COMPARISON OF THIN FILMS SYSTEMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES
|
|
- Karolína Burešová
- před 6 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 POROVNÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ PŘIPRAVENÝCH RŮZNÝMI TECHNOLOGICKÝMI PROCESY COMPARISON OF THIN FILMS SYSTEMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES Ivo Štěpánek a, Matyáš Novák a, Miloslav Kesl b, Josef Fait b, Jaroslav Číp c, Daniel Boháč c a Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, Plzeň, ČR, ivo.stepanek@volny.cz b ŠKO-TOOLS Group, Tylova 57, Plzeň, ČR, fait@sko-tools.cz c CzechCoating, Dolní Bečva 20, Dolní Bečva, ČR, j.cip@czechcoating.cz Příspěvek se zabývá porovnáním vlastností a chování různých tenkovrstvých systémů připravených na základě různých technologických procesů deposice tenkých vrstev. Tenké vrstvy byly připraveny různými technologiemi PVD a metodou PA CVD. Základním materiálem jsou rychlořezné oceli a a připravené tenké vrstvy TiN a TiAlN popřípadě TiCN. Systémy tenká vrstva substrát jsou hodnoceny zejména pomocí indentačních zkoušek statických a vrypových za použití různých rozsahů normálových sil a různých druhů indentorů. V neposlední řadě je doplňující hodnocení provedeno pomocí rtg fluorescenční analýzy. The paper is devoted by comparison of properties and behaviour of thin film systems prepared by different technology process of deposition. Thin films was prepared by different technology PVD and by method PA CVD. Basic materials was two different HSS and thin films was TiN, TiAlN and TiCN. The systems thin film substrate are evaluated first of all by indentation tests statical and scratch. There was used different ranges of normal forces and different type of indentors. The systems was evaluated after indentation tests by x-ray fluorescent method. 1. ÚVOD Technologie deposice tenkých vrstev využívají různých fyzikálních a chemických procesů pro vytváření tenkých vrstev pro různé aplikace povrchových úprav. Pro aplikace, kde se očekává zejména vysoké mechanické namáhání deformací, třením, abrazí apod., jsou nejvíce využívány technologie PVD a CVD případně spíše např. PA CVD. Navíc technologie PVD se používají zejména s využitím principu odprašování a odpařování přesněji obloukového odpařování. Aplikace tenkých vrstev jsou poměrně rozšířené, ale konkrétní realizace je vázána na volbu správné technologie deposice a optimalizaci deposičních parametrů. Z pohledu hodnocení vlastností povrchových úprav je v případě aplikací s velkým mechanickým namáháním soustředěna pozornost na vyhodnocení zejména mechanických vlastností [1]. Mechanické vlastnosti pouze ve svých jednoduchých číselných vyjádření nemohou vyčíslit představu o odolnosti v praktických podmínkách a proto je zaměřována činnost na vyhodnocení mechanických vlastností a chování systémů tenká vrstva substrát v úzké souvislosti s podkladovým materiálem [2]. 2. EXPERIMENTÁLNÍ MATERIÁL Pro hodnocení vlastností a chování systémů tenká vrstva substrát byly připraveny vzorky z rychlořezné oceli a deponovány pomocí zařízení pracujících na principu nízkonapěťového reaktivního obloukového odpařování ve vakuu, magnetronového odprašování a nízkoteplotní PA CVD deposice. Připravené tenké vrstvy jsou TiN, TiAlN a TiCN. Tenké vrstvy byly připraveny nastavením optimálních deposičních podmínek při využití konkrétního technologického zařízení. Stav povrchu před deposičním procesem a tepelné zpracování základního materiálu byly ve všech případech srovnatelné.
2 3. VRYPOVÁ INDENTACE Vzorky systémů tenká vrstva základní materiál byly podrobeny hodnocení vrypovou indentační zkouškou na scratch testeru z důvodů vyhodnocení rozdílného chování povrchů systémů při vrypové indentační zkoušce, zachycení rozdílů v charakteru porušení, iniciace porušení a jeho šíření a odolnosti proti vrypové indentaci. Na všech vzorkách byly použity srovnatelné podmínky měření a to proměnná normálová síla s konstantní rychlostí rostoucí velikostí její hodnoty od 0 N do 80 N a s konstatní rychlostí pohybujícím se vzorkem pod indentorem v průběhu vrypové indentace. Použitý indentor byl standardní diamantový indentor Rockwelova typu s poloměrem zakřivení špičky indentoru 0.2 mm. V průběhu vrypové zkoušky byla zaznamenávána závislost signálu akustické emise. Po provedení vrypové indentace byla zdokumentována morfologie porušení vrypem pomocí světelného mikroskopu se zvýrazněním morfologie porušení pomocí polarizovaného světla a Nomarského diferenciálního kontrastu. Obr. 1: Soulep morfologií vrypů na systémech t1, t2, t3 a t4 s TiN, síla 40-80N. Na obr. 1 je vyobrazen soulep morfologií vrypů na povrchu vzorků systémů tenká vrstva základní materiál, kde základní materiál je ocel a a tenká vrstva TiN vytvořená různými technologickými procesy povrchových úprav. Vzorky s označením t1 (TiN obloukové odpařování 1), t2 (TiN obloukové odpařování 1), t3 (TiN obloukové odpařování 2) a t4 (TiN odprašování). Při malých normálových silách je patrno drobné porušení na dně vrypů na vzorkách t1, t2 a t3. Na vzorku t4 je drobné porušení uvnitř vrypu dáno původní morfologií povrchu. Nejdříve se objevuje porušení na vzorku t4 na dně vrypu. Dále se objevuje porušení na vzorku t1, které je náhodného charakteru, neboť expanze porušení nepokračuje. Na rozdíl od ostatních vzorků se na t4 méně projevuje plastická deformace povrchu vrypem v okolí vrypu vytlačením povrchových vrstev na okraj vrypu. Tato deformace u ostatních vzorků je podobná. Vzorky t1, t2 a t3 ukazují postupné a pozvolné odebírání vrstvy na dně vrypu. Nejodolnější se jeví systém t3. Menší kohezivní praskání vzniká nejdříve na systému t1 ovšem drobnějšího charakteru než na systému t2. Větší expanze porušení je na vzorku t1 než na t2. Kohezivní porušení vzniká podobně i na vzorku t3 při vyšších normálových silách, ale menšího rozsahu. Opět i kohezivní praskání na okraji vrypu vzniká nejdříve na vzorku t4.
