Uhlíkové nanostruktury nanotrubky, grafén. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Podobné dokumenty
Příprava grafénu. Petr Jelínek

Uhlíkové nanostruktury fullereny, nanotrubky. Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů

Základní typy článků:

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Chemické metody plynná fáze

Přehled metod depozice a povrchových

Chemické metody přípravy tenkých vrstev

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o.

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Budoucnost patří uhlíkatým nanomateriálům

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

Hydrogenovaný grafen - grafan

U BR < 4E G /q -saturační proud ovlivňuje nárazovou ionizaci. Šířka přechodu: w Ge 0,7 w Si (pro N D,A,Ge N D,A,Si ); vliv U D.

Využití kalorimetrie při studiu nanočástic. Jindřich Leitner VŠCHT Praha

Grafen. Nobelova cena za fyziku Ludvík Smrčka Fyzikální ústav AVČR v. v. i. Praha

Katedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

10/21/2013. K. Záruba. Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje. velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita

Metody depozice povlaků - CVD

Směsi a čisté látky, metody dělení

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

vodič u něho dochází k transportu el. nabitých částic, který je nevratný, dochází ke vzniku proudu a disipaci energie

Vysoká škola chemicko-technologická v Praze. Ústav organické technologie. Václav Matoušek

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody

Vyberte z těchto částic Cu Cl 2 Fe 2+ Na + CO H 2 SO 4 Ag Cl - NaOH. atomy: Cu Ag molekuly: Cl 2 CO H 2 SO 4 NaOH kationty: Fe 2+ Na +

Přednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD

Výstupní práce Materiály a technologie přípravy M. Čada

Podivuhodný grafen. Radek Kalousek a Jiří Spousta. Ústav fyzikálního inženýrství a CEITEC Vysoké učení technické v Brně. Čichnova

Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

Chování látek v nanorozměrech

Skupenské stavy. Kapalina Částečně neuspořádané Volný pohyb částic nebo skupin částic Částice blíže u sebe

Modelování nanomateriálů: most mezi chemií a fyzikou

Nanolitografie a nanometrologie

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika

Opakování

ELEKTRONICKÉ PRVKY TECHNOLOGIE VÝROBY POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ

Autokláv reaktor pro promíchávané vícefázové reakce

Příprava a aplikace grafenu

3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické).

Prášková metalurgie. Výrobní operace v práškové metalurgii

Třífázové trubkové reaktory se zkrápěným ložem katalyzátoru. Předmět: Vícefázové reaktory Jméno: Veronika Sedláková

NANOSTRUKTURY NA BÁZI UHLÍKU A POLYMERU PRO VYUŽITÍ V BIOELEKTRONICE A V MEDICÍNE

Technologie CMOS. Je to velmi malý svět. Technologie CMOS Lokální oxidace. Vytváření izolačních příkopů. Vytváření izolačních příkopů

Vícefázové reaktory. Probublávaný reaktor plyn kapalina katalyzátor. Zuzana Tomešová

Iradiace tenké vrstvy ionty

MINIATURIZACE PRŮTOKOVÝCH ELEKTROCHEMICKÝCH CEL PRO GENEROVÁNÍ TĚKAVÝCH SLOUČENIN. Jakub Hraníček

Depozice uhlíkových nanotrubek

Omezování plynných emisí. Ochrana ovzduší ZS 2012/2013

III/2 Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Pracovní list č.3 k prezentaci Křivky chladnutí a ohřevu kovů

CHO cvičení, FSv, ČVUT v Praze

V001 Dokončení a kalibrace experimentálních zařízení v laboratoři urychlovače Tandetron

Fyzika IV. -ezv -e(z-zv) kov: valenční elektrony vodivostní elektrony. Elektronová struktura pevných látek model volných elektronů

Metody analýzy povrchu

Přednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.

Chemie povrchů verze 2013

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů

Teorie chemické vazby a molekulární geometrie Molekulární geometrie VSEPR

UFN Nanočástice oxidů

12. Elektrochemie základní pojmy

Struktura a vlastnosti kovů I.

Chemické metody depozice z plynné fáze

Slitiny titanu pro použití (nejen) v medicíně

GALAVANICKÝ ČLÁNEK. V běžné životě používáme název baterie. Odborné pojmenování pro baterii je galvanický článek.

