Mikroskopické techniky

Podobné dokumenty
Nanoskopie Elektronová mikroskopie (TEM, SEM) Mikroskopie skenující sondou

Moderní mikroskopie Elektronová mikroskopie (TEM, SEM) Mikroskopie skenující sondou

Mikroskopie se vzorkovací sondou. Pavel Matějka

Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM

Proč elektronový mikroskop?

Techniky mikroskopie povrchů

Moderní světelná a elektronová mikroskopie

Zobrazovací metody v nanotechnologiích

Transmisní elektronová mikroskopie Skenovací elektronová mikroskopie Mikroskopie skenující sondou. Mikroskopické metody SEM, TEM, AFM

Metody skenovací elektronové mikroskopie SEM a analytické techniky Jiří Němeček

Mikroskopie rastrující sondy

3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické).

ELEKTRONOVÁ MIKROSKOPIE V TEXTILNÍ METROLOGII

Optická konfokální mikroskopie a mikrospektroskopie. Pavel Matějka

Skenovací tunelová mikroskopie a mikroskopie atomárních sil

Mikroskop atomárních sil

Elektronová mikroskopie a RTG spektroskopie. Pavel Matějka

C Mapy Kikuchiho linií 263. D Bodové difraktogramy 271. E Počítačové simulace pomocí programu JEMS 281. F Literatura pro další studium 289

EXKURZE DO NANOSVĚTA aneb Výlet za EM a SPM. Pracovní listy teoretická příprava

Věra Mansfeldová. Ústav fyzikální chemie Jaroslava Heyrovského AV ČR, v. v. i.

TRANSMISNÍ ELEKTRONOVÁ MIKROSKOPIE

Viková, M. : MIKROSKOPIE V Mikroskopie V M. Viková

Elektronová Mikroskopie SEM

Studium vybraných buněčných linií pomocí mikroskopie atomárních sil s možným využitím v praxi

MIKROSKOPIE JAKO NÁSTROJ STUDIA MIKROORGANISMŮ

Elektronová mikroskopie II

Fluorescenční mikroskopie

Analýza vrstev pomocí elektronové spektroskopie a podobných metod

Mikroskopie skenující sondou: teorie a aplikace

Fyzikální sekce přírodovědecké fakulty Masarykovy univerzity v Brně FYZIKÁLNÍ PRAKTIKUM. Praktikum z pevných látek (F6390)

Testování nanovlákenných materiálů

Jak měřit NANO Nástroje pro měření a vyhodnocování nanostruktur

Metody charakterizace

Základem AFM je velmi ostrý hrot, který je upevněn na ohebném nosníku (angl. cantilever, tento termín se používá i v češtině).

POHLED DO NANOSVĚTA Roman Kubínek

Typy světelných mikroskopů

CHARAKTERIZACE MORFOLOGIE POVRCHU (Optický mikroskop, SEM, STM, SNOM, AFM, TEM)

Difrakce elektronů v krystalech, zobrazení atomů

Elektronová mikroskopie a mikroanalýza-2

TRANSMISNÍ ELEKTRONOVÁ MIKROSKOPIE

Mikroskop atomárních sil: základní popis instrumentace

Studentská tvůrčí a odborná činnost STOČ 2012

EM, aneb TEM nebo SEM?

Laboratoř charakterizace nano a mikrosystémů: Elektronová mikroskopie

Moderní mikroskopické techniky

Difrakce elektronů v krystalech a zobrazení atomů

Vlnová délka světla je cca 0,4 µm => rozlišovací schopnost cca. 0,2 µm 1000 x víc než oko

Optická mikroskopie a spektroskopie nanoobjektů. Nanoindentace. Pavel Matějka

Testování nanovlákenných materiálů

Základní pojmy a vztahy: Vlnová délka (λ): vzdálenost dvou nejbližších bodů vlnění kmitajících ve stejné fázi

Testování nanovlákenných materiálů. Eva Košťáková KNT, FT, TUL

10/21/2013. K. Záruba. Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje. velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita

Princip rastrovacího konfokálního mikroskopu

METODY ANALÝZY POVRCHŮ

Mikroskopie atomárních sil

Krystalografie a strukturní analýza

Charakterizace materiálů I KFY / P224. Martin Kormunda

Viková, M. : MIKROSKOPIE II Mikroskopie II M. Viková

Mikroskopie skenující sondou

4 ZKOUŠENÍ A ANALÝZA MIKROSTRUKTURY

INTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II.

