Hmotnostní spektroskopie pro analýzu plynů a plazmatu
|
|
- Kryštof Kadlec
- před 7 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Hmotnostní spektroskopie pro analýzu plynů a plazmatu
2 Hmotnostní spektrometr Jaké částice umíme rozdělovat podle hmotnosti a energie? Jen nabité. Takže musíme získat ionty. Ty ionty musí doletět až do detektoru beze srážek, proto nutný nízký tlak. Jak nízký? Pro dusík platí vztah pro střední volnou dráhu takto:,66 L cm 5 * 1
3 Získání iontů Ionizace přímo v analyzovaném plazmatu Ionizace dodatečná ve spektrometru srážkou e elektronem. Jiný způsob ionizace další analytické techniky např. SIMS
4 Co je výbojové plazma? Jak ho popsat?
5 Jednoduchý popis plazmatu Zaměříme se jen na nízkoteplotní plazma pro materiálový výzkum, tedy Te >> Ti = Tgas Ionizace bude nízká cca 1 % Co bude na plazmatu zvláštního oproti obyčejnému plynu? Energie v něm uložená, protože T T K kt JK T K K ev K ev K V plazmatu budou mít ionty energie 1 1 ev a elektrony přes 1 ev
6 Jak výboj začíná 14-1 Discharge Current (*1 A) 12 I~V e*ui = - gas ionization energy 1 Ud secondary electrons emission from electrode Discharge voltage (V) Ionizační energie: N ev Ar ev Ionization cascade
7 Vliv tlaku plynu na zapálení výboje Nejednodušší DC dioda A radiation for the first free electrons. Plasma negative glow d Simple Paschen law V = f(p*d)
8 Výboje
9 Struktura výboje Long tube ne >= ni ne = ni typical values about 11 cm-3 ne << ni
10 Potenciály Langmuirova sonda různá m různá mobilita
11 Potenciály u elektrod
12 Elektrony ve spektrometru Elektrony ze žhaveného vlákna obvykle Thoriový povlak (toxické) Elektrony mají obvykle volitelnou energii do cca 15 ev Maximální účinný průřez pro cca 7 ev (standard pro RGA) Záporné ionty problém El. afinita cca 1 ev M e M 2e
13 Zdroj iontů - plazma Měřené ionty jsou výsledkem procesů v plazmatu Lze zpětně rekonstruovat procesy v plazmatu (přibližně) Lze optimalizovat podmínky plazmatu pro dosažení cíle vrstvy specifických vlastností
14 Hmotnostní analyzátory Magnetické a elektromagnetické Kvadrupolové Time of flight měříme čas (později viz SIMS)
15 Magnetické iont s hmotností m a nábojem o velikosti q, urychlovaný ve zdroji rozdílem potenciálů Vs. Na výstupu z takového zdroje bude iont mít kinetickou energii o velikosti mv 2 Ec qvs 2 Pokud je magnetické pole kolmé na rychlost iontu, vznikne síla FM zakreslená na obrázku FM qvb
16 Magnetické Iont se tedy bude pohybovat po kruhové dráze o poloměru r, tak aby odstředivá a magnetická síla byla v rovnováze 2 mv qvb r Pro všechny hodnoty B, ionty se stejným nábojem a stejným momentem (mv) mají kruhovou dráhu s charakteristickým poloměrem r. Z toho vyplývá, že magnetický analyzátor vybere ionty podle jejich momentu. Nicméně, uvažme kinetickou energii iontů vylétávajících ze zdroje, tj. mv2 = 2qVs Odtud m r 2 B2 q 2Vs
17 Magnetické Pokud je poloměr r pevný, znamená to, že pro intenzitu magnetického pole B projdou analyzátorem pouze ionty s určitým poměrem m/q. Měníme-li s časem intenzitu pole B, prolétávají nám analyzátorem ionty o různých m/q. Položíme-li q=1, magnetický analyzátor vybírá ionty podle hmotnosti, za předpokladu že všechny ionty mají shodnou kinetickou energii.
18 Problém kinetická energie na vstupu Ale také platí, že r 2mEc qb Musíme zajistit, aby všechny ionty alespoň jednoho druhu měli na vstupu stejnou kinetickou energii.
19 Řízení kinetické energie Použijeme radiální elektrické pole ve válcovém kondenzátoru (pro deskový platí vlastně stejně) Předpokládejme radiální elektrostatické pole vytvářené válcovým kondenzátorem. Položme pro pohybující se iont odstředivou sílu rovnou síle elektrostatické a lze psát rovnici 2 mv qe r kde E je intenzita elektrostatického pole. Zaveďme vstupní kinetickou energii 2E r c qe Za těchto předpokladů budou dráhy iontů kruhové a jejich rychlosti budou konstantní a kolmé na pole. A máme analyzátor kinetické energie.
20 Hmotnostní selekce jinak Kvadrupólový analyzátor je zařízení využívající stabilních trajektorií prolétávajících iontů v RF el. polích k jejich separaci podle m/z. Ostatní metody jako například quistor, iontová past nebo iontová cyklotronová rezonance jsou postaveny na stejném principu. Kvadrupólový RGA analyzátor, složený se zdroje, fokusačních čoček, kvadrupólových cylindrických tyčí, detektoru
21 Kvadrupól soustava 4 tyčí Kvadrupól s hyperbolickými tyčemi, zakreslenými potenciály a ekvipotenciálními plochami vlevo nahoře v řezu W. Paul, H.S. Steinwedel popsali kvadrupólový analyzátor a iontovou past. W. Paul, Nobelova cena 1989.
