Techniky mikroskopie povrchů



Podobné dokumenty
Techniky mikroskopie povrchů

Elektronová mikroskopie a RTG spektroskopie. Pavel Matějka

Mikroskopie se vzorkovací sondou. Pavel Matějka

Optická mikroskopie a spektroskopie nanoobjektů. Nanoindentace. Pavel Matějka

TRANSMISNÍ ELEKTRONOVÁ MIKROSKOPIE

Elektronová mikroskopie a mikroanalýza-2

Elektronová mikroskopie SEM, TEM, AFM

zadávaná v otevřeném řízení v souladu s ust. 27 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, ve znění pozdějších předpisů

NITON XL3t GOLDD+ Nový analyzátor

Topografické změny v plazmaticky modifikovaných površích

Vlnová délka světla je cca 0,4 µm => rozlišovací schopnost cca. 0,2 µm 1000 x víc než oko

TEM (Transmition Electron Microscopy) HRTEM (High Resolution TEM) SEM (Scanning Electron Microscopy) EDX (Energy-dispersive X-ray spectroscopy)

Elektronová Mikroskopie SEM

INTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II.

Metody skenovací elektronové mikroskopie SEM a analytické techniky Jiří Němeček

Mikroskopie rastrující sondy

Proč elektronový mikroskop?

Viková, M. : MIKROSKOPIE II Mikroskopie II M. Viková

Pedagogická fakulta. Katedra fyziky. Diplomová práce

PŘEHLED KLASICKÝCH A MODERNÍCH MIKROSKOPICKÝCH METOD

Mikroskopy. Světelný Konfokální Fluorescenční Elektronový

10/21/2013. K. Záruba. Chování a vlastnosti nanočástic ovlivňuje. velikost a tvar (distribuce) povrchové atomy, funkční skupiny porozita stabilita

Úvod. Mikroskopie. Optická Elektronová Skenující sondou. Mikroskopie je metod kterej dovoluje sledovat malé objekty a detaile jejích povrchů.

METODY ANALÝZY POVRCHŮ

ANALYTICKÝ PRŮZKUM / 1 CHEMICKÉ ANALÝZY ZLATÝCH A STŘÍBRNÝCH KELTSKÝCH MINCÍ Z BRATISLAVSKÉHO HRADU METODOU SEM-EDX. ZPRACOVAL Martin Hložek

Využití metod atomové spektrometrie v analýzách in situ

Základní pojmy. Je násobkem zvětšení objektivu a okuláru

Mikroskopické techniky

Vybrané spektroskopické metody

Laboratoř charakterizace nano a mikrosystémů: Elektronová mikroskopie

1. Teorie mikroskopových metod

Metody spektroskopické adsorpce či emise záření Metody nespektroskopické změna vlastností při průchodu světla

ELEKTRONOVÁ MIKROSKOPIE V TEXTILNÍ METROLOGII

Analýza vrstev pomocí elektronové spektroskopie a podobných metod

ANALYTICKÝ PRŮZKUM / 1 CHEMICKÉ ANALÝZY DROBNÝCH KOVOVÝCH OZDOB Z HROBU KULTURY SE ZVONCOVÝMI POHÁRY Z HODONIC METODOU SEM-EDX

Nová koncepční a konstrukční řešení pro zobrazení s PMS

PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A)

Testování nanovlákenných materiálů

C Mapy Kikuchiho linií 263. D Bodové difraktogramy 271. E Počítačové simulace pomocí programu JEMS 281. F Literatura pro další studium 289

Infračervená spektroskopie

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav elektrotechnologie

Analytické metody využívané ke stanovení chemického složení kovů. Ing.Viktorie Weiss, Ph.D.

Charakterizace materiálů I KFY / P224. Martin Kormunda

Elektronová mikroskopie v materiálovém výzkumu

Nejdůležitější pojmy a vzorce učiva fyziky II. ročníku

Fyzika - Kvarta Fyzika kvarta Výchovné a vzdělávací strategie Učivo ŠVP výstupy

Experimentální laboratoře (beamlines) ve Středoevropské synchrotronové laboratoři (CESLAB)

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY

3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické).