3 Obr. 2: Průběh signálu akustické emise na systémech s TiN vrstvami Na obr. 2 je souhrn průběhů signálu akustické emise v závislosti na velikosti působící normálové síly. Velmi drobný zákmit akustické emise je zprvu zachycen na vzorku t1, výraznější pak na vzorku t4. První pravidelné zákmity na průběhu akustické emise jsou patrny na vzorku t2, následně na vzorku t1 a pak na vzorku t4. Nejpozdější růst signálu akustické emise je patrný na vzorku t3. Na vzorku t3 je patrný nejvýraznější růst signálu akustické emise od prvních projevů křehkého praskání povrchových vrstev. Růst akustické emise na vzorkách t1 a t2 je podobný. V souladu s morfologií porušení i zde vychází nejodolnější systém t3. Obr. 3: Soulep morfologií vrypů na systémech t1, t2, t3 a t4 s TiAlN, síla 40-80N. Na obr. 3 je soulep všech morfologií vrypů na systémech tenká vrstva TiAlN základní materiál z rychlořezné oceli. Podobně jako v předchozím případě je t1 TiAlN vrstva obloukové odpařování 1, t2 TiAlN vrstva obloukové odpařování 1, t3 TiAlN vrstva obloukové odpařování 2 a t4 TiAlN vrstva odprašování. Již na první pohled je patrno, že odolnost proti vrypové indentaci je menší a dochází více ke křehkému praskání povrchových vrstev proti systémů s TiN. Vzorky t1 a t2 se chovají podobě, dochází k drobným porušením na okraji i uvnitř vrypu. S růstem normálové síly se na okraji vrypu vytváří kohezivní poruchy jdoucí pravděpodobně až do základního materiálu. Uvnitř vrypu se v místech kohezivních prasklin ukazuje výrazné odhalování základního materiálu. Vzorek t3 ukazuje drobná porušení dříve na okraji vrypu než vzorky t1 a t2. Uvnitř vrypu dochází dříve k trhání dna vlivem nahromadění pnutí indentorem ještě než začnou vznikat kohezivní porušení na okraji vrypu. Porušení na okraji vrypu proniká z vnitřku vrypu a projevuje se dříve než na vzorkách t1 a t2 ač následně ustupuje. Na okraji vrypu je patrna
4 s rostoucí normálovou silou výraznější plastická deformace okraje než na vzorkách t1 a t2, která způsobuje praskání na okraji vrypu. Poslední vzorek t4 má výrazně odlišné chování, vzniká kohezivní porušení na okraji vzorku ale zasahující dovnitř vrypu při nejnižších normálových silách v porovnání s ostatními. S rostoucí normálovou silou se porušení zmenšuje vlivem většího proniknutí indentoru do hloubky. Přesto i porušení na konci vrypu je v porovnání s ostatními vzorky největší a ukazuje na výrazně větší křehkost povrchové vrstvy. Navíc je patrno výrazné trhání dna vrypu v blízkosti maximální normálové síly. Obr. 4: Průběh signálu akustické emise na systémech s TiAlN vrstvami Projevy akustické emise ze souhrnu (obr. 4) všech průběhů na vzorkách s TiAlN tenkou vrstvou ukazují soulad s průběhem porušení ve vrypu ze studia morfologie. Nejdříve vzniká akustická emise na vzorku t4. Na tomto průběhu jsou patrny časté zákmity související se vznikem křehkého porušení na okraji vrypu. Druhý v pořadí je vzorek t3. Zákmity nejsou již tak časté ač projev akustické emise je též výrazný a ukazuje na křehká porušení povrchových vrstev. Nejpozději vzniká signál akustické emise na vzorku t2 a je nejméně výrazný, což souvisí s menším porušením než na vzorku t1. Obr. 5: Soulep morfologií vrypů na systémech s vrstvami PA CVD, síla 40-80N. Na souhrnu (obr. 5) vrypů je provedeno srovnání TiN a TiCN vrstev připravených metodou PA CVD (nízkoteplotního CVD) na dvou základních materiálech. Postupně jsou uvedeny systémy TiN a TiN a TiCN a TiCN 19852, kde tenké vrstvy byly připraveny pomocí PA CVD. Již na první pohled je patrno, že jak TiN tak TiCN připravené PA CVD technologií mají mnohem výraznější porušení než systémy s TiN a TiAlN vrstvami uvedenými výše. U všech systémů dochází k porušení již při malých normálových silách.
5 Výrazně jiný charakter porušení je na systémech s TiN vrstvami, které se jeví odolnější proti vrypové indentaci, Charakter porušení na vzorku 1 a 2 je srovnatelný. Na vzorku 2 vzniká o něco později ale porušení je častější. S rostoucí normálovou silou je patrný na vzorkách 1 a 2 růst plastické deformace na okraji vrypu. Na vzorku 2 s růstem plastické deformace na okraji vrypu roste kohezivní praskání na okraji vrypu. Na vzorku 2 je poněkud menší šířka vrypu, což ukazuje na větší zpevnění povrchových vrstev a proto je porušení na okraji vrypu více křehkého charakteru. Vzorky 3 a 4 s tenkou vrstvou TiCN ukazují větší porušení vznikající za podobných normálových sil jako na vzorku 2. Porušení je ovšem mnohem výraznější kohezivního charakteru s praskáním až do základního materiálu. Vzorek 4 ukazuje mnohem rychlejší rozrůstání porušení a porušení je mnohem častější v porovnání se vzorkem 3. S rostoucí normálovou silou blížící se maximální hodnotě se porušení nerozrůstá do větší vzdálenosti od vrypu ale naopak klesá vlivem větší hloubky proniknutí indentoru. I u maximální normálové síly je porušení na vzorku 4 výraznější a na obou systémech 3 a 4 je výraznější než na systémech 1 a 2. Obr. 6: Průběh signálu akustické emise na systémech s PA CVD vrstvami Souhrn průběhů (obr. 6) závislosti akustické emise na velikosti působící normálové síly odráží morfologii porušení a je v souladu se vznikem a rozvojem porušení, které bylo popsáno kolem morfologie porušení. Vznik prvních porušení je při podobných hodnotách normálového zatížení. Růst signálu akustické emise na vzorkách 1 a 2 je pozvolnější proti vzorkům 3 a 4. Do nižších hodnot stoupá akustická emise na vzorku 1 vzhledem k menšímu porušení proti vzorku 2. Vzorek 4 ukazuje rychlý růst a velké zákmity akustické emise vzhledem k velmi rychlému růstu porušení na okraji vrypu. Poněkud nižší porušení ukazuje vzorek 3. Zákmity jsou méně časté a růst do nižších hodnot intenzity akustické emise. 4. NANOINDENTACE Na výše uvedených sadách vzorků byla provedena měření pomocí nanoindentace. Měření byla provedena při různých hodnotách maximálního normálového zatížení a to 200 g, 25 g a 2 g. Cílem je zachytit probíhající změny v základním materiálu vlivem deposičního procesu, změny na rozhranní tenká vrstva základní materiál a vlastnosti a chování samotné tenké vrstvy nebo se přiblížit zachycení vlivu samotné tenké vrstvy. a) b) Obr. 7: Nanoindentační křivky s maximálním zatížením 200 g a 5 g na systémech s TiN