22 Jak to funguje Potenciály na tyčích U V cos t U V cos t V těchto rovnicích, reprezentuje potenciál přivedený na tyče, je úhlová frekvence (v rad/s = 2 f, kde f je frekvence RF pole), U je potenciál a V je polovina amplitudy přivedeného RF napětí. Typicky bývá U od 5 V do 2 V a napětí V od V do 3 V (tj. od -3 V do 3 V je celková amplituda RF). Ionty urychleny podél osy z vstupují do prostoru tyčí kvadrupólu a udržují si svoji rychlost podél této osy. Nicméně, jsou urychlovány také podle os x a y a to výslednicí sil vytvořeného elektrického pole. Výslednici sil spočteme pomocí rovnic. Kde m je hmotnost iontu, a je jeho zrychlení a -q=ze je jeho náboj. d 2x Fx ma m 2 ze dr x d2y Fy ma m 2 ze dr y
23 Řešení t 8zeU, au mr Dosaďme u=x nebo y, a dostáváme 4 zev qu 2 2 mr d 2u 2 au 2qu cos 2 u dx Tato rovnice byla napsána Mathieusem roku 1866 jako popis šíření vln membránou. Nejsme schopni analyticky řešit tyto rovnice. Můžeme pouze určit závislost mezi polohou iontů a časem pomocí nějaké numerické metody.
24 Numerické řešení Pokud x a y, určující vzdálenost iontu od středu soustavy tyčí, jsou menší než r, ionty mohou projít kvadrupólem bez dotyku tyčí. Jinak se iont při kontaktu s tyčí vybije a není detekován. Na obrázku jsou znázorněny stabilní a nestabilní dráhy iontů v kvadrupólu.
25 V praxi V používaných kvardupólech je r konstantní, = 2 f je neměnná konstanta. U a V jsou proměnné hodnoty napětí. Pro ionty o libovolné hmotnosti mohu popsat jejich polohu x a y jako funkce proměnných U a V. Na obrázku jsou zobrazeny stabilní oblasti v souřadnicích au a qu.
26 V praxi Z nich dopočteme hodnoty U a V pro danou hmotnost podle výše uvedených vztahů. Následně pak x a y získané řešením diferenciální rovnice jsou menší než r a ionty proletí. Do oblasti A na obrázku se lze dostat jak pro U kladná tak i záporná, pro kladná U by měl být pohyb iontů kvadrupólem symetričtější.
27 Další vlastnosti Další vlastností kvadrupólových analyzátorů je zaostřování svazku iontů do středu mezi tyče. Potenciální energie kladně nabitého iontu umístěného mezi tyčemi doprostřed kvadrupólu se zvyšuje pohybujeme-li iontem směrem ke kladně nabité tyči. Opačně, snižuje se pokud se pohybuje směrem k tyči nabité na potenciál záporný. Pokud máme vhodnou frekvenci těchto změn, iont přibližující se k záporně nabité oblasti je odpuzen kladným potenciálem a je přenesen zpět do středu mezi tyče kvadrupólu.
28 Detektor Dnes nejrozšířenější - chanelltron
29 Hmotnostní jednotky Hmotnostní jednotka [u], [amu], také bývají nazývány dalton [Da]. Jsou definovány jako 12 1/12 hmotnosti izotopu uhlíku : 6 C 1 u = 1 Da = 1,6654 * 1-27 kg Thomson [Th] je jednotka m/z, kde m je hmotnost a z je náboj částice.
30 Hiden EQP EQP (Electrostatic Quadrupole Plasma) sonda je analyzátor energie iontů spojený s kvadrupólovým hmotovým analyzátorem, je navržen pro monitorování plazmatu. Umožňuje získat hmotnostní spektra, potenciálové profily a provádět detailní analýzy kladných a záporných iontů, neutrálů, radikálů z plazmatu. Tato měření je možné vyhodnocovat v závislosti na čase. Je možno také zjišťovat přechodové a povýbojové stavy. Hiden EQP 3 využívá diferenciální čerpání detektoru pomocí turbomolekulární vývěvy.
31 Schéma Hiden EQP
32 Vizualizace
33 Schéma Hiden EQP
34 Doba letu spektrometrem Hiden EQP 3 Nutné zná pro časově synchronizovaná měření t text ten t mass tdet 3 e (V energy V ext ten sen t mass smass ) ev axis m 2eVaxis m 2eVte 25 Celkové zpoždění t ( s) t ext = s ext 2m tdet sdet 2m evdyn m/q (amu)
35 Analýza magnetronového výboje Vhodné umístit spektrometr proti terči nad erozní oblast Tak lze detekovat i kinetickou energii iontů získanou při interakci na terči Quadrupole Gas inlet Magnetron Energy Analyzer Ion Detector Turbo Pump ion detector Cryopump Ion Optics
36 Rozprašujme uhlík v N2 Proč, pro tvrdé vrstvy typu CNx Detekujeme různé ionty a ionizované molekuly 6 1 Lze detekovat kladné i záporné ionty příklad kladné N2 5 Intensity (counts/s) 1 N CN C C2 (CN)2 H2O N N Výskyt termalizovaných iontů v místě substrátu (d = 1 mm) při rozprašování uhlíkového terče v dusíkovém výboji za tlaku p(n2) =.5 Pa, při proudu na terč Im = 1 A a výkonu magnetronového výboje Pdc = 57 W C2N C3N N4 O2 (C2N)2 C4N H 2 N C5N
37 A co energie částic?,8 Pa RF magnetron
38 Vliv tlaku plynu - srážky Prf=6W Intensity [counts] 1 Ion N 2 distance 1mm Pressure p(n 2)=.15Pa.3Pa.5Pa 1.Pa 3.Pa Total energy [ev]
39 Výzkum reakcí v plazmatu Ionizace směsí plynů záleží na poměru složek, vhodnou příměsí lze ionizaci zvýšit Energie iontů závisí na srážkách = tlaku Ion Detector Qudrupole 1 N2 9 Mean Energy (ev) Energy Analyzer 8 1,33 Pa 2,66 Pa RF Generator 7 5,32 Pa Matching Box 6 1,64 Pa % Nitrogen
40 Různý tlak další srážky N2 N2 N N N2 5 5 N Intensity (counts/s) 45 p = 1,64 Pa N 45 Intensity (counts/s) p = 5,32 Pa N 45 p = 2,66 Pa N p = 1,33 Pa Ion Energy (ev) Ion Energy (ev) 2 25
41 Různé částice různé účinné průřezy Různé ionty mohou mít různé IED fce. Zde RF plazma 13,56 MHz a IED f. iontů na napájenou elektrodu self bias cca - 8 V 6 N2 6 N2 5 Intensity (counts/s) Intensity (counts/s) N 2 Ar 1 N * He Ion Energy (ev) Ion Energy (ev) 15 2 Nárůst koncentrace iontů N v případě příměsi hélia může být objasněn vyšší disociativní ionizací molekulárního dusíku způsobenou srážkami s metastabilními stavy He(23S) s vysokou excitační energií (19.8 ev) a dlouhou dobou života.
