Requirements Specification Document (RSD) Technická specifikace (TP15_086) Malé experimentální vakuové komory (typ A, C, D)



Podobné dokumenty
Standardní IT 19 technologické skříně (nestíněné)

Requirements Specification Document (RSD)

Alusic hliníkové profily a příslušenství. Edice: Vytvořil: Luboš Fistr

Nákup strojního vybavení dílenské víceúčelové haly

Kontrolní list Systém řízení výroby

Lineární svítidla ELK-38

HSI 90 Kabelová průchodka tvořená ucpávkou a systémovým víkem

Technický návod je vytvořen tak, aby mohlo být provedeno posouzení shody také podle 5 (vazba na 10).

Paletovací stanice. Popis zařízení, funkce...2. Specifikace blistrů...3. Rozměry stanice a orientace blistrů v pozici pro zpracování...

Systém managementu jakosti ISO 9001

nařízení vlády č. 163/2002 Sb., ve znění nařízení vlády č. 312/2005 Sb. a nařízení vlády č. 215/2016 Sb. (dále jen nařízení vlády )

Dodatečné informace č. 4 Additional information No. 4

Lineární svítidla ELK-38-A03 do strojů a těžkých provozů

ISO 9001 a ISO aplikace na pracovištích sterilizace stručný přehled. Ing. Lenka Žďárská

Plynové filtry DN15 DN300. gas-as.cz EI151-06/13

Otopné lavice s přirozenou konvekcí KORALINE LK

Ermeto Originál Ventily

Technický katalog svorkovnicových skříněk KL

VŠEOBECNÉ NÁKUPNÍ PODMÍNKY - DOHODA O ZAJIŠTĚNÍ JAKOSTI

PODNIKOVÁ NORMA PN KP TVAROVANÉ / TRAPÉZOVÉ PLECHY z hliníku a slitin hliníku

NÁVRH VÝROBA ZPROVOZNĚNÍ.

1. Popis Provedení Rozměry a hmotnosti Zabudování a umístění... 4

APT14, APT14HC a APT14SHC Automatický kombinovaný odvaděč / zvedač kondenzátu

Výzva k prokázání kvalifikace a podání nabídky vč. zadávací dokumentace

Systémy řízení jakosti pro realizaci výzkumu a vývoje

Prohlášení o shodě: dle Směrnice EU o tlakových zařízeních č. 97/23/ES ze dne 29. května 1997

PROVEDENÍ KONTROLY STAVU UZÁVĚRŮ SPODNÍCH VÝPUSTÍ VD VRANOV NEDESTRUKTIVNÍMI METODAMI Číslo akce: Vodní tok: Dyje, ř. km 175,41

Pöppelmann KAPSTO ochranné prvky: řešení. Vzorky zdarma. Žádné balící jednotky. Okamžitě k dodání. Umíme to.

Zdravotnické laboratoře. MUDr. Marcela Šimečková

Dveře plné ocelové falcované/ s polodrážkou s požární odolností EW 30 DP1

RiJ ŘÍZENÍ JAKOSTI L 1 1-2

Plynové filtry DN15 DN150

POŽADAVKY NORMY ISO 9001

Technický katalog Ovládací skříňky pro stolní TFT monitor

ROZVÁDECE ROZVOD PROUDU KLIMATIZACE IT INFRASTRUKTURA SOFTWARE & SLUŽBY

PŘÍSLUŠENSTVÍ 2150 KAPSA NA DOKUMENTY (A4) 2152 KAPSA NA DOKUMENTY (A5) 2220 KULATÝ KONTROLNÍ PRŮZOR 2216 PRŮZOROVÉ OKÉNKO 2215 PRŮZOROVÉ OKÉNKO

Rozsah průmyslového výzkumu a vývoje Etapa 9 Systém kontroly povrchových vad

Inovace bakalářského studijního oboru Aplikovaná chemie

Technický katalog Systémy nosných ramen

Zadávací dokumentace stavby. STAVBA: Revitalizace obvodových stěn vstupního podlaží panelového domu Famfulíkova

RSHP5-25 FUNCTIONAL DESCRIPTION ORDERING CODE PŘÍMOČARÝ ŠOUPÁTKOVÝ RUČNÍ ROZVÁDĚČ KT /14. Dn 25 mm pmax 32 MPa Qn 500 dm/min

NAŘÍZENÍ VLÁDY ze dne 30. března 2016 o posuzování shody jednoduchých tlakových nádob při jejich dodávání na trh

Obsah KAPITOLY. 1 Svařované nerezové trubky Čtyřhranné a obdélníkové svařované trubky Bezešvé trubky

OVLÁDACÍ SKŘÍNĚ SL 3000

Nařízení vlády č. 208/2015 Sb. Nařízení vlády o technických požadavcích na pyrotechnické výrobky a jejich uvádění na trh

ODLUČOVAČ MATERIÁLU OMK RK

3. Rozměry a hmotnosti Zabudování a umístění Základní parametry Elektrické prvky, schéma připojení... 6

PROVÁDĚCÍ PŘEDPIS. Manuál kvality dodavatele. Číslo PP 01/19 Vydání 1. Náhrada předchozích prováděcích předpisů Úvodní ustanovení

Tento podklad určuje hlavní rozměry, provedení a hmotnosti kontrolních otvorů, které se umisťují do čtyřhranného potrubí skupiny I podle KM

Návrh a management projektu. Předání a vyhodnocení projektu

Kontrolní list Systém řízení výroby

POŽADAVKY PLYNOUCÍ ZE SMĚRNICE EVROPSKÉHO PARLAMENTU A RADY 2014/30/EU

Šoupátko 250 KM Technické údaje Hlavní rozměry (mm) šoupátek jsou uvedeny na obr. 1 a v tab. 1, hmotnosti v tab. 1.

náboje remerx Ložiska a těsnění Ve všech typech nábojů jsou použita speciální průmyslová ložiska: Přední náboj - 2 ks, zadní náboj - 4 ks.

