Obrábění slitiny AlSi1Mg0,5Mn nástroji s progresivními tenkými vrstvami

CHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT MATERIALS AND CORRELATION WITH MORPHOLOGY OF FAILURES

Transkript:

MODIFIKACE POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ Ti6Al4V METODAMI VYUŽÍVAJÍCÍMI IONTOVÝCH A ELEKTRONOVÝCH SVAZKŮ Vladimír Jech 1, Josef Šepitka 1, Zdeněk Tolde 1 1 ČVUT v Praze, FS Úvodem Titanová slitina Ti6Al4V je v současné době stále nejrozšířenější titanovou slitinou využívanou v medicíně, a to především v ortopedii, kde slouží pro výrobu různých kloubních náhrad. Její přednosti plynou zejména z výhodného poměru pevnosti k hustotě, korozní odolnosti a biokompatibility. Jejímu většímu rozmachu však brání její tribologické vlastnosti, které jsou obecně špatné. Aby ji bylo možné bez problémů používat i pro takovéto účely, je zapotřebí ji vhodným způsobem povrchově upravit. Iontová implantace a metoda IBAD Iontová implantace je proces, kterým lze pomocí svazku urychlených iontů, vpravit do materiálu v oblasti blízkosti jeho povrchu řízené množství vybraných cizích částic. Počet dopadnutých částic na jednotku plochy povrchu během celé doby procesu se nazývá fluence. Energie svazků, které se obvykle pro implantaci používají, se pohybují v rozmezí 10 500 kev. Hloubky penetrací iontů (iontové dosahy) jsou v intervalu od 10 nm až po 1 mikron a jsou rostoucí funkcí energie iontů. Hloubka implantovaného iontu dále závisí na druhu iontu a materiálu terče. Ionty dopadající na povrch terče mají kinetickou energií o 4-5 řádů větší, než je vazebná energie jeho atomů a mohou tak po dopadu na povrch vytvářet sloučeniny. Teoreticky lze implantovat jakýkoli prvek do povrchové vrstvy jakékoli pevné látky, která vydrží podmínky vysokého vakua. IBAD je proces pro depozici tenkých vrstev, kombinující napařování (nebo jinou PVD metodu) a iontovou implantaci v prostředí vysokého vakua [1, 2]. Jednotlivé atomy či molekuly materiálu, ze kterého má tenký povlak vzniknout stoupají ve formě par k povrchu výrobku, kde kondenzují a vytváří tak vrstvu. Současně je povrch se vznikající vrstvou bombardován energetickými ionty. Výrobky jsou během procesu umístěny na rotačním manipulátoru ve vakuové pracovní komoře tak, aby ležely v průsečíku par povlakujícího materiálu a dopadajícího iontového svazku. Takovýto proces je označován jako simultánní IBAD (obr. 1).

