NANOMECHANICKÁ CHARAKTERIZACE MULTIVRSTEV PRO SYSTÉMY KONCENTRUJÍCÍ SOLÁRNÍ ENERGII

Podobné dokumenty
VYUŽITÍ PVD POVLAKŮ PRO FUNKČNĚ GRADOVANÉ MATERIÁLY

HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE

COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES

COMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek

STUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

HODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH. Klára Jacková, Ivo Štepánek

CYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý

ZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

CHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT MATERIALS AND CORRELATION WITH MORPHOLOGY OF FAILURES

HODNOCENÍ STÁRNUTÍ POVRCHU MATERIÁLU POMOCÍ INDENTACNÍCH MERENÍ

HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A DEGRADAČNÍHO PROCESU PROSTUPUJÍCÍHO OD POVRCHU POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

VLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ

DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL

STUDIUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ V OKOLÍ MAKROVTISKŮ NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI

VLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT

HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ

COMPARISON OF THIN FILMS SYSTEMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES

STUDY OF SELECTED DEPOSITION PARAMETERS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF THIN FILM SYSTEMS

ZMENY POVRCHOVÝCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI PO KOMBINOVANÉM NAMÁHÁNÍ. Roman Reindl, Ivo Štepánek

VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD

HODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠENÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI

COMPARISON OF THIN FILM SYSTEMS WITH VERY DIFFERENT RESISTIVITY DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek

POROVNÁNÍ CHOVÁNÍ PŘI INDENTAČNÍM PROCESU NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PACVD

ACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION

STUDIUM MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ ROZDÍLNÝCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK

, Hradec nad Moravicí

CYKLICKÁ INDENTACNÍ MERENÍ SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA - SUBSTRÁT. Šárka Jelínková, Ivo Štepánek, Radek Nemec

Hodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření

Univerzální využití indentačních metod pro hodnocení mechanických vlastností a chování velmi rozdílných systémů materiálů

VLIV MECHANICKÉHO PORUŠENÍ NA CHOVÁNÍ POVRCHU S TIN VRSTVOU PŘI TEPELNÉM A KOROZNÍM NAMÁHÁNÍ. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý, Klára Jačková

BULLETIN. ASOCIACE ČESKÝCH CHEMICKÝCH SPOLEČNOSTÍ Ročník 47 Číslo 4

Korelace opotřebení systémů s tenkými vrstvami pomocí scratch testeru a na třecích strojích. Martin Hrdý, Ivo Štěpánek, Roman Reindl

HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT NA VYSOKOTEPLOTNÍM TRIBOMETRU

EVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE

EVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF MATERIAL SYSTEMS

CYKLICKÁ MAKROINDENTAČNÍ HODNOCENÍ NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT A STUDIUM ZMÉN V OVLIVNĚNÝCH OBLASTECH

EVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL

MAKROINDENTAČNÍ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ PORUŠOVÁNÍ POVRCHU SUBSTRÁTU A SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PŘI TOMTO ZATÍŽENÍ.

TEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU

KORELACE ZMĚN SIGNÁLU AKUSTICKÉ EMISE A ZMĚN PORUŠOVÁNÍ PŘI VRYPOVÉ ZKOUŠCE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI. Petr Jirík, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý

VÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV

Kroková hodnocení kombinovaného namáhání systémů s tenkými vrstvami. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Radek Poskočil, Jiří Hána

DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ NÁSTROJOVÝCH OCELÍ STRUKTURA, VLASTNOSTI A ZAŘÍZENÍ DUPLEX COATING OF TOOL STEELS STRUCTURE, PROPERTIES AND DEVICES

KORELACE ZMĚN POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ ELEKTROCHEMICKÝM ZATÍŽENÍM A KOROZNÍM PŮSOBENÍM V REÁLNÉM ČASE.