6 Na obr. 7a je souhrn indentačních křivek (průběh při zatěžování, v časové prodlevě v maximálním zatížení a při odlehčování) při použití maximálního zatížení 200 g na systémech s TiN vrstvou. Z průběhů je patrno, že systémy 1 a 2 mají chování podobné a je zde nejvíce zpevněn povrch celého systému tenká vrstva substrát. Nejnižší zpevnění, ovšem může to být dáno i jemným praskáním vlivem snížené adheze, je na systému 4. Poměr elastické a plastické deformace je podobný na všech systémech. Podobné průběhy jsou zachyceny při zatížení 25 g. Z průběhů indentačních křivek (obr. 7b) s maximálním zatížením 5 g je patrno, že nejvyšší nanotvrdost vykazuje systém 2, dále jsou srovnatelné systémy 1 a 3. Nejnižší nanotvrdost lze přisoudit systému 4. Podobnost systémů 1 a 3 až při tomto zatížení lze vysvětlit pravděpodobně rozdílnou tloušťkou a vlivem základního materiálu či rozhranní na měření při větším zatížení. S přibývajícím vlivem tenké vrstvy s poklesem velikosti maximálního zatížení je patrný rostoucí podíl elastické deformace proti plastické deformaci. a) b) Obr. 8: Nanoindentační křivky s maximálním zatížením 200 g a 25 g na systémech s TiAlN Druhá sada vzorků při měření s maximální normálovou silou 200 g (obr. 8a), tedy systémy s tenkými vrstvami TiAlN viz výše u vrypové indentace, ukazuje podobnost systémů 1, 2 a 3. Systém 4 vykazuje na začátku jistý propad prasknutím povrchových vrstev, následně ovšem ukazuje vyšší tvrdost povrchových vrstev, což může být následkem křehkého praskání při vrypové indentaci. Při měření indentačních křivek s maximálním zatížením 25 g (obr. 8b) jsou již rozdíly výraznější. Vzorky 1 a 3 se chovají opět podobně. Vzorek 2 proti nim ukazuje na vyšší tvrdost povrchových vrstev. Nejvyšší zpevnění povrchových vrstev opět ukazuje systém 4. Opět je zachycen růst elastické deformace proti plastické deformaci, nejvýrazněji na systému 4, což může být dáno i nižší přilnavostí. Obr. 9: Nanoindentační křivky s maximálním zatížením 5 g na systémech s TiAlN Indentační křivky (obr. 9) na systémech s tenkými vrstvami TiAlN s maximálním zatížením 5 g ukazují na podobnost systémů 1, 2 a 3 jak z hlediska nanotvrdosti tak z hlediska podílu elastické a plastické deformace, který je opět proti samotnému základnímu materiálu větší. Rozdílné chování ukazuje systém 4. Nanotvrdost se zde jeví menší než na ostatních systémech na rozdíl od měření při vyšších zatíženích, což je dáno vlivem povrchu a vlivem křehkosti povrchových vrstev.
7 5. RENTGENOVÁ FLUORESCENČNÍ ANALÝZA Výše uvedené sady vzorků byly podrobeny dále hodnocení pomocí rtg. fluorescenční analýzy, která v principu umožňuje hodnocení chemického složení materiálu ovšem s omezením bez lehkých prvků. Pro hodnocení chemického složení je potřeba přesné kalibrace specifickými kalibračními standardy. Tato metoda je uzpůsobena i na hodnocení tloušťky tenkých vrstev a jejich změn opět na základě přesné kalibrace. Určité informace lze ovšem získat i ze záznamu samotných spekter na materiálových systémech. Přístroj vzhledem k možnosti měření s velmi malými kolimátory má možnost provádět měření i ve velmi malých plochách. Díky tomu byla provedena měření profilu tloušťky tenkých vrstev na výše uvedených systémech. a) b) Obr. 10: Profil tloušťky přes vzorky s TiN a TiAlN Na obr. 10a grafu je zachycen souhrn profilů tloušťky tenkých vrstev TiN přes celý vzorek od jednoho okraje přes střed vzorku ke druhému okraji. Z výsledků měření je patrno, že u všech vzorků kromě vzorku t4 (systém TiN odprašování) je nárůst tloušťky na okrajích vzorků. Jedině systém t4 má homogenní tloušťku přes celý vzorek od okraje přes střed až ke druhému okraji. Na souhrnu grafů na obr. 10b s tenkými vrstvami TiAlN z různých technologií je opět patrno, že tloušťka na okrajích vzorků je větší než ve středu vzorku. Na okrajích tlouštˇka prudce klesá a pak se ustaluje v případě vzorků 1 a 2 s tenkými vrstvami TiAlN. Systém t4 má opět nejhomogennější tloušťku přes celý vzorek. K tomuto průběhu se v případě tenké vrstvy TiAlN přibližuje systém t3 ač minimum na středu vzorku je lehce patrné. Na okrajích je patrný určitý růst ovšem ne zcela jednoznačný a ne tak výrazný jako v případě systému s tenkou vrstvou TiN. Obr. 11: Profil tloušťky přes vzorky s PA CVD vrstvami Souhrn grafů na obr. 11 ukazuje srovnání vzorků s tenkými vrstvami TiN a TiCN na substrátech a s označením podobně jako u vrypové indentace, kde byly tenké vrstvy připraveny technologií PA CVD. Zde je celkové průběh tloušťky tenkých vrstev na
8 všech systémech nehomogenní po celém průměru vzorku od jednoho okraje přes střed až ke druhému okraji. Více výrazné průběhy jsou na systémech s tenkými vrstvami TiCN. 6. ZÁVĚR Nejprůkaznější a nejkomplexnější hodnocení je pomocí vrypové indentace. Z vrypové indentace lze usuzovat na základě komplexního hodnocení morfologie porušení vrypovou zkouškou a průběhu závislosti akustické emise na normálové síle. Z průběhu vzniku a vývoje porušení je patrno, že nejvyšší odolnost systému TiN základní materiál vykazuje systém s tenkou vrstvou připravenou obloukovým odpařováním. Podobný výsledek dostáváme z průběhu akustické emise. Nejnižší odolnost TiN vrstev je na systémech s tenkou vrstvou připravenou PA CVD. Podobné výsledky z vrypové indentace ukazují systémy s TiAlN vrstvami. Již na první pohled je zřejmé, že systémy s tenkými vrstvami TiAlN mají menší odolnost proti vrypové indentaci než s TiN. V tomto případě vychází nejvyšších odolnost systémů s tenkými vrstvami připravených obloukovým odpařováním. Tenké vrstvy TiAlN nebyly připravené PA CVD technologií a proto nejsou zde uvedeny. Další hodnocené systémy byly systémy s tenkými vrstvami TiCN připravené PA CVD technologií. Tyto systémy jsou nejméně odolné. Shrnutí z nanoindentačních měření je následující. V případě tenkých vrstev TiN je největší zpevnění povrchu na systémech připravených obloukovým odpařováním. Nejnižší zpevnění je na systému připraveném odprašováním. Profily tloušťky tenkých vrstev přes celý vzorek ukazují nejvyšší homogenitu při odprašování a nejnižší pro PA CVD. Výsledky vychází na základě systému vrstva substrát, které byly k dispozici. Tento příspěvek byl realizován za finanční podpory z prostředků státního rozpočtu prostřednictvím MPO, č. projektu FT-TA4/082. Literatura 1. ŠTĚPÁNEK, I., MACHÁČKOVÁ, K.: Complex evaluation of mechanical properties and behaviour of high and low resistivity systems thin film substrate by indentation tests. Sborník Matrib 2006, Chorvatsko 2006, ISBN ŠTĚPÁNEK, I., Conversion of analytic methods from microindentation evaluation to the nanoindentation evaluation of special materials, sborník mezinárodní konference Matrib 2003, str , Chorvatsko Vela Luka 2003, ISBN
COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES
POROVNÁNÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI Z RŮZNÝCH TECHNOLOGICKÝCH PROCESŮ COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES Ivo Štěpánek
VíceCOMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
POROVNÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT S VELICE ROZDÍLNOU ODOLNOSTÍ PŘI INDENTAČNÍCH ZKOUŠKÁCH COMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS Matyáš Novák,
VíceVLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
VLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT THE INFLUENCES OF SELECTED PARAMETERS OF TECHNOLOGICAL PROCESS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEMS
VíceSTUDY OF SELECTED DEPOSITION PARAMETERS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF THIN FILM SYSTEMS
STUDIUM VLIVU VYBRANÝCH DEPOSIČNÍCH PARAMETRŮ NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ STUDY OF SELECTED DEPOSITION PARAMETERS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF THIN FILM SYSTEMS Ivo Štěpánek a, Matyáš
VíceVLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ
VLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ INFLUENCE OF PREPARING SURFACE AND INHOMOGENEITY OF THICKNESS FILMS ON BEHAVIOUR THIN FILMS SYSTEMS Abstrakt Ivo ŠTĚPÁNEK
VíceZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
ZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK THE BASIC EVALUATION OF PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILMS GLASS BY INDENTATION TESTS Ivo Štěpánek,
VíceVLIV DRUHU TECHNOLOGIE IONTOVÉHO BOMBARDU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
VLIV DRUHU TECHNOLOGIE IONTOVÉHO BOMBARDU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT INFLUENCE OF KIND OF TECHNOLOGY OF IONT BOMBARDMENT ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM - SUBSTRATE
VíceCOMPARISON OF THIN FILM SYSTEMS WITH VERY DIFFERENT RESISTIVITY DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
POROVNÁNÍ VELMI ROZDÍLNĚ ODOLNÝCH SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK COMPARISON OF THIN FILM SYSTEMS WITH VERY DIFFERENT RESISTIVITY DURING INDENTATION TESTS Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
VíceEVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF MATERIAL SYSTEMS
STUDIUM PORUŠENÍ A MODIFIKACE SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA ZÁKLADNÍ MATERIÁL DO HLOUBKY MATERIÁLOVÝCH SYSTÉMŮ Abstrakt EVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF
VíceSTUDIUM MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ ROZDÍLNÝCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
STUDIUM MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ ROZDÍLNÝCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK EVALUATION OF MECHANICAL BEHAVIOUR OF DIFFERENT SYSTEMS THIN FILM GLASS BY INDENTATION TESTS Ivo Štěpánek,
VícePOROVNÁNÍ CHOVÁNÍ PŘI INDENTAČNÍM PROCESU NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PACVD
POROVNÁNÍ CHOVÁNÍ PŘI INDENTAČNÍM PROCESU NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PACVD COMPARISON OF BEHAVIOUR DURING INDENTATION STRESS OF SYSTEMS WITH PACVD THIN FILMS Ivo Štěpánek a, Kateřina Macháčková
VíceSTUDIUM PORUŠENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI ZE STATICKÉ A VRYPOVÉ INDENTACE DO HLOUBKY SYSTÉMU
STUDIUM PORUŠENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI ZE STATICKÉ A VRYPOVÉ INDENTACE DO HLOUBKY SYSTÉMU EVALUATION OF FAILURES OF SYSTEM WITH THIN FILMS FROM STATIC AND SCRATCH INDENTATION WITH DEPTH SENSITIVITY
VíceCHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT MATERIALS AND CORRELATION WITH MORPHOLOGY OF FAILURES
ZMĚNY V PRŮBĚHU SIGNÁLU AKUSTICKÉ EMISE PŘI VRYPOVÉ INDENTACI NA RŮZNÝCH MATERIÁLECH A KORELACE S MORFOLOGIÍ PORUŠENÍ Abstrakt CHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT
VíceSTUDIUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ V OKOLÍ MAKROVTISKŮ NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI
STUDIUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ V OKOLÍ MAKROVTISKŮ NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI EVALUATION OF MECHANICAL PROPERTIES AND BEHAVIOUR AROUND MACROINDENTS ON SYSTEMS WITH THIN FILMS Denisa Netušilová,
VíceEVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE
STUDIUM VLIVU PŘÍPRAVY POVRCHU SUBSTRÁTU NA CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT EVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE Zdeněk Beneš, Ivo
VíceHODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH. Klára Jacková, Ivo Štepánek
HODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH Klára Jacková, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt
VíceHODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE
HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE EVALUATION OF DEPTH PROFILE OF MECHANICAL BEHAVIOUR OF POLYMER MATERIALS BY NANOINDENTATION Marek Tengler,
VíceHODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠENÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI
HODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠENÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI EVALUATION OF EXPANDING OF FAILURES BY SCRATCH INDENTATION TEST ON SYSTEMS THIN FILM - SUBSTRATE Kateřina Macháčková,
VíceEVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL
DETAILNÍ STUDIUM SPECIFICKÝCH PORUŠENÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT PŘI VRYPOVÉ INDENTACI EVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL Kateřina Macháčková,
VíceHODNOCENÍ PŘÍČNÝCH VÝBRUSŮ VTISKU PO CYKLICKÝCH VNIKACÍCH ZKOUŠKÁCH PŘI MAKROZATÍŽENÍ NA SYSTÉMECH TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
HODNOCENÍ PŘÍČNÝCH VÝBRUSŮ VTISKU PO CYKLICKÝCH VNIKACÍCH ZKOUŠKÁCH PŘI MAKROZATÍŽENÍ NA SYSTÉMECH TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT EVALUATION OF CROSS SECTION OF INDENTS AFTER CYCLIC INDENTATION TESTS WITH MACRO
VíceSTUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
STUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK STUDY OF CHANGING OF MECHANICAL PROPERTIES OF POLYMER MATERIALS
Více, Hradec nad Moravicí
