ANALÝZA ZBYTKOVÉ NAPJATOSTI VYSOKOPEVNOSTNÍ SLITINY INCONEL 718 PO ELEKTROEROZIVNÍM OBRÁBÌNÍ



Podobné dokumenty
SLEDOVÁNÍ DEGRADACE ENERGETICKÝCH ZAØÍZENÍ POMOCÍ RTG DIFRAKCE

14/10/2015 Z Á K L A D N Í C E N Í K Z B O Ž Í Strana: 1

WORKSHEET 1: LINEAR EQUATION 1

STUDENTSKÁ PØEHLÍDKA

Transfer inovácií 20/

CHARAKTERIZACE MATERIÁLU POMOCÍ DIFRAKČNÍ METODY DEBYEOVA-SCHERREROVA NA ZPĚTNÝ ODRAZ

VLIV OBSAHU NIKLU NA VLASTNOSTI LKG PO FERITIZAČNÍM ŽÍHÁNÍ EFFECT OF THE CONTENT OF NICKEL ON DI PROPERTIES AFTER FERRITIZATION ANNEALING

PRÍSPEVEK K EXPERIMENTÁLNÍ METODICE STANOVENÍ ELASTICKÝCH KONSTANT CONTRIBUTION TO EXPERIMENTAL DETERMINATION OF ELASTIC CONSTANTS

CREEP AUSTENITICKÉ LITINY S KULIČKOVÝM GRAFITEM CREEP OF AUSTENITIC DUCTILE CAST IRON

Objemové ultrajemnozrnné materiály. Miloš Janeček Katedra fyziky materiálů, MFF UK

PLASTICKÉ VLASTNOSTI VYSOKOPEVNOSTNÍCH MATERIÁLŮ DĚLENÝCH NESTANDARDNÍMI TECHNOLOGIEMI


MOŽNOSTI TVÁŘENÍ MONOKRYSTALŮ VYSOKOTAVITELNÝCH KOVŮ V OCHRANNÉM OBALU FORMING OF SINGLE CRYSTALS REFRACTORY METALS IN THE PROTECTIVE COVER

KATALOG A CENÍK 2008/9

CHAPTER 5 MODIFIED MINKOWSKI FRACTAL ANTENNA

o d e vz d á v e j t ek o m p l e t n í, / n e r o z e b r a n é /, a b y s e t y t o

VLIV TECHNOLOGIE ŽÁROVÉHO ZINKOVÁNÍ NA VLASTNOSTI ŽÁROVĚ ZINKOVANÝCH OCELÍ

Antonín Kříž a) Miloslav Chlan b)

ACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION

DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL

HODNOCENÍ STAVU OBROBENÉHO POVRCHU PO VÍCEOSÉM FRÉZOVÁNÍ

Překlady 1/5 14, ,7 1,62

Vliv metody vyšetřování tvaru brusného kotouče na výslednou přesnost obrobku

STUDIUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ V OKOLÍ MAKROVTISKŮ NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI

HODNOCENÍ OPOTŘEBENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI POMOCÍ VRYPOVÉ ZKOUŠKY S OCELOVOU KULIČKOU.

VÝZKUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A STRUKTURNÍ STABILITY SUPERSLITINY NA BÁZI NIKLU DAMERON. Karel Hrbáček a


VŠB Technical University of Ostrava, Faculty of Mechanical engineering, 17. Listopadu 15, Ostrava Poruba, Czech Republic

Ú vod... I 7. In te rd is c ip lin á rn í p řís tu p k p ro b le m a tic e u m ír á n í a s m r t i...19 T h a n a to lo g ie...19

X-RAY EXAMINATION OF THE FATIGUE PROCESS RENTGENOGRAFICKÉ ZKOUMÁNÍ ÚNAVOVÉHO PROCESU

Just write down your most recent and important education. Remember that sometimes less is more some people may be considered overqualified.