Testování nanovlákenných materiálů. Eva Košťáková KNT, FT, TUL

Přednášky z lékařské biofyziky Biofyzikální ústav Lékařské fakulty Masarykovy univerzity, Brno. Mikroskopie

Optika. VIII - Seminář

Příloha č. 1 - Technické podmínky Rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí

Optická konfokální mikroskopie a mikrospektroskopie. Pavel Matějka

1. Periodický zákon formuloval: a) John Dalton b) D.I.Mendělejev c) Bohuslav Brauner

Bioimaging rostlinných buněk, CV.2

Střední škola obchodu, řemesel a služeb Žamberk. Výukový materiál zpracovaný v rámci projektu EU Peníze SŠ

Identifikace barviv pomocí Ramanovy spektrometrie

RTG záření. Vlastnosti RTG záření. elektromagnetické vlnění s vlnovými délkami v intervalu < 10-8 ; >m.

Testování nanovlákenných materiálů

Optoelektronické. snímače BOS 18E. Zkoušeno podle BWN Pr. 27 (IP 68 pro potravinářský průmysl) Vlastnosti

VÝZKUM MOŽNOSTÍ ZVÝŠENÍ ŽIVOTNOSTI LOŽISEK CESTOU POVRCHOVÝCH ÚPRAV

Krystalografie a strukturní analýza

Metody charakterizace nanomaterálů I

ZPRACOVÁNÍ OBRAZU přednáška 2

Mikroskopie a zobrazovací technika. Studentská 1402/ Liberec 1 tel.: cxi.tul.cz

VIBRAČNÍ SPEKTROMETRIE

Pavel Matějka

13. Spektroskopie základní pojmy

Mikroskopie rastrovací sondou II analytické/optické metody

Spektroskopické é techniky a mikroskopie. Spektroskopie. Typy spektroskopických metod. Cirkulární dichroismus. Fluorescence UV-VIS

Zobrazovací metody v nanotechnologiích

vede sice ke zvýšení kontrastu, zároveň se ale snižuje rozlišení a ostrost obrazu (Obr. 46).

DODATEČNÉ INFORMACE dle 49 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách

MĚŘENÍ V SEMIKONTAKTNÍM REŽIMU POMOCÍ MIKROSKOPU SOLVER NEXT

Gymnázium Vysoké Mýto nám. Vaňorného 163, Vysoké Mýto

Úvod do zpracování obrazů. Petr Petyovský Miloslav Richter

Vakuové součástky. Hlavní dva typy vakuových součástek jsou

Základem AFM je velmi ostrý hrot, který je upevněn na ohebném nosníku (angl. cantilever, tento termín se používá i v češtině).

Elektronová mikroskopie (jemný úvod do SEM, TEM) Rostislav Medlín NTC, ZČU

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA STROJNÍHO INŽENÝRSTVÍ ÚSTAV MATERIÁLOVÝCH VĚD A INŽENÝRSTVÍ

Tepelná výměna. výměna tepla může probíhat vedením (kondukce), sáláním (radiace) nebo prouděním (konvekce).

LIDAR (light detection and ranging)

ZÁKLADNÍ ČÁSTI SPEKTRÁLNÍCH PŘÍSTROJŮ

CMI900. Rychlé a ekonomicky výhodné stanovení tloušťky povlaků a jejich prvkového složení metodou XRF. Robustní / Snadno ovladatelný / Spolehlivý

Hmotnostní spektrometrie ve spojení se separačními metodami

Moderní mikroskopické techniky: Elektronová mikroskopie a mikroskopie rastrovací sondou. Pavel Janda. pavel.janda@jh-inst.cas.cz

Ing.Branislav Ruttkay-Nedecký, Ph.D., Ing. Lukáš Nejdl

Metody povrchové analýzy založené na detekci iontů. Pavel Matějka

Kupní smlouva. v platném znění

Úvod do předmětu Technická Mineralogie

Úvod do fyziky tenkých vrstev a povrchů. Spektroskopie Augerových elektron (AES), elektronová mikrosonda, spektroskopie prahových potenciál