ZMĚNY PORUŠOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT CYKLICKOU VRYPOVOU PŘI POUŽITÍ RŮZNÝCH DRUHŮ INDENTORŮ CHANGING OF FAILURE OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE BY CYCLIC SCRATCH TEST WITH DIFFERENT KIND OF INDENTORS
Více, Hradec nad Moravicí
POROVNÁNÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ VYBRANÝCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT Z KLASICKÉHO CVD, NÍZKOTEPLOTNÍHO PACVD A PVD COMPARISON OF MECHANICAL PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SELECTED SYSTEMS THIN
VíceZMENY POVRCHOVÝCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI PO KOMBINOVANÉM NAMÁHÁNÍ. Roman Reindl, Ivo Štepánek
ZMENY POVRCHOVÝCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI PO KOMBINOVANÉM NAMÁHÁNÍ Roman Reindl, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz
VíceCYKLICKÁ INDENTACNÍ MERENÍ SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA - SUBSTRÁT. Šárka Jelínková, Ivo Štepánek, Radek Nemec
CYKLICKÁ INDENTACNÍ MERENÍ SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA - SUBSTRÁT Šárka Jelínková, Ivo Štepánek, Radek Nemec Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt Príspevek
VíceHodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření
Hodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření Analysis of Surface Properties of Systems with Thin Films after Electrochemical Measurement Klára Jačková, Ivo
VíceKORELACE ZMĚN SIGNÁLU AKUSTICKÉ EMISE A ZMĚN PORUŠOVÁNÍ PŘI VRYPOVÉ ZKOUŠCE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI. Petr Jirík, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý
KORELACE ZMĚN SIGNÁLU AKUSTICKÉ EMISE A ZMĚN PORUŠOVÁNÍ PŘI VRYPOVÉ ZKOUŠCE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI. Petr Jirík, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14
VíceSTUDIUM HLOUBKOVÝCH PROFILU PORUŠENÍ PO INDENTACNÍCH ZKOUŠKÁCH Z PRÍŠNÝCH VÝBRUSU. Monika Kavinová, Ivo Štepánek, Martin Hrdý
STUDIUM HLOUBKOVÝCH PROFILU PORUŠENÍ PO INDENTACNÍCH ZKOUŠKÁCH Z PRÍŠNÝCH VÝBRUSU Monika Kavinová, Ivo Štepánek, Martin Hrdý Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz
VíceCYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý
CYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR,
VíceKroková hodnocení kombinovaného namáhání systémů s tenkými vrstvami. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Radek Poskočil, Jiří Hána
Kroková hodnocení kombinovaného namáhání systémů s tenkými vrstvami Step by Step Analysis of Combination Stress of Systems with Thin Films Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Radek Poskočil, Jiří Hána Západočeská
Více, Hradec nad Moravicí
KOMPLEXNÍ METODIKA ANALÝZY CHOVÁNÍ RŮZNĚ ODOLNÝCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT VRYPOVÝM TESTEM S POVRCHOVÝM I HLOUBKOVÝM ROZLIŠENÍM BASIC EVALUATION AND MORE PRECISSION EVALUATION OF MECHANICAL PROPERTIES
VíceCYKLICKÁ MAKROINDENTAČNÍ HODNOCENÍ NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT A STUDIUM ZMÉN V OVLIVNĚNÝCH OBLASTECH
CYKLICKÁ MAKROINDENTAČNÍ HODNOCENÍ NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT A STUDIUM ZMÉN V OVLIVNĚNÝCH OBLASTECH CYCLIC MACROINDENTATION TESTS FOR EVALUATION STRESS OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE AND STUDY
VíceACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION
AKUSTICKÁ EMISE VYUŽÍVANÁ PŘI HODNOCENÍ PORUŠENÍ Z VRYPOVÉ INDENTACE ACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION Petr Jiřík, Ivo Štěpánek Západočeská univerzita v
VíceHODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A DEGRADAČNÍHO PROCESU PROSTUPUJÍCÍHO OD POVRCHU POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A DEGRADAČNÍHO PROCESU PROSTUPUJÍCÍHO OD POVRCHU POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK EVALUATION OF DEPTH PROFILE OF MECHANICAL PROPERTIES AND DEGRADATION
VíceHODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠOVÁNÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU Z POVRCHU I V PŘÍČNÉM VÝBRUSU SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
HODNOCENÍ ŠÍŘENÍ PORUŠOVÁNÍ CYKLICKOU VRYPOVOU ZKOUŠKOU Z POVRCHU I V PŘÍČNÉM VÝBRUSU SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT EVALUATION OF EXPANDING OF FAILURE BY CYCLIC SCRATCH TEST FROM SURFACE AND FROM CROSS
VíceHODNOCENÍ STÁRNUTÍ POVRCHU MATERIÁLU POMOCÍ INDENTACNÍCH MERENÍ
HODNOCENÍ STÁRNUTÍ POVRCHU MATERIÁLU POMOCÍ INDENTACNÍCH MERENÍ Marek Tengler, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt Príspevek se
VíceMAKROINDENTAČNÍ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ PORUŠOVÁNÍ POVRCHU SUBSTRÁTU A SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PŘI TOMTO ZATÍŽENÍ.
MAKROINDENTAČNÍ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ PORUŠOVÁNÍ POVRCHU SUBSTRÁTU A SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI PŘI TOMTO ZATÍŽENÍ. Martina Sosnová, Ivo Štěpánek, Radek Němec Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní
VícePOROVNÁNÍ VLIVU DEPOSICE TENKÝCH VRSTEV A NAVAŘOVÁNÍ NA DEGRADACI ZÁKLADNÍHO MATERIÁLU
POROVNÁNÍ VLIVU DEPOSICE TENKÝCH VRSTEV A NAVAŘOVÁNÍ NA DEGRADACI ZÁKLADNÍHO MATERIÁLU COMPARISON OF INFLUENCES OF DEPOSITION THIN FILMS AND WELDING ON DEGRADATION OF BASIC MATERIAL Monika Hadáčková a
VíceCHANGING OF MECHANICAL PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SURFACES OF BIOCOMPATIBLE SYSTEMS THIN FILM - SUBSTRATE AFTER ELECTROCHEMICAL CORROSION
ZMĚNY MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ POVRCHŮ BIOKOMPATIBILNÍCH SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT PO ELEKTROCHEMICKÉM PŮSOBENÍ CHANGING OF MECHANICAL PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SURFACES OF BIOCOMPATIBLE
VíceVLIV MECHANICKÉHO PORUŠENÍ NA CHOVÁNÍ POVRCHU S TIN VRSTVOU PŘI TEPELNÉM A KOROZNÍM NAMÁHÁNÍ. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý, Klára Jačková
VLIV MECHANICKÉHO PORUŠENÍ NA CHOVÁNÍ POVRCHU S TIN VRSTVOU PŘI TEPELNÉM A KOROZNÍM NAMÁHÁNÍ Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý, Klára Jačková Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14
VíceHodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů
Hodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů Analysis of Corrosion Resistance of Systems Thin Films Substrate in Compressors Environment Jiří Hána, Ivo Štěpánek, Radek
VíceKORELACE ZMĚN POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ ELEKTROCHEMICKÝM ZATÍŽENÍM A KOROZNÍM PŮSOBENÍM V REÁLNÉM ČASE.