The Over-Head Cam (OHC) Valve Train Computer Model

Právní formy podnikání v ČR

Provozní korozní zkoušky ohybù austenitických ocelí pro nadkritické uhelné kotle

SMĚROVÁ KRYSTALIZACE EUTEKTIK SYSTÉMU Ti-Al-Si DIRECTIONAL CRYSTALLIZATION OF Ti-Al-Si EUTECTICS

j k k k i k k k k k j k j j j j ij i k k jk k k jk k j j i

Stvr ze ní pří jmu při pouštěcí znám ky. For mu lá ře s vý zvou k osob ní mu vy zved nu tí při pouště cí znám ky

STUDIUM SKLOKERAMICKÝCH POVLAKŮ V BIOLOGICKÉM PROSTŘEDÍ

Nikolaj Ganev, Stanislav Němeček, Ivo Černý

STUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

Metody charakterizace

VÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV

NEDESTRUKTIVNÍ HODNOCENÍ MATERIÁLU ENERGETICKÝCH KOMPONENT NONDESTRUCTIVE EVALUATION OF POWER PLANT PARTS Zbyněk BUNDA a,b, Josef VOLÁK a,b

Křížová cesta - postní píseň

VLIV MLETÍ ÚLETOVÉHO POPÍLKU NA PRŮBĚH ALKALICKÉ AKTIVACE

DRUHY A UTVÁŘENÍ TŘÍSEK

ŠTÌRBINOVÁ SÍTA TVARY PROFILÙ SVAØOVANÁ A SMYÈKOVÁ ŠTÌRBINOVÁ SÍTA

EVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF MATERIAL SYSTEMS

Gymnázium, Brno, Slovanské nám. 7 WORKBOOK. Mathematics. Teacher: Student:

MECHANICKÉ VLASTNOSTI A STRUKTURNÍ STABILITA LITÝCH NIKLOVÝCH SLITIN PO DLOUHODOBÉM ÚČINKU TEPLOTY

ELECTROCHEMICAL HYDRIDING OF MAGNESIUM-BASED ALLOYS

Transportation Problem

Srovnávací studie cementovaných a nitridovaných vzorků pomocí analýzy Barkhausenova šumu a RTG difrakce

HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ

VLASTNOSTI KOVOVÝCH VRSTEV DEPONOVANÝCH MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM NA SKLENENÝ SUBSTRÁT

VYUŽITÍ TERMOVIZE U PACIENTÙ S REVMATOIDNÍ ARTRITIDOU

PAH SIGMA PUMPY HRANICE HORIZONTÁLNÍ

TEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek

Svařování svazkem elektronů

VÝVOJ TECHNOLOGIE PRESNÉHO LITÍ LOPATEK PLYNOVÝCH TURBÍN DEVELOPMENT OF PRECISE CASTING TECHNOLOGY FOR GAS TURBINE BLADES

DETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS

Elektronová mikroanalýza trocha historie

OPTIMALIZACE REŽIMU TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ PRO ZVÝŠENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ SLITINY ALSI9Cu2Mg

Příloha je nedílnou součástí osvědčení o akreditaci č.: 753/2015 ze dne:

Compression of a Dictionary

SPOJKY EPJM - 1C 12. EPJMe - 1C 14. RTJMe - 1C 16. EPJMt - 1C 18. EPJMp - 1C 20. EPJMt - 1C/3C 22. EPJMp - 3C 24

DATA SHEET. BC516 PNP Darlington transistor. technický list DISCRETE SEMICONDUCTORS Apr 23. Product specification Supersedes data of 1997 Apr 16

Tento materiál byl vytvořen v rámci projektu Operačního programu Vzdělávání pro konkurenceschopnost.

HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE

STRUCTURAL AND MORPHOLOGICAL PROPERTIES OF Fe 2 O 3 /TiO 2 NANOCRYSTALS IN SIL ICA MATRIX

Parametrizace ozařovacích míst v aktivní zóně školního reaktoru VR-1 VRABEC

VLIV POVRCHU NA UŽITNÉ VLASTNOSTI VÝROBKU. Antonín Kříž

MODELOVÁNÍ A MĚŘENÍ DEFORMACE V TAHOKOVU

Czech Republic. EDUCAnet. Střední odborná škola Pardubice, s.r.o.

