Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS. Název veřejné zakázky: Odůvodnění. Technická podmínka:
|
|
- Dalibor Říha
- před 8 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Název veřejné zakázky: Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS Odůvodnění vymezení technických podmínek veřejné zakázky ve vztahu k potřebám veřejného zadavatele podle 156 odst. 1 písm. c) zákona č. 137/2006 Sb., v platném znění Technická podmínka: Univerzální depoziční vakuová aparatura musí splnit následující minimální základní parametry: 1. Mezní tlak vakuové komory alespoň 5 x 10-5 Pa. 2. Depoziční uniformita (rovnoměrnost) vrstev lepší než +/- 2.0 % na ploše o průměru 10 cm. 3. Možnost depozice (naprašování) ze všech čtyř magnetronů najednou (jeden magnetron napájený z vysokovýkonného pulzního zdroje, dva z duálního zdroje a jeden ze stejnosměrného zdroje), za současné rotace, vyhřívaní a RF předpětí vzorků. 4. Přesné a reprodukovatelné nastavení teploty vzorků (±5 C) za současného radiofrekvenčního předpětí vzorků. 5. Udržení (stabilizace) konstantního tlaku pracovních plynů ve vakuové komoře za použití následujících technik: regulace čerpací rychlosti vakuového systému pomocí řízení pozice deskového ventilu při konstantním průtoku pracovních plynů (Downstream control); regulace průtoků pracovních plynů při konstantní čerpací rychlosti systému (neměnná pozice deskového ventilu) (Upstream control). Odůvodnění Jedná se o nutné základní požadavky na depoziční aparaturu, které mají zajistit optimální podmínky pro využití aparatury k vědecko-výzkumné činnosti v programu P4: Uvedený mezní tlak zajišťuje minimální znečištění (řádu několika %) vakuové komory (a tím i připravovaných vrstev) zbytkovými plyny, požadovaná uniformita vrstev (dle našich zkušeností postačují uvedená 2 %) zaručuje praktickou shodu všech vrstev deponovaných na celé ploše, možnost současné práce všech instalovaných zdrojů plazmatu umožňuje vytváření směsných vrstev a multivrstev nových vlastností. Udržení konstantní teploty vzorků (podle našich zkušeností postačuje přesnost požadovaných 5 %), možnost připojení radiofrekvenčního předpětí a stabilita depozičního plazmatu zaručují stabilitu a opakovatelnost fyzikálních podmínek depozice, které jsou nutné pro pochopení a teoretický popis procesů probíhajících při růstu deponovaných vrstev, což jsou základní podmínky nalezení žádoucí možnosti řízení složení vrstev a jejich reprodukovatelnosti. Dva požadované mody regulace pracovního tlaku (downstream, upstream control) jsou nejvýhodnější při depozici tenkých vrstev a jsou aktuálně používané v našich laboratořích (a rovněž ve všech světových výzkumných laboratořích). A) Hlavní depoziční (naprašovací) komora 1. Válcovitá (vnitřní průměr cm nebo inch; vnitřní výška cm nebo inch) ultra-vysokovakuová depoziční komora z nerezové oceli, dobře přístupná ze všech stran a vhodná pro naprašování směrem nahoru [pro těsnění přírub je možné použít měděné nebo gumové těsnění (např. fluorokaučukové těsnění). 2. Standardní otvory: Čtyři (4) otvory pro magnetrony, dále pro čerpací systém, držák substrátů, systém pro výměnu vzorků (load lock system), tlakové měrky, clonku držáku substrátů a zavzdušňovací ventil. Další otvory: 3. Jeden extra otvor pro magnetron umístěný ve středu dolní příruby. 4. Jedno okénko do depoziční komory zabezpečené proti úniku A) Všeobecné rozměrové a další technické požadavky na hlavní depoziční komoru umožní její napojení na ostatní části depoziční aparatury a dovolí připojení přídavných analytických přístrojů pro výzkum depozičního plazmatu, které jsou v programu P4 Evropského centra excelence NTIS naplánovány (např. optická emisní spektroskopie, hmotnostní a energiová analýza, laserová optická analýza CRDS, rovněž případné připojení hledače netěsností) Požadované rozměry komory jsou optimalizované pro instalaci a rozmístění všech požadovaných vnitřních součástí a všech vnějších provozních částí depoziční aparatury, pro parametry čerpacího systému a požadovaný mezní tlak. Požadované ultra-vysokovakuové provedení, materiál nerezová ocel a nerezové vložky komory zaručují dosažení požadovaného mezního tlaku a spolu s ním
2 radiofrekvenčního záření z komory a kryté clonkou. 5. Jeden víceúčelový otvor pro připojení plynového analyzátoru nebo hledače netěsností. 6. Speciální otvory: Dva protilehlé pravoúhlé otvory (vnitřní průměr 150 mm a vnitřní výška 200 mm) umístěné symetricky vzhledem k ose procházející skrz dva magnetronové terče a vzhledem k centrální ose depoziční komory. Horní hrana vzpřímeného magnetronu alespoň 60 mm nad spodním okrajem otvorů. Drážky pro těsnění přírub (např. pro fluorokaučukové těsnění) vyhloubené do depoziční komory, aby bylo možné použít deskovou přírubu bez drážky. 7. Záslepné příruby pro všechny nepoužité otvory. 8. Jeden zavzdušňovací ventil. 9. Dvě sady vložek do komory z nerezové oceli na ochranu stěn komory. 10. Pomocný (např. hydraulický nebo elektropneumatický) mechanismus pro manipulaci s odnímatelnými těžkými částmi komory (např. s horním víkem). 11. Jedna náhradní horní příruba s otvorem DN63CF ve středu této příruby. zajišťují minimální znečištění vakuové komory zbytkovými plyny a tím také vysokou čistotu, kvalitu a reprodukovatelnost deponovaných tenkých vrstev. Zvláštní otvor umožní přesun jednoho z magnetronů do středu komory a následnou kontrolu symetrie jeho depozice. Okénko (4) do komory umožňuje optickou kontrolu umístění vnitřních částí komory a probíhající depozice vrstev. Nestandardní obdélníkové otvory 150x200 mm, vakuově utěsněné, jsou potřebné pro optické analýzy depozičního plazmatu, kdy umožňují vertikální a horizontální posuvy světelného paprsku, procházejícího napříč celou komorou (a tím také průchod paprsku zvoleným místem plazmatu). Aktuálně nepoužité otvory do vakuové komory je nutno zaslepit pro zajištění její těsnosti. Zavzdušňovací ventil umožňuje napuštění komory vzduchem po ukončení depozice vrstev a následné otevření komory (po vyrovnání vnitřního a vnějšího tlaku). Pomocný mechanizmus umožní manipulaci s těžkým víkem komory při úpravách vnitřního uspořádání a při čištění komory. Náhradní příruba s definovaným otvorem umožní připojení dalších, stávajících, přídavných zařízení, používaných v současnosti v našich laboratořích (plazmový monitor). B) Vakuový čerpací systém 1. Uzavírací a škrtící deskový ventil s krokovým motorem (alespoň 1000 pozic) mezi turbomolekulární vývěvou a hlavní depoziční komorou vybavený vstupním/výstupním signálem. 2. Širokorozsahová turbomolekulární vývěva s čerpací rychlostí alespoň 1200 l s -1 (pro N 2) a s magnetickým ložiskem alespoň pro vysokovakuový konec vývěvy. 3. Měrka pro měření tlaku na výstupu turbomolekulární vývěvy vybavená analogovým výstupním signálem. 4. Vhodná bezolejová mechanická vývěva (čerpací rychlost alespoň 7,5 l s -1 pro N 2, mezní tlak menší než 10 Pa) s ventilem proti zpětnému nasátí. B) Uvedené technické podmínky a parametry čerpacího systému zaručují (pro vakuovou komoru výše definované velikosti) relativně rychlé dosažení požadovaného mezního tlaku (max. 3 hodiny) a jsou předpokladem pro velmi čisté, bezolejové prostředí ve vakuové komoře, nutné pro vysokou kvalitu vytvářených tenkých vrstev. Požadovaný řízený uzavírací a škrticí deskový ventil je nezbytný pro požadovanou stabilizaci pracovního tlaku ve vakuové komoře ve dvou nejpoužívanějších modech činnosti (downstream, upstream). Velký počet pozic (1000) je nutný pro kvazispojitý průběh regulace v širokém oboru tlaků, používaných při našem výzkumu (0,05 Pa až 50 Pa). C) Plazmové (naprašovací) zdroje 1. Čtyři konfokální magnetrony (průměr terče 2 inch nebo 5 cm) v ultra-vysokovakuovém provedení, které musí umožnit činnost ve vyváženém i nevyváženém módu a rovněž práci s magnetickými materiály. 2. Naklápěcí mechanismus pro každý magnetron. 3. Příslušenství pro napouštění plynu u terče (gas ring), ochrana C) Průměr terče 5 cm je optimálně stanoven na základě našeho aktuálního výzkumu magnetronových plazmových depozic tenkých vrstev, ultravysokovakuové provedení je kompatibilní se stejným provedením vakuové komory. Je vyžadována schopnost práce ve všech plazmových modech, v současnosti používaných v našich i všech světových laboratořích (vyvážený, nevyvážený,