Uhlík a jeho alotropy

VÝROBA TANTALOVÝCH KONDENZÁTORŮ V AVX LANŠKROUN. AVX Czech Republic, Dvořákova 328, Lanškroun, Česká republika

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

ELEKTROTERMICKÁ ATOMIZACE. Electrothermal atomization AAS (ETA-AAS)

ZADÁNÍ BAKALÁŘSKÉ PRÁCE

Seminář projektu Rozvoj řešitelských týmů projektů VaV na Technické univerzitě v Liberci Registrační číslo projektu: CZ.1.07/2.3.00/30.

Atom vodíku. Nejjednodušší soustava: p + e Řešitelná exaktně. Kulová symetrie. Potenciální energie mezi p + e. e =

Fotokatalytická oxidace acetonu

Mikroskopie rastrující sondy

Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM

J.Kubíček 2018 FSI Brno

Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)

DUSÍK NITROGENIUM 14,0067 3,1. Doplňte:

Nové typy materiálů na bázi uhlíku. Ing. Stanislav Czudek, PhD Třinecké železárny, a.s. Koksochemická výroba

Základní metody přípravy monokrystalů. RNDr. Otto Jarolímek, CSc.

Polymorfismus kovů Při změně podmínek (zejména teploty), nebo např.mechanickým působením změna krystalické struktury.

DETEKCE PAR ORGANICKÝCH ROZPOUŠTĚDEL SÍTĚMI Z VOLNĚ ZAPLETENÝCH UHLÍKOVÝCH NANOTRUBIČEK. Bc. Lucie Gajdušková

Metody analýzy povrchu

Skupenské stavy látek. Mezimolekulární síly

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Odporové senzory

ROZDĚLENÍ, VLASTNOSTI A POUŽITÍ MATERIÁLŮ

Seminární práce Nanomateriály uhlíkové NANOtrubky

Tepelné rozklady železo obsahujících sloučenin pohledem Mössbauerovy spektroskopie

MATERIÁLOVÁ PROBLEMATIKA PŘI SEPARACI PLYNŮ A PAR

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

Základy Mössbauerovy spektroskopie. Libor Machala

Transkript:

Uhlíkové nanostruktury nanotrubky, grafén Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. 1

Uhlíkové nanotrubky - čištění Odleptání amorfního uhlíku a defektů Principem je nižší stabilita defektních míst než struktury nanotrubky. v plynné fázi : oxidace při teplotách 200 760 C ve vzduchu, Ar+O 2, Ar+ H 2 O, eventuálně pro odstranění katalyzátoru HCl, Cl 2, H 2 S. Nevýhodou ošetření v plynné fázi je odstranění i většího množství nanotrubek(2-20 %, čist. 95-9 %) a bez speciální příměsi nemůže odstranit katalyzátor (není problém pro MWCNTs z oblouku). Problémem může být také reakční plocha vzorku - promíchání. U SWCNTs eventuálně problém s menší stabilitou díky zakřivení. Poté odleptání katalyzátoru mokrou cestou (HCl, HNO 3, H 2 SO 4 atd.). Problém katalytické aktivity nanočástic. 2

Uhlíkové nanotrubky - čištění V kapalné fázi odstranění amorfní fáze, odstranění katalyzátoru, lepší kontrola nad oxidačním účinkem avšak dochází k modifikaci povrchu nanotrubek eventuálně k fragmentaci. Používají se HNO 3, HCl, H 2 SO 4, KMnO 4, H 2 O 2. Některé nejsou schopny odleptat katalyzátor. Výtěžek i přes 50 % s 99 % čist. Obecně se zde opět projevují problémy u SWCNTs. Jako alternativní lze provést elektrochemické čistění v lázni KOH nebo směsi výše zmíněných kyselin. P. Hou, Ch. Liu, H.-M. Cheng, Purification of carbon nanotubes, Carbon 46 2008, 2003-2025. 3

Uhlíkové nanotrubky - čištění Fyzická separace CNTs a dalších uhlíkových struktur filtrace, odstředění Důležitou roli může hrát surfaktant SDS (Dodecylsíran sodný, též sodiumdodecylsulfát) nebo DMF (dimethylformamid) Další možností je na povrch navázat specifické skupiny umožňující poté tento klíč použít pro separaci. Po separaci je v případě potřeby tyto skupiny odstranit žíháním nebo jiným chemickým procesem. Pokud je odstranění všech katalytických částic kritické lze použít žíhání ve vakuu nebo inertní atmosféře za velmi vysoké teploty. Principem je teplota tání kovů ~ 1400 C a uhlíku (nad 3000 C). Dochází k odstranění defektů což může vést k problému odstranění ne CNT struktur později. 4