Obr. 1: Zařízení a princip metody IBAD s využitím elektronového děla [1] Dále je možné provádět tzv. sekvenční IBAD, kdy se nejprve v pracovní komoře ve vakuu napaří či napráší tenká vrstva požadovaného složení a až poté je tato bombardována energetickými ionty. Sekvenční režim je využíván především tam, kde není k dispozici iontový zdroj (nebo nemá vhodné parametry) a PVD zařízení v jedné pracovní komoře. Pomocí metody IBAD lze vytvořit mnoho různých druhů kovových a keramických vrstev. Příkladem ušlechtilých vrstev může být stříbro, zlato, platina a titan. Některé tyto povlaky jsou využívány pro zlepšení bio-kompatibility a zaručují vodivost. Povlaky stříbra jsou také využívány pro tvorbu antibakteriálních povrchů v medicínském průmyslu. Mezi keramické povlaky patří Al 2 O 3, SiO 2 [3], TiN, TiCN, AlN [4], TiAlN. Keramické povlaky jsou využívány především pro zvýšení odolnosti výrobku proti opotřebení. Metodou IBAD lze také vytvořit gradientní vrstvy [5]. Proč právě uhlík Jedním z nejzajímavějších chemických prvků v přírodě je uhlík, který se vyskytuje jak ve formě jednoho z nejměkčích materiálů s dobrými kluznými vlastnosti grafit, tak zároveň jako nejtvrdší známý materiál vůbec diamant. Uhlík je navíc biokompatibilní a netoxický. V našem experimentu jsme se proto rozhodli na povrch slitiny Ti6Al4V aplikovat sekvenční formu metody IBAD za účelem vytvoření gradientní uhlíkové vrstvy. Tedy nejprve na povrchu slitiny vytvořit tenkou uhlíkovou vrstvu a poté provést implantaci dusíku. Výsledný povrch by měl vykazovat dobré kluzné vlastnosti a zároveň mít dostačující tvrdost. Pro ověření naší hypotézy byly u takto modifikovaného povrchu titanové slitiny Ti6Al4V následně vyšetřovány tribologické vlastnosti, tvrdost a složení. Modifikace povrchu Ti6Al4V Vzhledem k proveditelnosti naplánovaných analýz byly zvoleny zkušební vzorky ve tvaru disku s průměrem 2 cm a výškou 0,6 cm (obr. 2). Tyto vyleštěné vzorky (Ra 20 nm) bylo nejprve nutné zbavit zbytkových nečistot a mastnot, které mohly na jejich povrchu ulpět

během manipulace v průběhu výroby a leštění. Čištění vzorků bylo realizováno jak chemickou cestou (ultrazvuk izopropylalkohol), tak odprašováním iontovým svazkem. Iontová implantace dusíku Obr. 2: Zkušební vzorek z Ti6Al4V První skupina vzorků byla za účelem zvýšení povrchové tvrdosti implantována dusíkem, o různých fluencích. Implantací dusíku vznikají v titanové slitině fáze TiN. Výsledkem iontové implantace dusíku by tedy mělo být podstatné navýšení tvrdosti povrchové vrstvy slitiny Ti6Al4V. Aby byla tloušťka modifikované vrstvy co největší, byl zvolen vysokoenergetický implantátor s energií iontového svazku 90 kev. Iontový svazek dopadal kolmo na povrch slitiny. Vzhledem k tomu, že se nejedná o tvorbu povlaku, odpadají problémy spojené s adhezí a případnou delaminací. Označení vzorků společně s aplikovanou fluencí udává tabulka I. Tabulka I: Označení vzorků a výsledné fluence u vzorků implantovaných dusíkem. Označení vzorku N1 N2 N3 Fluence implantovaných dusíkových atomů při energii 90 kev [at/cm 2 ] 2x10 17 4x10 17 6x10 17 Metoda IBAD Vzhledem k předchozím zkušenostem bylo rozhodnuto vytvořit na povrchu titanové slitiny uhlíkovou vrstvu s tloušťkou 40 nm. Pokud si představíme, že 1 nm (tedy 10-9 m) odpovídá přibližně tisícině tloušťky lidského vlasu, jedná se opravdu o velice tenkou vrstvu. Proces napařování probíhal tak, že do kelímku v pracovní komoře zařízení IBAD byla umístěna grafitová tableta, která po celou dobu depozice vykonávala rotační pohyb konstantní rychlostí. Touto rotací byla při depozici zaručena rovnoměrná sublimace materiálu z větší plochy tablety. Pokud by tableta zůstala ve statické poloze, vznikl by v ní po čase kráter, který by při pokračujícím napařování mohl zapříčinit lokální propálení tablety a tím i její zničení. Doba napařování se odvíjí od napařovaného materiálu a potřebné tloušťky vrstvy. V našem případě jsme 40 nm uhlíku napařovali elektronovým dělem přibližně 30 min.