HODNOCENÍ LOKÁLNÍCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A MIKROSTRUKTURNÍCH ZMĚN ZIRKONIOVÝCH SLITIN PO VYSOKOTEPLOTNÍ OXIDACI SVOČ-FST 2017

HODNOCENÍ PŘÍČNÝCH VÝBRUSŮ VTISKU PO CYKLICKÝCH VNIKACÍCH ZKOUŠKÁCH PŘI MAKROZATÍŽENÍ NA SYSTÉMECH TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT

DETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS

Metodika hodnocení opotřebení povlaků

KORELACE LABORATORNÍHO HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI S PRAXÍ.

STUDIUM PORUŠENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI ZE STATICKÉ A VRYPOVÉ INDENTACE DO HLOUBKY SYSTÉMU

VLIV DRUHU TECHNOLOGIE IONTOVÉHO BOMBARDU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT

CHANGING OF MECHANICAL PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SURFACES OF BIOCOMPATIBLE SYSTEMS THIN FILM - SUBSTRATE AFTER ELECTROCHEMICAL CORROSION

STUDIUM HLOUBKOVÝCH PROFILU PORUŠENÍ PO INDENTACNÍCH ZKOUŠKÁCH Z PRÍŠNÝCH VÝBRUSU. Monika Kavinová, Ivo Štepánek, Martin Hrdý

Hodnocení změn mechanických vlastností v mikrolokalitách po deposičního procesu

, Hradec nad Moravicí

PVD povlaky pro nástrojové oceli

Zkoušení mechanických vlastností zkoušky tvrdosti. Metody charakterizace nanomateriálů 1

PROBLEMATICKÉ SVAROVÉ SPOJE MODIFIKOVANÝCH ŽÁROPEVNÝCH OCELÍ

ZÁKLADNÍ HODNOCENÍ A ZPŘESNĚNÁ HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT INDENTAČNÍMI ZKOUŠKAMI

POVLAKY PRO KRÁTKODOBOU PROTIKOROZNÍ OCHRANU VÝROBKŮ HUTNÍ PRODUKCE

VLASTNOSTI KOVOVÝCH VRSTEV DEPONOVANÝCH MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM NA SKLENENÝ SUBSTRÁT

POROVNÁNÍ VLIVU DEPOSICE TENKÝCH VRSTEV A NAVAŘOVÁNÍ NA DEGRADACI ZÁKLADNÍHO MATERIÁLU

VÝZKUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ SVAROVÝCH SPOJŮ MODIFIKOVANÝCH ŽÁROPEVNÝCH OCELÍ T24 A P92. Ing. Petr Mohyla, Ph.D.

TESTOVÁNÍ VLIVU INDIKAČNÍCH KAPALIN NA KŘEHKOLOMOVÉ VLASTNOSTI SKLOVITÝCH SMALTOVÝCH POVLAKŮ

INTERNAL STRESS AND ADHESION OF COMPOSITE COATINGS Ni - DIAMONT

, Hradec nad Moravicí

HODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠOVÁNÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU Z POVRCHU I V PŘÍČNÉM VÝBRUSU SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT

Antonín Kříž a) Miloslav Chlan b)

PREPARING OF AL AND SI SURFACE LAYERS ON BEARING STEEL

Zkoušení fyzikálně-mechanických vlastností materiálů a výrobků pro automobilový průmysl

PŘÍSPĚVEK K POVRCHOVÉ ÚPRAVĚ SKLOVITÝM SMALTOVÝM POVLAKEM CONTRIBUTION TO SURFACE ARRANGEMENT WITH VITREOUS ENAMEL COAT

ZKOUŠKY MECHANICKÝCH. Mechanické zkoušky statické a dynamické

CHARAKTERIZACE PORUŠENÍ PRI KOMPLEXNÍM HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI. Ivo Štepánek

FUNKČNÍ VZOREK FUNKČNÍ VZOREK ZAŘÍZENÍ HTPL-A PRO MĚŘENÍ RELATIVNÍ TOTÁLNÍ EMISIVITY POVLAKŮ

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

VLIV SVAROVÉHO SPOJE NA VLASTNOSTI NANÁŠENÝCH TENKÝCH VRSTEV TIN INFLUENCE OF WELDING ON PROPERTIES DEPOSITED THIN FILMS TIN

VRYPOVÁ ZKOUŠKA Z POHLEDU HODNOCENÍ POMOCÍ OBRAZOVÉ ANALÝZY. Martin Hrdý, Ivo Štěpánek, Roman Reindl, Markéta Podlahová

MERENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ V MIKROLOKALITÁCH NANOINDENTACÍ. Radek Nemec, Ivo Štepánek

VLIV REAKTOROVÉHO PROSTŘEDl' NA ZKŘEHNUTI' Cr-Mo-V OCELI

VÝROBA ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ S OTĚRUVZDORNÝMI TENKÝMI VRSTVAMI

VLIV TENKÉ VRSTVY TIN NA CHOVÁNÍ POVRCHU PŘI KONTAKTNÍ ÚNAVĚ. Dana Lisová, Roman Reindl, Ivo Štěpánek

, Hradec nad Moravicí. LOUDA Petr Technická univerzita Liberec

FEM ANALYSIS OF HOSE SPRNIG CLAMP DEFORMATION BEHAVIOUR

VLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek

ZKOUŠENÍ KOROZNÍ ODOLNOSTI PLAZMOVĚ NANÁŠENÝCH NITRIDICKÝCH VRSTEV NA OCELÍCH CORROSION RESISTANCE TESTING OF PLASMA NITRIDATION LAYERS ON STEELS

Hodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů

STANOVENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ MATERIÁLŮ SVAROVÉHO SPOJE NA ZÁKLADĚ MĚŘENÍ TVRDOSTI

Practical applications of new method of complex properties and behaviour of systems thin film substrate

SPOLUPRÁCE WESTINGHOUSE S ČVUT A FZÚ AV ČR

NANOINDENTAČNÍ MĚŘENÍ HVOF STŘÍKANÝCH POVLAKŮ. ŠÁRKA HOUDKOVÁ a, FRANTIŠEK ZAHÁLKA a, MICHAELA KAŠPAROVÁ a a OLGA BLÁHOVÁ b. 1.

POVRCHOVÉ VYTVRZENÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM PLAZMOVOU NITRIDACÍ SURFACE HARDENING OF NIOBIUM-CONTAINING PM TOOL STEEL BY PLASMA NITRIDING

Pojednání ke státní doktorské zkoušce. Hodnocení mechanických vlastností slitin na bázi Al a Mg s využitím metody AE

PŘÍPRAVA A VLASTNOSTI KOVOVÝCH NÍZKOEMISIVNÍCH VRSTEV PREPARATION AND PROPERTIES OF METAL LOW-E SYSTEMS. David Petrýdes

Analýza PIN-on-DISC. Ing. Jiří Hájek Dr. Ing. Antonín Kříž ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

MOŽNOSTI TVÁŘENÍ MONOKRYSTALŮ VYSOKOTAVITELNÝCH KOVŮ V OCHRANNÉM OBALU FORMING OF SINGLE CRYSTALS REFRACTORY METALS IN THE PROTECTIVE COVER

TEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek

Mechanická modifikace topografie strojních součástí

ČESKÉ VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V PRAZE Fakulta strojní, Ústav techniky prostředí. Protokol

Podniková norma Desky z PP-B osmiúhelníky

Hodnocení tribologických vlastností procesních kapalin

Transkript:

NANOMECHANICKÁ CHARAKTERIZACE MULTIVRSTEV PRO SYSTÉMY KONCENTRUJÍCÍ SOLÁRNÍ ENERGII Reklamní článek firmy Anton-Paar JAROSLAV ČECH a *, JIŘÍ NOHAVA b, MIHAELA DUBUISSON b a MARTINA VILIMOVSKÁ c a České vysoké učení technické v Praze, Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská, Katedra materiálů, Trojanova 13, 120 00 Praha 2, Česká republika, b Anton Paar TriTec, Rue de la Gare 4, 2034 Peseux, Švýcarsko, c Anton Paar, Strakonická 3309/2e, 150 00 Praha 5, Česká republika jaroslav.cech@fjfi.cvut.cz, jiri.nohava@anton-paar.com, martina.vilimovska@anton-paar.com Klíčová slova: nanoindentace, vrypové zkoušky, absorpční multivrstvy, solární energie Úvod Systémy koncentrující solární energii (concentrating solar power systems, CSP) založené na konverzi sluneční tepelné energie na energii elektrickou jsou jedním z nejslibnějších a zároveň již využívaných zdrojů obnovitelné energie 1 4. Technologie tzv. parabolic trough solar collectors (PTSC) využívá zrcadla k přesměrování a koncentraci slunečního záření, které ohřívá transportní kapalinu ve sběrném potrubí. Ohřátá kapalina následně slouží k produkci elektrické energie (obr. 1). Technologie PTSC byla úspěšně instalována v řadě zemí světa a jedná se o jeden z nejvíce vědecky a technicky prozkoumaných systémů CSP. Současné PTSC systémy jsou navrženy na provozní teplotu transportní kapaliny 400 C. Z důvodů udržení konkurenceschopnosti na trhu obnovitelné energie jsou vyvíjeny nové systémy s pracovní teplotou až 600 C, jejichž účinnost může být navýšena o 5 až 10 %. Při takto vysokých teplotách se však mohou objevit nové degradační procesy vedoucí ke snížení účinnosti 6. Pochopení těchto procesů je pro další rozvoj PTSC systémů, jejichž životnost je plánována na minimálně 20 až 25 let, zásadní jak z technologického, tak ekonomického hlediska. Klíčovým faktorem ovlivňujícím účinnost a životnost PTSC systémů je absorpční vrstva nanesená na korozivzdorném potrubí, ve kterém proudí transportní kapalina. Náročné požadavky na tuto součást systému mohou být splněny pouze použitím speciálních multivrstev 7,8. Optické vlastnosti a termální stabilita absorpčních vrstev již byly důkladně studovány, nicméně existuje pouze omezené množství informací o mechanických vlastnostech těchto multivrstev. Změny tvrdosti a Youngova modulu přitom mohou upozorňovat na zhoršování optických vlastností. Degradaci způsobuje především teplotní cyklování (rozdíly teplot den-noc), které může vést až k adhesivnímu porušení vrstvy. Tento příspěvek je zaměřen na charakterizaci mechanických vlastností a adheze typické absorpční multivrstvy používané v PTSC. V rámci této práce byla vyvinuta metodika umožňující měření tvrdosti a Youngova modulu (nanoindentace) a adheze absorpční vrstvy (vrypové zkoušky) před a po urychlených testech stárnutí simulujících provoz celého systému v praxi. Experimentální postup Absorpční multivrstva (tab. I) byla nanesena pomocí PVD (physical vapor deposition) magnetronového naprašování (IK4 Tekniker, Eibar, Španělsko) na vnější stranu trubek s vnitřním průměrem 80 mm a tloušťkou stěny 2 mm vyrobených z korozivzdorné oceli AISI 321. Ze 4 m dlouhých trubek používaných přímo ve skutečných provozních podmínkách PTSC byly vyříznuty přibližně Obr. 1. (a) Schéma PTSC elektrárny 5, (b) potrubí vedoucí transportní kapalinu 725