CZ.1.07/1.1.30/ SPŠ

KULOVÝ STEREOTEPLOMĚR NOVÝ přístroj pro měření a hodnocení NEROVNOMĚRNÉ TEPELNÉ ZÁTĚŽE

METALOGRAFIE II. Oceli a litiny

ZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

EVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL

TESTOVÁNÍ VLIVU INDIKAČNÍCH KAPALIN NA KŘEHKOLOMOVÉ VLASTNOSTI SKLOVITÝCH SMALTOVÝCH POVLAKŮ

Výzkumné centrum spalovacích motorů a automobilů Josefa Božka - Kolokvium Božek 2010, Praha

VĚČNÉ EVANGELIUM (Legenda 1240)

Project 3 Unit 7B Kelly s problem

Slitiny titanu pro použití (nejen) v medicíně

Srovnání efektivity financování bydlení prostřednictvím hypotečního úvěru a úvěru ze stavebního spoření. Martina Langerová

TOOLS NEWS B228CZ. Řada čelních stopkových fréz CERAMIC END MILL. Ultravysoká produktivita pro niklové žáruvzdorné slitiny

Možnosti rtg difrakce. Jan Drahokoupil (FZÚ) Zdeněk Pala (ÚFP) Jiří Čapek (FJFI)

OCELI A LITINY. Ing. V. Kraus, CSc. Opakování z Nauky o materiálu

VLASTNOSTI PLOŠNÝCH SPOJÙ

NĚKTERÉ ZKUŠENOSTI S MODIFIKACÍ SLITIN Mg. SOME OF OUR EXPERIENCE OF MODIFYING THE Mg ALLOYS. Luděk Ptáček, Ladislav Zemčík


Hodnocení tribologických vlastností procesních kapalin

Integrita povrchu a její význam v praktickém využití

Obrobený povrch a jeho vliv na užitné vlastnosti Antonín Kříž

METODY POVRCHOVÉ A TENKOVRSTVOVÉ ANALÝZY PRVKOVÉHO SLOŽENÍ (XPS, AES, SIMS), DIFRAKCE FOTOELEKTRONÙ

BEST BRASS RESIN AROUND!

VYSOKÁ ŠKOLA HOTELOVÁ V PRAZE 8, SPOL. S R. O.

a UJP PRAHA a.s., Nad Kamínkou 1345, Praha Zbraslav, b PBS Velká Bíteš a.s. Vlkovská 279, Velká Bíteš,

Ma te ri als Struc ture, vol. 16, no. 2a (2009) k69 COURSES STRUKTURNÍ DATABÁZE ORGANICKÝCH A ORGANOMETALICKÝCH SLOUÈENIN.

ZSG 8. Obsah. Popis, použití a charakteristika...3. Technické informace...4. Zásady návrhu regulátoru...7. Znaèení regulátoru a jeho specifikace...

Transkript:

98 Struktura 25 Materials Structure, vol. 12, no. 2 (25) Cool ing with liq uid leads to dis tinc tively higher com - pres sive re sid ual stresses in com par i son with cool ing us ing cold air from Ranque-Hilsch vor tex tube. Ab so lute value of stress com po nents 11 in vast ma - jor ity of sam ples is al ways smaller than the stress com po - nent 22. The con di tion that the val ues of stress com po nents 13 and 33 at the sur face are equal to zero is ful filled be cause the val ues of cal cu lated stress ten sors are av er ages over the pen e tra tion depth of ap plied ra di a tion. References [1] Doelle H.,Hauk V.:Zur roentgenographischen Ermittlung dreisacher Spannungszustaende allgemeiner Orientierung, Materialpruef. 18 (1976),427-431. [2] Gondi P.,Mattogno G., Montanari R.:On the or i gin of the re sid ual stress ø-split ting, Z. Metallkde 81(199), 57-575. [3] Doelle H., Co hen J.B.: Re sid ual stresses in ground steels, Met al lur gi cal trans ac tions A, vol ume 11A, Jan u ary 198, 159-164. [4] Hauk V.,Oudelhoven R., Vaessen G.: The state of re sid ual stress in the near sur face re gion of ho mog e nous and heteroneneous ma te ri als af ter grind ing, Met al lur gi cal trans - ac tions A, vol ume 13A, July 1982, 1239-1244. [5] Kraus I., Ganev N.:Technické aplikace difrakèní analýzy, Praha 24, Vydavatelství ÈVUT. The re search was sup ported by the pro ject no. 16/3/139 by the Grant Agency of the Czech Re pub lic. Analysis of residual stress of nickel superalloy Inconel 718 after electro discharge machiningg ANALÝZA ZBYTKOVÉ NAPJATOSTI VYSOKOPEVNOSTNÍ SLITINY INCONEL 718 PO ELEKTROEROZIVNÍM OBRÁBÌNÍ Kamil Kolaøík 1, Nikolaj Ganev 1, Jaroslav Barcal 2 1 Katedra inženýrství pevných látek FJFI ÈVUT v Praze 2 Ústav strojírenských technologií FS ÈVUT v Praze Keywords Mac ro scopic re sid ual stress, EDM - elec tro dis charge ma - chin ing, mill ing, X ray dif frac tion, Inconel 718 Ab stract The aim of this pa per is to pro vide a com par i son of re sid ual stress states in the sur face lay ers of nickel super al loy Inconel 718 which were in ves ti gated em ploy ing X-ray difraction anal y sis (XRA) and elec tric etch ing method. Two pa ram e ters of the sur face layer in teg rity were stud ied: pol ished.sec tion. for de ter mi na tion of the af fected lay ers of cut ting area and phase changes, and sur face rough ness (Ra) ob tained af ter each method of ma chin ing. The mea sure - ment was car ried out on sam ples ma chined by EDM in fol - low ing modes: fin ish ing us ing graph ite and cop per elec trodes lead ing to re quested sur face of high qual ity i.e. Ra,55 m, and stock ing us ing graph ite and cop per elec - trodes. EDM was com pared to clas si cal mill ing tech nol ogy both down-cut and up-cut. 1. Zbytková napìtí a nekonvenèní technologie obrábìní Protože se libovolná interakce s materiálem realizuje pøes jeho volný povrch, mùže stav povrchových vrstev souèástí ovlivnit rozhodujícím zpùsobem užitkové vlastnosti celého objemu. Jedním z nejvýznamnìjších faktorù, který musí být v této souvislosti uvažován, je distribuce zbytkových napìtí doprovázejících každý technologický proces, pøi nìmž dochází k nerovnomìrné plastické deformaci. Zbytková napjatost v povrchových vrstvách øezné plochy je dùsledkem kombinovaného úèinku mecha - nických a tepelných pøíèin. Pùsobí-li mechanické zatížení pøi nízkých teplotách, dochází v tenké povrchové vrstvì k plastickým deformacím a ve vrstvách pod ní k deformaci pružné. Po odlehèení se pružnì deformovaná èást snaží vrátit do svého pùvodního stavu a pøi tom pùsobí tlakem na vrstvu plasticky deformovanou. Tím vzniká ve zpevnìné povrchové vrstvì napìtí tlakové a ve vrstvách spodních tahové. Zároveò s plastickou deformací je povrchová vrstva obrobené plochy vystavena úèinku tepla vznika jí cí - ho pøi obrábìní. Plasticky deformovaná ohøátá povrchová vrstva se snaží pøi ochlazování zmenšit svùj objem, èemuž brání spodní studenìjší vrstvy; tak u povr chu vznikají tahy a hloubìji tlaky. Úèinek plastické defor mace a teploty na smìr a velikost zbytkových napìtí je tedy opaèný. Pøi tìch zpùsobech obrábìní, kdy dominuje velké mechanické zatížení povrchu (pøi menší teplotì) bude pravdìpodobnì pøevažovat vliv plastické deformace a povrch zùstane napjatý tlakovì. Pøi vysoké teplotì a malé zatìžující síle vzniknou naopak v povrchové vrstvì tahy. Druh a velikost zbytkových napìtí v povrchových vrstvách je vždy funkcí obrábìného materiálu, zpùsobu a podmínek obrábìní. Charakter zbytkových napìtí v povr - chové vrstvì obrobku má vliv na jeho provozní vlastnosti. Tlaková napìtí zvyšují mez únavy a zlepšují odolnost povrchu obrobku proti opotøebení. Tahová napìtí naopak mez únavy snižují a usnadòují rozrušení povrchových vrstev troucích se ploch. Studium vlivu pracovních podmínek na druh a velikost zbytkových napìtí v povrchových vrstvách obrobku je proto jedním z podkladù pro optimalizaci obrábìcího procesu z hlediska kvality obrobku, a to zejména u souèástí aplikovaných v obtížných provozních podmínkách. Rentgenografický difrakèní výzkum zbytkové napja - tosti øezné plochy po nekonvenèních technologiích obrá - bìní materiálu dosud nebyl systematicky provádìn. Pøitom právì takové nástroje obrábìní jako je elektro erozivní obrábìní (EDM- elec tro dis charge ma chin ing) [2] umožòují øešit úlohy na kvalitativnì vyšší úrovni než klasické zpùsoby opracování kovù. K základním pøed - nostem progresivních metod úbìru materiálu pomocí