3 terče před kontaminací z jiných magnetronů (magnetron chimney) a pneumatická clona pro každý magnetron. magnetický materiál). Naklápěcí mechanismus pak zaručuje vysokou hodnotu depoziční uniformity tenké vrstvy. Příslušenství je potřebné pro rovnoměrné napouštění plynu a pro ochranu terče magnetronu D) Kruhový magnetron s nastavitelným magnetickým polem Nedávno jsme v naší práci (J. Čapek et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 46 (2012) ) ukázali, že optimalizace výbojových podmínek pomocí kontroly magnetického pole je velmi důležitá v případě vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování. Kruhový magnetron s nastavitelným magnetickým polem nám umožní pokračovat v našem výzkumu. D) Kruhový magnetron s nastavitelným magnetickým polem Kompatibilita s naprašovacími terči o průměru 4" nebo 10 cm Kompatibilita magnetronu s UHV Přímé vodní chlazení rozprašovaného terče Přesný systém pro nezávislý axiální posuv vnitřních a vnějších magnetů uvnitř magnetronu umožňující změnit tvar magnetického pole a/nebo jeho sílu bez zavzdušnění naprašovací komory Vnější přichycení magnetronu k naprašovací komoře (t.j., magnetron je přímo přichycen k připevňující přírubě bez jakékoli prodlužující části) Maximální hloubka magnetronu 130 mm (t.j., vzdálenost mezi povrchem terče a vnitřní stranou připevňující příruby) Kompatibilita s naprašovacími terči o průměru 4" nebo 10 cm Naprašovací terč o průměru 10 cm je optimální s ohledem na rozměr depozičního systému a také s ohledem na homogenitu naprašovaných vrstev Kompatibilita magnetronu s UHV Kompatibilita magnetronu s UHV nám zaručí vysokou kvalitu magnetronu. Přímé vodní chlazení rozprašovaného terče Přímé chlazení nám umožní aplikovat vyšší výkonové hustoty při rozprašování terče. Přesný systém pro nezávislý axiální posuv vnitřních a vnějších magnetů uvnitř magnetronu umožňující změnit tvar magnetického pole a/nebo jeho sílu bez zavzdušnění naprašovací komory Tento systém nám umožní kontrolovat tvar a sílu magnetického pole, což povede k optimalizaci výbojových podmínek při vysokovýkonovém pulzním naprašování. Vnější přichycení magnetronu k naprašovací komoře (t.j., magnetron je přímo přichycen k připevňující přírubě bez jakékoli prodlužující části) Tento způsob uchycení magnetronu je jediný možný s ohledem na rozměry depozičního systému. Maximální hloubka magnetronu 130 mm (t.j., vzdálenost mezi povrchem terče a vnitřní stranou připevňující příruby) Maximální hloubka magnetronu s ohledem na rozměry depozičního systému. E) Hmotnostní filtr klastrů 1. Hmotnostní filtr klastrů se musí skládat z následujících částí Nerezová komora filtru (kompatibilita s UHV; vstupní a výstupní montážní příruby kompatibilní s přírubou DN150CF) Iontová optika pro fokusaci klastrového svazku při vstupu do filtru Vodící iontová optika pro vedení vyfiltrovaného svazku E) Hmotnostní filtr klastrů Nová depoziční aparatura bude využívána, mimo jiné, pro přípravu nových tenkovrstvých materiálů. Pro dosažení unikátních vlastností těchto vrstev plánujeme využít klastry (shluky atomů určitého materiálu), které budeme připravovat pomocí stávajícího klastrovacího zdroje. Tento zdroj však produkuje klastry v širokém rozsahu velikostí. Hmotnostní filtr klastrů nám umožní vybrat klastry pouze o určité velikosti, které následně
4 klastrů směrem k substrátu Fokusační iontová optika na konci vodící iontové optiky pro ovládání fokusačního bodu klastrového svazku Turbomolekulární vývěva (čerpací rychlost alespoň 350 l/s) pro čerpání filtrové komory Vhodná bezolejová předčerpávací vývěva pro turbomolekulární vývěvu (čerpací rychlost alespoň 5 m 3 /hour) Vhodná tlaková měrka pro nízké tlaky pro měření uvnitř filtrové komory Deskový ventil na výstupu filtrové komory Vhodné napájecí zdroje pro klastrový hmotnostní filtr a iontové optiky Vhodný software pro ovládání klastrového hmotnostního filtru a iontových optik 2. Hmotnostní filtr klastrů musí splnit následující technické požadavky Minimální hmotnost klastrů na výstupu filtru menší než 50 amu Maximální hmotnost klastrů na výstupu filtru větší než 20E+6 amu Žádné elektricky neutrální klastry ve výstupním klastrovém svazku Hmotnostní rozlišení ± 3% nebo lepší Vzdálenost mezi výstupní přírubou filtru a štěrbinou fokusační iontové optiky 275 mm zabudujeme do rostoucí vrstvy. Tímto způsobem budeme schopni dosáhnout unikátních elektrických, mechanických i tribologických vlastností tenkovrstvých materiálů. 1. Hmotnostní filtr klastrů se musí skládat z následujících částí Nerezová komora filtru (kompatibilita s UHV; vstupní a výstupní montážní příruby kompatibilní s přírubou DN150CF) Filtrovací zařízení musí mít kompatibilní (shodné) ultra-vysokovakuové (UHV) provedení jako vakuová komora, aby jeho připojení nezhoršilo vakuové vlastnosti aparatury, definovaná velikost přírub je potřebná pro připojení ke stávajícímu zařízení, používanému v našich laboratořích (plazmový zdroj). Iontová optika pro fokusaci klastrového svazku při vstupu do filtru Klastry vylétají z klastrovacího zdroje do různých směrů. Tato iontová optika nám umožní klastry optimálně fokusovat na vstup do filtru. Vodící iontová optika pro vedení vyfiltrovaného svazku klastrů směrem k substrátu Klastry jsou obecně elektricky nabité částice, jejichž dráha od filtru směrem k substrátu může být ovlivněna elektrickým polem. Vodící iontová optika nám umožní minimalizovat tento efekt a přivést tak do blízkosti substrátu maximální počet klastrů. Fokusační iontová optika na konci vodící iontové optiky pro ovládání fokusačního bodu klastrového svazku Fokusační iontová optika nám umožní měnit velikost stopy klastrového svazku na substrátu. Turbomolekulární vývěva (čerpací rychlost alespoň 350 l/s) pro čerpání filtrové komory Klastrový filtr je obecně nutné diferenciálně čerpat na vysoké vakuum pomocí turbomolekulární vývěvy. Vhodná bezolejová předčerpávací vývěva pro turbomolekulární vývěvu (čerpací rychlost alespoň 5 m 3 /hour) Turbomolekulární vývěvu je nutné pro správnou funkci předčerpávat jinou předčerpávající vývěvou. Bezolejová konstrukce zamezí kontaminaci komory filtru olejovými parami. Vhodná tlaková měrka pro nízké tlaky pro měření uvnitř filtrové komory Tato tlaková měrka nám umožní sledovat a nastavit optimální podmínky pro filtraci klastrů. Deskový ventil na výstupu filtrové komory Tento deskový ventil nám umožní oddělit filtr spolu s klastrovacím zdrojem od komory. Vhodné napájecí zdroje pro klastrový hmotnostní filtr a iontové optiky Napájecí zdroje nám umožní provozovat hmotnostní filtr klastrů a také všechny iontové optiky.
5 Vhodný software pro ovládání klastrového hmotnostního filtru a iontových optik Software, který nám umožní ovládat a nastavovat hmotnostní filtr klastů a také všechny iontové optiky. 2. Hmotnostní filtr klastrů musí splnit následující technické požadavky Minimální hmotnost klastrů na výstupu filtru menší než 50 amu Tato minimální hmotnost nám umožní zkoumat vliv velmi malých klastrů na různé vlastnosti připravovaných vrstev. Maximální hmotnost klastrů na výstupu filtru větší než 20E+6 amu Tato maximální hodnota nám umožní zkoumat vliv i velmi velkých klastrů na různé vlastnosti připravovaných vrstev. Žádné elektricky neutrální klastry ve výstupním klastrovém svazku Elektricky neutrální klastry není možné efektivně filtrovat, proto je nutné jim zamezit další postup směrem k substrátu. Hmotnostní rozlišení ± 3% nebo lepší Uvedené rozlišení je dostatečné pro naše experimenty. Vzdálenost mezi výstupní přírubou filtru a štěrbinou fokusační iontové optiky 275 mm Optimální vzdálenost vzhledem k pohyblivému držáku substrátu. F) Měření tlaku pracovního plynu 1. Přesná kapacitní měrka (s rozsahem 0,1 mbar) pro hlavní naprašovací komoru s analogovým výstupním signálem. 2. Měrka pro nízké a vysoké vakuum nebo měrka s širokým rozsahem pro hlavní naprašovací komoru vybavená analogovým výstupním signálem 3. Ochranný uzavírací ventil (1 ks) pro kapacitní měrku. F) Je vyžadováno měření tlaku ve vakuové komoře v oboru nízkého i vysokého vakua, tj. až k meznímu tlaku. Přesná kapacitní měrka je nezbytně nutná pro přesné absolutní měření tlaku směsi plynů při depozici tenkých vrstev, její rozsah zahrnuje celou oblast možných tlaků pro požadované plazmové zdroje. Analogové výstupy jsou optimální pro kontrolu a řízení tlaku. Z důvodů vysoké citlivosti přesných kapacitních měrek je potřebný ochranný ventil, který umožní její odpojení při zavzdušnění komory. G) Držák substrátů 1. Držák (1 ks) umožňující uchycení nosiče vzorků (substrate carrier) o průměru 4 inch nebo 10 cm a připojení radiofrekvenčního (RF) předpětí. 2. Jeden standardní nosič vzorků (průměr 4 inch nebo 10 cm) 3. Dva (2) speciální nosiče vzorků (průměr 4 inch nebo 10 cm) vhodné k uchycení 1 x křemíkového vzorku (5x35x0.64mm), 1 x křemíkového vzorku (20x20x0.64mm), 1 x kovového vzorku (20x20x1mm), 1 x skleněného vzorku (20x20x1mm) a minimálně pět (5) křemíkových vzorků (10x10x0.64mm). 4. Systém plynulé rotace vzorků (až do 20 otáček min -1 ). G) Držák substrátů je nedílnou součástí depoziční aparatury. Udržuje substráty (kovové nebo křemíkové podložky, na kterých vznikají tenké vrstvy) v požadované vzdálenosti od zdrojů plazmatu. Pro výzkum a řízení procesu vzniku nových unikátních nanostrukturních tenkovrstvých materiálů musí toto zařízení také zajistit ohřev, měření teploty a připojení radiofrekvenčního (RF) předpětí, při současné rotaci vzorků. Rovněž je nezbytná možnost zakrytí vzorků clonou při čištění katod plazmových zdrojů. Rozměrové údaje nosiče vzorků zajišťují uchycení požadovaného počtu a druhu substrátů, které jsou potřebné pro různé analýzy vrstev. Další číselné údaje (vzdálenost vzorků od terče,
