Základy mikroelektronických technologií

Rozměr: px
Začít zobrazení ze stránky:

Download "Základy mikroelektronických technologií"

Transkript

1 Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Základy mikroelektronických technologií Technologie tlustých vrstev Technologie tenkých vrstev Základy polovodičových technologií

2 Mikroelektronické technologie polovodičové Si technologie (oxidace, fotolitografie, epitaxe, iontová implantace, metalizace) GaAs technologie (aplikace nad 150 C) vrstvové (planární) Tenkovrstvá technologie (monokrystalických, polykrystalických i amorfních vrstev o tloušťce 1 nm až 1µm) Tlustovrstvová technologie (využívá sítotiskové pasty, vrstvy 1 až desítky µm silné)

3 Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Základy mikroelektronických technologií Technologie tlustých vrstev Technologie tenkých vrstev Základy polovodičových technologií

4 Technologie tlustých vrstev (TLV) pasivní sítě, vodivé cesty, odpory a kondenzátory speciální (hybridní) integrované obvody (HIO) levný, nevakuový způsob vytváření vrstev dobré elektrické a mechanické vlastnosti dnes pro nekonvenční aplikace (senzory, vojenské aplikace, aplikace s vysokou spolehlivostí a životností, displeje, pojistky, atd.)

5 Technologie tlustých vrstev Tlustovrstvé senzory rozlišujeme na: senzory založené na obvodovém principu využívá se změn parametrů elektrického prvku v obvodu (pasty rezistivní, vodivé, dielektrické) senzory založené na vlastnostech past využívá se změn parametrů elektrického prvku tvořený pastou speciální (termorezistivní, piezorezistivní, enzymové atd.) nebo pastou standardní, která je výrazně citlivá na snímanou veličinu

6 Technologie tlustých vrstev Materiály past Cermetové - vysokoteplotní vypalovací proces kovy (Pt, Pd, Ag, Au, atd.) oxidy kovů (odporové pasty - RuO 2, Bi 2 Ru 2 O 7 ), (dielektrické složky - Al 2 O 3, WO 3, Y 2 O 3, Bi 2 O 3, CuO 2, BaTiO 3 ) skelné frity (PbO 2, B 2 O 3, SiO 2 ) vzájemná vazba částic a se substrátem skelná reaktivní (např. CuAlO 2 ) smíšená (malé množství skla, reaktivní oxidy a sloučeniny funkční složky)

7 Technologie tlustých vrstev Organický nosič rozpouštědlo (terpineol,.) tixotropní příměs surfaktant (snížení povrchových napětí) celulosa (pro určení vizkozity) Třecí mlýn pro homogenizaci pasty Polymerní - nízkou vytvrzovací teplotou ( C) Ag, Ni, Cu, C s pojivou složkou (polyester, epoxid, acrylic, vinyl) Termosety pro dielektrické vrstvy

8 Technologie tlustých vrstev výroba sítotisk drop-coating Na korundové, nitridové, zirkoniové nebo beriliové keramiky, sklo, ocel, polymerní nebo polyimidové fólie Vlastnosti past: pseudoplastické tixotropní

9 Technologie tlustých vrstev Vliv viskozity chování tixotropní pasty při tisku (1 viskozita po míchání, 2 počátek tisku, 3 protlačení sítem, 4 vyrovnání) Vlastnosti pasty η D newtonský s omezeným tokem 3 gelový čas

10 Technologie tlustých vrstev Proces vytváření tlustých vrstev přizpůsobení pasty teplotě okolí tisk (síta kovová, polyesterová,.. MESH ) doba ustálení pasty (cca. 10 min) sušení (125 nebo 150 C/ 10 min) výpal (obvykle 850 C/ 10 min) tloušťka až15 µm vodivé, 12 µm odporové, až 55 µm dielektrické pozn. každá pasta (vrstva) se obvykle vypaluje zvlášť, odpory se vypalují většinou až nakonec Některé využitelné vlastnosti jsou u komečních past parazitní termorezistivní, piezorezistivní

11 Technologie tlustých vrstev běžný profil výpalu sítotiskových past T ( C) 10 min 850 ±1 C 60 C/ min -60 C/ min t (min)

12 Technologie tlustých vrstev struktura vrstev prázdný prostor kov skelná vazba sklo keramika - sklo podložka kov reaktivní vazba oxidy kovů podložka

13 Technologie tlustých vrstev Speciální pasty Termorezistivní NTC (oxidy Mn, Co, Cu, Ni, Fe, Ti, Zn, Mg, Cr, Li) PTC (na bázi BaTiO 3, TiO 2, VO 2, V 2 O 3 ) Magnetorezistivní Na bázi Ni Feromagnetické Pyroelektrické Na bázi LiTaO 3 Polymerní - PVDF Piezorezistivní Cermetové piezorezistivní pasty (SiC, AlAs, RuO 2 ) PTF: C a Ag polymerní sloučeniny

14 Technologie tlustých vrstev Speciální pasty Piezoelektrické na bázi BaTiO 3 na bázi PZT (Pb, Zr, Ti) piezoelektrické polymery - PVDF Citlivé na vlhkost polymerní sloučeniny hydrotalcitní protonické vodiče cermetové pasty: SnO 2 Chemicky citlivé pevné elektrolyty: ZrO 2, na bázi polovodivých oxidů kovů: SnO 2, WO 3, TiO 2,. polymery: polyelektrolyty, uhlíkové polymerní vrstvy, polyetheruretan,.

