Příloha č. 1 - Technické podmínky Rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí

Transkript

1 Příloha č. 1 - Technické podmínky Rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí 1. Kupující v zadávacím řízení poptal dodávku zařízení vyhovujícího následujícím technickým požadavkům: Číslo Technické a funkční vlastnosti Požadovaná hodnota Popis zařízení " Rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí: Rastrovací elektronový mikroskop s autoemisním FEG zdrojem - Shottkyho katodou, vhodný pro výzkum zejména radioaktivních kovových materiálů, umožňující výzkum materiálů vyrobených práškovou metalurgií, nevodivých materiálů, keramických vzorků či kompozitů. Mikroskop je vybaven EDS detektorem pro stvení chemického složení mikroobjemů materiálů pomocí energiově-dispersní mikroanalýzy rtg-záření a vysokorozlišovacím WDS detektorem s možností detekce lehkých i těžkých prvků. Součástí kontraktu je jedna výměna katody zdarma. Systém je přizpůsoben pro práci s radioaktivními vzorky (rozdělen na aktivní část umístěnou v nerezovém boxu ve stínění, resp. v polohorké komoře a neaktivní část umístěnou vně polohorké komory). EDS a WDS detektory mají stínění proti radioaktivnímu, stínění musí poskytnout dostatečnou ochranu proti radioaktivnímu záření alfa, beta i gama s předpokládu průměrnou aktivitou vzorku ~ 20 msv a nesmí ovlivnit měření. Stínění detektorů je nutné z důvodu okamžité a předčasné degradace detektoru při měření radioaktivních vzorků. Pracovní komora mikroskopu se softwarově ovládaným stolkem musí být přizpůsobena pro vkládání vzorků pomocí tříkloubových manipulátorů typu Master/slave pro snadné vysunutí, založení vzorků a zasunutí zakládací části. Plány manipulátorů budou zřístupněny dodavateli během realizace veřejné zakázky. Kabely pro řídící elektroniku a trubky určené pro média jsou rozpojeny pro aktivní a neaktivní část a propojeny spojovacím členem, který musí zaručit bezpečnou komunikaci mezi aktivní a neaktivní částí. Součástí dodávky je také chladicí systém polohorké komory. Z důvodu servisu a možných nepříznivých vibrací musí být vakuové vývěvy (vyjímaje vývěvy umístěné v přímé blízkosti mikroskopu nutné pro dosažení vakua pro SEM s FEG zdrojem), popř. tlakové nádoby umístěny mimo polohorkou komoru. Úpravy zařízení pro instalaci do nerezového boxu polohorké komory budou diskutovány v průběhu plnění veřejné zakázky, na základě dohody Prodávajícího a Kupujícího mohou být provedeny některé úpravy, které navrhne Prodávající a schválí Kupující. Dodávka musí obsahovat všechny komponenty, práce a potřebné doplňky zajišťující propojení a funkci dále uvedených zkušebních zařízení s rozsahem funkcí uvedených v těchto minimálních podmínkách a to i k tomuto účelu nezbytné komponenty nebo práce, které nejsou v poptávce přímo uvedeny. Montáž musí zajistit úplné propojení dodaných komponent s cílem zajistit zadu funkčnost celé dodávky. Součástí nabídky musí být Datové listy výrobce sloužící k ověření specifikovaných Technických parametrů Kupujícím. Technické požadavky na rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí (analýzu radioaktivních vzorků) s FEG zdrojem elektronů (autoemisní Shottkyho katodou), EDS a WDS detektorem. Položky požadovaného systému 1 Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 2 Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 3 Pracovní komora elektronového mikroskopu 4 Stolek mikroskopu 5 Podstavec mikroskopu s aktivním odpružením pro instalaci do nerezového boxu 6 Detektor EDS 7 EDS software 8 Detektor WDS 9 WDS software 10 Software mikroskopu 11 Řídící počítač pro mikroskop 12 Řídící počítač pro detektory EDS a WDS 13 Rozdělení zařízení na části aktivní (umístěné uvnitř nerezového boxu) a neaktivní (umístěné vně nerezového boxu) 14 Průchodky nerezového boxu 15 Chladicí systém pro polohorkou komoru 16 Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 17 Jako zdroj elektronů je požadován Shottkyho emitor s vysokým jasem. 18 Dopadová energie emitovaných elektronů, měnitelná kontinuálně, v rozsahu alespoň 0,2-30 kev 19 Dosažitelná hodnota proudu svazku měřeného na Faradayově cele 100 na 20 Garantovaná stabilita proudu elektronového svazku (měřená na Faradayově cele po instalaci) s možnou odchylkou do max. +/- 0,5 % za hodinu a +/- 1% za 12 hodin 21 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 30 kv; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). 