Výzva k podání nabídek

Nástěnná lůžková rampa N270

VÝZVA K PODÁNÍ NABÍDEK DO VÝBĚROVÉHO ŘÍZENÍ ZADÁVACÍ PODMÍNKY

NÁBOJE. - Průmyslová ložiska s keramickými kuličkami - dosahují minimálního valivého odporu.

RSHP9-16 POPIS TYPOVÝ KLÍČ PŘÍMOČARÝ ŠOUPÁTKOVÝ RUČNÍ ROZVÁDĚČ KT /14. Dn 16 mm pmax 32 MPa Qn 300 dm/min

Číslo veřejné zakázky (bude doplněno poskytovatelem dotace) 1 Název programu: C Operační program Vzdělávání pro konkurenceschopnost

Návod pro montáž a údržbu sálavých panelů

ZADÁVACÍ DOKUMENTACE

DYNATECH OBOUSMĚRNÉ ZACHYCOVAČE PR-2000-UD NÁVOD NA POUŽITÍ A ÚDRŽBU

Odlučovač nečistot - Odkalovač s magnetickým kroužkem

P r o v e d e n í. P ř í s l u š e N S T V í. Informace o cenách Teplovodní vytápění

Fakultní nemocnice Brno-Bohunice

Systém pro zachycování a rozdrcení cizích předmětů WANGEN X-UNIT. Modulární systém pro spolehlivou ochranu zařízení: X-TRACT + X-CUT = X-UNIT

ZADÁVACÍ DOKUMENTACE

REGULAČNÍ KLAPKA RKM REGULAČNÍ KLAPKA TĚSNÁ RKTM REGULAČNÍ KLAPKA KRUHOVÁ RKKM REGULAČNÍ KLAPKA KRUHOVÁ TĚSNÁ RKKTM

Technické podmínky TECHNICKÉ PODMÍNKY

ZAŘÍZENÍ A PŘÍSLUŠENSTVÍ - kompletace hadic. Použitím zařízení a metody čištění ULTRACLEAN lze získat třídu čistoty hydraulického média ISO 13/10.

V účinnosti od Návod k montáži planetové převodovky Eppinger (řada PT)

Technická zpráva. ČSN EN ISO 9001:2000 ČSN EN ISO 14001:2005 ČSN EN ISO 18001:1999 Oprávnění OBÚ ČSN z2:1994

VEŘEJNÁ ZAKÁZKA MALÉHO ROZSAHU. Výzva k podání nabídky na dodávku a instalaci koncových zařízení projektu

Ventil Vic-Ball Řada 726

Zadávací podmínky.

HORIZONTÁLNÍ VÍCESTUPŇOVÁ ČERPADLA

Technické podmínky TECHNICKÉ PODMÍNKY

Kvalita SW produktů. Jiří Sochor, Jaroslav Ráček 1

VÝZVA K PODÁNÍ NABÍDKY na zakázku malého rozsahu

vzduchotechnické Další informace naleznete na adrese

Výhody. Použití. Technické parametry. Certifikace. Příslušenství snímačů teploty

Povrchová úprava bez chromu Cr VI

GZ60. Estetická požární mřížka s požární odolností 60 minut pro stěny, podlahy a dveře. G2-C 09/2011


1. Úvod Účel dokumentu Předmět dokumentu Pojmy, Definice a Použité zkratky Referenční dokumenty...

HYDRAULICKÝ VYROVNAVAČ DYNAMICKÉHO TLAKU, série 548

Teleskopické pružiny.

ZADÁVACÍ DOKUMENTACE

MSC-125 a MSC-160 Manifold - kompaktní rozdělovač páry a sběrač kondenzátu.

NAŘÍZENÍ VLÁDY ze dne 29. července 2015 o technických požadavcích na pyrotechnické výrobky a jejich uvádění na trh

ALUTECH. Náhradní díly a příslušenství

Kryty šachet. collect: sbírat a pojmout

KONSTRUKČNÍ ŘEŠENÍ SPOJOVACÍ LÁVKA, ÚŘAD PRÁCE PARDUBICE 01/2014 Ing. Tomáš Bryčka


D15S Membránový redukční ventil přírubové provedení

07/2016. Náš systém řízení je certifikován v souladu s normami ISO 9001, ISO/TS a ISO

Technický návod je vytvořen tak, aby mohlo být provedeno posouzení shody také podle 5 (vazba na 10).