42 Ionty ve směsích plynů Pro předpětí 8 V 5 5x1 N2 He 23 S N 2 He N 2 e 5 4x1 Integral Flux (counts) 2,66 Pa 5 3x1 5 1,64 Pa 2x1 5 1x1 N2 Ar N2 He % Nitrogen
43 Plazmová polymerace z C6H15O3 m/q=135amu 13 5x1 11 C6H15O3 C3H6O 4 4x1 C3H7O C5H11O2 4 3x1 6 C4H9O x1 4 C3H7O 1x1 RF Power 1W Nitrogne25%Glyme C6H15O x1 7 N x1 C2Hx 1x1 Hx 4 2 HxO C5H11O2 CH3 CHxO 3 4 C3H6O 4 4x1 Mean Energy (ev) Flux (a.u.) 4 5x1 Flux (a.u.) 4 13 RF Power 2W Nitrogen25%Glyme 12 C3Hx C 2 H xo m/q (amu) H m/q (amu) C H O H H H H C C O H H H H C C H H H O C H H Mean Energy (ev) 4 6x1
44 Plazmochemie - radikály Neutrální aktivní částice RGA 3eV Argon35%Glyme-2 RF Power 4W H1-2 plasma on 5 2.x x1 CH1-5O 5 1.x1 plasma off H 2O C2H2-6 5.x1 Ar C 3H 7 CH3-4 4 C 3H 6O C 3H 7O RGA 3eV Nitrogen25%Glyme-2 RF Power 4W N2 C2H x1 plasma on 5 1.5x1 plasma off CH1-5O 5 1.x1 C3H6O C3H7O C3H7 4 5.x1 CH m/q (amu) m/q (amu) m/q 28 C 2H 4 N 2 Nitrogen 5 1 Intensity (a.u.) 2.5x1 Intensity (a.u.) 5 2.5x1 5 Intensity (a.u.) Argon 4 1 plasma on 3 1 plasma off Electron Energy (ev)
45 Literatura E. De Hoffmann, J. Charette, V. Stroobant, Mass spectrometry Principles and Applications, Wiley 1996 Hiden Analytical,
Přednáška 4. Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje
Přednáška 4 Úvod do fyziky plazmatu : základní charakteristiky plazmatu, plazma v elektrickém vf plazma. Doutnavý výboj : oblasti výboje Jak nahradit ohřev při vypařování Co třeba bombardovat ve vakuu
VíceHmotnostní spektrometrie
Hmotnostní spektrometrie Princip: 1. Ze vzorku jsou tvořeny ionty na úrovni molekul, nebo jejich zlomků (fragmentů), nebo až volných atomů dodáváním energie, např. uvolnění atomů ze vzorku nebo přímo rozštěpení
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VíceHmotnostní spektrometrie. Historie MS. Schéma MS
Hmotnostní spektrometrie MS mass spectrometry MS je analytická technika, která se používá k měření poměru hmotnosti ku náboji (m/z) u iontů původně studium izotopového složení dnes dynamicky se vyvíjející
VíceHMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE - kvalitativní i kvantitativní detekce v GC a LC - pyrolýzní hmotnostní spektrometrie - analýza polutantů v životním
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE - kvalitativní i kvantitativní detekce v GC a LC - pyrolýzní hmotnostní spektrometrie - analýza polutantů v životním prostředí - farmakokinetické studie - kvantifikace proteinů
VíceDiagnostika plazmatu. Rychlé zopakování. Optická emisní spektroskopie + odvozené metody. Hmotnostní spektroskopie. Možné aplikace
Diagnostika plazmatu Rychlé zopakování Optická emisní spektroskopie + odvozené metody Hmotnostní spektroskopie Možné aplikace Opakování Plazma je kvazineutrální plyn vykazující kolektivní chování. Je mnoho
VícePřednáška 9. Metody měření depoziční rychlosti Měření parametrů plazmatu.