1,2 nm 22 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 15 kv; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). 1,5 nm 23 Objektivová čočka umožňuje práci v módu bez magnetického pole na vzorku. 24 Diferenční čerpání prostoru elektronového zdroje a optiky dostatečně účinnou vývěvou. 25 Automatické a manuální seřízení elektronového děla a optického systému. 26 Spojité nastavení proudu svazku v plném rozsahu urychlovacího napětí mikroskopu 27 Elektronový mikroskop vybaven systémem snížení rychlosti a energie dopadajících elektronů. Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 28 Detektor sekundárních elektronů (SE) uvnitř analytické komory. 29 Detektor sekundárních elektronů (SE) integrovaný do elektronového tubusu. 30 Detektor sekundárních elektronů (SE) určený pro práci v modu nízkého vakua. 31 Detektor zpětně odražených elektronů (BSE) instalovaný v rámci pólového nástavce nebo motorizovaný, výsuvný detektor zpětně odražených elektronů s minimálním rozlišením (detektor plně ovladatelný z prostředí operačního softwaru) alespoň 0,1 Z (atomového čísla) 32 Simultánní akvizice signálu z alespoň dvou libovolných detektorů. 33 Minimální velikost zorného pole bez deformace obrazu při použití nejmenšího možného zvětšení alespoň 50 mm 34 Integrovaná detekce a měření proudu absorbovaných elektronů. 35 Detekce a možnost zobrazení proudu elektronů absorbovaných vzorkem (EBIC). 36 Součástí dodávky je i standard částic zlata na uhlíku pro ověření rozlišení mikroskopu. Pracovní komora elektronového mikroskopu 37 Velikost pracovní komory elektronového mikroskopu a její kompletní konfigurace musí umožnit instalaci všech požadovaných zařízení a detektorů bez omezení jejich deklarovaných funkcí a použití požadované zadavatelem. 38 Systém ochrany nebo bezpečnostní prvek, který zastaví posun stolku mikroskopu se vzorkem v případě, že se dotkne kterékoli vnitřní části komory mikroskopu. 39 Integrované aktivní odpružení komory v rámu mikroskopu. 40 Maximální rozměry vzorků zakládaných přímo do pracovní komory s možností neomezeného zobrazení a analýzy celého povrchu vzorku: délka x šířka x výška min. 120 x 100 x 50 mm 41 Možnost zakládání několika standardních metalografických výbrusů o průměru cca 30 mm min. 3 vzorky 42 Možnost instalace EBSD detektoru dodatečně v budoucnu 43 Optimalizované geometrické uspořádání analytických detektorů umožňující simultánní EDS - WDS analýzu

2 44 Optimalizované porty pro montáž detekčních systémů elektronového mikroskopu - detektorů EDS, WDS, EBSD (pro instalaci v budoucnu) a IR kamery. Geometrie portů musí zaručit plnou funkčnost všech zařízení, instalovaná zařízení se nesmí vzájemně omezovat. 45 Počet volných portů na pracovní komoře elektronového mikroskopu pro budoucí instalaci dalších zařízení a detektorů, vyjímaje optimalizovaný port pro instalaci EBSD detektoru v budoucnu alespoň 1 46 IR kamera pro sledování vnitřku pracovní komory elektronového mikroskopu a polohy vzorku a detektorů. 47 Vakuový systém umožňující dosažení čistého vakua. V případě, že čerpací systém obsahuje olejovou vývěvu, pak čerpací systém je vhodným způsobem zajištěn proti vniku olejových par do pracovní komory elektronového mikroskopu za jakýchkoli okolností (i při odstávce nebo poruše systému). 48 Tlak v komoře je měřen vhodným způsobem v celém rozsahu pracovních podmínek a zobrazen pro kontrolu uživatelem. 49 Zavzdušňování komory elektronového mikroskopu kompatibilní s použitím dusíku minimální čistoty Čerpání a zavzdušnění zakládací komory je automatizováno a ovládáno pomocí softwaru. 51 Čas potřebný k výměně vzorku kratší než 15 minut 52 Elektronový mikroskop musí být vybaven možností práce v režimu nízkého vakua při tlaku v rozsahu (tlak v pracovní komoře) alespoň Pa 53 Pracovní komora musí být přizpůsobena pro vkládání vzorků pomocí tříkloubových manipulátorů typu Master/slave, vysunutí stolku se vzorky, založení vzorku a zasunutí zakládací části se vzorky musí být možné jednoduše ovládát manipulátory, rozměry zakládací části pracovní komory nesmí limitovat založení vzorků pomocí manipulátorů. Stolek mikroskopu 54 3-osý posuv včetně rotace v rovině vzorku a náklonu stolku plně funkční pro všechny dodávané držáky vzorků, všechny pohyby motorizované. 