Transmisní elektronová mikroskopie (TEM)

DIFRAKCE ELEKTRONŮ V KRYSTALECH, ZOBRAZENÍ ATOMŮ

LEED (Low-Energy Electron Diffraction difrakce elektronů s nízkou energií)

Úvod. Mikroskopie. Optická Elektronová Skenující sondou. Mikroskopie je metod kterej dovoluje sledovat malé objekty a detaile jejích povrchů.

Pohledy do Mikrosvěta

Morfologie částic Fe 2 O 3. studium pomocí AFM

PŘEHLED KLASICKÝCH A MODERNÍCH MIKROSKOPICKÝCH METOD

Přednáška 5. SPM (Scanning Probe Microscopies) - STM (Scanning Tunneling Microscope) - AFM (Atomic Force Microscopy) Martin Kormunda

Optické metody a jejich aplikace v kompozitech s polymerní matricí

VLNOVÁ OPTIKA. Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Optika - 3. ročník

lní mikroskop LEXT OLS 3100

Metoda Live/Dead aneb využití fluorescenční mikroskopie v bioaugmentační praxi. Juraj Grígel Inovativní sanační technologie ve výzkumu a praxi

Základní pojmy. Je násobkem zvětšení objektivu a okuláru

Mikroskopy. Světelný Konfokální Fluorescenční Elektronový

Chemie a fyzika pevných látek p2

MĚŘENÍ ABSOLUTNÍ VLHKOSTI VZDUCHU NA ZÁKLADĚ SPEKTRÁLNÍ ANALÝZY Measurement of Absolute Humidity on the Basis of Spectral Analysis

RTG difraktometrie 1.

Metody využívající rentgenové záření. Rentgenovo záření. Vznik rentgenova záření. Metody využívající RTG záření

Podivuhodný grafen. Radek Kalousek a Jiří Spousta. Ústav fyzikálního inženýrství a CEITEC Vysoké učení technické v Brně. Čichnova

Mikroskopické metody Přednáška č. 3. Základy mikroskopie. Kontrast ve světelném mikroskopu

M I K R O S K O P I E

Metody využívající rentgenové záření. Rentgenografie, RTG prášková difrakce

MĚŘENÍ V SEMIKONTAKTNÍM REŽIMU POMOCÍ MIKROSKOPU SOLVER NEXT

ÚSTAV FYZIKÁLNÍ BIOLOGIE JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH

Neživá příroda I. Optické vlastnosti minerálů

MĚŘENÍ V KONTAKTNÍM REŽIMU POMOCÍ MIKROSKOPU SOLVERNEXT

STANOVENÍ TVARU A DISTRIBUCE VELIKOSTI ČÁSTIC MODELOVÝCH TYPŮ NANOMATERIÁLŮ. Edita BRETŠNAJDROVÁ a, Ladislav SVOBODA a Jiří ZELENKA b

Klíčová slova TEM, transmisní elektronový mikroskop, zlato, germanium, nanočástice, nanovlákna

Vybrané spektroskopické metody

Nejdůležitější pojmy a vzorce učiva fyziky II. ročníku

Principy a instrumentace

Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)

Bakalářská práce. bakalářský studijní obor Mikroelektronika a technologie

Základy mikroskopie. Úkoly měření: Použité přístroje a pomůcky: Základní pojmy, teoretický úvod: Úloha č. 10