15 Technologie tlustých vrstev Speciální pasty Biocitlivé polymerní lože s receptorovými částicemi obecně Vyrábí se pro daný typ aplikace záměrným přidáním funkčních látek, nových materiálů nebo technologickým zpracováním. (Ag/AgCl pro referentní elektrodu, teplota výpalu ovlivňuje konečnou velikost zrn, využití nanoprášků nebo mesoporézních nanoprášků). V řadě aplikací je důležitá čistota velmi obtížně splnitelné u TLV

16 Drop coating pasta s podobnými plastickými vlastnostmi jako u sítotiskových past malé množství (10-ky µl až 1-ky ml) prochází trubičkou pod tlakem kapka vrstva nemá homogenní tloušťku kulovitý tvar

17 Fotolitografická technologie Kombinace sítotisku a leptání Využívá speciálních fotocitlivých past Pomocí fotolitografie (osvit přes masku) je vyleptán motiv výpal Zvýšení rozlišení klasické technologie ze 100 µm na 10 µm

18 Technologie tlustých vrstev Aplikace a vlastnosti kapacitní, odporové senzory chemické senzory roztoků i plynů funkce při vysokých teplotách až 800 C vytváření kanálků, membrán obtížné know how vysoká odolnost proti korozi, teplotním výkyvům, stabilita spolehlivost snadné vytváření polymerních i biologicky aktivních vrstev malý odpor vodivých cest, vysoká proudová hustota ve vrstvě vytváření topných elementů

19 Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Základy mikroelektronických technologií Technologie tlustých vrstev Technologie tenkých vrstev Základy polovodičových technologií

20 Technologie tenkých vrstev (TNV) PVD naprašování, vakuové napařování Chemické depozice CVD chemické napařování Spin- a drop-coating techniky Elektro-chemická depozice redukce kovů, anodizace

21 Technologie tenkých vrstev pasivní sítě, vodivé cesty, odpory a kondenzátory techniky mikroobrábění (micromachining) vakuový způsob vytváření vrstev rozměry pod 1 µm litografie spolu s polovodičovou technologií se užívá pro výrobu integrovaných obvodů

22 Technologie tenkých vrstev Naprašování Definice: Kinetické energie, které převyšují vazební energie atomů způsobují zatlačení atomové mřížky do nové pozice, atomy jsou tlačené k povrchu a migrují v povrchových vrstvách kde dochází k defektům. Energie převyšující 4H způsobí dislokace atomů a jejich vypuzení do plynové fáze (odpaření). Naprašování je výsledek posloupných binárních kolizí iontů s atomy plynů takto odpařených.

23 DC naprašování atom uvolněný do plynové fáze vytvoří iont interakcí s elektrony vzniká plazma unášené od targetu k substrátu elektrostatickým polem kladné ionty plynu vznikající ve výboji jsou unášeny směrem ke katodě a dopadají na ní téměř rychlostí, kterou získaly v prostoru katodového spádu nejjednodušší naprašování (DC sputtering)

24 Magnetronové naprašování target s naprašovacím materiálem je během procesu umístěn v silném magnetickém poli dociluje se mnohem koncentrovanější depozice díky směrováním částic vlivem magnetického pole do středu nedochází k neefektivnímu rozptylu částic do krajů depoziční komory

25 Vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering) Systém obsahuje třetí elektrodu, jež je nevodivá. Mezi katodou a anodou je DC pole a vytváří se plasma jako u DC metody. Mezi anodou a izolační elektrodou je přivedeno vysokofrekvenční (RF) napětí (řádově MHz). Povrch izolačního materiálu je v půlperiodách negativně nabit oproti plasmě a dochází k naprašování na povrch izolantu. RF magnetron sputtering.

26 Napařování PVD CVD vakuové napařování (PVD) nejjednodušší technologie výroby tenkých vrstev dekompozice pyrolýzou chemické (CVD) disproporce (tepelná), redukce, oxidace, nitridace (chemická reakce), polymerizace

27 Dekompozice Dochází při pyrolýze v uzavřeném systému, kde se ustálí rovnovážný tlak nazývaný tenze nasycených par. Je-li v určitém místě teplota nižší, dochází zde ke kondenzaci par, tj. materiál je přenášen z místa o vyšší teplotě (z výparníku) do místa o teplotě nižší (na podložku, na níž roste tenká vrstva). Rychlost depozice závisí na teplotě substrátu.

28 Dekompozice vakuum Pa z důvodu zvětšení střední volné dráhy K nanášení vrstev kovů i sloučenin (Al, Cu, Au, aj., NiCr a SiO)

29 Disproporční napařování patří k chemickým napařováním z par (plynů) CVD, LPCVD, PECVD vychází z využití plynu o dvou prvcích AB (prekursor) přicházejícího do studené oblasti, kde pouze A (precipitátor) je deponován na studenější substrát. využívá se např. pro epitaxi křemíku nebo germania, ale i dalších vrstev kovů i jejich sloučenin. SiH 4 Si+2H 2

30 Další způsoby chemického napařování Redukce, oxidace a nitridace je založena na chemické reakci směsi plynů. Správnou volbou plynů dochází k určeným reakcím za přítomnosti plynů hydrogenů, chloridů, kyslíku nebo dusíku. Vznikají vrstvy kovů, oxidů nebo nitridů. WF 6 + 3H 2 W+6HF SiH 4 +2O 2 SiO 2 +H 2 O 3SiH 4 +4NH 3 Si 3 N 4 +2H 2 Polymerizace - Anorganické i organické polymery lze připravit z monomerní páry elektronovým svazkem, UV zářením nebo doutnavým výbojem.

