Měření topografie povrchu interferometrickými metodami

Rozměr: px

Začít zobrazení ze stránky:

Download "Měření topografie povrchu interferometrickými metodami"

Sára Lišková
před 5 lety
Počet zobrazení:

1 Měření topografie povrchu interferometrickými metodami ng. Petr Šperka VYSOKÉ UČENÍ TECHNCKÉ v BRNĚ FAKULTA STROJNÍHO NŽENÝRSTVÍ 009

2 Obsah Přehled metod 3D snímání povrchu Úvod do interferometrických metod nterferometrie s řízenou změnou fáze nterferometrie s vužitím bílého světla Komerční přístroje Naše měřicí aparatura Příklad měření Možnosti vužití

3 Přehled metod 3D snímání povrchu DESTRUKTVNÍ X NEDESTRUKTVNÍ 3D KONTAKTNÍ X BEZKONTAKTNÍ STACOÁRNÍ X MOBLNÍ VNĚJŠÍ GEOMETRE X VNTŘNÍ GEOMETRE OPTCKÉ SKENERY 3D MEACHANCKÉ SKENERY LESAROVÉ SKENERY NTERFEROMETRCKÉ PROFLOMETRY OSTATNÍ (DESTRUKTVNÍ RÖNTGEN CT MR)

4 Přehled metod 3D snímání povrchu DESTRUKTVNÍ X NEDESTRUKTVNÍ 3D KONTAKTNÍ X BEZKONTAKTNÍ STACOÁRNÍ X MOBLNÍ VNĚJŠÍ GEOMETRE X VNTŘNÍ GEOMETRE 3D OPTCKÉ SKENERY MEACHANCKÉ SKENERY LESAROVÉ SKENERY NTERFEROMETRCKÉ PROFLOMETRY OSTATNÍ (DESTRUKTVNÍ RÖNTGEN CT MR)

5 Přehled metod 3D snímání povrchu DESTRUKTVNÍ X NEDESTRUKTVNÍ 3D KONTAKTNÍ X BEZKONTAKTNÍ STACOÁRNÍ X MOBLNÍ VNĚJŠÍ GEOMETRE X VNTŘNÍ GEOMETRE 3D OPTCKÉ SKENERY MEACHANCKÉ SKENERY LESAROVÉ SKENERY NTERFEROMETRCKÉ PROFLOMETRY OSTATNÍ (DESTRUKTVNÍ RÖNTGEN CT MR)

6 Přehled metod 3D snímání povrchu DESTRUKTVNÍ X NEDESTRUKTVNÍ 3D KONTAKTNÍ X BEZKONTAKTNÍ STACOÁRNÍ X MOBLNÍ VNĚJŠÍ GEOMETRE X VNTŘNÍ GEOMETRE 3D OPTCKÉ SKENERY MEACHANCKÉ SKENERY LESAROVÉ SKENERY NTERFEROMETRCKÉ PROFLOMETRY OSTATNÍ (DESTRUKTVNÍ RÖNTGEN CT MR)

7 Přehled metod 3D snímání povrchu DESTRUKTVNÍ X NEDESTRUKTVNÍ 3D KONTAKTNÍ X BEZKONTAKTNÍ STACOÁRNÍ X MOBLNÍ VNĚJŠÍ GEOMETRE X VNTŘNÍ GEOMETRE 3D OPTCKÉ SKENERY MEACHANCKÉ SKENERY LESAROVÉ SKENERY NTERFEROMETRCKÉ PROFLOMETRY OSTATNÍ (DESTRUKTVNÍ RÖNTGEN CT MR)

8 Úvod do interferometrických metod NTERFEROMETRCKÉ METODY nterferometrie s řízenou změnou fáze nterferometrie s vužitím bílého světla Holografická interferometrie Skvrnová interferometrie a další

let praktické nasazení s příchodem kvalitních CCD čipů a výkonných PC 80. a 90.

9 nterferometrie s řízenou změnou fáze OBECNĚ phase shifting interferometr PS optická bezkontaktní metoda monochromatické světlo HSTORE teoretické základ polovina 60. let praktické nasazení s příchodem kvalitních CCD čipů a výkonných PC 80. a 90. let rozšíření a zpřesnění metod v současnosti běžná měřicí metoda HLAVNÍ VÝHODY vertikální rozlišitelnost na úrovni Å(01 nm) HLAVNÍ NEVÝHODY omezený vertikální skok ma. λ/ (150 nm) nutný phase unwrapping

10 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

11 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

12 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

13 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

14 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

15 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

16 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

17 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

18 nterferometrie s řízenou změnou fáze PRNCP ALGORTMUS arctg ) ( h

světla v místech pomslných hranic vlnových délek skok

19 nterferometrie s řízenou změnou fáze PHASE UNWRAPPNG vertikální zabalení povrchu do jedné vlnové délk světla v místech pomslných hranic vlnových délek skok o π phase unwrapping analýza těchto míst a jejich korekce

nterferometrie s vužitím bílého světla OBECNĚ Vertical

skenování celého měřeného rozsahu HLAVNÍ VÝHODY

phase unwrapping téměř totožná konfigurace aparatur

20 nterferometrie s vužitím bílého světla OBECNĚ Vertical scanning interferometr VS CPS CPM WLS bílé světlo skenování celého měřeného rozsahu HLAVNÍ VÝHODY umožňuje měřit velké skok (až jednotk mm) není nutný phase unwrapping téměř totožná konfigurace aparatur jako u PS HLAVNÍ NEVÝHODY vertikální rozlišitelnost na úrovni jednotek nm

21 Komerční přístroje VEECO TAYLOR HOBSON ZYGO POLYTEC HELOTS SENSOFAR A DALŠÍ

22 Naše měřicí aparatura SCHÉMA MĚŘCÍ APARATURY PROČ VLASTNÍ ZAŘÍZENÍ?

23 Naše měřicí aparatura KALBRACE standard SHS 880 QC VLS skupina struktur v podobě výstupků opatřená tenkou vrstvou chrómu kalibrovaná výška prahu 867±1 nm

24 Příklad měření

25 Příklad měření PEVNÝ DSK POČÍTAČE (cca rok 1990) Rq = 70 nm

26 Možnosti vužití MEMS a NANOTECHNOLOGE VÝPOČETNÍ TECHNKA HDD LCD NTEGROVANÉ OBVODY STROJÍRENSTVÍ VÝVOJ A KONSTRUKCE

27 Děkuji za pozornost

Podobné dokumenty

Laboratorní úloha. Bezkontaktní 3D měření povrchu HDD

Laboratorní úloha. Bezkontaktní 3D měření povrchu HDD Laboratorní úloha Bezkontaktní 3D měření povrchu HDD Ing. Petr Šperka 2009 Bezkontaktní 3D měření povrchu HDD OBSAH Úvod Metoda měření Postup měření Parametry povrchu Vyhodnocení Závěr 2/20 ÚVOD HDD disky»»»»»