Pro následnou implantaci byl zvolen dusík a energie iontového svazku 90 kev, což mělo zajistit co možná nejlepší atomární míšení na rozhraní vrstva základní materiál. Právě energie iontového svazku je totiž jedním z faktorů, které udávají tzv. iontový dosah. Tedy hloubku implantace částic v pevné látce hloubku, do které urychlené částice svazku doletí před tím, než se zastaví. Fluence dusíkových atomů (celkový počet atomů které dopadnou na jednotku plochy za celou dobu implantace) byla zvolena po předchozích zkušenostech na 5x10 16 at/cm 2. Požadavkem bylo, aby se velká část atomů uhlíku z napařené vrstvy vtlačila do povrchu titanové slitiny Ti6Al4V. Vlivem implantace dusíkových atomů by pak v povrchové vrstvě slitiny měly vzniknout fáze TiN a TiC, díky nimž by měl být výsledný povrch podstatně tvrdší a vykazovat daleko lepší kluzné vlastnosti v porovnání s nemodifikovanou slitinou. Celkový přehled vzorků modifikovaných metodou IBAD včetně jejich zavedeného značení udává tabulka II: Tabulka II: Označení vzorků a jednotlivé parametry metody IBAD. Označení vzorku C1 C2 C3 C4 Tloušťka napařené uhlíkové vrstvy [nm] 20 40 20 40 Fluence implantovaných dusíkových atomů při energii 90 kev [at/cm 2 ] 1x10 17 1x10 17 5x10 16 5x10 16 Dosažené výsledky u zkušebních vzorků Vyšetřování tvrdosti bylo realizováno na ČVUT v Praze, FS, která disponuje oficiální demo laboratoří firmy Hysitron, Inc. Kvazistatický, silou řízený experiment probíhal na systému Hysitron TriboIndenterTM s diamantovým hrotem Berkovich, při teplotě 23,6 C. Na obr. 3 a 4 je porovnání průběhů tvrdostí referenčního vzorku (čistý vzorek bez povrchové úpravy) se vzorky implantovanými dusíkem a modifikovanými metodou IBAD v závislosti na hloubce. Je vidět, že provedené povrchové úpravy vedly k podstatnému navýšení povrchové tvrdosti titanové slitiny. Klesající průběhy křivky tvrdosti je dán ubývajícím množstvím dusíku (a tedy i fáze TiN) s rostoucí hloubkou.

Obr. 3: Závislosti tvrdosti na hloubce pro vzorky implantované dusíkem a pro vzorek referenční. Obr. 4: Závislosti tvrdosti na hloubce pro vzorky modifikované metodou IBAD a pro vzorek referenční. Koeficienty tření povrchově modifikovaných a referenčního vzorku byly vyšetřovány na Ústavu materiálů FS ČVUT na Karlově náměstí. Analýzy byly prováděny za sucha a při pokojové teplotě na tribometru Pin-on-Disc. Jako PIN sloužila ocelová kulička s průměrem 6 mm. Normálová síla byla nastavena na 1 N a rychlost rotace na 9,5 cm/s. Na obr. 5 je výsledek měření referenčního vzorku.

Obr. 5: Průběh koeficientu tření v závislosti na počtu cyklů referenčního vzorku. Z obrázku 8.33 vyplývá, že průměrná hodnota koeficientu tření referenčního vzorku se pohybuje okolo µ = 0,6. Dále je patrné, že koeficient tření během testu stále lineárně rostl. Průměrná šířka dráhy vytvořená PINem je cca 0,63 mm. Na obr. 6 jsou uvedeny výsledky vyšetřování koeficientu tření pro vzorky N1 až N3. Obr. 6: Průběh koeficientu tření v závislosti na počtu cyklů (vzorky N1 N3). Z obr. 6 vyplývá, že koeficient tření u vzorků pouze implantovaných dusíkem byl po zahájení testů velice malý. S počtem narůstajících cyklů však velice rychle roste od cca 0,075 až do cca 0,15, kdy dochází k porušení povrchové vrsty. Nejhůře dopadl vzorek N1, u kterého došlo k porušení povrchové vrstvy již okolo 250 cyklů a naopak nejdéle vydržel vzorek N3 (cca 400 cyklů).