55 Softwarově ovládaný, automatizovaný stolek s posuvem v osách X x Y x Z alespoň 120 x 100 x 50 mm 56 Opakovatelnost nájezdu stolku s přesností alespoň 1 mikrometr 57 Využitelný rozsah náklonu stolku mikroskopu v obou směrech (-X až + X ) alespoň -5 až Pozice zobrazované oblasti se zachovává při náklonu i rotaci vzorku. Podstavec mikroskopu s aktivním odpružením pro instalaci do nerezového boxu 59 Podstavec s aktivním odpružením pro instalaci mikroskopu do nerezového boxu. 60 Podstavec mikroskopu je mobilní, tzn. umožňuje vložení i vyjmutí mikroskopu z nerezového boxu. 61 Podstavec obsahuje pojízdný systém (např. pojízdná kolečka či jiný systém definovaný dodavatelem) pro účely servisu a obsluhy mikroskopu (např. výměnu FEG zdroje) po jeho dekontaminaci, přístroj se snadno vyjme a opětovně vloží do nerezového boxu Rozměry podstavce (rozměr čelního pohledu přístroje vzhledem k průzoru) x šířka (boční rozměr pro vyjmutí přístroje bočními 62 dveřmi), viz Příloha č. 5 Zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 1 - Rozměry boxu) Detektor EDS < 1,2 m x < 2 m 63 Detektor typu SDD, bez nutnosti chlazení kapalným dusíkem s garantovu funkčností v celém rozsahu pracovních podmínek. 64 Detektor vybaven motorickým vysunováním a zasunováním do pracovní pozice. 65 Velikost aktivní plochy snímacího čipu detektoru min. 50 mm 2 66 Schopnost detekce, kvalitativní a kvantitativní analýzy prvků v rozsahu od Na po Pu Garantovaná hodnota energiového rozlišení na manganu (Mn Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci detektoru Garantovaná hodnota energiového rozlišení na uhlíku (C Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci detektoru 125 ev 50 ev 69 ############################################################################################################ EDS software 70 Multiuživatelský systém. 71 Musí umožňovat snímání obrazových signálů z mikroskopu. 72 Základní obrazová analýza (jas, kontrast, gamma korekce atd.). 73 Umožňuje kvantitativní bezstandardovou analýzu. 74 Musí umožňovat práci se standardy, vytváření vlastních knihoven standardů. 75 Musí umožňovat export/import spektra v otevřeném formátu (EMSA). 76 Volba analýz v bodě, v oblasti libovolně zvolené uživatelem, v linii a v definovaném rastru. U všech typů analýz je automaticky uloženo celé spektrum v každém bodě analýzy. 77 Vytváření map prvků s možností získání rozložení prvků v libovolné oblasti a podél čáry zvolené v nasnímané oblasti. 78 Musí umožňovat vytváření kvantitativní mapy rozložení prvků. 79 Maximální rozlišení prvkové distribuční mapy EDS alespoň 8000 x 8000 pixelů 80 Vytváření kvantitativních linescanů s rozlišením až 8192 bodů 81 Automatická detekce fází, tvorba fázových map na základě chemického složení, modální analýza. 82 Musí umožňovat ovládat posuvy stolku mikroskopu. 83 Musí umožňovat automatizaci procesu snímání větších ploch zahrnující snímkování povrchu vzorků a akvizice distribučních prvkových map, možnost rozčlenění analyzované oblasti na dílčí celky následované akvizicí dat a jejich následné spojení do jednoho datového výstupu. 84 Kompenzace driftu vzorku v průběhu analýzy. 85 Software umožňuje plnou integraci EDS systému s WDS systémem Musí umožňovat registraci libovolného snímku pořízeného v rámci softwaru nebo z externího zdroje a jeho využití pro navigaci a stvení polohy analytických bodů (ploch). Musí umožňovat řešení interferencí čar analyzovaných prvků dekonvolučními metodami a pulse pile-up korekci (korekce pile-up píků až minimálně třetího řádu) v průběhu akvizice dat pro veškerá kvantitativní data, prvkové distribuční mapy a liniové analýzy 88 Minimálně jedna offline licence dodaného EDS softwaru pro dalšího uživatele. Detektor WDS 89 WDS systém umožňuje detekci, kvalitativní a kvantitativní analýzu prvků od Be do Pu. 90 WDS systém umožňuje analýzu čar prvků v rozsahu energií rtg. záření (požadovaný rozsah kontinuálně pokryt vhodnými difrakčními krystaly) alespoň 100 ev - 10 kev 91 WDS systém musí umožnit montáž až 6 difrakčních krystalů najednou 92 WDS systém musí být vybaven difrakčními krystaly optimalizovanými pro analýzu C, N a O. 93 WDS spektrometr je vybaven vstupní štěrbinou (umístěnou před detektorem) s motorizovaným ovládáním její pozice a šířky pro optimalizaci intenzity vstupního signálu a poměru intenzit na peaku a pozadí.