Struktura 25 - Short papers 99 elektroeroze (EDM) v oblastech moderní výroby tvaro - vých ploch dnes jednoznaènì patøí možnost spoleh livì obrábìt elektricky vodivé materiály vysokých pevností a tvrdostí (nad 6HRC), a to i velmi èlenitých tvarù jako jsou jemné profily a úzká žebra èi tvarové drážky, pøi izotropní mikro geometrii povrchu. V kom bi na ci s obrábìním grafitovými elektrodami èi tøískovým pøed hru bováním tvaru patøí dnes technologie EDM k nej rozšíøenìjším nekon venèním metodám výroby tvaro vých ploch v oblas - tech nástrojáren. Vysoká pøesnost elektro ero zivních drátových øezacích strojù spolu s rùstem plošného výkonu øezání má dnes zcela nezastupitelnou úlohu v progresivní výrobì tvarových otvorù pøi výrobì støiž ných nástrojù a celé øady komponent z vysoce pevnostních materiálù (ozubená kola, lopatky èerpadel a turbin). Pøes znaèné rozšíøení a postupné osvojování EDM, není tato technologie vždy použitelná zejména v pøípadì pøísnìjších požadavkù na kvalitu povrchu a užitné vlastnosti výrobku. Znalost charakteru a stavu povr cho - vých vrstev a vyhodnocení zmìn, které v nich nastávají jako dùsledek použití technologie EDM, je proto nezbyt - nou souèástí její rozšíøení v dalších oblastech prùmyslové výroby. V tomto pøíspìvku jsou uvedené výsledky dvou tenzometrických metod, které patøí v souèasné dobì k nejrozšíøenìjším, a jejich praktické využití pro tenzo met - ric kou analýzu povrchù obrobených nekonvenèní techno - lo gií EDM a pro porovnání s dosavadní,,klasickou strojírenskou technologií frézování. 2. Zkoumané vzorky a použité technologie Zkušební vzorky byly vyrobeny z vysokopevmostní slitiny INCONEL 718 (C,8%, Mg,35%, P,15%, S,15%, Cr 17-21%, Ni 5-55%, Mo 2,8 3,3%, Nb 4,75-5,5%, Ti,65 1,15%, Al,2,8%, Co 1%, Ta,5%, B,6%, Cu,3%, Fe 19%). Pevnostní charakteristiky INCONELU 718 jsou uvedeny v tab.1. Tenzometrická analýza byla provedena pro dva zpùsoby obrábìní: Tab. 1. Pevnostní charakteristik INCONELU 71. Tlouš ka ma te - ri á lu do 4,75 mm nad 4,75 mm Pevnost 965 MPa 134 MPa Mez Klu zu 555 MPa 72 MPa Tažnost 3% Elektroerozivní hloubení (EDM) Tato technologie byla realizována na vzorcích o rozmìrech 3 3 7 mm 3 pomocí zaøízení AGIE IMPAKT 3 s automatickou optimalizací pracovních podmínek pro nastavené vstupní parametry odpovídající požadované drsnosti obrobené plochy. Byly použity dva režimy obrábìní: a) obrábìní na èisto (cílem dokonèovacího cyklu bylo dosažení kvalitního povrchu, Ra,55 m), bylo provedeno grafitovou a mìdìnou elektrodou (oznaèení vzorkù: vzorek 1 EDM Gr - D, vzorek 2 EDM Cu - D), b) hrubování (pracovní cyklus je charakterizován vyššími hodnotami doby výboje, napìtím naprázdno a vybíjecího proudu). bylo provedeno grafitovou a mìdìnou elektrodou (oznaèení vzorkù: vzorek 3 EDM Gr-H, vzorek 4 EDM Cu - D). Frézování Frézování vzorkù o rozmìrech 3 1 7 mm 3 bylo provedeno na stroji HERMLE C 8 èelní válcovou frézou ( 8) se slinutých karbidù. Pøi pracovních podmínkách: hloubka øezu a p =,35 mm, šíøka frézované plochy a e =,35 mm, otáèky vøetena n = 16 1/min, posuv 18 mm/min. Pracovní podmínky byly zvoleny stejné pro frézování: sousledné (vzorek 5 FR-S) a nesousledné (vzorek 6 FR-N). Tab. 2. Makroskopická zbytková napìtí T, L a støední šíøka difrakèní linie {22} stanovené rentgenograficky (støední hodnoty z vrstvy o tlouš ce cca 3µm) na fázi Ni a povrchové hodnoty zbytkových napìtí (odpovídající smìru T ) zjištìných mechanickou metodou. Tab. 3. Hodnoty møížkového parametru a e Vzo rek a e [nm] Vzo rek Me to da rtg. difrak ce Me cha nic ká me to da T, MPa L, MPa W2, MPa EDM Gr-D +483 ± 64 +433 ± 47 1,36 +234 EDM Cu-D ±15-1 ± 62 1,151 +195 EDM Gr-H +388 ± 59 +292 ± 64 1,69 +362 EDM Cu-H +217 ± 34 +321± 77 2,525 +268 EDM Gr-D,35973 EDM Cu-D,3634 EDM Gr-H,35936 EDM Cu-H,35845 FR-S,36167 FR-N,3617 FR-S -798±57-343±24 2,176-452 FR-N -546±47-45±67 2,281 +686