KORELACE ZMĚN POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ ELEKTROCHEMICKÝM ZATÍŽENÍM A KOROZNÍM PŮSOBENÍM V REÁLNÉM ČASE. Abstrakt Klára Jačková, Ivo Štěpánek Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR,
VíceHodnocení změn mechanických vlastností v mikrolokalitách po deposičního procesu
Hodnocení změn mechanických vlastností v mikrolokalitách po deposičního procesu Analysis of Changing of Mechanical Properties in Microlocation after Deposition Process Jiří Hána, Radek Němec, Ivo Štěpánek
VíceKorelace opotřebení systémů s tenkými vrstvami pomocí scratch testeru a na třecích strojích. Martin Hrdý, Ivo Štěpánek, Roman Reindl
Korelace opotřebení systémů s tenkými vrstvami pomocí scratch testeru a na třecích strojích Correlation Wear Resistant of Systems with Thin Films by Scratch Tester and Friction Device Martin Hrdý, Ivo
VíceUniverzální využití indentačních metod pro hodnocení mechanických vlastností a chování velmi rozdílných systémů materiálů
Univerzální využití indentačních metod pro hodnocení mechanických vlastností a chování velmi rozdílných systémů materiálů Universal Application of Indentation Method for Analysis Mechanical Properties
VíceCHARAKTERIZACE PORUŠENÍ PRI KOMPLEXNÍM HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI. Ivo Štepánek
CHARAKTERIZACE PORUŠENÍ PRI KOMPLEXNÍM HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMU S TENKÝMI VRSTVAMI Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt
VíceMERENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ V MIKROLOKALITÁCH NANOINDENTACÍ. Radek Nemec, Ivo Štepánek
MERENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ V MIKROLOKALITÁCH NANOINDENTACÍ Radek Nemec, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt Príspevek se zabývá
VíceVÝROBA ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ S OTĚRUVZDORNÝMI TENKÝMI VRSTVAMI
VÝROBA ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ S OTĚRUVZDORNÝMI TENKÝMI VRSTVAMI Ing. Josef Fajt, CSc. PILSEN TOOLS s.r.o., Tylova 57, 316 00 Plzeň, tel.: +420 378 134 005, e-mail: fajt@pilsentools.cz ANNOTATION The paper is
VíceVRYPOVÁ ZKOUŠKA Z POHLEDU HODNOCENÍ POMOCÍ OBRAZOVÉ ANALÝZY. Martin Hrdý, Ivo Štěpánek, Roman Reindl, Markéta Podlahová
VRYPOVÁ ZKOUŠKA Z POHLEDU HODNOCENÍ POMOCÍ OBRAZOVÉ ANALÝZY. Martin Hrdý, Ivo Štěpánek, Roman Reindl, Markéta Podlahová Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR, ivo.stepanek@volny.cz
VíceZÁKLADNÍ HODNOCENÍ A ZPŘESNĚNÁ HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT INDENTAČNÍMI ZKOUŠKAMI
ZÁKLADNÍ HODNOCENÍ A ZPŘESNĚNÁ HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT INDENTAČNÍMI ZKOUŠKAMI BASIC EVALUATION AND MORE PRECISSION EVALUATION OF MECHANICAL PROPERTIES
VíceVLIV TENKÉ VRSTVY TIN NA CHOVÁNÍ POVRCHU PŘI KONTAKTNÍ ÚNAVĚ. Dana Lisová, Roman Reindl, Ivo Štěpánek
VLIV TENKÉ VRSTVY TIN NA CHOVÁNÍ POVRCHU PŘI KONTAKTNÍ ÚNAVĚ Dana Lisová, Roman Reindl, Ivo Štěpánek Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt Při
VíceVLIV SVAROVÉHO SPOJE NA VLASTNOSTI NANÁŠENÝCH TENKÝCH VRSTEV TIN INFLUENCE OF WELDING ON PROPERTIES DEPOSITED THIN FILMS TIN
VLIV SVAROVÉHO SPOJE NA VLASTNOSTI NANÁŠENÝCH TENKÝCH VRSTEV TIN INFLUENCE OF WELDING ON PROPERTIES DEPOSITED THIN FILMS TIN Lenka Pourová a Radek Němec b Ivo Štěpánek c a) Západočeská univerzita v Plzni,
VíceHODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT NA VYSOKOTEPLOTNÍM TRIBOMETRU
HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT NA VYSOKOTEPLOTNÍM TRIBOMETRU ANALYSIS OF COMBINATION STRESS OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE BY HIGH TEMPERATURE TRIBOMETER Roman Reindl a
VíceHODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ
HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ ANALYSIS OF MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FILMS SYSTEMS FROM DEPENDENCE OF KIND OF INFORMATION AND
VíceKORELACE LABORATORNÍHO HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI S PRAXÍ.
KORELACE LABORATORNÍHO HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI S PRAXÍ. CORRELATION OF LABORATORY ANALYSIS OF COMBINATION STRESS OF SYSTEMS WITH THIN FIMS AND PRACTICE CONDITIONS Ivo
VíceVLIV KOROZNÍHO PORUŠENÍ NA PRUBEH DEPOSICNÍHO PROCESU A VLIV NA VÝSLEDNÉ VLASTNOSTI. Petr Fialka, Ivo Štepánek, Klára Jacková, Jirí Hána
VLIV KOROZNÍHO PORUŠENÍ NA PRUBEH DEPOSICNÍHO PROCESU A VLIV NA VÝSLEDNÉ VLASTNOSTI Petr Fialka, Ivo Štepánek, Klára Jacková, Jirí Hána Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR,
VíceVLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD
23. 25.11.2010, Jihlava, Česká republika VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD Ing.Petr Beneš Ph.D. Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž Katedra
VícePractical applications of new method of complex properties and behaviour of systems thin film substrate
Practical applications of new method of complex properties and behaviour of systems thin film substrate Praktické aplikace nových metod komplexního hodnocení vlastností a chování systémů tenká vrstva -
VíceVLASTNOSTI KOVOVÝCH VRSTEV DEPONOVANÝCH MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM NA SKLENENÝ SUBSTRÁT
VLASTNOSTI KOVOVÝCH VRSTEV DEPONOVANÝCH MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM NA SKLENENÝ SUBSTRÁT PROPERTIES OF METAL LAYERS DEPOSITED BY MAGNETRON SPUTTERING ON GLASS SUBSTRATE David Petrýdes a Ivo Štepánek b a
VíceTEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU
TEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU Beneš, P. 1 Sosnová, M. 1 Kříž, A. 1 Vrstvy a Povlaky 2007 Solaň Martan, M. 2 Chmelíčková, H. 3 1- Katedra materiálu a strojírenské metalurgie-
VíceZkoušení mechanických vlastností zkoušky tvrdosti. Metody charakterizace nanomateriálů 1
Zkoušení mechanických vlastností zkoušky tvrdosti Metody charakterizace nanomateriálů 1 Tvrdost definujeme jako odpor, který klade materiál proti vnikání cizího tělesa, na této definici je založena většina
VíceHODNOCENÍ TENKÝCH VRSTEV - NITRIDICKÁ VRSTVA SUBSTRÁTOVÝCH SYSTÉMŮ EVALUATION OF THIN LAYER SUBSTRATE SYSTEM. Milan Vnouček a
HODNOCENÍ TENKÝCH VRSTEV - NITRIDICKÁ VRSTVA SUBSTRÁTOVÝCH SYSTÉMŮ EVALUATION OF THIN LAYER SUBSTRATE SYSTEM Milan Vnouček a a ZČU, Univerzitní 14, 306 14 Plzeň, ČR, vnoucek@kmm.zcu.cz Abstrakt Tento příspěvek
VíceHODNOCENÍ OPOTŘEBENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI POMOCÍ VRYPOVÉ ZKOUŠKY S OCELOVOU KULIČKOU.