Přednáška 9 Metody měření depoziční rychlosti Měření parametrů plazmatu. Depoziční rychlost Jak měřit tloušťku vrstvy? Kdy měřit? přímo během růstu (insitu) po vytvoření vrstvy po vyndání z komory Insitu
VíceVzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042
Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem
Vícezbytkové plyny (ve velmi vysokém vakuu: plyny vzniklé rozkladem těchto látek, nebo jejich syntézou Vakuová fyzika 1 1 / 43
Měření parciálních tlaků V měřeném prostoru se zpravidla nachází: zbytkové plyny (ve velmi vysokém vakuu: H 2, CO, Ar, N 2, O 2, CO 2, uhlovodíky, He) vodní pára páry organických materiálů, nacházejících
VícePlazma. magnetosféra komety. zbytky po výbuchu supernovy. formování hvězdy. slunce
magnetosféra komety zbytky po výbuchu supernovy formování hvězdy slunce blesk polární záře sluneční vítr - plazma je označována jako čtvrté skupenství hmoty - plazma je plyn s významným množstvím iontů
VíceHMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE MASS SPECTROMETRY (MS) Alternativní názvy (spojení s GC, LC, CZE, ITP): Hmotnostně spektrometrický (selektivní) detektor Mass spectrometric (selective) detector (MSD) Spektrometrie
VícePočítačový model plazmatu. Vojtěch Hrubý listopad 2007
Počítačový model plazmatu Vojtěch Hrubý listopad 2007 Situace Zajímá nás, co se děje v okolí kovové sondy ponořené do plazmatu. Na válcovou sondu přivedeme napětí U Očekáváme, že se okolo sondy vytvoří
VíceUrychlovače částic principy standardních urychlovačů částic
Urychlovače částic principy standardních urychlovačů částic Základní info technické zařízení, které dodává kinetickou energii částicím, které je potřeba urychlit nabité částice jsou v urychlovači urychleny
Více10. Tandemová hmotnostní spektrometrie. Princip tandemové hmotnostní spektrometrie
10. Tandemová hmotnostní spektrometrie Princip tandemové hmotnostní spektrometrie Informace získávané při tandemové hmotnostní spektrometrii Možné způsoby uspořádání tandemové HS a/ scan fragmentů vzniklých
VíceIONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:
Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální
VíceELEKTŘINA A MAGNETIZMUS Řešené úlohy a postupy: Magnetická síla a moment sil
ELEKTŘINA A MAGNETIZMUS Řešené úlohy a postupy: Magnetická síla a moment sil Peter Dourmashkin MIT 006, překlad: Jan Pacák (007) Obsah 6. MAGNETICKÁ SÍLA A MOMENT SIL 3 6.1 ÚKOLY 3 ÚLOHA 1: HMOTNOSTNÍ
VíceTheory Česky (Czech Republic)
Q3-1 Velký hadronový urychlovač (10 bodů) Než se do toho pustíte, přečtěte si prosím obecné pokyny v oddělené obálce. V této úloze se budeme bavit o fyzice částicového urychlovače LHC (Large Hadron Collider
VíceCHARAKTERIZACE MATERIÁLU II
CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:
VíceKlinická a farmaceutická analýza. Petr Kozlík Katedra analytické chemie
Klinická a farmaceutická analýza Petr Kozlík Katedra analytické chemie e-mail: kozlik@natur.cuni.cz http://web.natur.cuni.cz/~kozlik/ 1 Spojení separačních technik s hmotnostní spektrometrem Separační
VíceVojtěch Hrubý: Esej pro předmět Seminář EVF
Vojtěch Hrubý: Esej pro předmět Seminář EVF Plazma Pod pojmem plazma většinou myslíme plynné prostředí, které se skládá z neutrálních částic, iontů a elektronů. Poměr množství neutrálních a nabitých částic
VíceIonizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1.
Ionizační manometry Princip: ionizace molekul a měření počtu nabitých částic Rozdělení podle způsobu ionizace: Manometry se žhavenou katodou Manometry se studenou katodou Manometry s radioaktivním zářičem
VíceUniverzita Karlova v Praze Matematicko-fyzikální fakulta. Martin Petr. Hmotnostní spektrometrie chemicky aktivního plazmatu
Univerzita Karlova v Praze Matematicko-fyzikální fakulta BAKALÁŘSKÁ PRÁCE Martin Petr Hmotnostní spektrometrie chemicky aktivního plazmatu Katedra makromolekulární fyziky Vedoucí bakalářské práce: RNDr.
VíceINTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II.
Úvod do fyziky tenkých vrstev a povrchů INTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II. Metody IBA (Ion Beam Analysis): pružný rozptyl nabitých částic (RBS), detekce odražených atomů (ERDA), metoda PIXE, Spektroskopie rozptýlených
VícePlazmové metody. Základní vlastnosti a parametry plazmatu
Plazmové metody Základní vlastnosti a parametry plazmatu Atom je základní částice běžné hmoty. Částice, kterou již chemickými prostředky dále nelze dělit a která definuje vlastnosti daného chemického prvku.
VíceINTERPRETACE HMOTNOSTNÍCH SPEKTER
INTERPRETACE HMOTNOSTNÍCH SPEKTER Hmotnostní spektrometrie hmotnostní spektrometrie = fyzikálně chemická metoda založená na rozdělení hmotnosti iontů v plynné fázi podle jejich poměru hmotnosti a náboje
VíceMS analyzátory - II. Příprava předmětu byla podpořena projektem OPPA č. CZ.2.17/3.1.00/33253
MS analyzátory - II Příprava předmětu byla podpořena projektem OPPA č. CZ.2.17/3.1.00/33253 Sektorový analyzátor (Sector Mass Analyzer) Umožňuje dosažení vysokého rozlišení Využívá magnetické pole často
VíceMetody analýzy povrchu
Metody analýzy povrchu Metody charakterizace nanomateriálů I RNDr. Věra Vodičková, PhD. Povrch pevné látky: Poslední monoatomární vrstva + absorbovaná monovrstva Ovlivňuje fyzikální vlastnosti (ukončení
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VíceHmotnostní analyzátory a detektory iont
Hmotnostní analyzátory a detektory iont Hmotnostní analyzátory Hmotnostní analyzátory Rozdlí ionty v prostoru nebo v ase podle jejich m/z Analyzátory Magnetický analyzátor (MAG) Elektrostatický analyzátor
VíceATOMOVÁ SPEKTROMETRIE
ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE doc. Ing. David MILDE, Ph.D. tel.: 585634443 E-mail: david.milde@upol.cz (c) -017 Doporučená literatura Černohorský T., Jandera P.: Atomová spektrometrie. Univerzita Pardubice 1997.