Uhlíkové nanotrubky - čištění Významnými metodami pro separaci nanotrubek jsou také chromatrografie a elektroforézní metody. Tyto metody jsou nejen schopny od sebe oddělit CNTs a jiné uhlíkové struktury, ale i třídit nanotrubky na základě jejich fyzických rozměrů a elektrických vlastností! Metody separace metalických a polovodivých CNTs Chattopadhyay, D.; Galeska, L.; Papadimitrakopoulos, F., A Route for Bulk Separation of Semiconducting from Metallic Single- Wall Carbon Nanotubes, J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 3370 Separace SWCNTs v roztoku octadecylamine(oda) v tetrahydrofuran.polovodivé CNTs mají větší afinitu než vodivé a ODA se váže na polovodivé. Proto potom dojde k oddělení vodivých a polovodivých. Krupke, R.; Hennrich, F.; vonlohneysen, H.; Kappes, M. M., Separation of Metallic from Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotubes, Science, 2003, 301, 344 - separace na základě elektroforézy Thierry Lutz, Kevin J. Donovan, Macroscopic scale separation of metallic and semiconducting nanotubes by dielectrophoresis, Carbon, 43 (2005) 2508 Zheng, M.; Jagota, A.; Semke, E. D.; Diner, B. A.; Mclean, R. S.;Lustig, S. R.; Richardson, R. E.; Tassi, N. G., DNA-assisted dispersion and separation of carbon nanotubes, Nature Materials 2003, 2, 338. Chen, Z.; Du, X.; Du, M.-H.; Rancken, C. D.; Cheng, H.-P.; Rinzler, A. G., Bulk Separative Enrichment in Metallic or Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotubes, Nano Lett. 2003, 3, 1245-1249- ruzná vazba z brominem u polovodivých a vodivých nanotrubek a následná separace v centrifuze 5

Nanotube Colors Large-scale single-chirality separation of single-wall carbon nanotubes by simple gel chromatography - Huaping Liu, Daisuke Nishide, Takeshi Tanaka & Hiromichi Kataura, Nature Communications 2, Article number: 309, doi:10.1038/ncomms1313 6

Růst nanotrubek - vertikální Hustota a velikost katalytických nanočástic hustota růstu nanotrubek Depoziční teplota - kvalita nanotrubek Přítomnost elektrického a magnetického pole Přítomnost elektrického pole skrze předpětí v plazmatu Pokud je růst ve skupině nanotrubek nerovnoměrný může dojít k jejich deformaci Ch.-M. Seah, S.-P. Chai, A.R. Mohamed Synthesis of carbon nanotubes Review, Carbon 49, 2011, 4613 7

Růst nanotrubek - horizontální Metody po depoziční posuv, průtok v daném směru, elektrické a magnetické pole elektroforéza atd., bubliny, Langmuir-Blodgett mechanismus a funcionalizované CNTs s vazbou na substrát Metody depoziční superponované elektrické a magnetické pole v horizontálním směru, průtok plynu, růst podle krystalografické orientace Y. Ma, B. Wang, Y. Wu, Y. Huang, Y. Chen, The production of horizontally aligned single-walled carbon nanotubes Review, Carbon 49, 2011, 4098 8

9

Uhlíkové nanotrubky s/m SWCNTs Depozice CNTs na Si/SiO 2 /Fe pomocí PECVD vf. kapacitní výboj v peci ve směsi Ar/CH 4 600 C, 0,5 Torr, 50-20 W, 3 min. Y.Li et al., Preferential Growth of Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotubes by a Plasma Enhanced CVD Method, Nanoletters,4, 2004,317 Až 90 % povodivých CNTs, Y.Li et al., On the Origin of Preferential Growth of Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotubes, J. Phys. Chem. B,109,2005, 6968, polovodivé potřebují nejmenší energii k vytvoření jsou nejstabilnější Je možné selektivně odleptat metalické CNTs v CH4 plazmatu při 400 C s následným přežíháním ve vakuu za 600 C. G. Zhang et.al., Selective Etching of Metallic Carbon Nanotubes by Gas- Phase Reaction, Science 314, 2006, 974. 10

Uhlíkové nanotrubky s/m SWCNTs Preferenční růst m-swcnts byl pozorován při CVD v systému Si/SiO 2 /Fe za použití směsi He/H 2 /H 2 O(3,5 mtorr v 840 Torr) Ve směsi s He tak H 2 O byl oproti směsi s Ar nebo pouze s H 2 byla zjištěna přítomnost až 90 % m-swcnts. Přítomnost He ke změně tvaru částice (rekrystalizaci), přítomnost této rekrystalizace ve spojení s H 2 O pak má za výsledek preferenční růst konfigurací metalických nanotrubek. Harutyunyan A.R. et.al. Preferential Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes with Metallic Conductivity, Science 326, 2009, 116. Práce s vlastnostmi a procesy ovlivňující katalyzátor jsou velmi důležité a rozhodující pro řízený růst SWCNTs! Chiang W.-H., R. Mohan Sankaran, Linking catalyst composition to chirality distributions of as-grown single-walled carbon nanotubes by tuning Ni x Fe 1-x nanoparticles, Nature Materials 8, 882-886 (2009). 11