6 5. Systém ohřevu vzorků (nejméně do 850 C) kompatibilní s pracovní atmosférou, která je převážně tvořena plyny argonu, kyslíku a dusíku o celkovém tlaku do 5 Pa. maximální teplota ohřevu a rychlost rotace vyplývají z výsledků výzkumu depozice tenkých vrstev, který aktuálně probíhá v našich stávajících laboratořích. 6. Clona umožňující ochranu vzorků připevněných na nosiči v hlavní naprašovací komoře. 7. Možnost plynule nastavit vzdálenost vzorků od terče (alespoň v rozmezí 50 až 100 mm). H) Systém pro výměnu vzorků bez zavzdušnění depoziční komory (load lock) 1. Pomocná vakuová komora umožňující výměnu nosiče vzorků (substrate carrier) o průměru 4 inch nebo 10 cm. 2. Deskový ventil mezi depoziční komorou a komorou pro výměnu nosiče vzorků. 3. Vhodná bezolejová mechanická vývěva (přídavná vývěva nebo vývěva sdílená s hlavní naprašovací komorou). 4. Vhodná turbomolekulární vývěva (alespoň 60 l s -1 pro N 2). 5. Měrka pro kontrolu tlaku v komoře pro výměnu nosiče vzorků vybavená analogovým výstupním signálem. H) Jde o pomocný, ale zásadně důležitý systém, který umožní výměnu deponovaných vzorků bez otevření depoziční vakuové komory. Zamezí se tak kontaminaci vnitřku komory venkovní atmosférou a následnému znečištění vytvářených tenkovrstvých materiálů a také se výrazně zkrátí doba potřebná na vložení dalšího vzorku (až 100krát), čímž výrazně klesají náklady a zvyšuje se efektivita práce. Její rozměry jsou určeny požadovaným rozměrem nosiče vzorků. Uvedené požadavky na mechanickou a turbomolekulární vývěvu zaručují rychlé vyčerpání systému pro výměnu vzorků (do 15 minut). Deskový ventil je nutný pro vakuové oddělení obou komor, tlaková měrka umožňuje sledování tlaku a nalezení vhodného okamžiku po otevření ventilu. I) Přívod pracovních plynů 1. Čtyři nezávislé vstupy pro plyny (Ar, O 2, N 2 a jeden náhradní vstup) do hlavní depoziční komory (mixování plynu mimo depoziční komoru není možné). 2. Uzavíratelný pneumatický ventil pro každý přívod plynu. 3. Hmotnostní regulátor průtoku (4 ks) a jeho ovladač pro každý přívod plynu (100 sccm pro Ar a 50, 20, 10 sccm pro reaktivní plyny) vybavené analogovým vstupním/výstupním signálem. 4. Jeden distributor plynu, který je možné připojit k jednomu z přívodů plynů. 5. Flexibilní trubičky (4 ks) (z nerezové oceli) pro každý přívod plynu, které umožní přivedení plynu do libovolného místa depoziční komory. 6. Náhradní průtokoměr pro každý přívod plynu (100, 50, 20 a10 sccm) I) Tyto požadavky zajišťují nezávislé přívody požadovaných reaktivních i nereaktivních pracovních plynů, používaných při našem výzkumu. Distributor plynu s flexibilními trubičkami rozvádí plyny do potřebných míst depoziční komory. Možné uzavření přívodu každého jednotlivého plynu, jeho regulaci (a měření) průtoku je nezbytné pro stanovení aktuálního složení plazmatu. Uvedené číselné rozsahy regulátorů jsou zvoleny podle zkušeností z našeho současného výzkumu plazmových depozic tenkých vrstev. Jsou požadovány náhradní hmotnostní regulátory, protože rovněž podle našich zkušeností bývají tyto přístroje relativně často poruchové a jejich opravy výrazně zpomalují výzkumné práce. J) Napájecí jednotky (elektrické zdroje) 1. Zdroj pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování (HiPIMS): Obdélníkový tvar pulzu. Průměrný výkon 10 kw. Maximální napětí v pulzu alespoň -2 kv. Maximální proud v pulzu alespoň 1 ka. Minimální opakovací frekvence pulzů méně než 50 Hz. J) Jde o pět elektrických zdrojů pro napájení plazmových magnetronových zdrojů (jeden zdroj je dvojitý) a pro radiofrekvenční předpětí vzorků. Požadované technické parametry zdrojů zajišťují, aby při výzkumu a vývoji nových unikátních nanostrukturních tenkovrstvých materiálů bylo možno využít široké spektrum vlastností depozičního plazmatu vytvářeného elektrickými výboji v magnetronových zdrojích od běžného nízko ionizovaného
7 Maximální opakovací frekvence pulzů alespoň 500 Hz. Maximální délka pulzu alespoň 200 µs. Minimální délka pulzu méně než 20 µs. Signál pro synchronizaci jiných zařízení. Konektor pro analogovou kontrolu. 2. Zdroj pro duální magnetronové naprašování: Průměrný výkon 10 kw (5 kw pro každý magnetron + nezávislá kontrola výkonu pro každý magnetron). Maximální napětí v pulzu alespoň -800 V. Maximální proud v pulzu alespoň 15 A. Minimální opakovací frekvence pulzů 0 khz (DC mód). Maximální opakovací frekvence pulzů alespoň 350 khz. Maximální zápalné napětí alespoň V. Minimální střída při 350 khz menší než 15 %. Maximální střída při 350 khz alespoň 45 %. Signál pro synchronizaci jiných zařízení (pokud možno). Konektor pro analogovou kontrolu. 3. Zdroj pro stejnosměrné (DC) magnetronové naprašování: Maximální napětí alespoň V. Maximální proud alespoň 1 A. Konektor pro analogovou kontrolu. 4. Dva (2) vhodné zdroje s ladícími jednotkami pro radiofrekvenční (RF) předpětí vzorků: Dostatečný výkon (alespoň 100 W) při dosažení předpětí na vzorcích alespoň -300 V při tlaku 0.5 Pa argonového plynu. Konektor pro analogovou kontrolu. stejnosměrného výboje až po vysokovýkonné, vysokofrekvenční a pulzní výboje, které vytvářejí plazma specifických vlastností, s vysokou ionizací a hustotou, s podílem ionizovaného materiálu katod, při možném využívání vodivých i nevodivých odprašovaných materiálů. 1. Obdélníkový tvar pulzu je nutný pro udržení konstantní hodnoty napětí i při velkých změnách impedance plazmatu v průběhu pulzů. Uvedený výkon, maximální napětí a proud a rozsah opakovacích frekvencí umožní podle našich zkušeností dosažení velmi vysoké výkonové hustoty v pulzu (více než 100 kw) a tím využívání výhod, které přináší vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oproti jiným technikám magnetronového naprašování : až o několik řádů vyšší hustota plazmatu vede k výraznému nárůstu ionizace terčových částic a tím k řádovému nárůstu podílu iontů v celkovém toku částic na substrát. Tato vlastnost je klíčová z hlediska iontového inženýrství, neboť ionty lze na rozdíl od neutrálních atomů snadno ovládat elektrickým polem (jde o nabité částice) a tím významně ovlivňovat výslednou strukturu, morfologii, hustotu a další vlastnosti připravovaných materiálů. Maximální délka 200 µs postačuje pro vysokovýkonnou depozici kovů a polovodičů, minimální délka 20 µs je pak potřebná při depozici dielektrických vrstev, neboť náboj, nahromaděný během krátkého pulzu je nedostatečný k tomu, aby došlo k elektrickému průrazu a tedy ke vzniku mikrooblouků, které výrazně znehodnocují deponovanou vrstvu. Synchronizace je nutná pro použití osciloskopu, analogová kontrola umožňuje řízení pomocí řídicího systému depoziční aparatury. 2. Požadovaný duální (dvojitý) elektrický zdroj umožní realizaci duálního pulzního vysokofrekvenčního vysokovýkonného magnetronového naprašování, které je jedním z nejeffektivnějších plazmových depozičních procesů a umožňuje například vytváření nových unikátních materiálů na bázi víceprvkových oxidů, nitridů a oxinitridů, neboť superpozice různých rozprašovacích procesů na jednotlivých terčích (proto je požadována nezávislá kontrola výkonu pro každý magnetron) dovoluje řízení chemického složení a struktury vznikajících tenkých vrstev. Podle našich zkušeností definované maximální výkony obou částí zdroje, maximální napětí a proud a rozsah opakovacích frekvencí umožní na obou plazmových zdrojích (magnetronech) dosažení velmi vysoké výkonové hustoty v pulzu (cca 100 kw) a tím vznik vysokofrekvenčního a také vysokovýkonového pulzního magnetronového naprašování, což má zásadní význam pro stabilní depozici vysoce kvalitních dielektrických oxidových, nitridových a oxinitridových tenkých filmů, jako je Al 2O 3, ZrO 2, HfO 2, Ta 2O 5, TaON, a mnoho dalších. Požadavek na minimální opakovací frekvenci 0 khz umožňuje kombinovat tuto depozici se stejnosměrným naprašováním, což přinese další možnosti řízení složení vrstvy.
8 Minimální a maximální hodnota střídy určuje minimální a maximální délky aktivní části pulzu, přičemž podle našich experimentů jsou maximální hodnoty vhodné pro depozici částečně vodivých materiálů a minimální hodnoty vyžadují materiály velmi nevodivé, u kterých dochází k mikroobloukům neblaze působícím na kvalitu vrstvy Synchronizace je opět nutná pro použití osciloskopu, analogová kontrola umožňuje řízení pomocí řídicího systému depoziční aparatury. 3. Stejnosměrný zdroj umožňuje klasickou stejnosměrnou magnetonovou depozici kovových vrstev, které se při výzkumu nových materiálů používají zejména jako podkladové a srovnávací vrstvy, případně jako mezivrstvy. Maximální hodnoty napětí a proudy jsou stanoveny podle našich experimentálních výsledků jako postačující pro depozice všech běžných kovů v argonovém plazmatu. 4. Požadovaný výkon pro radiofrekvenční předpětí je stanoven dle našich současných výzkumů jako minimální, který umožňuje při různých druzích depozičního plazmatu a při nejpoužívanějším tlaku 0,5 Pa argonu dosažení předpětí alespoň -300 V, které je postačující pro výrazné řízení energie iontů dopadajících na vrstvu, což otevírá nové možnosti pro vytváření materiálů s unikátní strukturou a s řízeným vnitřním pnutím vrstev. K) Elektrické sondy 1. Jedna vysokoproudová sonda + zesilovač pro proudovou sondu (pokud je nutný) Šířka pásma alespoň 15 MHz Maximální stejnosměrný proud alespoň 150 A Maximální proud v pulzu alespoň 500 A BNC výstup 2. Čtyři standardní proudové sondy + zesilovače pro proudovou sondu (pokud jsou nutné) Šířka pásma alespoň 100 MHz Maximální stejnosměrný proud 30 A Maximální proud v pulzu alespoň 50 A BNC výstup 3. Jedna vysokonapětová sonda pro standardní vstup osciloskopu (1 MΩ BNC) Šířka pásma alespoň 250 MHz Dělící poměr 100:1 Maximální napětí -4 kv 4. Tři standardní napěťové sondy pro standardní vstup osciloskopu (1 MΩ BNC) Šířka pásma alespoň 200 MHz Dělící poměr 100:1 Maximální napětí -1.5 kv Délka kabelu alespoň 2 m K) Tyto součásti jsou nezbytné pro sledování a přesné měření elektrických pracovních parametrů plazmových zdrojů (vstupního napětí a protékajícího proudu) v procesu vytváření tenkovrstvých materiálů v depoziční komoře. Časová závislost (průběh) napětí a proudu je u pulzních zdrojů dosti komplikovaná, zasahuje do kladných i záporných hodnot a zásadním způsobem ovlivňuje procesy probíhající v plazmatu a tím i všechny vlastnosti deponovaných vrstev. Je proto naprosto nutné jejich exaktní stanovení a případná průběžná korekce časových průběhů těchto veličin pomocí regulace plazmového zdroje. Je vyžadováno pět proudových a čtyři napěťové sondy, jejichž uvedené rozsahy obsáhnou proudové a napěťové možnosti výše uvedených napájecích jednotek depoziční aparatury pro různé druhy plazmatu (od stejnosměrného po vysokovýkonné pulzní plazma). Uvedené šířky pásma u jednotlivých sond jsou dle našich zkušeností minimálně postačující k přenosu vyšších harmonických frekvencí při měření a tím zaručují dostatečně zřetelné a nezkreslené zobrazení časového průběhu měřeného napětí a proudu. BNC výstupy a délka kabelu jsou nutné pro připojení sond k dalším přístrojům.