VíceFotoelektronová spektroskopie Instrumentace. Katedra materiálů TU Liberec
Fotoelektronová spektroskopie Instrumentace RNDr. Věra V Vodičkov ková,, PhD. Katedra materiálů TU Liberec Obecné schéma metody Dopad rtg záření emitovaného ze zdroje na vzorek průnik fotonů několik µm
VíceOd kvantové mechaniky k chemii
Od kvantové mechaniky k chemii Jan Řezáč UOCHB AV ČR 19. září 2017 Jan Řezáč (UOCHB AV ČR) Od kvantové mechaniky k chemii 19. září 2017 1 / 33 Úvod Vztah mezi molekulovou strukturou a makroskopickými vlastnostmi
Vícec) vysvětlení jednotlivých veličin ve vztahu pro okamžitou výchylku, jejich jednotky
Harmonický kmitavý pohyb a) vysvětlení harmonického kmitavého pohybu b) zápis vztahu pro okamžitou výchylku c) vysvětlení jednotlivých veličin ve vztahu pro okamžitou výchylku, jejich jednotky d) perioda
VíceÚvod do fyziky plazmatu
Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:
VíceMetody analýzy povrchu
Metody analýzy povrchu Metody charakterizace nanomateriálů I RNDr. Věra Vodičková, PhD. 2 Povrch pevné látky: Poslední monoatomární vrstva + absorbovaná monovrstva Ovlivňuje fyzikální vlastnosti (ukončení
VíceFyzika II, FMMI. 1. Elektrostatické pole
Fyzika II, FMMI 1. Elektrostatické pole 1.1 Jaká je velikost celkového náboje (kladného i záporného), který je obsažen v 5 kg železa? Předpokládejme, že by se tento náboj rovnoměrně rozmístil do dvou malých
VíceHmotnostní spektrometrie
Hmotnostní spektrometrie Podstatou hmotnostní spektrometrie je studium iontů v plynném stavu. Tato metoda v sobě zahrnuje tři hlavní části:! generování iontů sledovaných atomů nebo molekul! separace iontů
VíceATOMOVÁ SPEKTROMETRIE
ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE Atomová spektrometrie valenčních e - 1. OES (AES). AAS 3. AFS 1 Atomová spektra čárová spektra Tok záření P - množství zářivé energie (Q E ) přenesené od zdroje za jednotku času.
VícePlazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
VíceMass Spectrometry (MS) Lenka Veverková 2012
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE Mass Spectrometry (MS) Lenka Veverková 2012 ÚVOD MS je nejrychleji se rozvíjejí technika analytické chemie. Dokáže poskytnout informace o: elementárním složení vzorku, struktuře
VíceFyzika 6. ročník. přesahy, vazby, mezipředmětové vztahy průřezová témata. témata / učivo. očekávané výstupy RVP. očekávané výstupy ŠVP
očekávané výstupy RVP témata / učivo 1. Časový vývoj mechanických soustav Studium konkrétních příkladů 1.1 Pohyby družic a planet Keplerovy zákony Newtonův gravitační zákon (vektorový zápis) pohyb satelitů
VíceCvičení F2070 Elektřina a magnetismus
Cvičení F2070 Elektřina a magnetismus 20.3.2009 Elektrický potenciál, elektrická potenciální energie, ekvipotenciální plochy, potenciál bodového náboje, soustavy bodových nábojů, elektrického pole dipólu,
VíceZákladní experiment fyziky plazmatu
Základní experiment fyziky plazmatu D. Vašíček 1, R. Skoupý 2, J. Šupík 3, M. Kubič 4 1 Gymnázium Velké Meziříčí, david.vasicek@centrum.cz 2 Gymnázium Ostrava-Hrabůvka příspěvková organizace, jansupik@gmail.com
Více13. Spektroskopie základní pojmy
základní pojmy Spektroskopicky významné OPTICKÉ JEVY absorpce absorpční spektrometrie emise emisní spektrometrie rozptyl rozptylové metody Evropský sociální fond Praha & EU: Investujeme do vaší budoucnosti
VíceHMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE
HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE Mass Spectrometry (MS) (c) Lenka Veverková, 2013 ÚVOD MS je nejrychleji se rozvíjejí technika analytické chemie. Dokáže poskytnout informace o: elementárním složení vzorku, struktuře
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceÚvod do nebeské mechaniky
OPT/AST L09 Úvod do nebeské mechaniky pohyby astronomických těles ve společném gravitačním poli obecně: chaotický systém nestabilní numerické řešení speciální případ: problém dvou těles analytické řešení
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace
DOUTNAVÝ VÝBOJ 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace Doutnavý výboj Připomeneme si voltampérovou charakteristiku výboje v plynech : Doutnavý výboj Připomeneme si, jaké
VícePozitron teoretická předpověď
Pozitron teoretická předpověď Diracova rovnice: αp c mc x, t snaha popsat relativisticky pohyb elektronu x, t ˆ i t řešení s negativní energií vakuum je Diracovo moře elektronů pozitrony díry ve vaku Paul
Více1 Uloha z praktika Hmotnostn ı a energiov a anal yza iont u
Úloha z praktika Hmotnostní a energiová analýza iontů 1 2 Kapitola 1 Hmotnostní spektroskopie plynů 1.1 Úvod 1.1.1 Terminologie Atomy jsou neutrální částice skládající z nukleonů (protonů a neutronů) a
VíceÚvod do fyziky plazmatu
Úvod do fyziky plazmatu Plazma Velmi často se o plazmatu mluví jako o čtvrtém skupenství hmoty Název plazma pro ionizovaný plyn poprvé použil Irwing Langmuir (1881 1957) v roce 1928, protože mu chováním
VíceElektronová Mikroskopie SEM
Elektronová Mikroskopie SEM 26. listopadu 2012 Historie elektronové mikroskopie První TEM Ernst Ruska (1931) Nobelova cena za fyziku 1986 Historie elektronové mikroskopie První SEM Manfred von Ardenne
VícePřednáška IX: Elektronová spektroskopie II.