1 Struktura 25 Materials Structure, vol. 12, no. 2 (25), MPa 5 4 3 2 1-1 EDM Cu - D EDM Gr - D, MPa 8 6 4 2-2 -4-6 FR - S FR - N a), MPa 5 4 3 EDM Cu - H EDM Gr - H Obr. 2 Prùbìhy zbytkových napìtí v povrchových vrstvách frézovaných vzorkù. Diskrétními hodnotami v levé èásti obrázku jsou znázornìny výsledky získané rentgenograficky z vrstvy o tlouš ce rovné hloubce vnikání použitého záøení. Tab. 4. Namìøené hodnoty drsnosti Ra. 2 1-1 b) Obr. 1. Prùbìhy zbytkových napìtí v povrchových vrstvách vzorkù hloubených elektroerozivnì mìdìnou a grafitovou elektrodou, na èisto dokonèování (a) a hrubováním (b). Diskrétními hodnotami v levé èásti obrázkù jsou znázornìny výsledky získané rentgenograficky z vrstvy odpovídající hloubce vnikání použitého záøení. 3. Použité analytické metody Metoda elektrolytického rozpouštìní [2] spoèívá v kontinuálním mìøení deformace vzorku pøi postupném odleptávání povrchových vrstev materiálu z analyzované plochy. Smysl a velikost této deformace jsou úmìrné rozložení zbytkových napìtí v odleptané vrstvì. Rentgenografická tenzometrická metoda sin 2 [3] byla realizována na -goniometru Siemens se záøením rentgenky s chromovou anodou. Byla analyzována difrakèní linie {22} Ni. Hodnoty møížkových deformací byly interpretovány napìtím za pøedpokladu dvojosého stavu zbytkové napjatosti 4. Výsledky mìøení a jejich diskuse Hloubkové profily zbytkových makroskopických napìtí získaných mechanickou destruktivní metodou jsou znázornìny na obr. 1 2, na nichž jsou rovnìž vyneseny hodnoty povrchových rentgenografických mìøení uvedených v tabulce è. 2. Dále byl u všech zkoumaných vzorkù stanoven møížkový parametr pomocí regresní analýzy uvedené v práci [4]. Mìøení møížkového parametru bylo provedeno na goniometru Siemens se záøením rentgenky s kobaltovou anodou. Zjištìné hodnoty jsou uvedeny v tab. 3. Pøi porovnávání výsledkù obou experimentálních metod tenzometrické analýzy je tøeba brát na zøetel Vzo rek Ozna èe ní vzor ku Ra [ m] 1. EDM Gr-D,94 2. EDM Cu-D,58 3. EDM Gr-H 15,9 4. EDM Cu-H 16,4 5. FR-S,47 6. FR-N,84 skuteènost, že obì metody mìøení zbytkové napjatosti jsou založeny na zcela odlišných principech, a nejsou tedy nav - zájem zamìnitelné. Jestliže destruktivní metoda postup né - ho odnímaní vrstev zjiš uje pouze zbytková napìtí I. druhu a podává informaci o prùbìhu v celém prùøezu materiálu, pak metoda rentgenové difrakce nám podává informace o stavu povrchové vrstvy maximálnì do hloubky 3 až 4 m a na rozdíl od metody destruktivní rozlišuje i zbytková napìtí II. a III. druhu. Zatím co mechanickou destruktivní metodu lze použít bez ohledu na strukturní složení kovu, je aplikace rentgenové metody výraznì limitována v pøípadì texturovaných polykrystalických materiálù nebo materiálù s krystality o rozmìrech vìtších než 1 m, kdy se difrakèní linie rozpadají na diskrétní stopy. Na všech zkoumaných vzorcích byla pomocí doty ko vé - ho profilomìru TALIFUS 6 TAYSURF HOBSON zmìøena drsnost povrchu Ra (viz. tab. 4). Dále byly zhotoveny boèní metalografické výbrusy pro zjištìní hloubky ovlivnìné vrstvy øezných ploch získaných technologiemi EDM a frézování. Fotografie z optického mikroskopu CARL ZEISS JENA s CCD kamerou JAI pøi zvìtšení 6X jsou na obr. 3. 5. Závìr 1. Na všech analyzovaných øezných plochách opra co vaných elektoerozivním obrábìním (EDM) byl rtg metodou identifikován dvojosý izotropní stavzbytkové makroskopické napjatosti (viz. tab. 1), tj. L s T.