MODERNÍ TECHNOLOGIE A DLOUHOLETÁ ZKUŠENOST

3. Rozměry a hmotnosti Zabudování a umístění Základní údaje Výpočtové a určující veličiny Materiál...

Transkript:

Institute of Physics ASCR, v. v. i. Na Slovance 2 182 21 Prague 8 eli-cz@fzu.cz www.eli-beams.eu Klasifikace Dokumentu BL - Restricted for internal use TC ID / Revize 00117560 / C Status Dokumentu Document Released Dokument No. N/A WBS kód PBS kód 5.2 - RP3 Particle acceleration by lasers E.E4.ELMA - (RA3) ELIMAIA (ELIMED + ION acceleration),e.e5.hell - (RP3) High Energy Electron Beamline Requirements Specification Document (RSD) Technická specifikace (TP15_086) Malé experimentální vakuové komory (typ A, C, D) Klíčová slova N/A Odpovědná osoba Připravil Researcher RP3 Pozice Group of Vacuum and Cryogenics, RP3 research team Miroslav Krůs Jméno a příjmení Martin Jantač, Petr Vobořil, Miroslav Krůs

RSS TC ID/ Revize Datum vytvoření Datum změny Systems Engineer 007022 / A.001 07.08.2015 14:03 07.08.2015 14:37 Marek Malý 007022 / A 07.08.2015 14:03 03.09.2015 20:24 Marek Malý Revize dokumentu Jméno (Reviewer) Pozice Datum Podpis Lukáš Brabec Martin Jantač Petr Vobořil Miroslav Krůs Group Leader of Vacuum and Cryogenics Vacuum Designer Vacuum Designer Researcher RP3 Vlastimil Chocenský Jan Sýs Jakub Janďourek Petr Procházka Ladislav Půst Viktor Fedosov Installation Engineer E2 Deputy head of dept. 97 & Control Systems Analyst Coordinator of Infrastructure Technologies Safety Coordinator Manager installation of technology SE & Planning group leader; Quality Manager (Appointed temporary) Schválení dokumentu Jméno (Schvalovatel) Pozice Datum Podpis Daniele Margarone Deputy head of dept. 92 & RP3 group leader Záznam o provedených změnách v dokumentu / revize Změna No. Připravil Datum Popis změn, Stránka, Kapitola TC rev. 1 M.Malý 07.08.2015 Vytvoření dokumentu A 2 M.Malý 12.08.2015 Příprava dokumentu pro interní review B 3 M.Malý 28.08.2015 4 M.Malý 03.09.2015 Příprava dokumentu na schválení, zapracování komentářů z interního review Vypuštění specifikací pro komoru + rám typu B; finální revize C C 2 2 24

Obsah 1. Obecný popis... 4 2. Pojmy, Definice a Použité zkratky... 4 3. Podmínky provozu... 4 4. Obsah dodávky... 4 5. Požadavky na jakost dodávaného zařízení... 5 5.1. Specifické požadavky na kvalitu produktu... 6 5.2. Mezinárodní standardy... 6 6. Technická specifikace... 7 6.1. Čištění... 9 6.2. Bezpečnost... 9 6.3. Vakuová komora typ A... 910 6.4. Rám vakuové komory typu A... 11 6.5. Vakuová komora typ C... 12 6.6. Vakuová komora typu D... 13 6.7. Rám vakuové komory typu D... 14 7. Požadavky na ověřování zařízení... 15 7.1. Proces ověřování... 1516 7.1.1. Metody ověřování... 16 7.1.2. Přejímka... 18 7.1.3. Fáze procesu ověřování... 1819 7.2. Plán ověřování (VP)... 19 7.3. Kontrolní dokument ověřování (VCD)... 19 7.4. Realizace a předkládání zpráv o ověřování... 20 7.4.1. Obecné... 20 7.4.2. Realizace ověřování a předkládání zpráv o ověřování - dokumentace... 20 7.5. Řízení a uzavření ověřování... 2122 7.5.1. Obecné... 2122 7.5.2. Opakované ověřování... 22 7.5.3. Řízení a uzavření ověřování - dokumentace... 2223 8. Příloha výkresová dokumentace... 23 3 2 24

1. Obecný popis Předmětem nákupu jsou tři vakuové komory (A, C, D), které budou sloužit k experimentálním účelům. Dodávka vakuových komor a příslušenství bude součástí laserových a experimentálních technologií v ELI-Beamlines. 2. Pojmy, Definice a Použité zkratky Pro účely tohoto dokumentu jsou použity následující pojmy a zkratky: Zkratka Pojem, definice ELI Extreme Light Infrastructure RA1-RA6 Výzkumné aktivity 1-6 (Research activity 1-6) L1-L4 Laserové haly 1-4 (laser halls 1-6) E1-E6 Experimentální haly 1-6 (Experimental halls 1-6) RSD R I T QA QA plán VCD VP TRPT IRPT CDRR FPM Requirement Specification Document (technická specifikace) Přezkoumání (Review) Vizuální Kontrola (Inspection) Zkouška (Test) Zabezpečení jakosti (Quality assurance) Plán zabezpečení jakosti (Quality control plan) Kontrolní dokument ověřování (Verification Control Document) Plán ověřování (Verification plan) Protokol o zkoušce (Test report) Protokol o vizuální kontrole (Inspection report) Protokol o kritickém přezkoumání návrhu (Critical design review report) Fluorelastomer Polymer 3. Podmínky provozu REQ-010584/A Podmínky, ve kterých bude zařízení provozováno. Teplota 20±5 C Vlhkost 40 80% Zařízení bude několikrát denně čerpáno na tlak 10-6 mbar a následně zavzdušněno na 1 bar. 4. Obsah dodávky REQ-010585/A Součástí dodaného zboží budou vakuové komory typu A, C, D dle technické specifikace. 4 2 24