Tabulka I Funkce, složení a tloušťka jednotlivých vrstev multivrstvy vytvořené PVD magnetronovým naprašováním Vrstva Složení Tloušťka [nm] Antireflexní (AR) SiO 2 75 Absorpční (AB) Mo/Al 2 O 3 60 Infrčervená odrazová (IRR) Mo 200 Antidifuzní vrstva (AD) Al 2 O 3 150 Substrát (ocel AISI 321) 20 cm dlouhé válce, které byly podrobeny testům urychleného stárnutí a mechanickým zkouškám. Testy urychleného stárnutí byly prováděny při teplotě 450 C po dobu jednoho dne. Tlak kyslíku je klíčový pro oxidaci a poškozování zkoumaných multivrstev, a proto byl udržován na konstantní úrovni 0,1 mbar. Nanoindentace Nanoindentační testy, založené na vtlačování diamantového hrotu do povrchu zkoumaného materiálu, byly provedeny na zařízení UNHT (Ultra Nanoindentation Tester) společnosti Anton Paar (Peseux, Švýcarsko) pomocí Berkovičova trojbokého hrotu. Zkoušená tělesa byla uchycena ve speciálním stojanu, který byl vyvinut pro tento typ válcových vzorků (obr. 2). Tvrdost (H IT ) a Youngův modul (E IT ) byly získány analýzou experimentálních dat podle normy ISO 14577 (cit. 9 ). Maximální úroveň zatížení byla volena tak, aby testované vrstvy nebyly ovlivněny vlastnostmi spodnějších vrstev a substrátu 10,11. Maximální zatížení 0,02 mn vedlo k maximálním hloubkám vtisku přibližně 12 nm a bylo použito pro charakterizaci souboru dvou vrchních vrstev (AR+AB). Maximální zatížení 3 mn způsobilo penetraci hrotu do hloubky přibližně 130 nm a sloužilo tak k popisu vlastností multivrstvy jako celku. Nárůst síly na maximální hodnotu proběhl za 10 s, následovala výdrž na maximálním zatížení po dobu 5 s a odtížení během 10 s. Vrypové zkoušky Vrypové zkoušky byly provedeny pomocí zařízení NST (Nano Scratch Tester) společnosti Anton Paar (Peseux, Švýcarsko). Jednotlivé vrypy o délce 1 mm byly vytvořeny diamantovým sféro-konickým hrotem o poloměru 10 µm. Zatížení během zkoušky postupně narůstalo rychlostí 1000 mn min 1 z 2 mn na 500 mn. Součástí testu byla speciální pre-scan a post-scan procedura umožňující odstranění vlivu nerovností původního povrchu a vedoucí k získání hodnot celkové a zbytkové hloubky vrypu. Záznam naměřených veličin (celková hloubka, zbytková hloubka, třecí síla, normálová síla, atd.) byl synchronizován s obrazem z optického mikroskopu pomocí tzv. Panorama záznamu. Následně bylo možné určit kritická zatížení (L c ) definovaná jako minimální síla potřebná ke vzniku charakteristického typu porušení. Obvykle je možné identifikovat několik druhů porušení: první trhliny ve vrstvě (kohezní porušení), částečná delaminace (převážně adhezní porušení), celková delaminace vrstvy (kompletní ztráta adheze mezi vrstvou a substrátem). Výsledky a diskuse Nanoindentace Obr. 2. Indentační zkouška na válcových vzorcích prováděná pomocí UNHT zařízení (válcový vzorek umístěn ve speciálním stojanu) Typické indentační křivky síla-hloubka vtisku s maximálním zatížením 0,02 mn jsou znázorněny v obr. 3a. Maximální hloubka vtisků byla přibližně 12 nm, což je méně než desetina tloušťky dvou vrchních vrstev (AB+AR) a vliv spodnějších vrstev tak lze zanedbat. I přes velmi nízké hloubky vtisku křivky vykazovaly nízkou hladinu šumu a malý rozptyl, který byl pravděpodobně způsoben nehomogenní strukturou vrstev obsahujících póry a dutiny. Ačkoliv rozdíly nejsou výrazné (tab. II), vyšší hloubka vtisku a tedy i nižší tvrdost byly pozorovány u vzorků 726