Na obr. 7 jsou uvedeny výsledky vyšetřování koeficientu tření pro vzorky C1 až C4. Obr. 7: Průběh koeficientu tření v závislosti na počtu cyklů (vzorky C1 C4). Z obr. 7 je vidět, že u všech vzorků (C1 C4) došlo modifikací povrchu metodou IBAD k podsatnému snížení koeficientu tření vzhledem k referenčnímu vzorku. U vzorku C1 po 3800 cyklech však došlo k porušení povrchové vrstvy (průměrná šířka dráhy vytvořená PINem je cca 0,41 mm). Vzorek C3 vykazuje porušení vrstvy již po 400 cyklech (průměrná šířka dráhy vytvořená PINem je cca 0,62 mm). Nejlépe vychází vzorky C2 a C4, kde ani po 5000 cyklech nedošlo k výraznému porušení povrchové vrstvy. Koeficient tření se u obou blíží k hodnotě µ = 0,2, což je třetinová hodnota v porovnání s referenčním vzorkem (µ = 0,6).

Závěr Závěrem lze říci, že uhlíkové povlaky mají v povrchových úpravách své nezastupitelné místo. V současné době jsou již zaznamenány snahy průmyslově povrchově upravovat titanovou slitinu Ti6Al4V právě tímto druhem povlaků. Jedná se však výhradně o metody (většinou založené na plazmatu), díky nimž dochází k depozici povlaku pouze na povrch titanové slitiny. V takovýchto případech je pak velmi ošemetná otázka dostatečné adheze povlaku k povrchu výrobku, která zejména u tlustších uhlíkových povlaků bývá z důvodu velkého vnitřního pnutí špatná. Překlenutí tohoto problému může spočívat v použití metody IBAD, díky které je možné připravit povlak, jež je částečně zakotven do povrchové vrstvy výrobku, čímž dochází k výraznějšímu zlepšení adheze. I když je metoda IBAD v ČR teprve na začátku svého výzkumu ukázali jsme, že s její pomocí je možné podstatně zlepšit povrchovou tvrdost a tribologické vlastnosti titanové slitiny Ti6Al4V a má tak velký potenciál využití například v biomedicínském inženýrství. Literatura: [1] JAIN, I.P. a Garima AGARWAL. Ion beam induced surface and interface engineering. Surface Science Reports [online]. 2011, roč. 66, 3-4, s. 77-172 [cit. 2012-08-21]. ISSN 01675729. DOI: 10.1016/j.surfrep.2010.11.001. Dostupné z: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s0167572910000944 [2] RAUTRAY, Tapash R., R. NARAYANAN a Kyo-Han KIM. Ion implantation of titanium based biomaterials. Progress in Materials Science [online]. 2011, roč. 56, č. 8, s. 1137-1177 [cit. 2012-08-22]. ISSN 00796425. DOI: 10.1016/j.pmatsci.2011.03.002. Dostupné z: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s0079642511000430 [3] WANG, Jizhou, Yuqing XIONG, Duoshu WANG a Hongkai LIU. Study on preparation and characters of one multi-function SiO2 film. Physics Procedia [online]. 2011, roč. 18, s. 143-147 [cit. 2012-08-23]. ISSN 18753892. DOI: 10.1016/j.phpro.2011.06.072. Dostupné z: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s1875389211004032 [4] SUN, Y.D., M. TAN, J. GONG, M.Y. LIU, G.Q. LIU, X.Y. DENG a D.J. LI. Effect of Modulation Period and N Beam Bombarding Energy on the growth of Nanoscale ZrB2/AlN Multilayered Coatings Prepared by IBAD. Physics Procedia [online]. 2011, roč. 18, s. 154-159 [cit. 2012-08-23]. ISSN 18753892. DOI: 10.1016/j.phpro.2011.06.074. Dostupné z: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s1875389211004056 [5] VOLZ, K, M KIUCHI, M OKUMURA a W ENSINGER. C-SiC-Si gradient films formed on silicon by ion beam assisted deposition at room temperature. Surface and Coatings Technology [online]. 2000, 128-129, s. 274-279 [cit. 2012-08-23]. ISSN 02578972. DOI: 10.1016/S0257-8972(00)00604-6. Dostupné z: http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/s0257897200006046