Struktura 25 - Short papers 11 Vzorek EDM Gr-D Vzorek EDM Cu-D Vzorek EDM Gr-H Vzorek EDM Cu-H Vzorek FR-S Vzorek FR-N Obr. 3. Mikrostruktura boèních metalografických výbrusù zkoumaných vzorkù poøízených na optickém mikroskopu Carl Zeiss Jenna s CCD kamerou JAI pøi zvìtšení 6x 2. Znaènì vyšší hodnoty tahových napìtí u EDM v pøípadech dokonèování grafitovou elektrodou a hrubo - vání mìdìnou elektrodou odpovídají vyššímu tepel nému zatížení pøi obrábìní vzorkù. Je to dùsledkem rozdì lení energie ve výbojovém kanálu vyšších poèáteè ních prou - dù na elektrodì. 3. Povrchy frézovaných vzorkù vykazují znaènì ani zo tropní stav zbytkové napjatosti zpùsobený charak - terem mechanické interakce nástroje s materiálem. 4. Na boèních metalografických výbrusech poøízených na vzor cích obrobených technologií EDM (viz. obr. 3) není zøejmá pøítomnost podpovrchové tepelnì ovlivnìné ob - lasti. Zjištìná struktura odpovídá struktuøe neobro be ného materiálu.