Laboratorní úloha č. 7 Difrakce na mikro-objektech

Spektroskopie Augerových elektronů AES. KINETICKÁ ENERGIE AUGEROVÝCH e - NEZÁVISÍ NA ENERGII PRIMÁRNÍHO ZDROJE

NANOTECHNOLOGIE sny a skutenost

Mikroskopie a zobrazovací technika. Studentská 1402/ Liberec 1 tel.: cxi.tul.cz

M I K R O S K O P I E

Transkript:

Mikroskopické techniky Světelná mikroskopie Elektronová mikroskopie Mikroskopie skenující sondou Zkráceno z přednášky doc. RNDr. R. Kubínka, CSc. Zdroj informací: http://apfyz.upol.cz/ucebnice/elmikro.html http://apfyz.upol.cz/ucebnice/optmikro.html http://fyzika.upol.cz/cs/pro-studenty/kniha-nanoskopie http://micro.magnet.fsu.edu/primer/

Vývoj světelných mikroskopů 1670 1850 1930 2014 2000

SM zvětšení (základní informace) Zvětšení mikroskopu Z 0,25 0,25. Z Z obj ok f f f. / / / 1 2 Rozlišovací mez SM 0 D 1,22. A 0 d min 0,61 0 n.sin 0

Fluorescenční mikroskopiezáklady a realizace Fluorescence v prošlém a odraženém světle excitační filtr (propouští jen požadovanou přes preparát) bariérový filtr (potlačení nebo absorpce excitační, propouští jen emisní na detektor) dichroické zrcadlo (filtr odrážející excitační a propouštějící emisní )

Laserová konfokální mikroskopie LSCM - (základní idea z r. 1957 - Marvin Minski) http://www.olympusconfocal.com/java/confocalsimulator/index.html

Elektronová mikroskopie Transmisní elektronová mikroskopie (TEM a HRTEM) Skenovací elektronová mikroskopie (SEM a esem- environmentální s volitelným vakuem)

Transmisní elektronová mikroskopie Transmisní Elektronový Mikroskop

Urychlené elektrony jako vlna ve vakuu Pohybující se elektron o energii E a hybnosti p má podle Lui de Broglieho teorie vlnovou povahu; tedy chová se jako vlna o: f E h frekvenci a vlnové délce, kde h je m v Planckova konstanta. e h Pro vlnovou délku elektronu odvodíme vztah V praxi pro výpočet při známé hodnotě U V h 2m0eU 1 eu 2m c 0 2 h 2m eu 0 Příklad: 1,226 U nm U= 10 kv = 0,01226 nm U= 100 kv = 0,0037 nm

Elektrony procházející preparátem Atomy stejného druhu v různě orientované krystalické mříži (v případě levého obrázku, prochází elektrony snadněji) Kontrast v obraze závisí mimo jiné na: orientaci krystalů v látce, na průměrném protonovém čísle atomů preparátu, na hustotě látky (počtu atomů v krystalické mříži). Pro transmitované elektrony: v případě obrázku vlevo bude obraz světlejší než v případě obrázku vpravo

Konstrukce TEM Čtyři základní stavební a funkční prvky elektronového mikroskopu: zdroj elektronů (elektronové dělo), elektromagnetické čočky, Elektronové dělo preparátový stolek (držák, goniometr), vakuový systém. Systém elektromagnetických čoček a clon Preparátová komůrka Luminiscenční stínítko

Konstrukce TEM tubus TEM kondenzor fokusuje elektronové paprsky na preparát promítá křižiště elektronové trysky na preparát zajišťuje jeho homogenní a intenzivní ozáření) objektiv je určen k tvorbě obrazu (faktor zvětšení 50 100x) projektiv je tvořen dalšími čočkami, které určují výsledné zvětšení TEM a promítají obraz na stínítko Součástí elektronoptického systému v tubusu jsou clony: Clona kondenzoru odcloní mimoosové elektronové svazky Aperturní clona (součást objektivu) určuje aperturu elektronového svazku paprsků