31 dip- a spin-coating Sol-gel (vysrážení z roztoku) roztoky kationtů kovů nebo organokovů (chloridy, acetáty nebo ethoxidy, isopropoxidy) rozpustné v kyselinách, butanolech a isopropyl alkoholu precurzor (sol) při působení vody nebo amonných par dochází k vysrážení nanočástic precipitátor (gel) kalcinace nad 300 C oxidy kovů kyselý roztok rozpuštěných kationtů kovů zásaditý roztok roztok vysrážených nanočástic silné míchání

32 dip- a spin-coating depozice vnořením substrátu do roztoku (dip-coating) nebo na roztočený substrát (spin-coating) velmi tenká vrstva (monovrstva) Rotační depoziční deska Spin-coater nanočástice lze i odfiltrovat a použít pro přípravu past

33 Elektro-chemická depozice depozici v kapalných a nekapalných médiích chemická metoda umožňuje pokovovat nevodivé materiály elektrochemická metoda výhodná právě pro depozici pomocí masky, odpadá selektivní leptání jednoduchá a levná Faradayův zákon d JEα 1 = [ cm s ] t ρ

34 Elektrochemická depozice Galvanické (katodové) pokovování vytváření kovových vrstev redukcí kationtů na katodě z roztoků solí (NiCl 2, apod.), sulfidů (CuSO 4, apod.), kyselin (kys. platiničitá), acetátů a dalších sloučenin NiCl H 2O Ni + 2Cl + 2OH + H

35 Elektrochemická depozice Anodizace řízená elektrochemická oxidace anody vytváření tenkých vrstev oxidů kovů (SnO 2, CuO, Al 2 O 3, TiO 2 atd.) samouspořádání některých materiálů (Al Al 2 O 3, Ti TiO 2 ) za určitých podmínek hexagonální buňky od 20 do 500 nm

36 Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Základy mikroelektronických technologií Technologie tlustých vrstev Technologie tenkých vrstev Základy polovodičových technologií

37 Polovodičové technologie monokrystal polovodiče - tažení, řezání na salámky, leštění elektronová litografie - výroba masek fotolitografie (světlo, UV, rentgenová litografie) selektivní leptání (přes masku, izotropní, anizotropní, iontové) termická oxidace difúze příměsí iontová implantace naprašování a napařování vrstev montážní techniky pouzdření, propojování

38 Litografie Přenášení topografie struktury do materiálu pomocí masky Vytvoření masky pro mnohonásobné použití elektronová litografie a leptání využití hotové masky za pomocí fotolitografie motiv je přenášen osvitem UV nebo rentgenovým zářením pro hromadnou výrobu

39 Elektronová litografie (EBL) realizace masek s motivy mikronových i submikronových rozměrů inspirováno rastrovacím elektronovým mikroskopem počítačový návrh topografie masky - snadná syntéza funkčních celků, zavádění změn a úprav expozicí přímo na substrátu umožňuje v relativně krátké době vyvinout funkčně nový obvod nebo ověřit novou technologii kreslí do polymerního rezistu (PMMA)

40 Elektronový litograf Ústav přístrojové techniky AVČR

41 Elektronová litografie (EBL) elektronová litografie umožňuje vytvořit fotolitografickou předlohu s vysokým stupněm koncentrace funkčních prvků pro různé druhy projekční litografie vysoká cena pro velmi vysoká Kovový plech rezist rozlišení se používá i jiných materiálů Kovová maska po leptání a odstranění rezistu

42 Fotolitografie fotoresist pozitivní, negativní osvitové záření světelné, UV, RTG záření polymerizuje fotorezist rozpouštění ve vývojce leptání motivu v rezistu do SiO 2 odolná maska pro další procesy

43 Fotolitografie Zdroj UV světla (výbojka) VIDEO 320 x 240 Fotolitografická maska Projekční systém Vývojka Oplachovadlo Negativní fotorezist Oxid Fotolitografie Na Projekčním Vývojkou Ponořením desku se desky systémem z nanese a desky leptání do odstraní lak leptadla směsi se je citlivý na část kyseliny desku (POL) neosvětlený na světlo sírové dochází - a promítne technologie, fotorezist. k peroxidu vyleptání vodíku obraz a Během odkrytého pak která celé se nanášení umožňuje deska odstraní masky oxidu opláchne (je v fotorezistu fotorezist. tvarování oknech vzor - proces se vytvářené vrstev rýchlou vyvolávání. fotorezistu Na připojeném na rotací povrchu struktury) až Ve lakované videu vrstvě povrch křemíkové -jsou deska laku desky křemíku zachyceny se se desky. vytvoří dosáhne ozáří - mokré Na detaily. jeho obrázku rovnoměrné ultrafialovým leptání. jednotlivévlevo Exponovaný fáze rozvrstvení světlem, je fotolitografického křemíková fotorezist nebo-li po celé deska naexponovuje. ploše. procesu. vůči s vrstvou termického Osvětlené leptadlu odolný. části oxidu. fotorezistu polymerizují a stanou se nerozpustné ve vývojce.

44 A vytvoření oxidu na Si substrátu s vodivostí N B nanesení fotorezistu (spin-coating) C osvětlení přes masku UV zářením, maska vytvořena pomocí EBL D vymytí osvětlených částí (pozitiv) E vyleptání motivu do SiO 2 F připraveno pro další procesy např. nanášení vrstev nebo difúze příměsí do Si

45 Vrstvení v planární technologii rezistor 1 substrát Odpor na čtverec 2 maska R ρ [Ω/ ] = tloušt' ka R = R [Ω] l w 3 4 maska kontakty l w 5 odporová vrstva

46 Vrstvení v planární technologii kondenzátor 1 2 maska C [pf/ ] ε r = tloušt' ka C = C a b [pf/] 3 4 substrát kontakt (elektroda) maska b a 5 dielektrická vrstva 6 maska 7 kontakt (2 elektroda)

47 Příklad vytvoření TNV rezistorů odporová vrstva je nanesena na substrát, na něj adhezní vrstva (např. Ti) a nakonec vodivá vrstva Au nanesení fotorezistu, exponování přes masku a odstranění exponovaného fotoresistu elektrodepozice Au do určité tloušťky odstranění fotorezistu, odleptání zlata a adhezní vrstvy vyleptání odporové vrstvy

48 Selektivní leptání leptání za využití masky druhy leptacích reakcí rozpouštění vysokomolekulárních krystalů v organických rozpouštědlech rozpouštění iontových krystalů polárním rozpouštědlem rozpouštění provázené chemickou změnou (kovy a polovodiče)