Svařování svazkem elektronů

Elektřina a magnetizmus

Viková, M. : MIKROSKOPIE V Mikroskopie V M. Viková

Úloha VI.E... alchymistická

Molekulová spektroskopie 1. Chemická vazba, UV/VIS

Mikroskop atomárních sil: základní popis instrumentace

- Rayleighův rozptyl turbidimetrie, nefelometrie - Ramanův rozptyl. - fluorescence - fosforescence

Klíčová slova TEM, transmisní elektronový mikroskop, zlato, germanium, nanočástice, nanovlákna

Transkript:

Techniky mikroskopie povrchů Elektronové mikroskopie Urychlené elektrony - šíření ve vakuu, ovlivnění dráhy elektrostatickým nebo elektromagnetickým polem Nepřímé pozorování elektronového paprsku TEM transmisní elektronová mikroskopie První aplikace výzkum virů, biologie, lékařství Důležitá znalost interakcí elektronového záření se vzorkem STEM řádkovací transmisní elektronová mikroskopie Oproti TEM vychylovaný (řádkující) elektronový paprsek SEM řádkovací elektronová mikroskopie Vychylovaný (řádkující) elektronový paprsek sledování sekundárních elektronů

Interakce elektronového paprsku se vzorkem Tenký vzorek část elektronů prochází ( prozáření ) beze změny část elektronů se absorbuje (teplo!) Transmisní (prozařovací) elektronový mikroskop TEM (- stínový obraz) Při průchodu elektron těsně míjí : atomové jádro - velká úchylka směru, malá ztráta rychlosti jiný elektron - malá úchylka ve směru, ztráta velké části rychlosti - chromatická vada (preparát musí být tenký) odstranění uchýlených elektronů - clona mezi preparátem a čočkou objektivu zvětšování kontrastu preparátu - vnášení atomů těžkých kovů (Pb, W, Os, ), které mají větší náboj jádra

Interakce elektronového paprsku se vzorkem Masivní vzorek část elektronů se absorbuje (teplo!) část elektronů vyráží z povrchu jiné (sekundární) elektrony s malou energií. Z těch se rekonstruuje obraz - řádkovací - skenovací - rastrovací elektronový mikroskop (SEM)

TEM Prozařovací elektronová mikroskopie až atomové rozlišení Zvětšení 20 000 x 20 000 000 x Tloušťka vzorku do cca 100 nm Kombinace s RTG detekcí a filtrace energie elektronů mapy chemického složení Teplotní či mechanické změny in situ v mikroskopu Mikroskop elektronová tryska, akcelerátor elektronů, magnetické čočky osvětlovací a zobrazovací soustavy

TEM Mikroskop Zdroj záření - elektronové dělo W vlákno (2800K), W hrot, LaB 6 Fokusace záření na vzorek 1-2 kondenzory (+clona) elektromagnetické čočky prstence z velmi čistého Fe pracují pouze ve vakuu, pouze spojky Vzorek tloušťka 10 100 nm Odstranění odchýlených paprsků clona Objektiv a projektivy (primární obraz a jeho zvětšení) vady elmg. čoček Detekce fluorescenční stínítko, fotovrstva, obrazovka, CCD kamera

TEM EF-TEM energy filtered Modern instruments: CCD camera as detector EF-TEM energy of detected electron is filtered multiple images at different energies are acquired and processed

TEM

TEM Mikroskop Objektiv zásadní vliv na rozlišovací schopnost mikroskopu (cca 0,19 nm) Elektromagnetické čočky Problém s obsahem vody ve vzorcích Vzorek stabilita ve vakuu Drobné částice (nanočástice) Ultratenké řezy (tkání) do 100 nm Umístěn na kovovou síťku (běžně Cu, průměr cca 3 mm)

TEM Nanočástice

TEM

TEM -SEM Primary e - SE and BSE?