Obr. 3. Typické indentační křivky (síla-hloubka vtisku) vzorků před a po urychlených testech stárnutí: (a) maximální zatížení 0,02 mn, (b) maximální zatížení 3 mn, nestárnuto, - - - stárnuto po urychlených zkouškách stárnutí. Mírně výraznější pokles nastal u hodnot Youngova modulu. Tento vývoj může být připsán strukturním změnám vrstev způsobených vystavením vysoké teplotě a oxidaci, nicméně změny zůstávají poměrně malé. Je třeba zmínit nižší hodnoty tvrdosti vrchních vrstev. Zatímco v literatuře lze pro SiO 2 nalézt hodnoty tvrdosti okolo 10 GPa, tvrdost měřené vrstvy nabývala pouze přibližně 3 GPa. To je pravděpodobně důsledkem přípravy vrstvy pomocí PVD magnetronového naprašování. V literatuře bylo pozorováno, že tímto procesem mohou vznikat různé struktury s různými mechanickými vlastnostmi v důsledku jiných parametrů nanášení 12,13. Indentace s maximálním zatížením 3 mn vedla k hloubkám vtisku přibližně 130 nm (obr. 3b) a sloužila tak k charakterizaci multivrstvy jako celku. Vzorky po zkouškách urychleného stárnutí měly vyšší tvrdost a Youngův modul v porovnání s nestárnutými vzorky (tab. II). Pravděpodobným důvodem je uvolnění vnitřních tahových pnutí v molybdenové IRR vrstvě způsobené dlouhodobým vystavením vysokým teplotám 14. Zároveň to také naznačuje, že vrchní vrstvy (AR, AB) poskytují dostatečnou ochranu spodnějším vrstvám proti vysokoteplotní oxidaci, která by mohla způsobovat zhoršení mechanických a tím i optických vlastností. Vrypové zkoušky Vrypové zkoušky s postupně vzrůstajícím normálovým zatížením byly provedeny s cílem porovnat kohezní Obr. 4. Typický vryp vytvořený v nestárnutém vzorku: záznam měřených veličin, Panorama obraz celého vrypu a detaily porušení odpovídající jednotlivým kritickým zatížením Tabulka II Tvrdost (H IT ) a Youngův modul (E IT ) vzorků před a po testech urychleného stárnutí pro maximální zatížení 0,02 mn a 3 mn Vzorek 0,02 mn 3 mn H IT [MPa] E IT [GPa] H IT [MPa] E IT [GPa] Nestárnuté 3017,7 ± 497,8 70,4 ± 13,1 9590,5 ± 1081,8 177,0 ± 14,3 Stárnuté 2531,7 ± 278,0 57,6 ± 11,1 12462,9 ± 608,1 190,2 ± 10,3 727