49 Selektivní leptání Technologie leptání (mokré, suché) chemické přímé působení na povrch materiálu pouze difúzí částic (krystalických a amorfních tenkých vrstev tvarování a leštění) Ag HNO 3 +H 2 O (1:1) Cu, Au KJ+J 2 +H 2 O Al 2 O 3 H 3 PO 4 SiO 2 HNO 3 +HF+H 2 O

50 Selektivní leptání elektrochemické anodické rozpouštění působením aniontů elektrolytu pod vlivem elektrického pole (oxidačně-redukční reakce, převádění produktů do roztoku) např. HNO 3 oxidační činidlo užívá se u polovodičů, liší v závislosti na orientaci krystalové mřížky iontové leptání (odprašování) v doutnavém výboji ve vakuu ionty inertních plynů (iontovým svazkem, vysokofrekvenčním odpařováním)

51 Selektivní leptání leptání Si všesměrové leptání na základě rozpustnosti a plochy leptaných látek izotropní leptání tvar leptané jámy závisí na orientaci Si substrátu (krystalová mřížka) anizotropní leptání orientace substrátu (využívaná v polovodičové technologii)

52 Selektivní leptání Poloha krystalové mřížky orientovaného substrátu <100> <111>

53 1000 Tloušťka [nm] Termická oxidace 1100 C 1000 C O Si O Si 1000 C O H O H O O O O O Si O 500 Voda Kyslík Čas [min] O O O O O Si O O Si O O O Si O O Si Si O Si Si O Si Si O Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si SiO 2 Si Původní povrch 56% 44% Si Si Si Si Si Si Si

54 Pouzdření keramická, plastová, kovová pouzdra lepení vodivým, nevodivým organickým (nízké teploty) nebo anorganickým lepidlem (vysoké teploty) nebo přípájení ke kovarovému pouzdru (AuSn)

55 Pouzdření svařování ultrazvukem Al drátek, termokompresí Au drátek (25 µm 300 µm) zdvojování drátků

6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití

6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití 6 Hybridní integrované obvody, tenkovrstvé a tlustovrstvé technologie a jejich využití 6.1 Úvod Monolitické integrované obvody není výhodné pro některé aplikace, zejména pro přístroje s některými náročnějšími

Více

Lidský vlas na povrchu čipu Více než tranzistorů v 45nm technologii může být integrováno na plochu tečky za větou.

Lidský vlas na povrchu čipu Více než tranzistorů v 45nm technologii může být integrováno na plochu tečky za větou. Studijní materiály Technologie výroby integrovaných systémů www.micro.feld.cvut.cz/home/a2m34sis/prednasky Jak integrovat 1 000 000 000 Součástek na 1 cm 2 Jiří Jakovenko Struktury integrovaných systémů

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší

Více

Hybridní integrované obvody a jejich nekonvenční aplikace

Hybridní integrované obvody a jejich nekonvenční aplikace Hybridní integrované obvody a jejich nekonvenční aplikace (tlustovrstvové senzory, elektroluminescenční prvky, výkonové a topné elementy) (8) Obsah 1 Tlustovrstvové senzory 2 Elektroluminescenční prvky

Více

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze

Více

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Odporové senzory

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy. Odporové senzory Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Odporové senzory Obecné vlastnosti odporových senzorů Odporové senzory kontaktové Měřící potenciometry Odporové tenzometry Odporové senzory teploty Odporové

Více

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná

Více

Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)

Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur) Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur) -přenesení dané struktury na povrch strukturovaného substrátu Princip - interakce

Více

Přehled metod depozice a povrchových

Přehled metod depozice a povrchových Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical

Více

Chemické metody plynná fáze

Chemické metody plynná fáze Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké

Více

Chemické metody přípravy tenkých vrstev

Chemické metody přípravy tenkých vrstev Chemické metody přípravy tenkých vrstev verze 2013 Povrchové filmy monomolekulární Langmuirovy filmy PAL (povrchově aktivní látky) na polární kapalině (vodě), 0,205 nm 2 na 1 molekulu, tloušťka dána délkou

Více

Katedra chemie FP TUL Chemické metody přípravy vrstev

Katedra chemie FP TUL   Chemické metody přípravy vrstev Chemické metody přípravy vrstev Metoda sol-gel Historie nejstarší příprava silikagelu 1939 patent na výrobu antireflexních vrstev na fotografické čočky 60. léta studium vrstev SiO 2 a TiO 2 70. léta výroba

Více

Technologie CMOS. Je to velmi malý svět. Technologie CMOS Lokální oxidace. Vytváření izolačních příkopů. Vytváření izolačních příkopů

Technologie CMOS. Je to velmi malý svět. Technologie CMOS Lokální oxidace. Vytváření izolačních příkopů. Vytváření izolačních příkopů Je to velmi malý svět Technologie CMOS Více než 2 000 000 tranzistorů v 45nm technologii může být integrováno na plochu tečky za větou. From The Oregonian, April 07, 2008 Jiří Jakovenko Struktury integrovaných

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ II. 1. OXIDACE KŘEMÍKU Oxid křemíku SiO2 se během technologického procesu užívá k vytváření: a) Maskovacích vrstev b) Izolačních vrstev (izolují prvky

Více

Glass temperature history

Glass temperature history Glass Glass temperature history Crystallization and nucleation Nucleation on temperature Crystallization on temperature New Applications of Glass Anorganické nanomateriály se skelnou matricí Martin Míka

Více

Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS

Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS Tribologie Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS vypracoval: Tomáš Píza Obsah - Co je to MEMS - Materiály pro MEMS - Výroba MEMS - Pohon MEMS Co to je MEMS - zkratka z anglických slov Micro-Electro-Mechanical-Systems

Více

ELEKTRONICKÉ PRVKY TECHNOLOGIE VÝROBY POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ

ELEKTRONICKÉ PRVKY TECHNOLOGIE VÝROBY POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ ELEKTRONICKÉ PRVKY TECHNOLOGIE VÝROBY POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ Polovodič - prvek IV. skupiny, v elektronice nejčastěji křemík Si, vykazuje vysokou čistotu (10-10 ) a bezchybnou strukturu atomové mřížky v monokrystalu.

