Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence

Rozměr: px

Začít zobrazení ze stránky:

Download "Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence"

Libuše Pavlíková
před 8 lety
Počet zobrazení:

1 Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence Vedoucí bakalářské práce Ing. Zdeněk Buchta, Ph.D. Tomáš Pikálek 26. června / 11

2 Cíle práce Cíle práce Cíle práce seznámit se s laserovou interferometrií a interferometrií nízké koherence navrhnout a realizovat sestavu pro měření profilu povrchů provést měření zpracovat naměřená data výsledky srovnat s referenčním měřením 2 / 11

3 Návrh a realizace sestavy pro měření profilu povrchů Schéma sestavy zdroj světla LED vlákno f =5 mm Z HeNe laser KAM f =8 mm f =75 mm NF DD f =15 mm D SZ KD V DET RP detekční část Michelsonův interferometr 3 / 11

4 Návrh a realizace sestavy pro měření profilu povrchů Realizace sestavy vlákno konec vlákna LED čočka zrcadlo polopr. zrcadlo dělič svazku komp. deska čočka clona čočka HeNe laser čočka notch filtr kamera pol. zrcadlo det. vlhkosti fotodetektor det. CO 2 det. teploty vzorek mikr. posuv piezo posuv mikr. posuv ref. povrch det. teploty, tlaku, vlhkosti 4 / 11

5 Zpracování měření profilu povrchů Příklad naměřených signálů U V I a.u. I a.u.,5,4,3, n 5 / 11

6 Zpracování měření profilu povrchů Detekce středu interferenčního proužku Metody detekce středu proužku maximum signálu vážený průměr poloh maxim korelace fitování proužku analýza ve frekvenční oblasti maximum obálky NOVOTNÝ, Peter. Zpracování signálů v interferometrii nízké koherence. Brno, 211. Diplomová práce. Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Vedoucí práce Marie HAVLÍKOVÁ. I a.u. I a.u max. signálu max. obálky z 6 / 11

7 Zpracování měření profilu povrchů Výběr vhodné metody detekce proužku z 7,4 7,2 7, 6,8 6,6 z 7,4 7,2 7, 6,8 6, y x px px y x px px 7 / 11

Cíle práce Návrh a realizace sestavy Zpracování měření Srovnání s referenčním měřením Shrnutí Zpracování měření profilu povrchů Srovnání metod detekce proužku Srovnání metod měření rovinného povrchu

8 Cíle práce Návrh a realizace sestavy Zpracování měření Srovnání s referenčním měřením Shrnutí Zpracování měření profilu povrchů Srovnání metod detekce proužku Srovnání metod měření rovinného povrchu 6,3 odolnost vůči disperzi 6, výpočetní náročnost Vhodné metody z 5,7 5,4 fitování proužku (obálka) 5,1 upravená korelace s vhodným modelem 4,8 analýza ve frekvenční oblasti, interpolace maxima obálka x mm N 8 / 11

Srovnání s referenčním měřením Srovnání s referenčním měřením z 4 8 12 h 1 WLI Talystep

9 Srovnání s referenčním měřením Srovnání s referenčním měřením z h 1 WLI Talystep z z WLI Talystep h 2,,4,8 1,2 x mm z y mm x mm 9 / 11

10 Shrnutí Shrnutí Shrnutí navržena a realizována sestava pro měření profilu povrchů změřeny a zpracovány profily několika povrchů hodnoty srovnány s referenčním měřením provedeno srovnání metod detekce interferenčního proužku Publikace a pokračování práce odeslán článek do JMO měření s různými povrchy 1 / 11

11 Děkuji za pozornost! 11 / 11

Podobné dokumenty

Analýza a ověření metody měření indexu lomu vzduchu pro laserovou interferometrii

Analýza a ověření metody měření indexu lomu vzduchu pro laserovou interferometrii Vedoucí práce: Ing. Zdeněk Buchta, Ph.D. Bc. Tomáš Pikálek 21. června 216 Obsah 1. Cíle práce 2. Motivace 3. Metody měření