Grafén Graphene 2D struktura tvořená 1 grafitovou rovinu hexagonální uspořádání uhlíkových atomů v sp 2 hybridizaci Vykazuje nulovou efektivní hmotnost vodičů náboje s lineární disperzní relací E ~ k s v F = 10^6 m.s -1. Vykazuje vysokou vodivost, možné až 200 000 cm 2.V -1.s -1 a hustotu vodičů náboje 10 12 cm 2. Reálně asi 40 000 cm 2.V -1.s -1. Měrný odpor 10-6 Ohm.cm. Zakázaný pás je téměr 0 ev semi-metal, zero gap semiconductor Lze pozorovat balistický transport a různé typy Hallova kvantového jevu. Velmi vysoká pevnost a tepelná vodivost překonávající CNTs. Transmise téměř nezávislá na vlnové délce πα 2.3% v bílém světle, α konstanta jemné struktury Mimo grafénu lze v této struktuře také nalézt BN, WS 2, MoS 2, MoSe 2 Tyto struktury mají nenulový zakázaný pás! 12

Grafén - vlastnosti R.R.Nair et al.,science, 320, 2008, 1308 Quantum Hall effect A.K. Geim, K. S.Novoselov, The Rise of Graphene, Nature Materials, 6, 2007, 183 13

Metody přípravy grafénu F. Bonaccorso et. al. Production and processing of graphene and 2d crystals, Materials Today 15(12), 2012, 564 14

Metody syntézy Exfoliace grafitu Jednoduchá metoda produkující vysoce kvalitní grafén. Identifikace možná díky rychle rostoucímu kontrastu na specifické tloušťce SiO 2 a počtu vrstev grafénu. Výtěžek metody je však relativně velmi malý. Novoselov, K. S. et al. Electric field effect in atomically thin carbon films. Science 306, 666 669 (2004). Novoselov, K. S. et al. Two-dimensional atomic crystals. Proc. Natl Acad. Sci. USA 102, 10451 10453 (2005). Novoselov, K. S. et al. Two-dimensional gas of massless Dirac fermions in graphene. Nature 438, 197 200 (2005). 15

Metody syntézy Exfoliace grafitu - Identifikace Optický kontrast AFM závislé na substrátu Elektrická měření interakce se substrátem Ramanovská spektroskopie Hlavní znaky: Minimální D pík Pokud možno maximální podíl I 2D /I G Pozice 2D píku 2680 cm -1 FWHM 2D píku 30-40 cm -1 Pík v oblasti 30-40 cm -1 - více vrstev arxiv:0705.0259v3 16

Metody syntézy Chemická exfoliace Postup: a)disperze zdroje grafitu b) exfoliace c) čištění a redukce Příklad postupu: a) šupiny expandovaného grafitu jsou vloženy do roztoku H 2 SO 4 /H 3 PO 4 s příměsí KMnO 4. Roztok se zahřeje na 50 C, a intenzivně míchá po 4 h. Poté zhládne a je přidána voda a H 2 O 2. Výsledek je pak promyt ve směsi 5 % HCl, ethanol a voda a odstředěn. Směs je pak znovu rozředěna a roztřepána v ultrazvuku a dostáváme roviny GO graphene oxidu. Redukce GO je redukován ve vodíku nebo v chemickém redukčním prostředí za zvýšené teploty hydrazin apod. Výhoda je v dosažení homogenní směsi v kapalině, kterou lze pak nanášet na libovolný substrát postupy pro vytváření vrstev mokrou cestou (stříkání, roztírání apod.) S.Park, R. S. Ruoff, Chemical methods for the production of graphenes, Nature Nanotechnology, 4, 2009, 217. 17