9 L) USB osciloskop s ovládacím programem USB připojení k počítači Čtyři vstupy BNC + externí synchronizační signál (trigger) Šířka pásma alespoň 350 MHz Svislé rozlišení alespoň 8 bitů Vyrovnávací paměť alespoň 32 MS Funkční generátor Spektrální analyzátor Dekódování sériové sběrnice L) USB osciloskop je připojen k elektrickým sondám (čtyři BNC vstupy) a zobrazuje a měří časové průběhy napětí a proudu ze všech plazmových zdrojů USB připojení a sériová sběrnice zaručují připojení k běžnému počítači, dle našich zkušeností stanovená minimální šířka pásma, rozlišení a minimální vyrovnávací paměť zajišťují opět dostatečně zřetelné a nezkreslené zobrazení časového průběhu měřeného napětí a proudu, které je nutné pro případné průběžné korekce časových průběhů těchto veličin. M) Chladicí systém 1. Vodou chlazený chladič s uzavřeným okruhem pro chlazení depoziční aparatury o výkonu alespoň 4 kw. M) Jde o důležitý doplňkový systém, který odvádí teplo vznikající při činnosti plazmových zdrojů a tím zajišťuje, že citlivé díly depoziční aparatury nebudou poškozeny zvýšenou teplotou. Jeho výkon je stanoven podle předpokládaného maximálního středního tepelného zatížení citlivých dílů aparatury a jejich předpokládaného maximálního oteplení 50 ºC. N) Řídicí systém depoziční aparatury 1. Osobní počítač s monitorem schopný plně řídit systém depoziční aparatury (včetně schopnosti zpracování a uložení dat včetně vizualizace). 2. Spolehlivé ovládací jednotky a software umožňující: Vizuální reprezentaci celého depozičního systému. Ovládání každého napájecího zdroje (DC, RF, HiPIMS, Duální). Zobrazovat a ovládat parametry pracovního plynu (otevřít/zavřít ventily, aktuální průtok, zpětná vazba průtoku). Ovládání pozice deskového ventilu mezi depoziční komorou a turbomolekulární vývěvou. Zobrazení aktuálních hodnot tlaků a nastavování požadovaného tlaku. Ovládání clony pro každý magnetron a držák substrátů. Ovládání čerpacího systému. Ovládání systému pro výměnu vzorků. Ovládání rotace, vytápění a předpětí vzorků. Ovládání chladicího systému. Vytvářet, ukládat a spouštět procedury pro přípravu jednotlivých vrstev i multivrstev. Ukládat všechny důležité vstupní a výstupní parametry během depozice (tlak, průtoky plynů, pozice clon, všechny výstupní hodnoty napájecích zdrojů, rychlost rotace, předpětí a teplota vzorků, atd.). Uživatelský účet umožňující neomezenou manuální kontrolu depozičního systému. N) Řídicí systém s osobním počítačem, softwarem a zobrazovací jednotkou je nezbytný pro bezpečný provoz všech komponent čerpacího systému v potřebných pracovních režimech a pro komplexní řízení celého procesu vytváření tenkovrstvých materiálů v depoziční komoře. Musí ovládat minimálně všechny vyjmenované řízené části depoziční aparatury (které zásadně ovlivňují průběh depozice, případně bezpečný stav aparatury), zobrazovat a ukládat jejich aktuální provozní stav, stejně jako veškeré depoziční parametry. Pro výzkumné a vývojové práce je nezbytné, aby hardware i software řídicího systému umožnil naprogramování a kompletní automatizované řízení celého depozičního procesu, stejně jako deaktivaci vyjmenovaných částí systému (které řídí elektrické zdroje plazmatu a parametry pracovního plynu), případně jejich manuální řízení, bez ovlivnění zbývajících nastavení 3. Možnost deaktivovat následující části ovládacího systému bez ovlivnění zbývajících nastavení:
10 Ovládání stejnosměrného (DC) zdroje. Ovládání radiofrekvenčního (RF) zdroje. Ovládání vysokovýkonového pulzního (HiPIMS) zdroje. Ovládání zdroje pro duální magnetronové naprašování. Ovládání parametrů pracovního plynu (otevřít/zavřít ventily, aktuální průtok, zpětná vazba průtoku). O) Monitor tloušťky rostoucí vrstvy 1. Systém pro monitorování tloušťky vrstvy pomocí křemenných krystalů. 2. Minimálně třicet (30) náhradních krystalů. 3. Přípravek pro nastavení polohy krystalu. 0) Toto doplňkové zařízení je nutné pro sledování a řízení rychlosti růstu tenké vrstvy a je tak nezbytným prostředkem při výzkumu a vývoji nových unikátních nanostrukturních tenkovrstvých materiálů Požadovaný počet náhradních krystalů by měl postačit minimálně po celou záruční dobu depoziční aparatury. Polohu krystalu je nutno vždy nastavit dle polohy deponovaných vrstev. P) Systém pro časově a prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopii (systém OES) 1. Zobrazovací spektrograf s jedním vstupem a dvěma výstupy pro zobrazovací detektory Minimální ohnisková vzdálenost 750mm. Apertura 75mm či větší. Optimalizace pro UV-VIS včetně portu pro pročišťování. Přesnost spektrografu v nastavení vlnové délky (wavelength accuracy) 0,1nm nebo lepší. Motorizovaná vstupní a výstupní štěrbina s minimální šířkou 10µm nebo užší. Elektronicky řízená zatemňovací jednotka na vstupu (shutter unit). Motorizovaná volba výstupu. Plně osazená vyměnitelná hlava pro minimálně 3 mřížky instalovaná ve spektrografu (mřížky: 3600vr/mm optimalizace UV, 2400vr/mm optimalizace UV-VIS a 1800vr/mm optimalizace VIS), motorizovaná volba mřížky. Další plně osazená výměnná hlava pro minimálně 3 mřížky (mřížky: 2400vr/mm optimalizace UV, 1200vr/mm optimalizace UV-VIS a 600vr/mm optimalizace VIS). Motorizované kolo filtrů s minimálně 5 pozicemi. 2. Spektrograf s echelle mřížkou a výstupem pro čtvercový zobrazovací detektor Simultánní záznam spektra v rozsahu minimálně nm bez mezer. P) Optická emisní spektroskopie s časovým a prostorovým rozlišením dovolí provádět analýzy výbojového plazmatu během pulzní magnetronové depozice vrstev bez narušení samotného depozičního procesu, a získat tak hlubší porozumění komplikovaným dějům probíhajícím jak v blízkosti rozprašovaného terče, tak současně i v objemu plazmatu a u substrátu. Tyto poznatky jsou důležité pro optimalizaci procesu depozice a zvyšovaní užitných hodnot deponovaných vrstev. Požadovaný OES systém sestává z dvou spektrografů, tří detekčních systémů a příslušenství. Zobrazovací spektrograf je určen pro časově i prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopii se zaměřením na detailní studium spektra (současná analýza v různých místech výboje, časový vývoj rotačních pásů molekul apod.), proto je u spektrografu požadována ohnisková vzdálenost nejméně 750mm, štěrbiny o nejmenší šířce 10μm či nižší, přesnost v nastavení vlnové délky 0,1nm či lepší a celkem 6 různých difrakčních mřížek ve výměnných hlavách (mřížky: 3600vr/mm, 2400vr/mm, 1800vr/mm v první hlavě a 2400vr/mm, 1200vr/mm, 600vr/mm v hlavě druhé) k zajištění optimálního spektrálního rozlišení, pásma propustnosti (band-pass) a účinnosti. Optimalizace spektrografu pro UV-VIS oblast včetně portu pro pročišťování je nutná k nasazení systému v zamýšlených výbojích. Kolo filtrů je nezbytné k omezení vyšších difrakčních řádů. Spektrograf je volen v plné motorizaci k urychlení experimentů a minimalizaci chyb měření vzniklých v důsledku postupné změny parametrů výbojů v čase. Spektrograf s echelle mřížkou je zaměřen na časově rozlišenou optickou emisní spektroskopii se současným záznamem v širokém rozsahu vlnových délek (minimálně nm) pro rychlé analýzy a monitoring depozičního procesu. Spektrální rozlišení (λ/δλ) minimálně 6000 je nezbytné k odlišení spektrálních čar v hustém spektru magnetronových
11 Apertura 20mm či větší. Elektronicky řízená zatemňovací jednotka na vstupu (shutter unit). Spektrální rozlišení (λ/δλ) minimálně Obdélníkový ICCD detektor kompatibilní s výstupem zobrazovacího spektrografu Integrovaný zesilovač světla s průměrem minimálně 18mm, s více než 10 bitovým řízením zesílení, se spektrálním rozsahem minimálně nm a kvantovou účinností v oblasti nm minimálně 10%. Minimální rychlost optické závěrky 3ns nebo kratší. CCD čip pro spektroskopické použití s rozměrem aktivní oblasti minimálně 690x250 pixelů. 16 bitová digitalizace signálu z CCD čipu. Integrovaný generátor zpoždění s rozsahem od maximálně 0,1ns do minimálně 1s a s krokem po 0,1ns či kratším. Chlazení CCD čipu na teplotou -30 C či nižší. Equivalent Background Illumination detektoru maximálně 0,3e - /pixel/s. Vyčítací šum detektoru maximálně 18e Čtvercový intenzifikovaný EMCCD (emiccd) detektor kompatibilní s výstupem echelle spektrografu a výstupem zobrazovacího spektrografu Integrovaný zesilovač světla s průměrem minimálně 18mm, s více než 10 bitovým řízením zesílení, se spektrálním rozsahem minimálně nm a s kvantovou účinností v oblasti nm minimálně 5%. Minimální rychlost optické závěrky 50ns nebo kratší. EMCCD čip pro spektroskopické použití s rozměrem aktivní oblasti minimálně 950x950 pixelů. 16 bitová digitalizace signálu z EMCCD čipu. Integrovaný generátor zpoždění s rozsahem od maximálně 0,1ns do minimálně 1s a s krokem po 0,1ns či kratším. Chlazení EMCCD čipu na teplotou -30 C či nižší. Equivalent Background Illumination detektoru maximálně 0,3e - /pixel/s. Vyčítací šum detektoru maximálně 18e Systém pro skenování spektra včetně 2 pouzder pro fotonásobič výbojů. U obou spektrografů jsou požadovány jak dostatečná apertura (minimálně 75mm u zobrazovacího spektrografu a 20mm u echelle spektrografu), která umožní detekci i slabých emisních čar, tak i osazení zatmívací jednotkou, která bude chránit detektory před intenzivním osvitem mimo dobu měření. Oba požadované detektory jsou nezbytné k simultánnímu záznamu intenzit více emisních čar v širokém rozsahu vlnových délek ( nm minimálně). Obdélníkovým ICCD detektorem bude osazen zobrazovací spektrograf, který bude využíván pro prostorově rozlišenou spektroskopii s vysokým spektrálním i časovým rozlišením především v oblasti kratších vlnových délek. K tomuto účelu je nezbytné, aby byl detektor vybaven vestavěným zesilovačem světla s dobrým časovým rozlišením (požadujeme 3ns či kratší) a dobrou kvantovou účinností (nejméně 10%) v rozsahu vlnových délek nm. Čtvercovým detektorem emiccd bude osazen především echelle spektrograf, ale požadujeme i kompatibilitu tohoto detektoru se zobrazovacím spektrografem, čímž se výrazně posílí možnosti jeho využití. Vzhledem k aplikaci echelle spektrografu pro rychlé analýzy a monitoring procesu požadujeme, aby čtvercový detektor byl vybaven technologií intenzifikovaného EMCCD (CCD čip s