REQ-010586/A REQ-010587/A REQ-010588/A REQ-010589/A Součástí dodaného zboží budou rámy vakuových komor A a D dle technické specifikace. Součástí dodaného zboží bude balení a transport zboží na místo určení v rámci pracoviště ELI Beamlines., Vizuální kontrola (I) Součástí dodaného zboží bude protokol o provedení heliového testu., Vizuální kontrola (I) Součástí dodaného zboží budou oka se šroubem pro každou komoru i její část (víko, tělo komory)., Vizuální kontrola (I) 5. Požadavky na jakost dodávaného zařízení REQ-011083/A REQ-011084/A REQ-011086/A REQ-010593/A Dodavatel musí označit pracovníka odpovědného za zavádění a uplatňování plánu zabezpečení jakosti (dále jen QA plán) stejně jako ostatních oborů řízení jakosti (quality control). Tento pracovník odpovědný za jakost v rámci zakázky bude primárním kontaktem pro otázky jakosti. Dodavatel musí připravit, udržovat a uplatňovat QA plán v souladu s požadavky jakosti od Zadavatele. POZN 1: Dodavatel může poskytnout Zadavateli QA plán k odsouhlasení a na schválení. POZN 2: Zadavatel může pomoci s definicí QA plánu. Dodavatel musí dodat 3D model a výkresovou dokumentaci ke každé z vakuových komor alespoň v jednom z následujících formátů. 5 2 24

Formáty poskytnutých 3D dat: Univerzální formáty: parasolid *.x_t, nebo step *.stp, nebo step *.step Nativní data Autodesk Inventor *.ipt, *.iam do verze 2015 Nativní data NX *.prt do verze NX 8.5 Formáty poskytnutých výkresů: Výkresy ve formátu *.pdf (vždy vyžadováno) Výkresy ve formátu *.dwg Nativní data NX *.prt do verze NX 8.5 Výkresy ve formátu *.idw do verze 2015 5.1. Specifické požadavky na kvalitu produktu REQ-010676/A REQ-010677/A REQ-010678/A Součástí dodaného výrobku musí být manuál k provozu, instalaci a údržbě všech součástí dodaného zařízení., Vizuální kontrola (I) Dodavatel musí poskytnout záruční podmínky výrobku. Dodavatel musí poskytnout prohlášení o shodě pro každý typ výrobku. Prohlášení o shodě musí být v souladu se zákonem č. 22/1997 Sb., ve znění pozdějších předpisů. 5.2. Mezinárodní standardy REQ-011085/A REQ-010590/A Dodavatel musí uplatňovat mezinárodně uznané normy nebo osvědčené postupy, kde to bude platné pro program zajištění jakosti. Dodané zařízení musí odpovídat následujícím standardům: ISO 1609:1986 Vacuum technology Flange dimensions ISO 2861:2013 Vacuum technology Dimension of clamped type quick-release couplings. ISO/TS 3669-2:2007 - Vacuum technology Bakable flanges 6 2 24

6. Technická specifikace REQ-010591/A REQ-012102/A REQ-010592/A REQ-011819/A REQ-010594/A REQ-010595/A REQ-010596/A REQ-010597/A REQ-010598/A Vakuové komory budou tvořit funkční celek s následujícím zařízeními: turbomolekulární pumpy, vakuové měrky, vakuové ventily, průchodky, atd., Vizuální kontrola (I) Vakuové komory typu A, D musí dosahovat úrovně vakua 10-5 mbar. Metoda ověření: Zkouška (T) Vakuová komora typu C musí dosahovat úrovně vakua 10-6 mbar. Metoda ověření: Zkouška (T) Rámy pro vakuové komory A, D musí obsahovat kotvici prvky pro příslušenství a kabeláž., Vizuální kontrola (I) Dodavatel poskytne statickou analýzu MKP (pro provoz komory pod vakuem)., Vizuální kontrola (I) Lokální zkouška netěsnosti vakuové komory musí být rovno nebo nižší než 1x10-9 mbar l s -1. Metoda ověření: Zkouška (T) Integrální zkouška komory musí být rovna nebo lepší než 1x10-4 mbar l s -1. Metoda ověření: Zkouška (T) Vakuové komory musí být vyrobeny z nerezavějící oceli následujících druhů. Nerezavějící ocel: AISI 304 AISI 304L AISI 316 AISI 316L, Vizuální kontrola (I) Maximální průhyb stěn vakuových komor musí být menší než 1 mm (vlivem působení vakua 10-6 mbar). REQ-010599/A 7 2 24

Vnitřní povrchy vakuových komor musí být leštěny na drsnost Ra 0,8, nebo balotinovány. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010600/A REQ-010601/A REQ-010602/A REQ-010603/A REQ-010604/A REQ-010605/A REQ-010606/A REQ-010608/A REQ-010609/A REQ-010610/A REQ-010611/A Vnější povrch vakuových komor musí být balotinován, nebo tryskán. Těsnicí plochy přírub musí mít drsnost Ra 0,8. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) Povrch těsnících ploch musí být bez škrábanců. Všechny příruby vakuových komor musí být vybaveny zaslepovacími přírubami a komora musí být celá utěsněna. Těsnění vakuových komor musí být z fluoroelastomer polymeru (FPM)., Vizuální kontrola (I) Tvrdost těsnících O-kroužků musí být v rozsahu 60-70 Shore A., Vizuální kontrola (I) Příruby typu CF musí být metrické. Vakuová komora se vším příslušenstvím musí být zabalena tak, aby bylo zamezeno její znečištění či poškození během manipulace a transportu. Veškeré díly musí být označeny dle technické dokumentace. K sestavení vakuových komor musí dojít v čistém prostředí. Veškeré specifické vybavení a nástroje nutné pro instalaci komory budou dodány Dodavatelem. 8 2 24