Přednáška IX: Elektronová spektroskopie II. 1 Försterův resonanční přenos energie Pravděpodobnost (rychlost) přenosu je určená jako: k ret 1 = τ 0 D R r 0 6 0 τ D R 0 r Doba života donoru v excitovaném
Více2. FYZIKÁLNÍ ZÁKLADY ANALYTICKÉ METODY RBS
RBS Jaroslav Král, katedra fyzikální elektroniky FJFI, ČVUT. ÚVOD Spektroskopie Rutherfordova zpětného rozptylu (RBS) umožňuje stanovení složení a hloubkové struktury tenkých vrstev. Na základě energetického
VíceJádro se skládá z kladně nabitých protonů a neutrálních neutronů -> nukleony
Otázka: Atom a molekula Předmět: Chemie Přidal(a): Dituse Atom = základní stavební částice všech látek Skládá se ze 2 částí: o Kladně nabité jádro o Záporně nabitý elektronový obal Jádro se skládá z kladně
VíceHmotnostní spektrometrie - Mass Spectrometry (MS)
Hmotnostní spektrometrie - Mass Spectrometry (MS) Další pojem: Hmotnostně spektrometrický (selektivní) detektor - Mass spectrometric (selective) detector (MSD) Spektrometrie - metoda založená na interakci
VíceRelativistická dynamika
Relativistická dynamika 1. Jaké napětí urychlí elektron na rychlost světla podle klasické fyziky? Jakou rychlost získá při tomto napětí elektron ve skutečnosti? [256 kv, 2,236.10 8 m.s -1 ] 2. Vypočtěte
VícePetr Zikán. Studentský seminář, Březen 2011
Sondová měření v plazmatu Petr Zikán Studentský seminář, Březen 2011 Přehled prezentace 1 Child-Langmuirův zákon Přehled prezentace 1 Child-Langmuirův zákon 2 Sheath a pre-sheath Přehled prezentace 1 Child-Langmuirův
VíceMetody povrchové analýzy založené na detekci iontů. Pavel Matějka
Metody povrchové analýzy založené na detekci iontů Pavel Matějka Metody povrchové analýzy založené na detekci iontů 1. sekundárních iontů - SIMS 1. Princip metody 2. Typy bombardování 3. Analyzátory iontů
VíceSpojení hmotové spektrometrie se separačními metodami
Spojení hmotové spektrometrie se separačními metodami RNDr. Radomír Čabala, Dr. Katedra analytické chemie Přírodovědecká fakulta Univerzita Karlova Praha Spojení hmotové spektrometrie se separačními metodami
VíceHmotnostní analyzátory II
Hmotnostní analyzátory II Typy analyzátorů Iontová cyklotronová rezonance Orbitrap Analyzátory iontové pohyblivosti Hybridní hmotnostní spektrometry Hmotnostní analyzátor Vzorek Data Iontový zdroj Hmotnostní
VíceTechniky prvkové povrchové analýzy elemental analysis
Techniky prvkové povrchové analýzy elemental analysis (Foto)elektronová spektroskopie (pro chemickou analýzu) ESCA, XPS X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) Any technique in which the sample is bombarded
VíceZáklady magnetohydrodynamiky. aneb MHD v jedné přednášce?! To si snad děláte legraci!