Tabulka III Kritická zatížení vzorků před a po testech urychleného stárnutí Vzorek L c1 [mn] L c2 [mn] L c3 [mn] Nestárnuté 94,4 ± 17,4 177,1 ± 49,2 331,7 ± 36,8 Stárnuté 136,3 ± 22,8 236,2 ± 13,2 376,7 ± 24,2 a adhezní vlastnosti multivrstvy před a po urychlených testech stárnutí 15,16. Díky unikátní Panorama technologii je možné jednotlivé vrypy studovat i zpětně po provedení testů, a tak mohou být přesně určena kritická zatížení pro jednotlivé stejné typy porušení vrstvy. Na studovaných vzorcích byly pozorovány tři typy porušení odpovídající kritickým zatížením (obr. 4): L c1 : první trhliny vycházející z hrany vrypu, L c2 : částečná delaminace (částečné odkrytí substrátu), L c3 : celková delaminace (odkrytí substrátu v celé šířce vrypu). Oba typy porušení kohezní trhliny (L c1 ) i ztráta adheze vrstvy (L c2 a L c3 ) jsou důležité pro funkci celého systému. Kohezní trhliny vytvářejí přednostní oblasti, ve kterých mohou probíhat degradační procesy jako např. koroze a jejich vznik je tedy kritický pro životnost systému. Delaminace vrstvy způsobuje kompletní ztrátu funkčnosti a optických vlastností systému a během provozu by k ní nemělo docházet. Výsledky vrypových zkoušek nestárnutých a stárnutých vzorků jsou porovnány v tab. III. Stárnutím došlo překvapivě ke zvýšení kritických zatížení potřebných k porušení vrstev. Relativně největší nárůst byl pozorován pro kritická zatížení L c1 a L c2. U zatížení L c3 byl nárůst méně výrazný. Tato změna naznačuje zlepšení soudržnosti vrstev, které je následkem působení vysoké teploty během urychlených testů stárnutí. Použité podmínky stárnutí tak pravděpodobně nejsou dostatečně náročné, aby negativně ovlivnily soudržnost jednotlivých vrstev systému i multivrstvy a substrátu jako celku. Závěr V této práci byly studovány mechanické vlastnosti a soudržnost typické multivrstvy používané v CSP elektrárnách (technologie PTSC) založených na konverzi sluneční tepelné energie na elektrickou. Cílem práce bylo vyvinout metodiku měření mechanických vlastností a přilnavosti a zároveň posoudit vliv provozních podmínek simulovaných testy urychleného stárnutí probíhajících při teplotě 450 C na životnost systému. I přes velmi nízké tloušťky vrstev se podařilo určit jejich tvrdost, Youngův modul, kohezní a adhezní vlastnosti. Hlavní výsledky indentačních a vrypových zkoušek mohou být shrnuty takto: tvrdost a Youngův modul dvou vrchních vrstev se po stárnutí mírně snížily, tvrdost a Youngův modul multivrstvy jako celku se po stárnutí mírně zvýšily, vrchní vrstva představuje dobrou ochranu spodních částí multivrstvy proti vysokoteplotní oxidaci, kohezní a adhezní vlastnosti byly stárnutím zlepšeny. Tato práce byla finančně podpořena projektem NE- CSO Nanoscale Enhanced Characterization of Solar Selective Coatings programu FP7 (grant č. 310344). Autoři by dále rádi poděkovali za podporu ČVUT v Praze (grant č. SGS16/172/OHK4/2T/14) a za možnost využití přístrojů společnosti Anton Paar. LITERATURA 1. Kennedy C. E., Price H.: Proceedings of International Solar Energy Conference 2005, Orlando, 6-12 Aug. 2005, Solar Energy 2005, 749. 2. Kennedy C. E.: Technical Report NREL/TP-520-31267. National Renewable Energy Laboratory, Golden 2002. 3. Lanxner M., Elgat Z.: Optical Materials Technology for Energy Efficiency and Solar Energy Conversion IX, 1 Aug. 1990, Proceedings of SPIE (Granqvist C.- G., Lampert C. M., ed.), 1272, 240. 4. Kalogirou S. A.: Prog. Energy Combust. Sci. 30, 231 (2004). 5. http://energy.gov/eere/energybasics/articles/linearconcentrator-system-basics-concentrating-solarpower, staženo 15. 8. 2016. 6. Barriga J., Ruiz-de-Gopegui U., Goikoetxea J., Coto B., Cachafeiro H.: Energy Procedia 49, 30 (2014). 7. Selvakumar N., Barshilia H. C.: Sol. Energy Mater. Sol. Cells 98, 1 (2012). 8. Barlev D., Vidu R., Stroeve P.: Sol. Energy Mater. Sol. Cells 95, 2703 (2011). 9. ISO 14577-1: Metallic materials - Instrumented indentation test for hardness and materials parameters - Part 1: Test method (2015). 10. Fischer-Cripps A. C.: The IBIS Handbook of Nanoindentation. Fischer-Cripps Laboratories, Forestville 2009. 11. Swain M. V., Menčík J.: Thin Solid Films 253, 204 (1994). 12. Alam A. U., Howlader M. M. R., Deen M. J.: J. Micromech. Microeng. 24, (2014). 13. Bobzin K., Lugscheider E., Maes M., Pinero C.: Thin Solid Films 494, 255 (2006). 14. Hoffman D. W., McCune R. C., v knize: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamentals, Etching, Deposition and Surface Interactions (Rossnagel S. M., Westwood W. D., Cuomo J. J., ed.), 728

kap. 21. Noyes Publications, Park Ridge 1990. 15. Steinmann P. A., Tardy Y., Hintermann H. E.: Thin Solid Films 154, 333 (1987). 16. Bull S. J., Berasetegui E. G.: Tribol. Int. 39, 99 (2006). J. Čech a, J. Nohava b, M. Dubuisson b, M. Vilimovská c ( a Czech Technical University in Prague, Faculty of Nuclear Sciences and Physical Engineering, Czech Republic, b Anton Paar Tritec, Switzerland, c Anton Paar, Czech Republic): Nanomechanical Characterization of Multilayers for Concentrating Solar Power Systems Mechanical properties and adhesion of absorber multilayer used in concentrating solar power systems (parabolic trough solar collector technology) were investigated using indentation and scratch measurements. It was found that top antireflective layer serves as good protection against high temperature oxidation. Only slight effect of accelerated ageing tests on hardness and Young s modulus was observed. Cohesive and adhesive properties of the coating after accelerated ageing tests were even better than before them. 729