SEM Mikroskop Rozlišovací schopnost cca 5 nm Fokusovaný elektronový paprsek běžně 5 10 nm kruhová stopa Pomocí vychylovacích cívek skenuje povrch vzorku Vyražené sekundární elektrony přitahovány k detektoru scintilátor fotonásobič Reliéf povrchu nestejná intenzita sekundárních elektronů v závislosti na sklonu povrchu vůči primárnímu záření Ostré hrany, výčnělky, výstupky přesvětlené snazší uvolňování elektronů

SEM

SEM Mikroskop Problém nabíjení objektů pokovení objektů, uzemnění vzorků Nižší urychlovací napětí (cca 20 kv) než TEM (cca 80 kv) sekundární elektrony pouze z povrchu Vzorek Velikost až několik cm Povrch souvisle pokrytý vodivou vrstvou, sledující detaily povrchu Síťky pokryté vrstvou nosné fólie nitrocelulosové, Formvarové, uhlíkové

SEM - Mikroskop Obraz v sekundárních (morfologie) a zpětně odražených elektronech (složení) - Vliv atomového čísla

SEM Mikroskop Obraz v sekundárních (morfologie) Cu nanostruktury na Pt

STEM 1938 Manfred von Ardenne Mikroskop Vychylovaný paprsek skenuje vzorek a prozařuje jej rozlišení cca 1 nm prozářené elektrony po průchodu optikou mikroskopu dopadají na scintilátor zesílení signálu fotonásobičem díky zesílení možnost studovat i relativně silnější vzorky detekce prozářených elektronů a detekce difraktovaných elektronů extrémní rozlišení až 0,05 nm

STEM Au ostrůvky na uhlíku

STEM aplikace

Focused Ion Beam Systems FIB vs. SEM similar sample handling - Ion beam directly modifies or mills the surface

Mikroskopie rastrovací sondou Rastrování povrchu

Mikroskopie rastrovací sondou STM přenos náboje elektrony - tunelový proud - exponenciální pokles proudu s vzdáleností (měřitelný proud při vzdálenostech v desetinách nm) Napětí hrot vzorek Distanční spektroskopie

Mikroskopie rastrovací sondou AFM hrot ohebný nosník - atomární síly Hookův zákon Kontaktní - statický Bezkontaktní - statický Rozkmitaný hrot - dynamický modulace frekvence, amplitudy

Mikroskopie rastrovací sondou AFM - 1986

Mikroskopie rastrovací sondou AFM AFM, Ag, S2 ORC treatment FM, Cu, M1 CuSO 4

Optická nanospektroskopie Techniky blízkého pole sonda v blízkosti povrchu ( blízké pole ) Spektroskopie blízkého pole (near-field spectroscopy) Mikroskopie blízkého pole SNOM scanning near-field optical microscopy UV-vis, IR (IR-SNOM), Ramanova spektroskopie fotoluminiscence, fluorescence rozlišení lepší než 50 nm spektroskopie jedné molekuly

Optická nanospektroskopie vzdálenost sondy 10 nm apertura sondy optické spřažení mezi špičkou sondy a vzorkem sonda reaguje na změny dielektrické funkce v jejím okolí režimy snímání transmisní (jen transparentní vzorky) reflexní ostrá sonda vysílač, přijímač

Optická nanospektroskopie

Infračervená nanospektroskopie Techniky blízkého pole konstrukce spektroskopického obrazu rastrováním sonda skenuje povrch bod po bodu kritická je apertura sondy a její vzdálenost od povrchu

Výhody a problémy SNOM VÝHODY překonání difrakční limity nanorozlišení nedestruktivní metoda flexibilní režimy snímání PROBLÉMY technologické nároky na konstrukci SNOM sondy nízká intenzita detekovaného záření nároky na citlivost detektoru

Příklady použití organické nanokompozitní materiály domény polystyren Poly-2-vinylpyridin kontrast při 2950 cm -1

Příklady použití domény organické nanokompozitní materiály polystyren poly-2-vinylpyridin

Příklady použití NIR SNOM

Příklady použití NIR SNOM