6.1. Čištění REQ-010612/A REQ-010613/A REQ-010614/A REQ-011822/A Čistící postup musí odstranit nečistoty, které ulpívají na povrchu, jako jsou oleje, tuky, špína, třísky, korozní produkty, otisky prstů aj. Všechny podsestavy a sestavy musí být před smontováním vyčištěny. Postup čištění musí obsahovat minimálně následující kroky: Obecné předčištění, odstranění hrubých nečistot. Odmaštění rozpouštědlem, omytím, pomořením, nebo setřením. Omytí užitkovou vodou a saponátem. Odmastit rozpouštědlem, malé části musí být ponořeny do ultrazvukové čističky. Omýt užitkovou vodou. Omýt demineralizovanou vodou. Sušit suchým vzduchem. S čistými komponentami musí být manipulováno v čistých, suchých a částice nepouštějících rukavicích. Chemikálie použité pro vyčistění komory a jejich dílů nesmí způsobit jakoukoliv změnu vlastnosti materiálu, ze kterého je komora vyrobena (bez barevných změn, koroze, vyboulenin a jiného poškození). 6.2. Bezpečnost REQ-010615/A REQ-010616/A Veškeré vyráběné součásti musí být bez ostrých hran. Veškeré vyráběné části musí být bez otřepů. 6.3. Vakuová komora typ A 9 2 24

REQ-010618/A REQ-010619/A REQ-010620/A REQ-010621/A REQ-010622/A REQ-010623/A REQ-010624/A REQ-010964/A REQ-011820/A Vakuová komora pro (číslo výkresu 00116357/00) musí být vybavena odnímatelným krytem umístěným na horní stěně komory. Tento kryt bude vyroben z průhledného (čirého) materiálu. Kryt bude opatřen rukojeťmi pro manipulaci. Odnímatelný kryt musí být vybaven vodícími čepy, aby bylo zaručeno správné sesazení krytu a vakuové komory. Tento kryt bude k vakuové komoře připojen rychlospojkami. Těsnění odnímatelného krytu musí být vyrobeno z fluoroelastomeru polymeru (FPM). Konstrukce vakuové komory musí umožnit zpracování laserového paprsku ve výšce 1300 mm od podlahy přírubou F1, F2, F3 a F4. Viz. výkres 00117167/00. Na přírubu F6 DN100 ISO-K bude montována turbomolekulární vývěva Edwards next300d s přírubou DN100 ISO-K. Z tohoto důvodu musí daná příruba splňovat dané bezpečnostní předpisy výrobce turbomolekulární vývěvy. Metoda ověření: Zkouška (T), Přezkoumání (R), Vizuální kontrola (I) Na přírubu F5 DN100 ISO-F bude montována turbomolekulární vývěva Edwards next300d s přírubou DN100 ISO-K pomocí Rotable Bolt Ring DN100 ISO-K. Z tohoto důvodu musí daná příruba splňovat dané bezpečnostní předpisy výrobce turbomolekulární vývěvy. Metoda ověření: Zkouška (T), Přezkoumání (R), Vizuální kontrola (I) REQ-010625/A 10 242

Tělo komory bude vybaveno závitovými pouzdry pro oka se šroubem umožňující manipulaci jeřábem. REQ-010626/A REQ-010627/A REQ-010965/A Drážky budou lichoběžníkového (trapézového) průřezu, aby O-kroužek z drážky samovolně nemohl při montáži vypadnout. Vakuová komora bude dodána bez breadboardu. Do komory musí být možné namontovat breadboard Newport Solid Aluminum Optical Breadboard, 600 x 600 mm, 25mm M6 Grid. Metoda ověření: Zkouška (T) 6.4. Rám vakuové komory typu A REQ-010628/A REQ-010629/A REQ-010630/A REQ-010631/A REQ-010632/A REQ-010633/A Rám vakuové komory musí umožnit výškové nastavení v ose z (vertikální). Tento rozsah musí být minimálně ±10 mm (pomocí stavěcích šroubů). Metoda ověření: Zkouška (T) Rám vakuové komor musí být vyroben z tažených hliníkových profilů. POZN.: Hliníkové materiály pro rámové konstrukce musí být ze slitiny hliníku dle normy EN AW 6063. Volné drážky hliníkových profilů musí být zaslepeny pomocí krycích lišt. Rám vakuové komory musí umožnit instalaci turbomolekulární pumpy ke komoře. Přes přírubu F6 DN100 ISO-K. Metoda ověření: Zkouška (T) Rám vakuové komory musí být vybaven kolečky, která umožní přemístění komory. Rám vakuové komory musí být možné ukotvit k podlaze. 11 242

REQ-010634/A Rám komory bude navržen tak, aby byla zaručena stabilita celé sestavy., Vizuální kontrola (I) 6.5. Vakuová komora typ C REQ-010662/A Vakuová komora dle výkresu 00107653/00. REQ-010664/A Boční víka komory dle výkresu 00107505/00 budou vybaveny madly pro manipulaci (2 kusy). REQ-010665/A Tělo komory bude opatřeno úchytnými prvky (patkami), které umožní montáž komory k rámu. Dle výkresu 00107653/00. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010666/A Na úchytných prvcích budou vyvrtány otvory 4xφ9 dle výkresu 00107653/00. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010667/A Na přírubu F2 DN100 ISO-F musí být možné přimontovat vakuový ventil VAT 11040-PE44. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010668/A Na přírubu F2 DN100 ISO-F bude přes ventil montována turbomolekulární vývěva Edwards next300d s přírubou DN100 ISO-K pomocí Rotatable Bolt Ring DN100 ISO-K. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010669/A Příruba F2 DN100 ISO-F musí splňovat bezpečnostní předpisy dané výrobcem turbomolekulární vývěvy. REQ-010670/A Příruba pro turbomolekulární vývěvu musí být z vnitřní strany komory vybavena límcem, proti pádu valícího se tělesa po stěně komory do této příruby. Výška límce od vnitřní hrany komory 5 mm. 12 242