Základy magnetohydrodynamiky aneb MHD v jedné přednášce?! To si snad děláte legraci! Osnova Magnetohydrodynamika Maxwellovy rovnice Aplikace pinče, MHD generátory, geofyzika, astrofyzika... Magnetohydrodynamika
VíceZdroje optického záření
Metody optické spektroskopie v biofyzice Zdroje optického záření / 1 Zdroje optického záření tepelné výbojky polovodičové lasery synchrotronové záření Obvykle se charakterizují zářivostí (zářivý výkon
VíceÚvod do nebeské mechaniky
OPT/AST L09 Úvod do nebeské mechaniky pohyby astronomických těles ve společném gravitačním poli obecně: chaotický systém nestabilní numerické řešení speciální případ: problém dvou těles analytické řešení
VíceLABORATOŘ OBORU I ÚSTAV ORGANICKÉ TECHNOLOGIE (111) Použití GC-MS spektrometrie
LABORATOŘ OBORU I ÚSTAV ORGANICKÉ TECHNOLOGIE (111) C Použití GC-MS spektrometrie Vedoucí práce: Doc. Ing. Petr Kačer, Ph.D., Ing. Kamila Syslová Umístění práce: laboratoř 79 Použití GC-MS spektrometrie
VíceLaboratoř ze speciální analýzy potravin II. Úloha 3 - Plynová chromatografie (GC-MS)
1 Úvod... 1 2 Cíle úlohy... 2 3 Předpokládané znalosti... 2 4 Autotest základních znalostí... 2 5 Základy práce se systémem GC-MS (EI)... 3 5.1 Parametry plynového chromatografu... 3 5.2 Základní charakteristiky
VíceGyrační poloměr jako invariant relativistického pohybu. 2 Nerovnoměrný pohyb po kružnici v R 2
Gyrační poloměr jako invariant relativistického pohybu nabité částice v konfiguraci rovnoběžného konstantního vnějšího elektromagnetického pole 1 Popis problému Uvažujme pohyb nabité částice v E 3 v takové
VíceAplikace jaderné fyziky (několik příkladů)
Aplikace jaderné fyziky (několik příkladů) Pavel Cejnar Ústav částicové a jaderné fyziky MFF UK pavel.cejnar@mff.cuni.cz Příklad I Datování Galileiho rukopisů Galileo Galilei (1564 1642) Všechny vázané
VíceFyzika IV. Pojem prvku. alchymie. Paracelsus (16.st) Elektronová struktura atomů
Elektronová struktura atomů Pojem prvku alchymie Paracelsus (16.st) Elektronová struktura atomů alchymie 17.-18.století - při hoření látky ztrácí těkavou součást - flogiston. látka = flogiston + popel
VíceSkalární a vektorový popis silového pole
Skalární a vektorový popis silového pole Elektrické pole Elektrický náboj Q [Q] = C Vlastnost materiálových objektů Interakce (vzájemné silové působení) Interakci (vzájemné silové působení) mezi dvěma
VíceÚvod do strukturní analýzy farmaceutických látek
Úvod do strukturní analýzy farmaceutických látek Garant předmětu: doc. Ing. Bohumil Dolenský, Ph.D. A28, linka 4110, dolenskb@vscht.cz Hmotnostní spektrometrie II. Příprava předmětu byla podpořena projektem
VíceANORGANICKÁ HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE
ANORGANICKÁ HMOTNOSTNÍ SPEKTROMETRIE (c) David MILDE 2003-2010 Metody anorganické MS ICP-MS hmotnostní spektrometrie s indukčně vázaným plazmatem, GD-MS spojení doutnavého výboje s MS, SIMS hmotnostní
VíceAutoři: Pavel Zachař, David Sýkora Ukázky spekter k procvičování na semináři: Tento soubor je pouze prvním ilustrativním seznámením se základními prin
Autoři: Pavel Zachař, David Sýkora Ukázky spekter k procvičování na semináři: Tento soubor je pouze prvním ilustrativním seznámením se základními principy hmotnostní spektrometrie a v žádném případě nezahrnuje
VícePřednášky z lékařské biofyziky Biofyzikální ústav Lékařské fakulty Masarykovy univerzity, Brno
Přednášky z lékařské biofyziky Biofyzikální ústav Lékařské fakulty Masarykovy univerzity, Brno 1 Přednášky z lékařské biofyziky Biofyzikální ústav Lékařské fakulty Masarykovy univerzity, Brno Struktura
VícePlazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
VícePříklady Kosmické záření
Příklady Kosmické záření Kosmické částice 1. Jakou kinetickou energii získá proton při pádu z nekonečné výšky na Zem? Poloměr Zeměje R Z =637810 3 maklidováenergieprotonuje m p c 2 =938.3MeV. 2. Kosmickékvantum
Více1. Paschenův zákon. p = A exp Bp )
Odvození Paschenova zákona 1. Paschenův zákon Při působení elektrického pole na zředěný plyn dochází k urychlování náhodných elektronů v plynu do takových energií, že při srážkách urychlených elektronů
VíceÚvod do spektrálních metod pro analýzu léčiv
Evropský sociální fond Praha & EU: Investujeme do vaší budoucnosti Úvod do spektrálních metod pro analýzu léčiv Pavel Matějka, Vadym Prokopec pavel.matejka@vscht.cz pavel.matejka@gmail.com Vadym.Prokopec@vscht.cz
VíceHlavní body - elektromagnetismus
Elektromagnetismus Hlavní body - elektromagnetismus Lorenzova síla, hmotový spektrograf, Hallův jev Magnetická síla na proudovodič Mechanický moment na proudovou smyčku Faradayův zákon elektromagnetické
VíceElektronový obal atomu
Elektronový obal atomu Vlnění o frekvenci v se může chovat jako proud částic (kvant - fotonů) o energii E = h.v Částice pohybující se s hybností p se může chovat jako vlna o vlnové délce λ = h/p Kde h