multiplikací elektronů), což díky možnosti nezávisle volit zesílení intenzifikátoru světla a multiplikaci náboje na EMCCD čipu zajistí výrazně vyšší linearitu a kratší nutnou celkovou dobu osvitu detektoru. Obojí je velmi důležité při monitorování výboje v širokém rozsahu vlnových délek. Z důvodu nasazení emiccd detektoru k snímání širokého rozsahu vlnových délek požadujeme též, aby zesilovač světla měl dobrou kvantovou účinnost (minimálně 5%) i v oblasti vlnových délek nm. Z hlediska časového rozlišení pak postačí i delší integrační čas (50ns nebo kratší). Požadavky na počet aktivních pixelů (690x250 a 950x950) čipů optimalizovaných pro spektroskopické použití spolu s průměrem 18mm zesilovačů světla zajistí dobré spektrální rozlišení obou systémů. Digitalizace signálu 16 bitů spolu s minimálně 10 bitovým řízením zesílení zesilovačů světla poskytnou dostatečný dynamický rozsah detektorů. Chlazení čipů na -30 C či nižší a požadované šumové charakteristiky (Equivalent Background Illumination maximálně 0,3e-/pixel/s a vyčítací šum maximálně 18e-) dovolí díky nízkému celkovému šumu detektorů též měření slabých emisních čar. Požadovaný integrovaný generátor zpoždění (rozsah od maximálně 0,1ns do minimálně 1s s krokem po 0,1ns či kratším) je nezbytný k časové synchronizaci měření s průběhem pulzů napětí. Systém pro skenování spektra fotonásobiči (jsou požadovány dvě pouzdra na fotonásobič, přičemž každé bude osazeno jiným typem fotonásobiče dle požadavků experimentů) dovolí provádět detailní analýzu spektra výbojového plazmatu s vysokým spektrálním rozlišením, a to i v oblastech vlnových
12 kompatibilních s výstupní štěrbinou zobrazovacího spektrografu. 6. Vícekanálové UV-VIS-NIR (pro vlnové délky v rozsahu minimálně nm) optické vlákno odolné solarizaci o délce 5m Tři (3) samostatné optické kanály, každý kanál složen ze 7 optických vláken o průměru 200µm. Jeden konec s osamocenými kanály o délce 0,50-0,75m, každý kanál ukončen konektorem SMA. Na druhém konci jednotlivá vlákna umístěná pod sebou (uspořádané po jednotlivých kanálech a s mezerou mezi kanály) v konektoru kompatibilním se vstupem zobrazovacího spektrografu. Aperturní přizpůsobení vstupu zobrazovacího spektrografu. Vlákno umístěné v průchodce do vakua (ve vzdálenosti 1,5-2,0m od konce se samostatnými kanály, tj. od konce směřujícího do vakua). 7. Jednokanálové UV-VIS-NIR (pro vlnové délky v rozsahu minimálně nm) optické vlákno odolné solarizaci o délce 5m a průměru minimálně 600µm Konec směřující do vakua opatřen SMA konektorem. Druhý konec umístěn v konektoru kompatibilním se vstupem echelle spektrografu. Aperturní přizpůsobení vstupu echelle spektrografu. Vlákno umístěné v průchodce do vakua (ve vzdálenosti 1,5-2,0m od konce směřujícího do vakua). 8. Software pro řízení všech jednotlivých částí systému OES včetně příslušných ovladačů pro vývojové prostředí LabVIEW, které je současným vybavením zadavatele. Software musí být kompatibilní s OS Microsoft Windows, který je současným vybavením zadavatele. 9. Lampa (či lampy) pro kalibraci vlnové délky v rozsahu minimálně nm a radiometricky kalibrovaná lampa (či lampy) pro relativní kalibraci spektrální citlivosti v rozsahu minimálně nm. 10. Příslušenství nutné k plné funkci celého systému OES Adaptéry nutné pro instalace detektorů na spektrografy. Adaptéry pro C-Mount objektivy a F-Mount objektivy pro zobrazovací spektrograf a oba požadované detektory. UV-VIS-NIR objektiv pro C-Mount s pevnou ohniskovou vzdáleností v rozsahu 25-35mm, světelností minimálně F/4 a optimalizací v rozsahu vlnových délek minimálně nm. Minimálně deset (10) kusů band-pass filtrů o průměru 50mm (vlnové délky a šířky pásem filtrů budou specifikovány délek mino rozsah citlivosti požadovaných detektorů. Obě optická vlákna pro UV-VIS-NIR oblast (vlnové délky v rozsahu nm minimálně) o délkách 5m jsou nutná pro přivedení optického záření plazmatu na vstup spektrografů. Vícekanálové vlákno (požadovány jsou 3 kanály) je navíc nezbytné pro současnou detekci v různých částech výboje (např. u terče, v objemu plazmatu a u substrátu). Jeho konstrukce (jeden kanál složený ze 7 samostatných vláken o průměru 200μm, oddělení kanálů v délce 0,50-0,75m a umístění vláken pod sebe) je volena tak, aby bylo maximálně využito možností zobrazovacího spektrografu a obdélníkového ICCD detektoru. Obě vlákna jsou požadována odolná proti solarizaci, což zaručí jejich dlouhodobou použitelnost k měření i v UV oblasti spektra, a instalovaná do vakuové průchodky (ve vzdálenosti 1,5-2,0m od konce do vakua), aby bylo možné vlákna zavést do komory depozičního systému. Minimální průměr jednokanálového vlákna 600µm pak zajistí jeho dobrou světelnost a použitelnost i pro studium slabých emisních čar. Na koncích vláken směřujících do vakua jsou požadovány SMA konektory, které zajistí jeho připojitelnost ke kolimátorům. Na opačných koncích jsou požadovány konektory kompatibilní se vstupy spektrografů a aperturní přizpůsobení těmto vstupům, což zajistí optimální přenos signálu z vlákna do spektrografů. Software pro řízení systémů OES je nezbytný pro provádění měření. Navíc jsou požadovány ovladače pro vývojové prostředí LabVIEW, které je současným vybavením zadavatele, což umožní navrhovat řídicí software přesně dle požadavků experimentů. Uvedený software je požadován pro OS Microsoft Windows, který je současným vybavením zadavatele. Kalibrační lampy (jak pro kalibraci vlnové délky, tak i pro relativní kalibraci citlivosti systému v závislosti na vlnové délce) jsou nutné pro kalibraci systémů OES a zajištění konzistence změřených výsledků. Příslušenství je nezbytné pro propojení všech částí systému OES a maximalizuje jeho možnosti využití. Jedná se jak o adaptéry pro oba detektory (připojení k spektrografům a připojení C-Mount a F-Mount objektivů), tak i UV-VIS-NIR objektiv pro C-Mount (s optimalizací v rozsahu vlnových délek minimálně nm), který díky ohniskové vzdálenosti 25-35mm a světelnosti F/4 (či lepší) dovolí ve spojení s band-pass filtry (požadujeme minimálně 10 kusů filtrů o průměru 50mm pro různé vlnové délky a redukci umožňující upevnit tyto filtry před UV-VIS- NIR objektiv) monitorovat prostorové rozložení excitačních a ionizačních procesů v plazmatu. Požadovány jsou i kolimační čočky (v počtu minimálně 5 kusů) s průměrem 20-30mm a SMA konektory na výstupu, které zajistí sběr optického signálu ze zkoumaných částí výboje a jeho optimální nasměrování do vstupů optických vláken.
13 později), redukce z předního šroubení UV-VIS-NIR objektivu na požadovaný průměr band-pass filtrů. Minimálně pět (5) kusů kolimačních čoček optimalizovaných pro rozsah vlnových délek minimálně nm, se vstupním průměrem v rozsahu 20-30mm a opatřených na výstupu konektorem SMA pro připojení optického vlákna. Q) Systém Langmuirovy sondy s prostorovým a časovým rozlišením (systém LP) 1. Langmuirova jednoduchá sonda pro pulzní plazma Délka sondy 500±10mm. Vzduchové chlazení sondy. 2. Langmuirova dvojitá sonda pro pulzní plazma Délka sondy 500±10mm. Vzduchové chlazení sondy. 3. Kontrolní jednotka kompatibilní s oběma Langmuirovými sondami Nejmenší časové rozlišení 15ns nebo kratší. Minimálně jeden (1) synchronizační vstup. Rozsah nastavitelného napětí na sondě od -150V do +150V nebo širší. Rozsah měření proudů od 20nA do 1A nebo širší. Měřitelná hustota plazmatu až cm -3 nebo větší. 4. Automatický lineární posuvný systém kompatibilní s oběma Langmuirovými sondami Délka posuvu 450±10mm. Rozlišení posuvu 0,05mm nebo lepší. 5. Řídicí software pro systém LP včetně ovladačů pro vývojové prostředí LabVIEW, které je současným vybavením zadavatele. Software musí být kompatibilní s OS Microsoft Windows, který je současným vybavením zadavatele. Q) Systém Langmuirovy jednoduché a dvojité sondy je nutný pro získání důležitých parametrů výbojového plazmatu jako jsou např. rozdělovací funkce elektronů podle energie, plazmový či plovoucí potenciál, koncentrace iontů atd. Všechny tyto parametry jsou významné pro plné porozumění chování výbojového plazmatu během magnetronové depozice, a tak i procesům vedoucím k tvorbě tenkých vrstev s unikátními vlastnostmi. Požadovaná délka sond 500±10mm zaručí spolu s automatickým posuvným systémem o délce posuvu 450±10mm a rozlišením 0,05mm (či lepším) možnost proměřit prostorové rozložení parametrů výbojového plazmatu. Chlazení sond vzduchem je nezbytné k jejich tepelné ochraně v uvažovaných typech výbojů. Kontrolní jednotka je nutná k plné funkci celého systému Langmuirovy sondy. Požadované minimální parametry jednotky (napětí od -150V do +150V, proud od 20nA do 1A a měřitelná hustota plazmatu do 1x10 13 cm -3 ) zajistí použitelnost sond v zamýšlených pulzních magnetronových výbojích. Časové rozlišení 15ns a lepší spolu se vstupem pro synchronizaci měření dovolí provádět časově rozlišenou analýzu plazmatu během pulzu napětí. Řídicí software je nutný k provádění měření a zpracování naměřených dat. Zároveň jsou požadovány i ovladače pro vývojové prostředí LabVIEW, které je současným vybavením zadavatele a které dovolí zpracování naměřených dat dle specifických požadavků experimentů. Software je požadován pro OS Microsoft Windows, který je současným vybavením zadavatele. Požadované příslušenství (vakuová těsnění, náhradní hroty do sond atd.) jsou potřebná pro instalaci sond do komory depozičního systému a k samotnému měření parametrů plazmatu. 6. Příslušenství a náhradní díly nutné k plné funkci celého systému LP jako jsou vakuová těsnění, hroty sond atd. R) Systém pro chromatografická měření R) Depoziční aparatura bude mj. využívána také pro přípravu fotoaktivních materiálů umožňujících po