REQ-010671/A REQ-010672/A REQ-010673/A REQ-010674/A REQ-010675/A Boční víka komory budou provedena dle výkresu 00107505/00 (2 kusy). Boční víka komory dle výkresu 00107505/00 budou opatřena vodícími kolíky pro přesné usazení víka. Vodicí kolíky budou s dostatečnou vůlí, aby nedocházelo ke zkřížení při usazování víka. Drážky pro těsnění budou na těle komory. Drážky budou lichoběžníkového (trapézového) průřezu, aby O-kroužek z drážky samovolně nemohl při montáži vypadnout. Uvnitř komory budou vyvrtány otvory 4xM6 hl.6 dle výkresu 00107653/00. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) 6.6. Vakuová komora typu D REQ-010989/A REQ-010991/A REQ-010992/A REQ-010993/A Vakuová komora dle výkresu 00112461/00. Tělo komory bude vybaveno závitovými pouzdry pro oka se šroubem umožňující manipulaci jeřábem. Tělo komory bude opatřeno úchytnými prvky (patkami), které umožní montáž komory k rámu. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) Na přírubu I DN100 ISO-F musí být možné přimontovat vakuový ventil VAT 11040-PE44. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-010994/A 13 242

Na přírubu I DN100 ISO-F bude přes ventil montována turbomolekulární vývěva EDWARDS STP-IX455 s přírubou DN100 ISO-K pomocí Rotatable Bolt Ring DN100 ISO-K. Příruba F2 DN100 ISO-F musí splňovat bezpečnostní předpisy dané výrobcem turbomolekulární vývěvy. Metoda ověření: Zkouška (T), Přezkoumání (R), Vizuální kontrola (I) REQ-010995/A REQ-010996/A REQ-010997/A REQ-010998/A REQ-010999/A REQ-011000/A REQ-012101/A Příruba pro turbomolekulární vývěvu musí být z vnitřní strany komory vybavena límcem proti pádu valícího se tělesa po stěně komory do této příruby. Výška límce od vnitřní hrany komory 5 mm. Komora bude vybavena dveřmi. Tyto dveře budou vyrobeny z průhledného (čirého) materiálu. Drážka pro těsnění dveří bude na těle komory. Drážka bude lichoběžníkového (trapézového) průřezu, aby O kroužek z drážky samovolně nevypadl. Dveře komory budou vybaveny uzavíracím mechanismem (klikou). Součástí dodávky vakuové komory bude breadboard. 6.7. Rám vakuové komory typu D REQ-011001/A Rám vakuové komory musí umožnit výškové nastavení v ose z (vertikální). Tento rozsah musí být minimálně ±10 mm (pomocí stavěcích šroubů). Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) REQ-011002/A 14 242

Rám vakuové komory musí být vyroben z tažených hliníkových profilů. Viz výkres 00112462 Pozn.: Hliníkové materiály pro rámové konstrukce musí být ze slitiny hliníku dle normy EN AW 6063. REQ-011003/A REQ-011004/A REQ-011821/A REQ-011005/A REQ-011006/A REQ-011007/A Volné drážky hliníkových profilů musí být zaslepeny pomocí krycích lišt. Rám vakuové komory musí umožnit instalaci ventilu a turbomolekulární pumpy ke komoře přes přírubu I DN100 ISO-F. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) Rám vakuové komory musí být vybaven příčkami, které umožní výškovou nastavitelnost (ve vertikálním směru) pro přichycení turbomolekulární vývěvy k rámu. Metoda ověření: Zkouška (T), Vizuální kontrola (I) Rám vakuové komory musí být vybaven kolečky, která umožní přemístění komory. Rám vakuové komory musí být možné ukotvit k podlaze. Rám komory bude navržen tak, aby byla zaručena stabilita celé sestavy., Vizuální kontrola (I) 7. Požadavky na ověřování zařízení Malé experimentální vakuové komory (typu A, C, D) jsou v textu smlouvy a následně i v textu tohoto dokumentu označeny slovem Zařízení. 7.1. Proces ověřování Proces ověřování musí prokázat, že dodaný výrobek splňuje požadavky Zadavatele a je schopný si zachovat svojí provozuschopnost a to prostřednictvím: 1. Plánovaní ověřování; 2. Realizace a předkládání zpráv o ověřování; 3. Řízení a uzavření ověřování. 15 242

REQ-011031/A Přístup k ověřování musí být vymezený Dodavatelem v rámci Plánu ověřování (dále jen VP, viz kapitola 7.2), který bude Zadavateli předložen ke schválení před jeho realizací. 7.1.1. Metody ověřování 7.1.1.1. Obecné Ověřování musí být provedeno jednou nebo více z následujících metod ověřování: 1. přezkoumání (R); 2. vizuální kontrola (I); 3. zkouška (T). REQ-011032/A Všechny kritické bezpečnostní funkce musí být identifikovány a ověřeny zkouškou. 7.1.1.2. Přezkoumání (R) Ověřování přezkoumáním (R) musí spočívat v použití schválených záznamů nebo důkazů, které jednoznačně prokáží, že požadavek je splněn. Pozn.: Příklady takových schválených záznamů jsou projektová dokumentace (design dokumenty) a zprávy, technické popisy a výkresy, manuály a doprovodná provozní dokumentace. REQ-011033/A REQ-011034/A REQ-011035/A Přezkoumání etapy návrhu musí být definováno v rámci Plánu ověřování (VP, viz kapitola 7.2). Přezkoumání etapy návrhu se musí realizovat na konci smluvní etapy (fáze) návrhu před zahájením výroby. Přezkoumání dokumentace musí být aplikováno během ověřování konečného vyrobeného Zařízení a to před zahájením dodávky na místo určení Zadavatele. 16 242