12 Struktura 25 Materials Structure, vol. 12, no. 2 (25) 5. Mikrofotografie frézovaných vzorkù 5 a 6 potvrzují úèinek plastické deformace povrchových vrstev vzniklé mecha nickou interakcí materiálu s nástrojem, která je v pøípadì sousledného frézování výraznìjší a sáhá do hloubky cca 5 m. 6. Výsledky stanovení møížkových parametrù povr - chových vrstev zkoumaných vzorkù uvedených v tab. 2 ukazují, že elektroerozivní hloubení vede ve všech pøípa - dech k hodnotám nižším než frézování. Této skuteènosti, která je zøejmì dùsledkem difúze atomù elektrody (grafit, mìï) do povrchových vrstev obrábìného vzorku, bude vìnována pozornost pøi dalších mìøeních. Tato práce je dílèím výsledkem øešení projektu VZ MSM 6847721. Literatura [1] Barcal J.: Nekonvenèní metody obrábìní, Skriptum FSI ÈVUT, Vydavatelství ÈVUT, Praha 1989. [2] Neckáø F., Kvasnièka I.: Vybrané statì z úbìru materiálu, Skriptum FSI ÈVUT, Vydavatelství ÈVUT, Praha 1991. [3] Kraus I., Ganev N.: Difrakèní analýza mechanických napìtí. Skriptum ÈVUT, Vydavatelství ÈVUT. Praha 1995. [4] Kužel R., Rafaja D.: Prášková difraktometrie, Experimentální techniky v rentgenové a neutronové strukturní analýze, Krystalografická spoleènost, Praha 1994. X-RAY DIFFRACTION FROM POLYCRYSTALLINE MULTILAYERS WITH FLAT INTERFACES IN GRAZING-INCIDENCE GEOMETRY P. F. Fewster 1, N. L. An drew 1, V. Holý 2, K. Barmak 3, J. Krèmáø 4 1 PANalytical Research Centre, Sussex Innovation Centre, Falmer, Brighton, UK 2 Department of Physics of Electronic Structures, Charles University, Prague, Czech Republic 3 Department of Materials Science and Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, U.S.A. 4 Institute of Condensed Matter Physics, Masaryk University, Brno, Czech Republic Ab stract X-ray dif frac tion from polycrystalline multilayers in graz - ing-in ci dence ge om e try is a new method to mea sure the crys tal lite size and its dis tri bu tion as a func tion of depth in multi-layer thin films. The prin ci ple re lies on the idea that when X-rays are scat tered at an in ter face the in ci dent and scat tered waves cre ate a stand ing wave whose pe ri od ic ity can be var ied and thereby en hance the scat ter ing at cer tain depths. By vary ing the an gle of in ci dence the pen e tra tion depth is changed. This has been used for mono-crys tal line semi con duc tor wa fer sam ples and for very thin (3 nm) polycrystalline lay ers. Nu mer i cal ex am ples are shown for multi-layer con - sists of 14 pe ri ods, each con tain ing a 4 nm thick Nb layer and a 11 nm thick Al layer. I. In tro duc tion X-ray pow der difractometry is a stan dard method for ob - taining the size of crystallites in industrial materials. How - ever in gen eral the method is suited to ob tain ing the size nor mal to the sur face us ing the fo cus ing Bragg-Brentano geometry. To estimate the general shape of crystallites in bulk sam ples, sev eral re flec tions are re quired, how ever this method is less suited to thin films that in gen eral ex hibit significant texture. Hence these methods are essentially bulk meth ods, i.e. they as sume a ran dom dis tri bu tion of ori - en ta tions and be come dif fi cult in the anal y sis of thin films when the crys tal lite size in the plane of the in ter face can not be de ter mined. Ac cess to scat ter ing planes nor mal to the in - ter face is pos si ble at graz ing an gles of in ci dence. This in-plane scattering geometry relies on the refractive index of X-rays be ing less than unity, such that there is a crit i cal an gle for to tal ex ter nal re fec tion. Thus the X-rays can en ter through the sam ple sur face, scat ter from planes nor mal to the sur face plane and then scat ter out through the same sur - face. By vary ing the an gle of in ci dence the pen e tra tion depth is var ied. This has been used ex ten sively in the study of mono-crys tal line semi con duc tor wa fer sam ples and can also be shown to work for very thin (3nm) polycrystalline lay ers. Al though some av er age crys tal lite size is de ter - mined, knowl edge of the vari a tion as a func tion of depth in thin films can be very valu able. This pa per de scribes a new method to mea sure the crys - tal lite size and its dis tri bu tion as a func tion of depth in multi-layer thin films. The prin ci ple re lies on the idea that when X-rays are scat tered at an in ter face the in ci dent and scat tered waves cre ate a stand ing wave whose pe ri od ic ity can be var ied and thereby en hance the scat ter ing at cer tain depths. II. Theoretical description In the in-plane graz ing-in ci dence ge om e try, both the an gle of in ci dence i of the in ci dent ra di a tion, and the an gle of exit f of the scat tered beams are com pa ra ble with the crit i - cal an gle c of to tal ex ter nal re flec tion of X-rays (Fig. 1). Thus, the in ter ac tion of x-rays with mat ter is rather strong and it can not be de scribed by a sim ple kinematical ap prox i - ma tion. On the other hand, the polycrystalline grains can be as sumed much smaller than the ex tinc tion length of x-rays in the ma te rial, so that the in di vid ual grains scat ter kinematically. We de scribe the scat ter ing pro cess us ing the dis - torted-wave Born ap prox i ma tion (DWBA) [1], in which the total scattering potential V ( r ) oc cur ring in the wave equa tion: ( K 2 ) ( ) 2 E r V ( r ) K ( r ); K (1) is di vided in two terms V V V A B. The first term de - scribes the un dis turbed sys tem, the lat ter is the dis tur bance.