14 1. Požadovaný systém tvoří: Plynový chromatograf. Náplňová chromatografická kolona. Chromatografická stanice (včetně A/D převodníku) umožňující výpočet koncentrací měřených. plynů a archivaci dat v počítači. Kyveta pro rozklad vody na povrchu tenkovrstvého materiálu. Dvoustupňový redukční ventil pro argon (nosný plyn), určený pro velmi čisté plyny. 2. Plynový chromatograf musí splňovat následující požadavky: Vybavení detektorem měřícím tepelnou vodivost (TCD detektor). Možnost kontroly přetlaku nosného plynu v širokém rozmezí (maximální tlak nejméně 2 bar). Možnost kontroly teploty v širokém rozmezí (maximální teplota nejméně 400 C). Možnost využívat Ar jako nosný plyn. 3. Chromatografická kolona musí splňovat následující požadavek: Plnění molekulovým sítem umožňujícím oddělení H 2 od všech plynů vyskytujících se ve vzduchu. 4. Kyveta pro rozklad vody musí splňovat následující požadavky V kyvetě musí být možné umístit vzorek o rozměrech 3x3 cm tak (i) aby povrch vzorku mohl být pokryt vodou a (ii) aby tento povrch mohl být zvnějšku ozařován. Plyn nad povrchem vody musí být oddělený od vnější atmosféry; objem plynu musí být možné měnit. Z kyvety musí být možné odebrat vzorek plynu (řádově 1 cm 3 ) a vstříknout jej do chromatografu. ozáření viditelným světlem efektivní rozklad vody na O 2 a H 2 (čistý zdroj energie). Příkladem takových materiálů jsou polovodiče (zakázaný pás odpovídající vlnové délce viditelného světla) s kovovými nanoklastry na povrchu (viz vybavení depoziční aparatury zdrojem nanoklastrů). Chromatograf umožní vyhodnocení rozkladu vody, tj. skutečnosti zda a v jakém množství vzniká po ozáření H 2. Chromatografie je pro daný účel celosvětově využívanou metodou, viz např. Z. Zou et al., Nature 414, 625 (2001). Pro tento účel jsou optimalizovány klíčové technické požadavky (vlastnosti chromatografické kolony, volba nosného plynu, vybavení kyvetou kde bude rozklad vody probíhat). Plynový chromatograf musí splňovat následující požadavky vybavení detektorem měřícím tepelnou vodivost (TCD detektor) Na základě prostudované literatury (viz např. výše citovaná práce) je TCD chromatografie standardní, pro uvedený účel celosvětově používanou metodou. Hlavními výhodami TCD detektorů je jednoduchost, velká šířka oblasti kde je jejich odezva lineární a velké množstí analyzovatelných látek. možnost kontroly přetlaku nosného plynu v širokém rozmezí (maximální tlak nejméně 2 bar) možnost kontroly teploty v širokém rozmezí (maximální teplota nejméně 400 C) Jde o požadavky poskytující nezbytnou flexibilitu v situaci kdy není předem známo jak intenzivní bude výše zmíněné uvolňování H 2 (a O 2), a jaké budou z toho plynoucí parametry měření vedoucí na optimální parciální tlak sledovaného plynu a optimální rychlost jeho postupu chromatografickou kolonou. možnost využívat Ar jako nosný plyn Ar je zároveň levný a dostatečně odlišný od H 2 (nezbytná podmínka pro nosný plyn), bude proto využíván při analýzách uvolňování H 2 při fotokatalytickém rozkladu vody (primární využití chromatografu, jak uvedeno v úvodním odstavci). Chromatografická kolona musí splňovat následující požadavek plnění molekulovým sítem umožňujícím oddělení H 2 od všech plynů vyskytujících se ve vzduchu Jde o nutnou podmínku umožňující analýzu uvolňování H 2 při fotokatalytickém rozkladu vody (primární využití chromatografu, jak uvedeno v úvodním odstavci). Kyveta pro rozklad vody musí splňovat následující požadavky v kyvetě musí být možné umístit vzorek o rozměrech 3x3 cm tak (i) aby povrch vzorku mohl být pokryt vodou a (ii) aby tento povrch mohl být zvnějšku ozařován Minimální rozměry (3x3 cm) jsou dány typickou velikostí charakterizovaných vzorků připravovaných na pracovišti Zadavatele, a skutečností že větší plocha odpovídá menší chybě měření. Zbývající požadavky jsou z definice nutné pro možnost provádět fotokatalytický rozklad vody. plyn nad povrchem vody musí být oddělený
Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím
Název ve ejné zakázky: Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím Od vodn ní vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) ZVZ Technická podmínka: Od vodn ní A) Komponenty erpacího systému a systému
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
Od vodn ní vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) zákona. 137/2006 Sb., o ve ejných zakázkách
Název ve ejné zakázky: Dodávka univerzální depozi ní vakuové aparatury pro projekt NTIS Od vodn ní vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) zákona. 137/2006 Sb., o ve ejných zakázkách Technická
Laserový systém pro pulzní fototepelnou radiometrii
Název veřejné zakázky: Laserový systém pro pulzní fototepelnou radiometrii Odůvodnění vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách Technická podmínka:
ZÁKLADNÍ ČÁSTI SPEKTRÁLNÍCH PŘÍSTROJŮ
ZÁKLADNÍ ČÁSTI SPEKTRÁLNÍCH PŘÍSTROJŮ (c) -2008, ACH/IM BLOKOVÉ SCHÉMA: (a) emisní metody (b) absorpční metody (c) luminiscenční metody U (b) monochromátor často umístěn před kyvetou se vzorkem. Části
ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY
ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY s názvem PULSNÍ LASEROVÁ DEPOZICE CEITEC MU vyhotovené podle 156 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, v platném znění (dále jen Zákon o VZ) 1. ODŮVODNĚNÍ ÚČELNOSTI
Zdroje optického záření
Metody optické spektroskopie v biofyzice Zdroje optického záření / 1 Zdroje optického záření tepelné výbojky polovodičové lasery synchrotronové záření Obvykle se charakterizují zářivostí (zářivý výkon
Příloha č. 3 TECHNICKÉ PARAMETRY PRO DODÁVKU TECHNOLOGIE: UNIVERZÁLNÍ MĚŘICÍ ÚSTŘEDNA
Příloha č. 3 TECHNICKÉ PARAMETRY PRO DODÁVKU TECHNOLOGIE: UNIVERZÁLNÍ MĚŘICÍ ÚSTŘEDNA 1. Technická specifikace Možnost napájení ze sítě nebo akumulátoru s UPS funkcí - alespoň 2 hodiny provozu z akumulátorů
Dodávka rozhraní a měřících senzorů
Dodávka rozhraní a měřících senzorů Příloha 1 Specifikace předmětu zakázky Zakázka: 2/2012 OPVK Zadavatel: Střední škola technická a zemědělská, Nový Jičín, příspěvková organizace U Jezu 7, 741 01 Nový
ABSORPČNÍ A EMISNÍ SPEKTRÁLNÍ METODY
ABSORPČNÍ A EMISNÍ SPEKTRÁLNÍ METODY 1 Fyzikální základy spektrálních metod Monochromatický zářivý tok 0 (W, rozměr m 2.kg.s -3 ): Absorbován ABS Propuštěn Odražen zpět r Rozptýlen s Bilance toků 0 = +
Příloha 4. Technická specifikace veřejné zakázky Dodávka vakuových vývěv, vakuových ventilů a vakuových komponent
Příloha 4 Technická specifikace veřejné zakázky Dodávka vakuových vývěv, vakuových ventilů a vakuových komponent část položka název, popis kusů 1 VAKUOVÉ VÝVĚVY 1.1 Turbo molekulární vývěva s řídící jednotkou
MX-10 pixelový částicový detektor
MX-10 pixelový částicový detektor Základní charakteristika Autor: Ing. Martin Hönig Základní popis Produkt MX-10 je zařízení využívající hybridní pixelový detektor el. nabitých částic Timepix, vyvinutý
DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
Příloha č. 3. Specifikace požadavků na Univerzální trhací stroj s teplotní komorou a pecí. Univerzální trhací stroj s teplotní komorou a pecí
Příloha č. 3 Specifikace požadavků na Dodávka mechanického zkušebního trhacího stroje představuje plně funkční zařízení v nejpreciznějším možném provedení a s nejlepšími dosažitelnými parametry pro provádění
Příloha C. zadávací dokumentace pro podlimitní veřejnou zakázku Mikroskopy pro LF MU 2013. TECHNICKÉ PODMÍNKY (technická specifikace)
Příloha C zadávací dokumentace pro podlimitní veřejnou zakázku Mikroskopy pro LF MU 2013 TECHNICKÉ PODMÍNKY (technická specifikace) 1. část VZ: Laboratorní mikroskop s digitální kamerou a PC Položka č.1
Senzory - snímací systémy
Senzory - snímací systémy Měřicí jednotky Strana 333 335 LSM 902 Strana 337 LSM 9506 Strana 336 Zobrazovací jednotky Strana 335 336 331 příklady použití Kontinuální měření skleněných vláken a tenkých drátů
Systémy pro měření, diagnostiku a testování prototypů II. Odůvodnění vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) ZVZ
Název veřejné zakázky: Systémy pro měření, diagnostiku a testování prototypů II. Odůvodnění vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) ZVZ Technická podmínka: Odůvodnění Zaškolení obsluhy:
Technická specifikace předmětu veřejné zakázky
předmětu veřejné zakázky Příloha č. 1c Zadavatel požaduje, aby předmět veřejné zakázky, resp. přístroje odpovídající jednotlivým částem veřejné zakázky splňovaly minimálně níže uvedené parametry. Část
Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV RADIOELEKTRONIKY. OPTICKÝ SPOJ LR-830/1550 Technický popis
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV RADIOELEKTRONIKY OPTICKÝ SPOJ LR-830/1550 Technický popis BRNO, 2009 1 Návrh a konstrukce dálkového spoje 1.1 Optická
Bezkontaktní systém ustavování nástrojů NC4
Katalogový list H-2000-2244-05-B Bezkontaktní systém ustavování nástrojů NC4 Změření nástroje a zjištění poškozeného nástroje kdekoli v dosahu paprsku Komponenty systému Systém ustavování nástrojů NC4
T-DIDACTIC. Motorová skupina Funkční generátor Modul Simatic S7-200 Modul Simatic S7-300 Třífázová soustava
Popis produktu Systém T-DIDACTIC představuje vysoce sofistikovaný systém pro výuku elektroniky, automatizace, číslicové a měřící techniky, popř. dalších elektrotechnických oborů na středních a vysokých
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE - kvalitativní i kvantitativní detekce v GC a LC - pyrolýzní hmotnostní spektrometrie - analýza polutantů v životním
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE - kvalitativní i kvantitativní detekce v GC a LC - pyrolýzní hmotnostní spektrometrie - analýza polutantů v životním prostředí - farmakokinetické studie - kvantifikace proteinů
Spektrometr pro měření Ramanovy optické aktivity: proč a jak. Optická sestava a využití motorizovaných jednotek.
Spektrometr pro měření Ramanovy optické aktivity: proč a jak. Optická sestava a využití motorizovaných jednotek. Josef Kapitán Centrum digitální optiky Digitální Ramanova spektroskopie a Ramanova optická
- Rayleighův rozptyl turbidimetrie, nefelometrie - Ramanův rozptyl. - fluorescence - fosforescence
ROZPTYLOVÉ a EMISNÍ metody - Rayleighův rozptyl turbidimetrie, nefelometrie - Ramanův rozptyl - fluorescence - fosforescence Ramanova spektroskopie Každá čára Ramanova spektra je svými vlastnostmi závislá
Vybrané technologie povrchových úprav. Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006
Vybrané technologie povrchových úprav Vakuum 2. Část Doc. Ing. Karel Daďourek 2006 Základní parametry vývěv Mezní tlak vývěvy p mez Tlak na výstupu vývěvy, od kterého je schopna funkce p 0 Čerpací schopnost
Úvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.