Konstrukce TEM vakuový systém EM potřebuje vakuum: ve vzduchu je elektron absorbován, (dosah elektronového svazku EM ve vzduchu je max. 1 m) elektronové dělo musí být izolováno vakuem (vzduch není dobrý izolant), vzduch obsahuje molekuly O 2, N 2, CO 2 a hydrokarbonáty, které způsobují kontaminaci tubusu a vzorku. Běžné hodnoty tlaku atmosférický tlak 0,1 MPa (10 5 Pa) tlak v kosmickém prostoru 10-7 Pa Vakuum v preparátové komůrce 10-5 Pa Vakuum v prostoru katody 10-5 Pa (pro LaB 6 ), 10-7 Pa (FEG) Vakuum v prostoru stínítka 10-3 Pa (je zde film pro záznam obrazu) Vakuový systém EM je tvořen řadou ventilů spojených s vývěvami

TEM jako difraktograf 1. pro identifikaci krystalů, 2. pro stanovení orientace krystalu. Difrakční obrazec vzniká v obrazové ohniskové rovině objektivu (podobnost se SM) projektiv je pro sledování obrazu zaostřen na rovinu obrazu vytvořeného objektivem. Pro studium difraktogramů je nutné přeostřit Pr na OOR. Příklad: dva typy elementárních buněk dvě roviny (vzdálenost rovin 1/2 délky elementární buňky) Pro horizontální směr: čtyři roviny (1/4 el.buňky) Pro dvě roviny reciproká vzdálenost = 2 (dva body ve dvojnásobné vzdálenosti od středu), Pro čtyři roviny reciproká vzdálenost = 4 (čtyřnásobná vzdálenost od středu) Při započítání ostatních směrů dostaneme 3D síť mřížových bodů Difraktogram Si difraktogram Si 3 (hexagonální symetrie)

HRTEM - elektronová mikroskopie s vysokým rozlišením Splnění několika podmínek: 1. náklon vzorku tak, aby umožnil průchod elektronového svazku podél uspořádaných atomů (viz. obrázek atomů v mřížce), 2. použití apertury s velmi malým průměrem pro dosažení úzkého elektronového paprsku, 3. zpravidla se používá vyšší urychlovací napětí (nad 300 kv). TEM obraz atomů Si s vysokým rozlišením vzdálenost mezi atomy (bližšími) 0,14 nm skutečná struktura (vlevo nahoře) Azbestová vlákna na síťce struktura azbestu s vysokým rozlišením

HRTEM (High Resolution Transmission Electron Microscopy)

Příprava preparátů pro TEM Hlavní cíl: Získat morfologickou informaci (reprodukovatelným způsobem) se snahou potlačit jakékoliv artefakty preparátu. Tenká transparentní fólie pro zachycení ultratenkých řezů tkání nebo suspenze částic uhlíková fólie 20 až 50 nm, plastická fólie (Formvar ředěný v etylendichloridu 0,5%) 20 nm Podmínka: stabilita při prozařování elektrony, nízká zrnitost, kontrast porovnatelný se vzorkem. Příprava plastické fólie je snadnější než čisté C vrstvy (pro HRTEM je vhodnější C fólie) Síťka pro TEM pevná podpora pro fólie (řezy) vyrobená z Cu (antiferomagnetikum) Mesh 100 (100 čar/palec) Označení MESH Mesh 400

Příprava preparátů pro TEM Ultratenké řezy Vrstvou o tloušťce 100 nm (biologický preparát o = 1 g.cm -3 ) prochází 50 % elektronů při UN = 50 kv není možné pozorovat celé buňky. Obvyklá tloušťka tenkého řezu 50 nm. Pro řezání musí být tkáň speciálně připravena: odběr tkáně (krájení v kapce fixáže na polyetylénu) nebo buněk (přímo do fixativa) fixace odvodnění kontrastování zalití do bločků krájení