REQ-011036/A REQ-011037/A Seznam uzavřených a neuzavřených požadavků bude vypracován prostřednictvím kontrolního dokumentu ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) Výsledky přezkoumání etapy návrhu musí být zdokumentovány v rámci schváleného protokolu o kritickém přezkoumání návrhu (CDRR) nebo v rámci dokumentu odpovídajícímu podmínkám smlouvy (viz kapitola 7.4.2.2). Pozn. 1: Obsah CDRR musí být dohodnutý a odsouhlasený se Zadavatelem. Pozn. 2: Zadavatel může poskytnout Dodavateli vzor CDRR zprávy. 7.1.1.3. Vizuální kontrola (I) Ověřování Vizuální kontrolou (I) se musí skládat z vizuálního určení fyzikálních vlastností. Pozn.: Fyzikální vlastnosti zahrnují konstrukční prvky, shodu technického vybavení (hardware) s výkresovou dokumentací nebo s požadavky na řemeslné zpracování, fyzické podmínky, shodu zdrojového kódu se standardy pro kódování. REQ-011038/A REQ-011039/A REQ-011040/A Program vizuální kontroly musí být definován v rámci Plánu ověřování (VP, viz kapitola 7.2). Seznam uzavřených a neuzavřených požadavků musí být vyhotoven prostřednictvím VCD (viz kapitola 7.3.). Výsledky kontroly musí být zaznamenány ve schváleném VCD (viz kapitola 7.3.). 7.1.1.4. Zkouška (T) Ověřování Zkouškou (T) se musí skládat z měření výkonu a funkcí Zařízení v rámci reprezentativního modelového prostředí. REQ-011041/A Analýza dat odvozených ze zkoušení musí být integrální součástí zkoušek a výsledky musí být zahrnuty v protokole o zkoušce. 17 242

REQ-011042/A REQ-011043/A REQ-011044/A REQ-011045/A REQ-011046/A REQ-011047/A Protokol z měření musí být vyhotoven Dodavatelem a schválen Zadavatelem. Seznam uzavřených a neuzavřených požadavků musí být vyhotoven prostřednictvím VCD. Program zkoušek musí být vyhotoven pro každé Zařízení ve shodě s Plánem ověřování (VP, viz kapitola 7.2). Program zkoušek musí být definován v rámci specifické kapitoly Plánu ověřování (VP, viz kapitola 7.2). Program zkoušek musí být odsouhlasen Zadavatelem. Pokud má zkouška zahrnovat ukázku kvalitativního provozního výkonu (funkční ukázka), tak provedení musí být pozorováno a výsledek zaznamenán. Pozn.: Funkční ukázka je podmnožinou zkoušek. 7.1.2. Přejímka Během fáze přejímky musí ověřování prokázat, že Zařízení je bez výrobních vad a připraveno k určenému provoznímu použití. REQ-011048/A Přejímka musí být provedena na konečném technickém vybavení (hardware) a software Zadavatele. 7.1.3. Fáze procesu ověřování REQ-011049/A Proces ověřování musí být fázován dle životního cyklu projektu (project life cycle) definovaného jako smluvní fáze realizace (detailní návrh, výroba a 18 242

umístění doručeného Zařízení, viz Annex I of the contract Device Contract Phases) REQ-011051/A REQ-011053/A REQ-011054/A Plánování ověřování musí být dokončeno do konce fáze detailního návrhu (viz Annex I of the contract Device Contract Phases) [VP jako dodávka smlouvy] Realizace a řízení ověřování musí začít s prvním vydáním kontrolního dokumentu ověřování (VCD, 7.3) během kritického přezkoumání návrhu (viz Annex I of the contract Device Contract Phases) Uzavření ověřování musí být posouzeno a schváleno Zadavatelem pro každé Zařízení na konci jednotlivých smluvních fází projektu (viz Annex I of the contract Device Contract Phases). 7.2. Plán ověřování (VP) REQ-011055/A REQ-011056/A Dodavatel musí dodat Plán ověřování (VP, viz kapitola 7.2) pro etapy přezkoumání jak dohodnuto se Zadavatelem. POZN.: Pokyny pro přípravu VP může poskytnout Zadavatel. Obsah Plánu ověřování (VP, viz kapitola 7.2) musí být schválen Zadavatelem. 7.3. Kontrolní dokument ověřování (VCD) Kontrolní dokument ověřování (VCD) obsahuje seznam požadavků, které mají být ověřeny za použití vybraných metod a definovaných úrovní. VCD je živý dokument a umožňuje sledovatelnost během smluvních fází projektu (návrh, výroba a umístění doručeného Zařízení) toho, jak a kdy je každý z požadavků plánovaný k ověřování a následně i skutečně ověřen. REQ-011057/A Dodavatel musí poskytnout Kontrolní dokument ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) pro etapy přezkoumání jak dohodnuto se Zadavatelem. POZN.: Pokyny pro přípravu VCD musí poskytnout Zadavatel. 19 242