Více

Nanolitografie a nanometrologie

Nanolitografie a nanometrologie Nanolitografie a nanometrologie 1 Nanolitografie 2 Litografie svazkem 3 Softlitografie 4 Skenovací nanolitografie Nanolitografie Poznámky k tvorbě nanostruktur tvorba užitečných nanostruktur vyžaduje spojení

Více

Iradiace tenké vrstvy ionty

Iradiace tenké vrstvy ionty Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,

Více

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury

Více

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ I. APLIKACE LITOGRAFIE Úvod Litografické technologie jsou požívány při výrobě integrovaných obvodů (IO). Výroba IO začíná definováním jeho funkce a

Více

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD

Více

Základní typy článků:

Základní typy článků: Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,

Více

TOPNÁ MEMBRÁNA TYPU MEMS S NÍZKÝM PŘÍKONEM

TOPNÁ MEMBRÁNA TYPU MEMS S NÍZKÝM PŘÍKONEM VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ ÚSTAV MIKROELEKTRONIKY FACULTY OF ELECTRICAL ENGINEERING AND COMMUNICATION DEPARTMENT OF

Více

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým

Více

12. Elektrochemie základní pojmy

12. Elektrochemie základní pojmy Důležité veličiny Elektroda, článek Potenciometrie Evropský sociální fond Praha & EU: Investujeme do vaší budoucnosti Důležité veličiny proud I (ampér - A) náboj Q (coulomb - C) Q t 0 I dt napětí, potenciál

Více

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s

Více

Příprava vrstev metodou sol - gel

Příprava vrstev metodou sol - gel VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ Ústav skla a keramiky Příprava vrstev metodou sol - gel Základní pojmy Sol - koloidní suspenze, ve které jsou homogenně dispergované pevné částice s koloidními rozměry

Více

U BR < 4E G /q -saturační proud ovlivňuje nárazovou ionizaci. Šířka přechodu: w Ge 0,7 w Si (pro N D,A,Ge N D,A,Si ); vliv U D.

U BR < 4E G /q -saturační proud ovlivňuje nárazovou ionizaci. Šířka přechodu: w Ge 0,7 w Si (pro N D,A,Ge N D,A,Si ); vliv U D. Napěťový průraz polovodičových přechodů Zvyšování napětí na přechodu -přechod se rozšiřuje, ale pouze s U (!!) - intenzita elektrického pole roste -překročení kritické hodnoty U (BR) -vzrůstu závěrného

Více

Koroze kovových materiálů. Kovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí

Koroze kovových materiálů. Kovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí Koroze kovových materiálů Kovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí 1 Kovy Kovy Polokovy Nekovy 2 Kovy Vysoká elektrická a tepelná vodivost Lesklé Kujné a tažné V přírodě se vyskytují převážně ve formě

Více

Galvanický článek. Li Rb K Na Be Sr Ca Mg Al Be Mn Zn Cr Fe Cd Co Ni Sn Pb H Sb Bi As CU Hg Ag Pt Au

Galvanický článek. Li Rb K Na Be Sr Ca Mg Al Be Mn Zn Cr Fe Cd Co Ni Sn Pb H Sb Bi As CU Hg Ag Pt Au Řada elektrochemických potenciálů (Beketova řada) v níž je napětí mezi dvojicí kovů tím větší, čím větší je jejich vzdálenost v této řadě. Prvek více vlevo vytěsní z roztoku kov nacházející se vpravo od

Více

Plazma v technologiích

Plazma v technologiích Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,

Více

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala

ÚPRAVA VODY V ENERGETICE. Ing. Jiří Tomčala ÚPRAVA VODY V ENERGETICE Ing. Jiří Tomčala Úvod Voda je v elektrárnách po palivu nejdůležitější surovinou Její množství v provozních systémech elektráren je mnohonásobně větší než množství spotřebovaného

Více

Přednáška 11. Litografie, maskování, vytváření nanostruktur.

Přednáška 11. Litografie, maskování, vytváření nanostruktur. Přednáška 11 Litografie, maskování, vytváření nanostruktur. Litografie kombinace více procesů vedoucích k vytvoření požadované struktury nebo také přesné chemicko- fyzikální opracování existuje řada různých

Více

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ Předmět: Ročník: Vytvořil: Datum: STROJÍRENSKÁ TECHNOLOGIE TŘETÍ JANA ŠPUNDOVÁ 06.04.2014 Název zpracovaného celku: SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ Používají se pro obrábění těžkoobrobitelných

Více

Elektrochemie. Koroze kovových materiálů. Kovy. Kovy. Kovy. Kovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí 1. Kovy Polokovy Nekovy

Elektrochemie. Koroze kovových materiálů. Kovy. Kovy. Kovy. Kovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí 1. Kovy Polokovy Nekovy Koroze kovových materiálů Polokovy Nekovy, mechanismy koroze, ochrana před korozí 1 2 Vysoká elektrická a tepelná vodivost Lesklé Kujné a tažné V přírodě se vyskytují převážně ve formě sloučenin, výjimku

Více

5 Monolitické integrované obvody

5 Monolitické integrované obvody Technologie 5 Monolitické integrované obvody Jak je všeobecně známo, jsou využívány dvě hlavní technologie integrovaných obvodů. Jednou z nich jsou monolitické integrované obvody, druhou hybridní. Zde

Více

TLUSTÉ VRSTVY TISK, VYTVRZENÍ, MĚŘENÍ

TLUSTÉ VRSTVY TISK, VYTVRZENÍ, MĚŘENÍ TLUSTÉ VRSTVY TISK, VYTVRZENÍ, MĚŘENÍ 1. UVEDENÍ DO PROBLEMATIKY 1.1. Využití tlustovrstvé technologie S rostoucí integrací v elektronických obvodech se objevuje potřeba nahrazovat klasické součástky jinými

Více

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem

Více

Oxidace a redukce. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2. Redukce = odebrání kyslíku