Transmisní elektronové mikroskopy v RCPTM JEM 2010 (JEOL) FEI TITAN

Skenovací elektronový mikroskop

Signály a jejich detekce

Možnosti zobrazení-kontrast Kontrast v režimu odražených elektronů kontrast v režimu sekundárních elektronů Napěťový kontrast magnetický kontrast

Environmentální elektronový mikroskop

Mikroskopie skenující sondou SPM Scanning Probe Microscopy 1981 STM Skenovací tunelovací mikroskopie 1986 Nobelova cena Gerd Binnig Heinrich Rohrer konstrukce STM (Scanning Tunneling Microscope) 1986 AFM (Atomic Force Microscopy) Mikroskopie atomárních sil 1987 do současnosti další klony využívající princip přesného polohování a těsného přiblížení sondy k povrchu

Princip mikroskopických technik využívajících skenující sondu umístění mechanické sondy do blízkosti povrchu vzorku řízení pohybu ve směru x y, z signálem zpětné vazby piezoelektricky (rozlišení 10-10 m)

Skenovací tunelovací mikroskopie - STM Podmínka: ostrý vodivý hrot a vodivý vzorek Pravděpodobnost průchodu energetickou d bariérou (tunelování) 2 Tunelovací proud 0 P e I a. U. e 2m U x 1 b. 2. d E dx obraz povrchu je dán rozložením vlnové funkce atomů Režim konstantní výšky rychlejší vhodný pro hladké povrchy Režim konstantního proudu časově náročnější měření Si (111),10x10 nm přesnější pro členité povrchy http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/constant-current-mode http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/constant-height-mode

Mikroskopie atomárních sil (AFM) mapování atomárních sil odpudivé síly elektrostatické přitažlivé síly Van der Waalsovy graf závislosti celkové síly na hrot kontaktní režim F 10-7 N režim konstantní síly d 1 nm tuhé vzorky nekontaktní režim F W 10-12 N, d 100 nm, raménko kmitá s f r 200 khz měkké, pružné (biologické) vzorky poklepový režim

Kontaktní režim AFM feed back loop laser controller electronics kontaktní režim F 10-7 N režim konstantní síly d 1 nm zejména vhodné pro tuhé vzorky scanner detector electronics split photodiode detector cantilever and tip sample typický hrot Schéma detekce v kontaktním režimu Figure 1 : Principle and technology of atomic force microscopes (schema Digital Instruments) http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/constant-force-mode

Schéma detekce v bezkontaktním a poklepovém režimu nekontaktní režim poklepový režim F W 10-12 N, d 100 nm, raménko kmitá s f r 200-400 khz typický hrot s poloměrem 5 až 10 nm měkké, pružné (biologické) vzorky http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/non-contact-mode http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/semicontact-mode

Mikroskopie magnetické síly (MFM Magnetic Force Microscopy) Systém pracuje v NK režimu rezonanční frekvenci raménka ovlivňuje změna magnetického pole (magnetická síla) vzorku 1. informace o topografii 2. informace o magnetických vlastnostech povrchu. MFM mapování domén v magnetických materiálech změna magnetického pole zviditelněná v MFM (magnetické domény v oblasti 8 x 8 m) MFM obraz harddisku v oblasti 30x30µm http://www.ntmdt.com/spm-principles/view/ac-mfm

Mikroskopie skenující sondou (SPM) NTEGRA Aura (NT-MDT) Scanning Probe Microscope (SPM) je univerzální přístroj pro 3D analýzy povrchu a jeho vlastností v mikro a nanometrové škále. V závislosti na použitém režimu může mapovat topografii (AFM), tření (LFM), magnetické vlastnosti (MFM) apod. Použití pro měření distribuce částic, morfologii částic, drsnost povrchu a měření magnetických vlastností nanočástic Režimy: kontaktní a nekontaktní AFM, MFM, LFM, PFM, EFM, SCM, F- d spektroskopie Rozsah skenování:100 µm 100 µm 10 µm (skenování hrotem), 10 µm 10 µm 4 µm (skenování vzorkem)