7.4. Realizace a předkládání zpráv o ověřování 7.4.1. Obecné REQ-011058/A REQ-011060/A Dodavatel musí jasně určit odpovědnost za realizaci plánu ověřování (VP, viz kapitola 7.2) Výsledky ověřování musí být zaznamenány Dodavatelem ve zprávách a přezkoumány prostřednictvím VCD Zadavatelem (viz kapitola 7.3). 7.4.2. Realizace ověřování a předkládání zpráv o ověřování - dokumentace 7.4.2.1. Protokol o zkoušce (TRPT) REQ-011061/A REQ-011062/A REQ-011063/A REQ-011064/A Protokol o zkoušce (TRPT) musí být předložen Zadavateli po dokončení zkoušky a to v časovém rámci dohodnutém se Zadavatelem. Obsah protokolu o zkoušce (TRPT) musí být dohodnut se Zadavatelem. Dodavatel musí dle dohody poskytnout protokoly o zkoušce (TRPT) na přezkoumání Zadavatelem. Dodavatel musí poskytnout Protokol o zkoušce (TRPT) na každý úkol ověřování zkouškou jak určeno plánem ověřování (VP, viz kapitola 7.2). 20 242

7.4.2.2. Protokol o kritickém přezkoumání návrhu (CDRR) REQ-011066/A REQ-011067/A Dodavatel musí dodat technickou a konstruktérskou dokumentaci (design dokumentace) vztahující se ke kritickému přezkoumání návrhu, která musí být vyhotovena ve spolupráci se Zadavatelem. POZN.: Obsah technické a konstruktérské dokumentace (design dokumentace) musí být odsouhlasen Zadavatelem. Kritické přezkoumání návrhu musí zahrnovat všechny požadavky odpovídající technické specifikace (RSD), které mají být ověřeny Přezkoumáním (R) ve smyslu přezkoumání návrhu. POZN.: Vzor protokolu o přezkoumání kritického návrhu (CDRR) musí poskytnout Zadavatel. 7.4.2.3. Protokol o vizuální kontrole (IRPT) REQ-011068/A REQ-011069/A REQ-011070/A Protokol o vizuální kontrole (IRPT) musí být předložen Zadavateli po dokončení vizuální kontroly a to v časovém rámci dohodnutém se Zadavatelem. Dodavatel musí dle dohody poskytnout protokoly o vizuální kontrole (IRPT) na přezkoumání jak dohodnuto se Zadavatelem. Dodavatel musí poskytnout Protokol o vizuální kontrole (IRPT) na každý úkol ověřování vizuální kontrolou jak určeno plánem ověřování (VP, viz kapitola 7.2). 7.5. Řízení a uzavření ověřování 7.5.1. Obecné 21 242

REQ-011071/A REQ-011072/A REQ-011073/A REQ-011074/A Realizace procesu ověřování musí být dozorován Zadavatelem. Proces ověřování musí být řízen a podporován pomocí počítače prostřednictvím databáze ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) Databáze ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) musí být dodána Zadavateli v elektronické podobě ke schválení Zadavatelem. Dodavatel musí poskytnout Zadavateli důkaz ověřování po příslušné požadavky Zadavatele odsouhlasené k ověření a to nezávisle na úrovni, kde bylo ověření provedeno. 7.5.2. Opakované ověřování REQ-011075/A REQ-011076/A Rozsah opakovaného ověřování, které se má provést musí být určeno Dodavatelem a odsouhlaseno Zadavatelem a to v následujících případech: 1. selhání nebo oprava jak bylo rozhodnuto v rámci ELI procesu neshody; 2. neplánované rozložení a demontáž; 3. repasování, údržba nebo změna návrhu (designu); 4. změny požadavků po počáteční verifikaci. Kontrolní dokument ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) musí být aktualizován Dodavatelem se záznamem otevřených požadavků, které budou takto označeny, dokud budou předmětem opakovaného ověřování, jehož provedení a uzavření podléhá souhlasu Zadavatele. 7.5.3. Řízení a uzavření ověřování - dokumentace 7.5.3.1. Kontrolní dokument ověřování (VCD) 22 242

REQ-011077/A REQ-011078/A REQ-011079/A REQ-011080/A REQ-011081/A Obsah dokončeného kontrolního dokumentu ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) musí být odsouhlasen Zadavatelem. Dodavatel musí aktualizovat databázi ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) do jednoho týdne od schválení zprávy. Mezistav kontrolního dokumentu ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) odrážející aktuální stav databáze ověřování musí být k dispozici Zadavateli na vyžádání. Mezistav kontrolního dokumentu ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) odrážející aktuální stav ověřování a souladu s požadavky, musí být dodán při každém formálním přezkoumání jak dohodnuto se Zadavatelem. Konečné vydání kontrolního dokumentu ověřování (VCD, viz kapitola 7.3) musí být předloženo Zadavateli po schválení poslední zprávy a to v časovém rámci dohodnutém se Zadavatelem. 7.5.3.2. Uzavření ověřování ostatní dokumentace REQ-011082/A Dodavatel musí kromě zpráv také poskytnout Zadavateli ke konzultaci podpůrnou dokumentaci vztahující se k VCD (viz kapitola 7.3). 8. Příloha výkresová dokumentace Kompletní výkresová dokumentace je k dispozici v přiloženém souboru [00117560-C_ATT-DRAWINGS_TP15_086-SVC-A- C-D-exp-chambers.pdf] Detailní výpis jednotlivých výkresů je uveden v níže uvedeném seznamu. Seznam přiložené výkresové dokumentace [PDF formát] 23 242

00116357_00.pdf 00117167_00.pdf 00107653_00.pdf 00107505_00.pdf 00112461_00.pdf 00112462_00.pdf 24 242