Více2. Atomové jádro a jeho stabilita
2. Atomové jádro a jeho stabilita Atom je nejmenší hmotnou a chemicky nedělitelnou částicí. Je tvořen jádrem, které obsahuje protony a neutrony, a elektronovým obalem. Elementární částice proton neutron
VíceEmise vyvolaná působením fotonů nebo částic
Emise vyvolaná působením fotonů nebo částic PES (fotoelektronová spektroskopie) XPS (rentgenová fotoelektronová spektroskopie), ESCA (elektronová spektroskopie pro chemickou analýzu) UPS (ultrafialová
VíceMagnetické pole - stacionární
Magnetické pole - stacionární magnetické pole, jehož charakteristické veličiny se s časem nemění kolem vodiče s elektrickým polem je magnetické pole Magnetické indukční čáry Uzavřené orientované křivky,
VíceMS analyzátory - I. Příprava předmětu byla podpořena projektem OPPA č. CZ.2.17/3.1.00/33253
MS analyzátory - I Příprava předmětu byla podpořena projektem OPPA č. CZ..17/3.1.00/3353 Hmotnostní spektrometr Zařízení umožňující generovat ionty, separovat je podle jejich m/z a detekovat je, lze obvykle
VíceOPVK CZ.1.07/2.2.00/
18.2.2013 OPVK CZ.1.07/2.2.00/28.0184 Cvičení z NMR OCH/NMR Mgr. Tomáš Pospíšil, Ph.D. LS 2012/2013 18.2.2013 NMR základní principy NMR Nukleární Magnetická Resonance N - nukleární (studujeme vlastnosti
VíceCHARAKTERIZACE MATERIÁLU II
CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:
VíceMěření vakua. Vacuum Technology J.Šandera, FEEC, TU Brno 1
Měření vakua Je třeba měřit vakuum ve velkém rozsahu (10-10 až 10 5 Pa) Používají se mechanické a elektrické principy Co požadujeme po vakuometrech: - absolutní měření a nezávislost údaje na druhu plynu
VíceBIOMECHANIKA DYNAMIKA NEWTONOVY POHYBOVÉ ZÁKONY, VNITŘNÍ A VNĚJŠÍ SÍLY ČASOVÝ A DRÁHOVÝ ÚČINEK SÍLY
BIOMECHANIKA DYNAMIKA NEWTONOVY POHYBOVÉ ZÁKONY, VNITŘNÍ A VNĚJŠÍ SÍLY ČASOVÝ A DRÁHOVÝ ÚČINEK SÍLY ROTAČNÍ POHYB TĚLESA, MOMENT SÍLY, MOMENT SETRVAČNOSTI DYNAMIKA Na rozdíl od kinematiky, která se zabývala
VíceFYZIKA MIKROSVĚTA. Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Fyzika mikrosvěta - 3. ročník
FYZIKA MIKROSVĚTA Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Fyzika mikrosvěta - 3. ročník Mikrosvět Svět o rozměrech 10-9 až 10-18 m. Mikrosvět není zmenšeným makrosvětem! Chování v mikrosvětě popisuje kvantová
VíceModulace a šum signálu
Modulace a šum signálu PATRIK KANIA a ŠTĚPÁN URBAN Nejlepší laboratoř molekulové spektroskopie vysokého rozlišení Ústav analytické chemie, VŠCHT Praha kaniap@vscht.cz a urbans@vscht.cz http://www.vscht.cz/anl/lmsvr
Více10. Energie a její transformace
10. Energie a její transformace Energie je nejdůležitější vlastností hmoty a záření. Je obsažena v každém kousku hmoty i ve světelném paprsku. Je ve vesmíru a všude kolem nás. S energií se setkáváme na
Víceé č í é ě í ž ý í Ú á í ž ý í ý Á í ÁŘ É Á ý á ář é í á í ž ý í Ř ú á á č ý š á í š í řá ě č á í í é ář é á é é č á ú í ář é á á ů ě ž é é č é é ě ý ží á ý ý í ář é á ě ž é ří é ď ý é ě í í č í č íčá é
VíceFYZIKA I. Gravitační pole. Prof. RNDr. Vilém Mádr, CSc. Prof. Ing. Libor Hlaváč, Ph.D. Doc. Ing. Irena Hlaváčová, Ph.D. Mgr. Art.
VYSOKÁ ŠKOLA BÁŇSKÁ TECHNICKÁ UNIVERITA OSTRAVA FAKULTA STROJNÍ FYIKA I Gravitační pole Prof. RNDr. Vilém Mádr, CSc. Prof. Ing. Libor Hlaváč, Ph.D. Doc. Ing. Irena Hlaváčová, Ph.D. Mgr. Art. Dagmar Mádrová
VíceDělení a svařování svazkem plazmatu
Dělení a svařování svazkem plazmatu RNDr. Libor Mrňa, Ph.D. Osnova: Fyzikální podstat plazmatu Zdroje průmyslového plazmatu Dělení materiálu plazmou Svařování plazmovým svazkem Mikroplazma Co je to plazma?
VícePráce v elektrickém poli Elektrický potenciál a napětí
Práce v elektrickém poli Elektrický potenciál a napětí Elektrický potenciál Pohybuje-li se elektrický náboj v elektrickém poli, konají práci síly elektrické anebo vnější. Tohoto poznatku pak použijeme
VíceELEKTŘINA A MAGNETIZMUS Řešené úlohy a postupy: Posuvný proud a Poyntingův vektor
ELEKTŘINA A MAGNETIZMUS Řešené úlohy a postupy: Posuvný proud a Poyntingův vektor Peter Dourmashkin MIT 006, překlad: Jan Pacák (007) Obsah 10. POSUVNÝ PROUD A POYNTINGŮV VEKTOR 3 10.1 ÚKOLY 3 10. POSUVNÝ
VíceHmotnostní detekce v separačních metodách
Hmotnostní detekce v separačních metodách MC230P83 2/1 Z+Zk 4 kredity doc. RNDr. Josef Cvačka, Ph.D. Mgr. Martin Hubálek, Ph.D. Ústav organické chemie a biochemie AVČR, v.v.i. Flemingovo nám. 2, 166 10
VíceELEKTROSTATIKA. Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Elektřina a magnetismus - 2. ročník
ELEKTROSTATIKA Mgr. Jan Ptáčník - GJVJ - Fyzika - Elektřina a magnetismus - 2. ročník Elektrický náboj Dva druhy: kladný a záporný. Elektricky nabitá tělesa. Elektroskop a elektrometr. Vodiče a nevodiče
Více