Oxidace a redukce. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2. Redukce = odebrání kyslíku Oxidace a redukce Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2 Redukce = odebrání kyslíku Fe 2 O 3 + 3 C 2 Fe + 3 CO CuO + H 2 Cu + H 2 O 1 Oxidace a redukce Širší pojem oxidace

Více

2.3 Elektrický proud v polovodičích

2.3 Elektrický proud v polovodičích 2.3 Elektrický proud v polovodičích ( 6 10 8 10 ) Ωm látky rozdělujeme na vodiče polovodiče izolanty ρ ρ ( 10 4 10 8 ) Ωm odpor s rostoucí teplotou roste odpor nezávisí na osvětlení nebo ozáření odpor

Více

VY_32_INOVACE_ELT-1.EI-20-VYROBA INTEGROVANEHO OBVODU. Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Dubno

VY_32_INOVACE_ELT-1.EI-20-VYROBA INTEGROVANEHO OBVODU. Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Dubno Číslo projektu Číslo materiálu Název školy Autor Tematická oblast Ročník CZ.1.07/1.5.00/34.0581 VY_32_INOVACE_ELT-1.EI-20-VYROBA INTEGROVANEHO OBVODU Střední odborná škola a Střední odborné učiliště, Dubno

Více

Tenké vrstvy (TV ) Hybridní Integrované Obvody (HIO)

Tenké vrstvy (TV ) Hybridní Integrované Obvody (HIO) Tenké vrstvy (TV ) (Thin Films) + Hybridní Integrované Obvody (HIO) (Hybrid Integrated Circuits) (3) Doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc., Fellow IMAPS Vysoké Učení Technické v Brně, FEKT, ÚMEL e-mail: szend@feec.vutbr.cz

Více

Studijní opora pro předmět Technologie elektrotechnické výroby

Studijní opora pro předmět Technologie elektrotechnické výroby Studijní opora pro předmět Technologie elektrotechnické výroby Doc. Ing. Václav Kolář Ph.D. Předmět určen pro: Fakulta metalurgie a materiálového inženýrství, VŠB-TU Ostrava. Navazující magisterský studijní

Více

Tenká vrstva - aplikace

Tenká vrstva - aplikace Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.

Více

TECHNOLOGIE POVRCHOVÝCH ÚPRAV. 1. Definice koroze. Soli, oxidy. 2.Rozdělení koroze. Obsah: Činitelé ovlivňující korozi H 2 O, O 2

TECHNOLOGIE POVRCHOVÝCH ÚPRAV. 1. Definice koroze. Soli, oxidy. 2.Rozdělení koroze. Obsah: Činitelé ovlivňující korozi H 2 O, O 2 TECHNOLOGIE POVRCHOVÝCH ÚPRAV Obsah: 1. Definice koroze 2. Rozdělení koroze 3. Ochrana proti korozi 4. Kontrolní otázky 1. Definice koroze Koroze je rozrušování materiálu vlivem okolního prostředí Činitelé

Více

GALAVANICKÝ ČLÁNEK. V běžné životě používáme název baterie. Odborné pojmenování pro baterii je galvanický článek.

GALAVANICKÝ ČLÁNEK. V běžné životě používáme název baterie. Odborné pojmenování pro baterii je galvanický článek. GALAVANICKÝ ČLÁNEK V běžné životě používáme název baterie. Odborné pojmenování pro baterii je galvanický článek. Galvanický článek je zařízení, které využívá redoxní reakce jako zdroj energie. Je zdrojem

Více

Elektrochemický potenciál Standardní vodíková elektroda Oxidačně-redukční potenciály

Elektrochemický potenciál Standardní vodíková elektroda Oxidačně-redukční potenciály Elektrochemický potenciál Standardní vodíková elektroda Oxidačně-redukční potenciály Elektrochemie rovnováhy a děje v soustavách nesoucích elektrický náboj Krystal kovu ponořený do destilované vody + +

Více

Elektřina: Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.

Elektřina: Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou. Elektřina pro bakalářské obory Elektron ( v antice ) =?? Petr Heřman Ústav biofyziky, K.LF Elektron ( v antice ) = jantar Jak souvisí jantar s elektřinou?? Jak souvisí jantar s elektřinou: Mechanické působení

Více

Elektřina. Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou.

Elektřina. Elektrostatika: Elektrostatika: Elektrostatika: Analogie elektřiny s mechanikou: Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou. Elektrostatika: Elektřina pro bakalářské obory Souvislost a analogie s mechanikou. Elektron ( v antice ) =?? Petr Heřman Ústav biofyziky, UK.LF Elektrostatika: Souvislost a analogie s mechanikou. Elektron

Více

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev

Více

Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě

Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Náplní laboratorní úlohy je proměření základních parametrů plynových vodivostních senzorů: i) el. odpor a ii)

Více

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH

VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH VEDENÍ ELEKTRICKÉHO PROUDU V LÁTKÁCH Jan Hruška TV-FYZ Ahoj, tak jsme tady znovu a pokusíme se Vám vysvětlit problematiku vedení elektrického proudu v látkách. Co je to vlastně elektrický proud? Na to

Více

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ

VAKUOVÁ TECHNIKA VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ. Semestrální projekt FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ VAKUOVÁ TECHNIKA Semestrální projekt Téma: Aplikace vakuového napařovaní v optice Vypracoval:

Více

ELEKTROLÝZA. Autor: Mgr. Stanislava Bubíková. Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012. Ročník: osmý

ELEKTROLÝZA. Autor: Mgr. Stanislava Bubíková. Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012. Ročník: osmý Autor: Mgr. Stanislava Bubíková ELEKTROLÝZA Datum (období) tvorby: 13. 3. 2012 Ročník: osmý Vzdělávací oblast: Člověk a příroda / Chemie / Chemické reakce 1 Anotace: Žáci se seznámí s elektrolýzou. V rámci

Více

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Plazmatické metody pro úpravu povrchů Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů

Více

Oxidace a redukce. Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2

Oxidace a redukce. Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2 Oxidace a redukce Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2 Lavoisier Redukce = odebrání kyslíku Fe 2 O 3 + 3 C 2 Fe

Více

Tlustovrstvá technologie: -kompletní technologický proces pro výrobu HIO. -Návrh -Modelování a simulace -Technologický postup -Aplikace

Tlustovrstvá technologie: -kompletní technologický proces pro výrobu HIO. -Návrh -Modelování a simulace -Technologický postup -Aplikace TLUSTÉ VRSTVY Tlustovrstvá technologie: -kompletní technologický proces pro výrobu HIO -Návrh -Modelování a simulace -Technologický postup -Aplikace Tlustévrstvy - úvod Jsou vytvářeny na keramických substrátech

Více

zařízení 2. přednáška Fakulta elektrotechniky a informatiky prof.ing. Petr Chlebiš, CSc.

zařízení 2. přednáška Fakulta elektrotechniky a informatiky prof.ing. Petr Chlebiš, CSc. Konstrukce elektronických zařízení 2. přednáška prof.ing. Petr Chlebiš, CSc. Pasivní a konstrukční prvky - Rezistory - Kondenzátory - Vinuté díly, cívky, transformátory - Konektory - Kontaktní prvky, spínače,

Více

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody

Více

Technické podmínky výroby potištěných keramických substrátů tlustovrstvou technologií

Technické podmínky výroby potištěných keramických substrátů tlustovrstvou technologií Technické podmínky výroby potištěných keramických substrátů tlustovrstvou technologií Tento dokument obsahuje popis technologických možností při výrobě potištěných keramických substrátů PS (Printed Substrates)

Více

Mgr. Ladislav Blahuta

Mgr. Ladislav Blahuta Mgr. Ladislav Blahuta Střední škola, Havířov-Šumbark, Sýkorova 1/613, příspěvková organizace Tento výukový materiál byl zpracován v rámci akce EU peníze středním školám - OP VK 1.5. Výuková sada ZÁKLADNÍ

Více

Chemie povrchů verze 2013

Chemie povrchů verze 2013 Chemie povrchů verze 2013 Definice povrchu složitá, protože v nanoměřítku (na úrovni velikosti atomů) je elektronový obal atomů difúzní většinou definován fyzikální adsorpcí nereaktivních plynů Vlastnosti

Více

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení

Více

Název materiálu: Vedení elektrického proudu v kapalinách

Název materiálu: Vedení elektrického proudu v kapalinách Název materiálu: Vedení elektrického proudu v kapalinách Jméno autora: Mgr. Magda Zemánková Materiál byl vytvořen v období: 2. pololetí šk. roku 2010/2011 Materiál je určen pro ročník: 9. Vzdělávací oblast:

Více

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a

Více

III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách

III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách III. Stacionární elektrické pole, vedení el. proudu v látkách Osnova: 1. Elektrický proud a jeho vlastnosti 2. Ohmův zákon 3. Kirhoffovy zákony 4. Vedení el. proudu ve vodičích 5. Vedení el. proudu v polovodičích

Více

Úvod do koroze. (kapitola, která bude společná všem korozním laboratorním pracím a kterou studenti musí znát bez ohledu na to, jakou práci dělají)

Úvod do koroze. (kapitola, která bude společná všem korozním laboratorním pracím a kterou studenti musí znát bez ohledu na to, jakou práci dělají) Úvod do koroze (kapitola, která bude společná všem korozním laboratorním pracím a kterou studenti musí znát bez ohledu na to, jakou práci dělají) Koroze je proces degradace kovu nebo slitiny kovů působením

Více

Koroze kovů. Koroze lat. corode = rozhlodávat

Koroze kovů. Koroze lat. corode = rozhlodávat Koroze kovů Koroze lat. corode = rozhlodávat Koroze kovů Koroze kovů, plastů, silikátových materiálů Principy korozních procesů = korozní inženýrství Strojírenství Mechanická pevnost Vzhled Elektotechnika

Více

Oxidace a redukce. Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2

Oxidace a redukce. Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie. Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace. 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2 Oxidace a redukce Objev kyslíku nový prvek, vyvrácení flogistonové teorie Hoření = slučování s kyslíkem = oxidace 2 Mg + O 2 2 MgO S + O 2 SO 2 Antoine Lavoisier (1743-1794) Redukce = odebrání kyslíku

Více

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů

Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů 7. června/june 2013 9:30 h 17:30 h Laboratoř metalomiky a nanotechnologií, Mendelova univerzita v Brně a Středoevropský technologický institut Budova D, Zemědělská

Více

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev

Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)

Více

Úpravy povrchu. Pozinkovaný materiál. Zinkový povlak - záruka elektrochemického ochranného působení 1 / 16

Úpravy povrchu. Pozinkovaný materiál. Zinkový povlak - záruka elektrochemického ochranného působení 1 / 16 Úpravy povrchu Pozinkovaný materiál Zinkový povlak - záruka elektrochemického ochranného působení 1 / 16 Aplikace žárově zinkovaných předmětů Běžnou metodou ochrany oceli proti korozi jsou ochranné povlaky,

Více

PRINCIP MĚŘENÍ TEPLOTY spočívá v porovnání teploty daného tělesa s definovanou stupnicí.