Aktivní prostředí v plynné fázi. Plynové lasery Inverze populace hladin je vytvářena mezi energetickými hladinami některé ze složek plynu - atomy, ionty nebo molekuly atomární, iontové, molekulární lasery.
od 70mm (měřeno od zadní desky s axiálním výstupem) interní prvky opatřeny černou antireflexní vrstvou, centrální trubice s vnitřní šroubovicí
Model QM-1 (s válcovým tubusem) QM-1 je základním modelem řady distančních mikroskopů Questar, které jsou celosvětově oceňovanými optickými přístroji zejména z hlediska extrémně precizní optiky a mechanického
Detektory kovů řady Vistus
Technické údaje Detektory kovů řady Vistus Dotykový displej Multifrekvenční technologie Vyšší vyhledávací citlivost Kratší bezkovová zóna Větší odolnost proti rušení 1 Základní popis zařízení Detektory
Přehled produktových řad. OL1 Přesné vedení v dráze v plném spektru SENZORY PRO MĚŘENÍ VZDÁLENOSTI
Přehled produktových řad OL1 Přesné vedení v dráze v plném spektru Výhody A DENÍ V DRÁZE V PLNÉM SPEKTRU B C D Přesná detekce v rozsahu mikrometrů E F OL1 je díky svému 10 mm širokému světelnému pásu s
Fotoelektronová spektroskopie Instrumentace. Katedra materiálů TU Liberec
Fotoelektronová spektroskopie Instrumentace RNDr. Věra V Vodičkov ková,, PhD. Katedra materiálů TU Liberec Obecné schéma metody Dopad rtg záření emitovaného ze zdroje na vzorek průnik fotonů několik µm
Čidlo tlakové diference
1 921 Čidlo tlakové diference Pro neutrální a středně korosivní kapaliny a plyny QBE64-DP4 Čidlo tlakové diference je určeno pro měření přetlaku nebo podtlaku a tlakových diferencí v plynech nebo kapalinách
Optoelektronické senzory. Optron Optický senzor Detektor spektrální koherence Senzory se CCD prvky Foveon systém
Optoelektronické senzory Optron Optický senzor Detektor spektrální koherence Senzory se CCD prvky Foveon systém Optron obsahuje generátor světla (LED) a detektor optické prostředí změna prostředí změna
Spektrální charakteristiky
Spektrální charakteristiky Cíl cvičení: Měření spektrálních charakteristik filtrů a zdrojů osvětlení 1 Teoretický úvod Interakcí elektromagnetického vlnění s libovolnou látkou vzniká optický jev, který
Nákup strojního vybavení dílenské víceúčelové haly
Technické podmínky Veřejné zakázky Nákup strojního vybavení dílenské víceúčelové haly Obecné technické podmínky platné pro celou dodávku Kvalitní a spolehlivé stroje. Součástí dodávky budou všechny komponenty
HPLC - Detektory A.Braithwaite and F.J.Smith; Chromatographic Methods, Fifth edition, Blackie Academic & Professional 1996 Colin F. Poole and Salwa K.
Vysokoúčinná kapalinová chromatografie - Detektory - I Příprava předmětu byla podpořena projektem OPPA č. CZ.2.17/3.1.00/33253 HPLC - Detektory A.Braithwaite and F.J.Smith; Chromatographic Methods, Fifth
Nejlepší volba pro nejvyšší výkon
Nejlepší volba pro nejvyšší výkon Společnost INFICON nabízí celosvětově špičkové technologie v oblasti měřicí techniky, senzorové technologie a řízení procesů pro náročné vakuové metody ve vysoce specializovaných
Převodník tlaku DMU 08
Převodník tlaku DMU Sonda pro měření výšky hladiny provedení z nerez oceli DMU Digitální ukazatel (na přání) Sada šroubení Kabelová odbočnice s vyrovnáním tlaků Digitální ukazatel DA Signalizační zařízení
Čidlo tlakové diference
1 920 1920P01 Čidlo tlakové diference Pro neutrální a lehce korosivní plyny a kapaliny QBE63-DP... Čidlo tlakové diference pro kapaliny a plyny, pro měření přetlaku a podtlaku a tlakových diferencí v systémech
Elektronová Mikroskopie SEM
Elektronová Mikroskopie SEM 26. listopadu 2012 Historie elektronové mikroskopie První TEM Ernst Ruska (1931) Nobelova cena za fyziku 1986 Historie elektronové mikroskopie První SEM Manfred von Ardenne
Ionizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1.
Ionizační manometry Princip: ionizace molekul a měření počtu nabitých částic Rozdělení podle způsobu ionizace: Manometry se žhavenou katodou Manometry se studenou katodou Manometry s radioaktivním zářičem
Úloha č. 1: CD spektroskopie
Přírodovědecké fakulta Masarykovy univerzity v Brně Předmět: Jméno: Praktikum z astronomie Andrea Dobešová Obor: Astrofyzika ročník: II. semestr: IV. Název úlohy Úloha č. 1: CD spektroskopie Úvod: Koho
Příloha č. 3 Technická specifikace
Příloha č. 3 Technická specifikace PŘÍSTROJ Dva creepové stroje pro měření, jeden creepový zkušební stroj pracující v rozmezí teplot od +150 do +1200 C a jeden creepový zkušební stroj pracující v rozmezí
Měření optických vlastností materiálů
E Měření optických vlastností materiálů Úkoly : 1. Určete spektrální propustnost vybraných materiálů různých typů stavebních skel a optických filtrů pomocí spektrofotometru 2. Určete spektrální odrazivost
SonoMeter 31 Měřiče tepla
SonoMeter 31 Měřiče tepla Popis Danfoss SonoMeter 31 je řada ultrazvukových, kompaktních měřičů tepla určených k měření spotřeby energie při vytápění a chlazení pro účely fakturace. Tyto měřiče jsou určeny
Projekt FRVŠ č: 389/2007
Závěrečné oponentní řízení 7.2.2007 Projekt FRVŠ č: 389/2007 Název: Řešitel: Spoluřešitelé: Pracoviště: TO: Laboratoř infračervené spektrometrie Doc. Ing. Milan Honner, Ph.D. Ing. Petra Vacíková, Ing.
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
Bodové svařovací stroje s kyvnými a lineárními rameny kva. Typ 4620N 4630N 4629N 4630N 4621N 4623N
Bodové svařovací stroje s kyvnými a lineárními rameny 35 50 kva Typ 46N 4630N 4629N 4630N 4621N 4623N Charakteristika chroěděné držáky elektrod pro velkou pracovní zátěž a dlouhou životnost, pro přímou
PyroUSB. Bezkontaktní snímač teploty nastavitelný přes PC s výstupem od 4 do 20 ma
PyroUSB Bezkontaktní snímač teploty nastavitelný přes PC s výstupem od 4 do 20 ma PyroUSB je teplotní snímač, který se používá při měření špatně dostupných míst a při přemisťování břemen. Nastavitelný
POKUSY VEDOUCÍ KE KVANTOVÉ MECHANICE II
POKUSY VEDOUCÍ KE KVANTOVÉ MECHANICE II FOTOELEKTRICKÝ JEV VNĚJŠÍ FOTOELEKTRICKÝ JEV na intenzitě záření závisí jen množství uvolněných elektronů, ale nikoliv energie jednotlivých elektronů energie elektronů
Základy NIR spektrometrie a její praktické využití
Nicolet CZ s.r.o. The world leader in serving science Základy NIR spektrometrie a její praktické využití NIR praktická metoda molekulové spektroskopie, nahrazující pracnější, časově náročnější a dražší
Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM
Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM Historie 1931 E. Ruska a M. Knoll sestrojili první elektronový prozařovací mikroskop 1939 první vyrobený elektronový mikroskop firma Siemens rozlišení 10 nm 1965 první
Proč elektronový mikroskop?
Elektronová mikroskopie Historie 1931 E. Ruska a M. Knoll sestrojili první elektronový prozařovací mikroskop,, 1 1939 první vyrobený elektronový mikroskop firma Siemens rozlišení 10 nm 1965 první komerční
Modulace a šum signálu
Modulace a šum signálu PATRIK KANIA a ŠTĚPÁN URBAN Nejlepší laboratoř molekulové spektroskopie vysokého rozlišení Ústav analytické chemie, VŠCHT Praha kaniap@vscht.cz a urbans@vscht.cz http://www.vscht.cz/anl/lmsvr
PSI (Photon Systems Instruments), spol. s r.o. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.
PSI (Photon Systems Instruments), spol. s r.o. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. Konstrukce a výroba speciálních optických dielektrických multivrstev pro systémy FluorCam Firma příjemce voucheru
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
Měření optických vlastností materiálů
E Měření optických vlastností materiálů Úkoly : 1. Určete spektrální propustnost vybraných materiálů různých typů stavebních skel a optických filtrů pomocí spektrofotometru 2. Určete spektrální odrazivost
OBSAH Charakteristika Volitelné příslušenství Nastavení ramen, příslušenství Technické údaje Technické výkresy Řídící jednotky
OBSAH Charakteristika 3 Volitelné příslušenství 3 Nastavení ramen, příslušenství 4 Technické údaje 5 Technické výkresy 6 Řídící jednotky 7 Hlavní technické parametry 7 Bodové svařovací stroje s kyvnými
ZADAVATEL: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Sídlem: Na Slovance 2, Praha 8 doc. Jan Řídký, DrSc., ředitel IČ:
ZADAVATEL: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Sídlem: Na Slovance 2, 182 21 Praha 8 Jednající: doc. Jan Řídký, DrSc., ředitel IČ: 68378271 VEŘEJNÁ ZAKÁZKA: Multifunkční fotoelektronový spektrometr s rychlým
NTIS-VP1/1: Laboratorní napájecí zdroj programovatelný
NTIS-VP1/1: Laboratorní napájecí zdroj programovatelný stejnosměrný zdroj s regulací výstupního napětí a proudu s programovatelnými funkcemi 3 nezávislé výstupní kanály výstupní rozsah napětí u všech kanálů:
ZÁKLADY OBECNÉ A KLINICKÉ BIOCHEMIE
ZÁKLADY OBECNÉ A KLINICKÉ BIOCHEMIE 2004 Technologie kvantitativních metod Petr Štern kapitola ve skriptech - 4.2.2 Optické zdroje U V V I S I R Spektrální distribuční křivky W žárovky b.t. W ~ 3600 C
Plazmové svařování a dělení materiálu. Jaromír Moravec
Plazmové svařování a dělení materiálu Jaromír Moravec 1 Definice plazmatu Definice plazmatu je následující: Plazma je kvazineutrální soubor částic s volnými nosiči nábojů, který vykazuje kolektivní chování.