HODNOCENÍ OPOTŘEBENÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI POMOCÍ VRYPOVÉ ZKOUŠKY S OCELOVOU KULIČKOU. ANALYSIS OF WEAR RESISTANCE OF SYSTEMS WITH THIN FILMS BY SCRATCH TESTING WITH STEEL BALL. Radek Poskočil Petr
VíceNÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?
NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Příspěvek je ve sborníku na str. 67-72, přednáška na www.ateam.zcu.cz Antonín Kříž 3/37 4/37 Čas jsou peníze Systém tenká vrstva-substrát Vrstva Rozhraní Substrát Deponované
VíceELEKTROCHEMIE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI ELECTRO-CHEMICAL ANALYSIS ON SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE
ELEKTROCHEMIE NA SYSTÉMECH S TENKÝMI VRSTVAMI ELECTRO-CHEMICAL ANALYSIS ON SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE Klára Jačková Roman Reindl Ivo Štěpánek Katedra materiálu a strojírenské metalurgie, Západočeská univerzita
VíceVLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek
VLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek Hlavní pozornost odborníků zabývajících se testováním tenkých vrstev orientuje na analýzy za normálních
VíceAnalýza PIN-on-DISC. Ing. Jiří Hájek Dr. Ing. Antonín Kříž ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI
Analýza PIN-on-DISC Ing. Jiří Hájek Dr. Ing. Antonín Kříž ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI 1/18 TRIBOLOGICKÝ PROCES Tribological process Factors that influence the process: loading, loading type, movement
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceVlastnosti tenkých DLC vrstev
Vlastnosti tenkých DLC vrstev Ing. Vladimír Jech ČVUT v Praze, FS, Technická 4, 16607 Praha Abstrakt Vrstvy DLC nacházejí díky svým jedinečným vlastnostem stále širší oblasti využití. Vyznačují se vysokou
VíceLŠVT 2007. Mechanické vlastnosti: jak a co lze měřm. ěřit na tenkých vrstvách. Jiří Vyskočil, Andrea Mašková HVM Plasma, Praha
Mechanické vlastnosti: jak a co lze měřm ěřit na tenkých vrstvách Jiří Vyskočil, Andrea Mašková HVM Plasma, Praha Prague, May 2005 OBSAH 1 mechanické vlastnosti objemových materiálů 1 tenké vrstvy a jejich
VíceVYUŽITÍ PVD POVLAKŮ PRO FUNKČNĚ GRADOVANÉ MATERIÁLY
VYUŽITÍ PVD POVLAKŮ PRO FUNKČNĚ GRADOVANÉ MATERIÁLY Jakub HORNÍK, Pavlína HÁJKOVÁ, Evgeniy ANISIMOV Ústav materiálového inženýrství, fakulta strojní ČVUT v Praze, Karlovo nám. 13, 121 35, Praha 2, CZ,
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VíceThe lifetime test of the thin film TiN on the HSS substrate using the stress by cyclic contact small-area press without borderline effect
METAL 001 15. - 17. 5. 001, Ostrava, Czech Republic The lifetime test of the thin film TiN on the HSS substrate using the stress by cyclic contact small-area press without borderline effect Jan Sedláček
VíceKontaktní cyklické testování materiálů pomocí IMPACT testeru. Antonín Kříž; Petr Beneš
Kontaktní cyklické testování materiálů pomocí IMPACT testeru Antonín Kříž; Petr Beneš V mnoha průmyslových aplikacích jsou součásti vystaveny intenzivním účinkům kontaktního namáhání Při kontaktním namáhání
VíceTEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek
TEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek Na počátku byla co se kdy žs st a ne s obyčejná zvědavost, na de en po no ech
VíceDUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL
DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL Pavel Novák Dalibor Vojtěch Jan Šerák Michal Novák Vítězslav Knotek Ústav kovových materiálů
VíceVrstvy a povlaky 2007
Vrstvy a povlaky 2007 VLIV MECHANICKÝCH ÚPRAV SUBSTRÁTU TU NA ADHEZI TENKÝCH VRSTEV Martina Sosnová Antonín Kříž ZČU v Plzni Úvod Povrchové inženýrství je relativně mladým vědním oborem. Fascinace člověka
VíceNÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?
NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Vstupní přednáška pro problematiku: Nástrojové oceli Slinuté karbidy Depozice tenkých vrstev Předmět SMA Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž 3/37 Čas jsou peníze 4/37 Systém tenká
VíceUltrazvuková defektoskopie. Vypracoval Jan Janský
Ultrazvuková defektoskopie Vypracoval Jan Janský Základní principy použití vysokých akustických frekvencí pro zjištění vlastností máteriálu a vad typické zařízení: generátor/přijímač pulsů snímač zobrazovací
VíceINTERNAL STRESS AND ADHESION OF COMPOSITE COATINGS Ni - DIAMONT
INTERNAL STRESS AND ADHESION OF COMPOSITE COATINGS Ni - DIAMONT František Hnilica a, Viktor Kreibich b, Jiří Dubský c a) Škoda-ÚJP Praha, a.s., Nad Kamínkou 1345, 156 10 Praha 5,Czech Republic b) Czech
VíceVÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV
VÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV RESEARCH INTO POSSIBILITY OF INCREASING SERVICE LIFE OF BEARINGS VIA SURFACE TREATMENT Zdeněk Spotz a Jiří Švejcar a Vratislav Hlaváček
VíceZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA STROJNÍ. Materiálové inženýrství a strojírenská metalurgie BAKALÁŘSKÁ PRÁCE
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA STROJNÍ Studijní program: Studijní obor: B2301 Strojní inženýrství Materiálové inženýrství a strojírenská metalurgie BAKALÁŘSKÁ PRÁCE Porovnání vybraných tenkovrstvých
VícePojednání ke státní doktorské zkoušce. Hodnocení mechanických vlastností slitin na bázi Al a Mg s využitím metody AE
Pojednání ke státní doktorské zkoušce Hodnocení mechanických vlastností slitin na bázi Al a Mg s využitím metody AE autor: Ing. školitel: doc. Ing. Pavel MAZAL CSc. 2 /18 OBSAH Úvod Vymezení řešení problematiky
VíceMECHANICKÉ VLASTNOSTI STRUKTUR KOV POLYMER SVOČ FST 2010
MECHANICKÉ VLASTNOSTI STRUKTUR KOV POLYMER SVOČ FST 21 Petra Bublíková Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 8, 36 14 Plzeň Česká republika ABSTRAKT Práce se zabývá studiem mechanických vlastností
VíceHODNOCENÍ LOKÁLNÍCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A MIKROSTRUKTURNÍCH ZMĚN ZIRKONIOVÝCH SLITIN PO VYSOKOTEPLOTNÍ OXIDACI SVOČ-FST 2017
HODNOCENÍ LOKÁLNÍCH MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A MIKROSTRUKTURNÍCH ZMĚN ZIRKONIOVÝCH SLITIN PO VYSOKOTEPLOTNÍ OXIDACI SVOČ-FST 2017 Pavla Virágová Západočeská univerzita v Plzni Univerzitní 8, 30 1 Plzeň
VíceVLIV POVRCHU NA UŽITNÉ VLASTNOSTI VÝROBKU. Antonín Kříž
23. 25.11.2010, Jihlava, Česká republika VLIV POVRCHU NA UŽITNÉ VLASTNOSTI VÝROBKU Antonín Kříž Tento příspěvek vznikl na základě dlouhodobé spolupráce s průmyslovou společností HOFMEISTER s.r.o. a řešení
VíceObrazová analýza při hodnocení statických vnikacích zkoušek a výpočtu mikrotvrdosti
Obrazová analýza při hodnocení statických vnikacích zkoušek a výpočtu mikrotvrdosti Image processing for evaluation statical indentation and calculation micro hardness Petr Herzig Ivo Štěpánek Radek Poskočil
VíceDETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS
DETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS HODNOCENÍ MECHANICKÝCH A ELASTO-PLASTICKÝCH VLASTNOSTÍ MATERIÁLŮ VYUŽITÍM NANOINDENTACE Martin Vizina a
VíceTEPLOTNÍ DEGRADACE TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV. Autor: Ing. Petr Beneš Školitel: Doc. Dr. Ing. Antonín Kříž
TEPLOTNÍ DEGRADACE TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV Autor: Ing. Petr Beneš Školitel: Doc. Dr. Ing. Antonín Kříž Tenké PVD vrstvy 1968 vytvořena první PVD vrstva TiN Do současnosti vytvořeno mnoho druhů
VíceOPOTŘEBENÍ A TRVANLIVOST NÁSTROJE
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VíceMOŢNOSTI ZVYŠOVÁNÍ TRVANLIVOSTI NÁSTROJŮ U VÝROBCE OPTIONS OF TOOL LIFE RAISING BY THE MANUFACTURER. Ing. Josef Fajt, CSc., Dr. ing.
Abstrakt MOŢNOSTI ZVYŠOVÁNÍ TRVANLIVOSTI NÁSTROJŮ U VÝROBCE OPTIONS OF TOOL LIFE RAISING BY THE MANUFACTURER Ing. Josef Fajt, CSc., Dr. ing. Miloslav Kesl PILSEN TOOLS s.r.o., Tylova 57, 316 00 Plzeň,
VíceVLASTNOSTI KŘEMÍKOVANÝCH VRSTEV NA TITANU PROPERTIES OF SILICONIZED LAYERS ON TITANIUM. Magda Morťaniková Michal Novák Dalibor Vojtěch
VLASTNOSTI KŘEMÍKOVANÝCH VRSTEV NA TITANU PROPERTIES OF SILICONIZED LAYERS ON TITANIUM Magda Morťaniková Michal Novák Dalibor Vojtěch Ústav kovových materiálů a korozního inženýrství, Vysoká škola chemicko-technologická
VícePROBLEMATICKÉ SVAROVÉ SPOJE MODIFIKOVANÝCH ŽÁROPEVNÝCH OCELÍ
PROBLEMATICKÉ SVAROVÉ SPOJE MODIFIKOVANÝCH ŽÁROPEVNÝCH OCELÍ doc. Ing. Petr Mohyla, Ph.D. Fakulta strojní, VŠB TU Ostrava 1. Úvod Snižování spotřeby fosilních paliv a snižování škodlivých emisí vede k
VíceTenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností
Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti
VíceNovinky v ocelových a dřevěných konstrukcích se zaměřením na styčníky. vrámci prezentace výstupů Evropského projektu INFASO + STYČNÍKY KULATIN
Novinky v ocelových a dřevěných konstrukcích se zaměřením na styčníky vrámci prezentace výstupů Evropského projektu INFASO + STYČNÍKY KULATIN Karel Mikeš České vysoké učení technické v Praze Fakulta stavební
VíceMECHANICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA- SUBSTRÁT S ROZDÍLNOU TLOUŠŤKOU TiN
MECHANICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA- SUBSTRÁT S ROZDÍLNOU TLOUŠŤKOU TiN Antonín Kříž ZČU NTC, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, ČR Thin hard nitride coating enhance the lifetime of cutting tool above
VíceHODNOCENÍ VLASTNOSTÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA-SUBSTRÁT. Antonín Kříž. Vrstvy a Povlaky 2008
HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA-SUBSTRÁT Antonín Kříž Vrstvy a Povlaky 2008 Vrstvy a Povlaky 2007 S ohledem na široké uplatnění tenkých vrstev na řezných nástrojích mají doposud zkoušky trvanlivosti
VíceTRIBOLOGICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA-SUBSTRÁT TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF A THIN FILM-SUBSTRATE SYSTEM. Antonín Kríž a Jirí Hájek b
TRIBOLOGICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA-SUBSTRÁT TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF A THIN FILM-SUBSTRATE SYSTEM Antonín Kríž a Jirí Hájek b a Západoceská univerzita v Plzni,Univerzitní 22, 306 14 Plzen,
VícePLASTICKÉ VLASTNOSTI VYSOKOPEVNOSTNÍCH MATERIÁLŮ DĚLENÝCH NESTANDARDNÍMI TECHNOLOGIEMI
PLASTICKÉ VLASTNOSTI VYSOKOPEVNOSTNÍCH MATERIÁLŮ DĚLENÝCH NESTANDARDNÍMI TECHNOLOGIEMI PLASTIC PROPERTIES OF HIGH STRENGHT STEELS CUTTING BY SPECIAL TECHNOLOGIES Pavel Doubek a Pavel Solfronk a Michaela
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
Více