Metody syntézy Epitaxní růst SiC Žíhání krystalu SiC za vysoké teploty (> 1100 C) a vysokého vakua (10-5 Pa) vede k sublimaci atomů Si a vytvoření slabě vázané grafénové roviny na substrátu Touto metodou lze připravit vysoce kvalitní grafénové vrstvy je však velmi náročná na experimentální postup Je také silně závislý na krystalografické orientaci SiC a není self-limiting, tj. může se vytvořit více vrstevná struktura. Ačkoliv je tato metoda nazývaná epitaxní není tomu přesně tak (velký rozdíl mřížkových parametrů a rekonstrukce povrchu není z plynné fáze). Tento postup však sdíli možnosti pracovat kompatibilně s depozice mi pro mikroelektronický průmysl. Subtráty vhodné pro epitaxní růst: hexagonal closed packed (hcp) h-bn, Co (>400 C), dále pak Ru, Hf, Ti, Zn nebo face centred cubic (111) kovy Ni,Cu, Pd apod s ale už větší odchylkou. 18

Metody syntézy růst na kovech a CVD Množství uhlíku rozpustného v kovech je v řádu procent nebo méně, závisí i na fázi krystalu. Pro grafén je výhodné používat kovy s nižší rozpustností netvořící stabilní karbidy. Tedy například Cu, Ni, Pt apod. Kov může být v podobě folie nebo tenké vrstvy na substrátu. Uhlík lze dopravit na substrát v různé podobě (plyn, kapalina, pevná látka). Tato metoda vyžaduje velice přesnou kontrolu na množstvím uhlíku a kovu dostupnému při depozici a silně závisí na době žíhání a rychlosti chlazení substrátu. Určitou možností jak využít větší množství uhlíku je přerůstání grafénu přes hranici kovu. 19

Metody syntézy CVD, PECVD U CVD je uhlík dodáván z plynné fáze a jsou tedy velmi důležité procesy ovlivňující chování prekurzoru za dané teploty nad substrátem (pyrolýza uhlovodíku, excitace v plazmatu), ale také na substrátu (adsorpce a desorpce z povrchu, katalytické reakce na povrchu). Dnes se v zásadě používá Cu jako vrstva pro růst. Podoba může být jako folie (25 mm tloušťka typicky) nebo napařená nebo naprášená vrstva mědi (100 1000 nm) na Si/SiO 2 substrátu. Syntéza probíhá v schématu žíhání ve vodíku, růstová fáze ve směsi H 2 /CH 4 (C 2 H 2 )/ při teplotě 900-1050 C, chladnutí pod inertní nebo růstovou atmosférou. X. Li et.al. Large-Area Synthesis of High-Quality and Uniform Graphene Films on Copper Foils, Science 324, 1312 (2009); 20

Metody syntézy CVD, PECVD Podobný scénář i pro CVD na napařené mědi, důležitá je čistota Cu vrstvy (99,99 %). S Substrát Si/SiO 2 (300 nm ). Žíhání ve vodíku 975 C, 5 minut. Poté růst čistě v CH 4 5-10 sccm, 5 minut. Chládnutí 50 C/min do 550 ve vakuu, poté už pod 500 sccm N 2 na alespoň 120 C. L. Tao et.al. Uniform Wafer-Scale Chemical Vapor Deposition of Graphene on Evaporated Cu (111) Film with Quality Comparable to Exfoliated Monolayer, J. Phys. Chem. C 2012, 116, 24068 21

Transfer grafénu na libovolný substrát Přenos grafénu je možný s Cu substrátu ve schématu: a) vytvoření přenosové masky z PMMA b) odleptání Cu (např. FeCl 3 ) c) přenesení PMMA a grafénu na daný substrát d) odleptání PMMA. Gao, L. et al. Nature 505, 190 194 (2014). 22

Definované rozdělení roviny grafénu Ni nanočástice na HOPG v Ar/H 2 (85:15) při teplotě 750-1100 K Lijie Ci, Zhiping Xu, Lili Wang, Wei Gao, Feng Ding, Kevin F. Kelly, Boris I. Yakobson, and Pulickel M. Ajayan, Controlled Nanocutting of Graphene, Nano Res (2008) 1: 116 122 23

Grafénové pásy, nanoribbons Liying Jiao et al., Narrow graphene nanoribbons from carbon nanotubes, 458, Nature, 877. Dmitry V. Kosynkin et al., Longitudinal unzipping of carbon nanotubes to form graphene nanoribbons, Nature, 458, 2009, 872. GNR zig-zag vodiče, archmchair vodiče i polovodiče 24

Literatura Michael F. L. De Volder et.al. Carbon Nanotubes: Present and Future Commercial Applications, Science, 339, 2013,535 K. S. Novoselov, A roadmap for graphene, Nature, 490, 2012, 192 Andrea C. Ferrari and Denis M. Basko, Raman spectroscopy as a versatile tool for studying the properties of graphene, Nature Nanotechnology, 8, 2013, 235 Dokončení příště syntéza grafén v plynné fázi 25