nano.tul.cz Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na TUL
Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na TUL nano.tul.cz Tyto materiály byly vytvořeny v rámci projektu ESF OP VK: Inovace a rozvoj studia nanomateriálů na Technické univerzitě v Liberci Experimentální
Název zařízení / sestavy:
Počet sestav: 10 Bateriový systém na napájení měřícího zařízení Sestava musí obsahovat 4 baterie, 2 skříně na baterie,2 nabíječky akumulátorů a 1 solární panel. Nabíječky a baterie slouží k dobíjení venkovních
Studentská 1402/2 461 17 Liberec 1 tel.: +420 485 353 006 cxi.tul.cz. Technologická zařízení
Technologická zařízení Oddělení prototypových technologií a procesů 3D tiskárna Objet Connex 500 Systém od firmy Objet je určen pro výrobu rozměrných a přesných modelů. Maximální rozměry modelů: 490 x
Detektor kouře FireGuard. Aplikace Včasné varování před studeným kouřem v silničních tunelech Detekce kouře v prostředích s korosivní atmosférou
Aplikace Včasné varování před studeným kouřem v silničních tunelech Detekce kouře v prostředích s korosivní atmosférou Výhody Spojité měření koncentrace kouře Žádné pohyblivé části Eliminace vlivu mlhy
ROZDĚLENÍ SNÍMAČŮ, POŽADAVKY KLADENÉ NA SNÍMAČE, VLASTNOSTI SNÍMAČŮ
ROZDĚLENÍ SNÍMAČŮ, POŽADAVKY KLADENÉ NA SNÍMAČE, VLASTNOSTI SNÍMAČŮ (1.1, 1.2 a 1.3) Ing. Pavel VYLEGALA 2014 Rozdělení snímačů Snímače se dají rozdělit podle mnoha hledisek. Základním rozdělení: Snímače
Přenos signálů, výstupy snímačů
Přenos signálů, výstupy snímačů Topologie zařízení, typy průmyslových sběrnic, výstupní signály snímačů Přenosy signálů informací Topologie Dle rozmístění ŘS Distribuované řízení Většinou velká zařízení
TECOMAT TC700 ZÁKLADNÍ DOKUMENTACE K MODULU UC-7201. 1. vydání - červen 2004
TECOMAT TC700 ZÁKLADNÍ DOKUMENTACE K MODULU UC-7201 1. vydání - červen 2004 Podrobná uživatelská dokumentace je k dispozici v elektronické podobě na CD INFO, lze ji také objednat v tištěné podobě - název
Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
Bezpečnostní inženýrství. - Detektory požárů a senzory plynů -
Bezpečnostní inženýrství - Detektory požárů a senzory plynů - Úvod 2 Včasná detekce požáru nebo úniku nebezpečných látek = důležitá součást bezpečnostního systému Základní požadavky včasná detekce omezení
M-142 Multifunkční kalibrátor
M-142 Multifunkční kalibrátor DC/AC napětí do 1000 V, přesnost 10ppm/rok DC/AC proud do 30A Odpor do 1000 MΩ, kapacita do 100 uf Simulace teplotních snímačů TC/RTD Kmitočtový výstup do 20MHz Funkce elektrického
Bodové svařovací stroje s kyvnými a lineárními rameny kva TECNA
Bodové svařovací stroje s kyvnými a lineárními rameny 35 50 kva TECNA 4660 4668 Bodové svařovací stroje s kyvnými a lineárními rameny 35 50 kva Tecna bodové svářečky jsou konstruovány pro splnění všech
Techniky mikroskopie povrchů
Techniky mikroskopie povrchů Elektronové mikroskopie Urychlené elektrony - šíření ve vakuu, ovlivnění dráhy elektrostatickým nebo elektromagnetickým polem Nepřímé pozorování elektronového paprsku TEM transmisní
Soubor zařízení (meteostanic) je určen pro monitoring meteorologických parametrů ve venkovním prostředí.
Příloha č. 4 - Technická specifikace Název zařízení/sestavy: Systém plně automatických profesionálních meteostanic Počet kusů: 7 ks samostatných meteostanic v různých sestavách podle specifikace Použití
Infračervený teploměr
Infračervený teploměr testo 830 rychlé, bezdotykové měření povrchové teploty Laserové označení místa měření a velká optika pro přesné měření i při větších vzdálenostech C Rychlé zjištění měřené hodnoty
Klinická a farmaceutická analýza. Petr Kozlík Katedra analytické chemie
Klinická a farmaceutická analýza Petr Kozlík Katedra analytické chemie e-mail: kozlik@natur.cuni.cz http://web.natur.cuni.cz/~kozlik/ 1 Spojení separačních technik s hmotnostní spektrometrem Separační
Obsah. Tlakové spínače. Série Materiál Připojení Tlak Teplota Funkce Strana. 18 S Allfluid nerezová ocel G 1/4 kolík 0-800 bar +85 C 228
Obsah Tlakové spínače Série Materiál Připojení Tlak Teplota Funkce Strana 18 S Allfluid nerezová ocel kolík 0-800 bar +85 C 228 33 D Hliník, nerezová ocel, Polyesterová fólie Příruba -1-630 bar +80 C 230
MODULÁRNÍ SVAŘOVACÍ JEDNOTKY dvojitý bod, kyvné rameno, lineární chod Typy 4040, 4041, 4042, 4043, 4044, 4050, 4060, 4061, 4062, 4063
MODULÁRNÍ SVAŘOVACÍ JEDNOTKY dvojitý bod, kyvné rameno, lineární chod Typy 4040, 4041, 4042, 4043, 4044, 4050, 4060, 4061, 4062, 4063 CHARAKTERISTIKA MODULÁRNÍHO SYSTÉMU Široký program modulárních svářecích
AUTOMATICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE
AUTOMATICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE SPEKTROGRAFIE Jako budící zdroj slouží plazma elektrického výboje, kdy se výkon generátoru mění v plazmatu na teplo, ionizační a budící práci a zářivou E. V praxi se spektrografie
TENZOMETRICKÉ PŘEVODNÍKY
TENZOMETRICKÉ PŘEVODNÍKY řady TZP s aktivním frekvenčním filtrem www.aterm.cz 1 Obsah 1. Úvod 3 2. Obecný popis tenzometrického převodníku 3 3. Technický popis tenzometrického převodníku 4 4. Nastavení
ELEKTRONICKÉ ZOBRAZOVACÍ SYSTÉMY
ZOBRAZOVACÍ SLOUPEC S MIKROPROCESOREM Zobrazovací sloupec s mikroprocesorem je určen k zobrazení rozměrového i tvarového měření prováděného staticky či dynamicky. Naměřená hodnota se zobrazuje na osmimístném
Automatické testování netěsností vzduchem. Přístroje JWF na testování netěsností, série 400
Automatické testování netěsností vzduchem Přístroje JWF na testování netěsností, série 400 Nejmodernější technologie testování netěsností: Přístroje JWF pro testování netěsností, série 400 Pro každý postup
ILC NESO! POUŽITÍ A POPIS! LED ILC FACTORY a.s.
ILC NESO POUŽITÍ A POPIS Svítidlo je vhodné k osvětlování venkovních prostorů, hlavních a vedlejších komunikací měst a obcí, parkovišť, průmyslových areálů, pěších zón a parků. Těleso a víko svítidla jsou
Písemná zpráva zadavatele
Písemná zpráva zadavatele o veřejné zakázce zadávané dle zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, ve znění účinném ke dni zahájení zadávacího řízení (dále jen ZVZ ). Veřejná zakázka Název: Spektrofotometry
Spektrální analyzátor Ocean optics
Anna Kapchenko, Václav Dajčar, Jan Zmelík 4.3.21 1. Zadání: Spektrální analyzátor Ocean optics Získat praktické zkušenosti s měřením spektrálních charakteristik pomocí spektrálního analyzátoru Ocean Optics
DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování
DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem
Integrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673, Slaný
Označení materiálu: VY_32_INOVACE_STEIV_FYZIKA2_12 Název materiálu: Elektrický proud v plynech. Tematická oblast: Fyzika 2.ročník Anotace: Prezentace slouží k výkladu elektrického proudu v plynech. Očekávaný
AUTOMATIZOVANÝ KONTROLNÍ SYSTÉM PRO DETEKCI PODPOVRCHOVÝCH VAD V ŽELEZNIČNÍCH KOLEJNICÍCH. Základní údaje. Kontaktní osoba v závodě 2003 tel.
ATG, s. r. o. office : Tel.: (+420) 234 312 201-4 Beranových 65 Fax: (+420) 234 312 205 199 02 Praha 9- Letňany E-mail: atg@atg.cz Czech Republic http: www.atg.cz AUTOMATIZOVANÝ KONTROLNÍ SYSTÉM PRO DETEKCI
Rentgenová spektrální analýza Elektromagnetické záření s vlnovou délkou 10-2 až 10 nm
Rtg. záření: Rentgenová spektrální analýza Elektromagnetické záření s vlnovou délkou 10-2 až 10 nm Vznik rtg. záření: 1. Rtg. záření se spojitým spektrem vzniká při prudkém zabrzdění urychlených elektronů.
25 A Vypracoval : Zdeněk Žák Pyrometrie υ = -40 C.. +10000 C. Výhody termovize Senzory infračerveného záření Rozdělení tepelné senzory
25 A Vypracoval : Zdeněk Žák Pyrometrie Bezdotykové měření Pyrometrie (obrázky viz. sešit) Bezdotykové měření teplot je měření povrchové teploty těles na základě elektromagnetického záření mezi tělesem
POZOROVÁNÍ SLUNCE VE SPEKTRÁLNÍCH ČARÁCH. Libor Lenža Hvězdárna Valašské Meziříčí, p. o.
POZOROVÁNÍ SLUNCE VE SPEKTRÁLNÍCH ČARÁCH Libor Lenža Hvězdárna Valašské Meziříčí, p. o. Obsah 1. Co jsou to spektrální čáry? 2. Historie a současnost (přístroje, družice aj.) 3. Význam pro sluneční fyziku
Elcometer 307 Vysoce přesný digitální tloušťkoměr
Elcometer 307 Vysoce přesný digitální tloušťkoměr Vysoce přesný ultrazvukový digitální tloušťkoměr Elcometer 307 je kalibrován při výrobě a jeho použití je tak velmi snadné. Je vhodný pro rychlé a přesné
P EHLED PNEUMATICK CH PRVKÒ
KOMPLEXNÍ E ENÍ PRO HYDRAULIKU PNEUMATIKU A MAZÁNÍ P EHLED PNEUMATICK CH PRVKÒ PNEUMATIKA NOVINKY Pneumatické válce řady P1D dle norem ISO/VDMA Průměry pístu: 32-125 mm dle norem ISO a VDMA Tlak max. 10
Digitální video mikroskop navržený pro flexibilní kontrolu, řízení jakosti, měření a digitální záznam.
Katalogový list www.abetec.cz ESD digitální kamera Flexia HM OP-019 195 Obj. číslo: 106000751 Výrobce: Optilia Anotace Digitální video mikroskop navržený pro flexibilní kontrolu, řízení jakosti, měření
EurotestXE. Použití Technické parametry Rozsah dodávky Volitelné příslušenství
Stránka č. 1 z 6 EurotestXE LLKO Novinky Katalog Ceník Objednávka Kalibrační služby Výstavy+semináře Ke stažení EurotestXE - špičkový multifunkční přístroj pro revize elektrických instalací Použití Technické
Elcometer NDT Přístroje pro přesné měření tloušťky PG70 & PG70DL, PG70ABDL
Elcometer NDT Přístroje pro přesné měření tloušťky PG70 & PG70DL, PG70ABDL Přístroje PG70 a PG70DL umožňují měření tloušťky s tou nejvyšší možnou přesností díky technologii ThruPaint, která přesně měří
Čidlo tlakové diference
1 922 Čidlo tlakové diference Pro neutrální a středně korosivní kapaliny a plyny QBE3000-D.. QBE3100-D.. Čidlo tlakové diference je určeno pro měření tlakových diferencí v plynech nebo kapalinách v systémech
Lineární snímač polohy Temposonics EP
MTS Sensors Group Lineární snímač polohy Temposonics EP Robustní průmyslový snímač Bezkontaktní snímání lineární polohy Měřicí rozsah 50-1500 mm / 50 3250 mm Absolutní měření polohy s linearitou lepší
Jednotné pracovní postupy zkoušení krmiv STANOVENÍ OBSAHU SELENU METODOU ICP-OES
Strana 1 STANOVENÍ OBSAHU SELENU METODOU ICP-OES 1 Rozsah a účel Postup specifikuje podmínky pro stanovení celkového obsahu selenu v minerálních krmivech a premixech metodou optické emisní spektrometrie