PRINCIP MĚŘENÍ TEPLOTY spočívá v porovnání teploty daného tělesa s definovanou stupnicí. 1 SENZORY TEPLOTY TEPLOTA je jednou z nejdůležitějších veličin ovlivňujících téměř všechny stavy a procesy v přírodě Ke stanovení teploty se využívá závislosti určitých fyzikálních veličin na teplotě (A

Více

DOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace

DOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace DOUTNAVÝ VÝBOJ 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace Doutnavý výboj Připomeneme si voltampérovou charakteristiku výboje v plynech : Doutnavý výboj Připomeneme si, jaké

Více

Sekundární elektrochemické články

Sekundární elektrochemické články Sekundární elektrochemické články méně odborně se jim říká také akumulátory všechny elektrochemické reakce jsou vratné (ideálně na 100%) řeší problém ekonomický (vícenásobné použití snižuje náklady) řeší

Více

ELEKTROCHEMIE A KOROZE Ing. Jiří Vondrák, DrSc. ÚACH AV ČR

ELEKTROCHEMIE A KOROZE Ing. Jiří Vondrák, DrSc. ÚACH AV ČR ELEKTROCHEMIE A KOROZE Ing. Jiří Vondrák, DrSc. ÚACH AV ČR Elektrochemie: chemické reakce vyvolané elektrickým proudem a naopak vznik elektrického proudu z chemických reakcí Historie: L. Galvani - žabí

Více

3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické).

3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické). PŘEDMĚTY KE STÁTNÍM ZÁVĚREČNÝM ZKOUŠKÁM V BAKALÁŘSKÉM STUDIU SP: CHEMIE A TECHNOLOGIE MATERIÁLŮ SO: MATERIÁLOVÉ INŽENÝRSTVÍ POVINNÝ PŘEDMĚT: NAUKA O MATERIÁLECH Ing. Alena Macháčková, CSc. 1. Souvislost

Více

Fyzikální vzdělávání. 1. ročník. Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník. Implementace ICT do výuky č. CZ.1.07/1.1.02/02.0012 GG OP VK

Fyzikální vzdělávání. 1. ročník. Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník. Implementace ICT do výuky č. CZ.1.07/1.1.02/02.0012 GG OP VK Fyzikální vzdělávání 1. ročník Učební obor: Kuchař číšník Kadeřník 1 Elektřina a magnetismus - elektrický náboj tělesa, elektrická síla, elektrické pole, kapacita vodiče - elektrický proud v látkách, zákony

Více

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy

Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Mikrosenzory a mikroelektromechanické systémy Doc. Ing. Jaromír Hubálek, PhD. Ing. Jana Drbohlavová, Ph.D. Ing. Jan Prášek,

Více

Kovové povlaky. Kovové povlaky. Z hlediska funkce. V el. vodivém prostředí. velmi ušlechtilé méně ušlechtile (vzhledem k železu) tloušťka pórovitost

Kovové povlaky. Kovové povlaky. Z hlediska funkce. V el. vodivém prostředí. velmi ušlechtilé méně ušlechtile (vzhledem k železu) tloušťka pórovitost Kovové povlaky Kovové povlaky Kovové povlaky velmi ušlechtilé méně ušlechtile (vzhledem k železu) Z hlediska funkce tloušťka pórovitost V el. vodivém prostředí katodický anodický charakter 2 Kovové povlaky

Více

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST Úvod Povrchové úpravy zlepšující tribologické charakteristiky kovových materiálů: A) Povrchové vrstvy a povlaky s vysokou tvrdostí pro podmínky adhezívního

Více

Průvodka. CZ.1.07/1.5.00/34.0802 Zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. III/2 Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Pořadí DUMu v sadě 07

Průvodka. CZ.1.07/1.5.00/34.0802 Zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. III/2 Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Pořadí DUMu v sadě 07 Průvodka Číslo projektu Název projektu Číslo a název šablony klíčové aktivity CZ.1.07/1.5.00/34.0802 Zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT III/2 Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT Příjemce

Více

7. Kondenzátory. dielektrikum +Q + + + + + + + + U - - - - - - - - elektroda. Obr.2-11 Princip deskového kondenzátoru

7. Kondenzátory. dielektrikum +Q + + + + + + + + U - - - - - - - - elektroda. Obr.2-11 Princip deskového kondenzátoru 7. Kondenzátory Kondenzátor (někdy nazývaný kapacitor) je součástka se zvýrazněnou funkční elektrickou kapacitou. Je vytvořen dvěma vodivými plochami - elektrodami, vzájemně oddělenými nevodivým dielektrikem.

Více

Ukázky z pracovních listů 1) Vyber, který ion je: a) ve vodném roztoku barevný b) nejstabilnější c) nejlépe oxidovatelný

Ukázky z pracovních listů 1) Vyber, který ion je: a) ve vodném roztoku barevný b) nejstabilnější c) nejlépe oxidovatelný Ukázky z pracovních listů 1) Vyber, který ion je: a) ve vodném roztoku barevný b) nejstabilnější c) nejlépe oxidovatelný Fe 3+ Fe 3+ Fe 3+ Fe 2+ Fe 6+ Fe 2+ Fe 6+ Fe 2+ Fe 6+ 2) Vyber správné o rtuti:

Více

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Galvanické články TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

STEJNOSMĚRNÝ PROUD Galvanické články TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. STEJNOSMĚRNÝ PROUD Galvanické články TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Galvanické články Většina kovů ponořených do vody nebo elektrolytu

Více

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39 Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857

Více

7. Elektrický proud v polovodičích

7. Elektrický proud v polovodičích 7. Elektrický proud v polovodičích 7.1 Elektrické vlastnosti polovodičů Kromě vodičů a izolantů existují polovodiče. Definice polovodiče: Je to řada minerálů, rud, krystalů i amorfních látek, řada oxidů

Více

Fotovoltaický článek. Struktura na které se při ozáření generuje napětí. K popisu funkce se používá náhradní schéma

Fotovoltaický článek. Struktura na které se při ozáření generuje napětí. K popisu funkce se používá náhradní schéma Fotovoltaický článek Struktura na které se při ozáření generuje napětí K popisu funkce se používá náhradní schéma V-A charakteristika fotovoltaických článků R s I Paralelní odpor R p Sériový odpor R S

Více

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky

Více

1 Vytváření tlustovrstvé pasivní sítě

1 Vytváření tlustovrstvé pasivní sítě FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Ústv mikroelektroniky 1 Vytváření tlustovrstvé pasivní sítě Cíle kapitoly: Tlustovrstvá pasivní síť hybridních integrovaných

Více