3 94 Integrovaný systém měření proudu svazku pro kvantitativní WDS analýzu. 95 WDS spektrometr musí být vybaven dvěma detektory na bázi průtokového proporcionálního čítače a proporcionálního čítače se stálou náplní vhodného plynu (např. Xe) pro maximální efektivitu detekce rtg záření v požadovaném energiovém rozsahu, oba detektory umožňují detekci rtg. záření jak odděleně tak i současně podle volby uživatele. 96 Garantovaná intenzita signálu na čáře C Ka (měřená na standardu čistého uhlíku), poměr intenzity peaku k pozadí (P/B) 400 pulsů za sekundu na 1 na, P/B Garantovaná intenzita signálu na čáře Fe Ka (měřená na standardu čistého železa), poměr intenzity peaku k pozadí (P/B) 98 Součástí dodávky je sada standardů prvků/sloučenin pro kvantitativní WDS-EDS analýzu. Pokryty alespoň prvky: Al, Ba, Be, B, Ca, Ce, Cd, Cl, Cr, Co, C, Cu, Ge, Au, In, Ir, F, Fe, K, La, Pb, Mn, Mo, Mg, N, Na, Ni, Nb, P, Pd, Pt, Re, Rh, S, Se, Sc, Si, Sr, Ag, Ta, Te, Sb, Sn, Ti, W, V, Y, Zn, Zr, Bi, Hf. Referenční materiály dodány s certifikátem složení pulsů za sekundu na 1 na, P/B ############################################################################################################ WDS software 100 Možnost simultání EDS-WDS kvantitativní analýzy s možností volby prvků analyzovaných WDS nebo EDS podle požadavků uživatele, požadována plná softwarová integrace s EDS systémem v rámci jednoho softwaru 101 Analytické funkce umožňující akvizici spektrálních scanů, ověření přítomnosti prvku ve vzorku a kvantitativní analýzu s použitím standardů. 102 Automatická kalibrace detektoru. 103 Minimálně jedna offline licence dodaného WDS softwaru pro dalšího uživatele. Software mikroskopu 104 Automatické nastavení jas-kontrast (ACB), zaostření (AF) a stigmátorů. 105 Funkce nastavení dynamického fokusu na hodnotu Softwarová rotace obrazu a korekce náklonu vzorku. 107 Současné zobrazení alespoň dvou živých obrazů. 108 Umožňuje snímat obrazy 16 bitově s maximálním rozlišením alespoň 250 Mpx 109 Obrazové formáty minimálně TIFF, BMP, JPG. 110 Integrovaný software pro základní obrazovou analýzu, vkládání měřítek do snímků a vytváření protokolu o pozorování. 111 Integrovaný software pro měření vzdáleností, úhlů a ploch v živém i uloženém obrazu SEM. 112 Software umožňuje načtení obrazu pomocí alespoň jednoho z instalovaných detektorů (např. SE detektoru), import obrazu vzorků pořízený jiným zařízením, registraci obrazu a použití pro navigaci mezi analyzovanými oblastmi na vzorku. 113 Umožňuje snímání videosekvencí obrazu analyzovaného vzorku. 114 Automatizované snímání, spojení a ukládání snímků definovaných oblastí. 115 Umožňuje zobrazit a snímat obrazy v kombinaci signálů SE a BSE (např. obraz 50% v SE a 50% v BSE) Řídící počítač pro mikroskop 116 Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 117 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 bitová verze) a dvěma monitory s úhlopříčkou min Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). 119 Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických systémů. 120 Operační paměť alespoň 32 GB pevné disky s kapacitou pro každý z nich alespoň 1 TB 122 Barevná laserová tiskárna formátu A4 s rozlišením tisku. minimálně 1200 dpi 123 Řídící panel ovládání mikroskopu. 124 Klávesnice česká (qwertz) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš Řídící počítač pro detektory EDS a WDS 125 Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 126 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 bitová verze) a s úhlopříčkou min Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). 128 Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických systémů. 129 Operační paměť alespoň 32 GB pevné disky s kapacitou pro každý z nich. alespoň 1 TB 131 Klávesnice česká (qwerty) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš Rozdělení zařízení na části aktivní (umístěné uvnitř nerezového boxu) a neaktivní (umístěné vně nerezového boxu) Vzhledem k povaze umístění a funkci zařízení, které bude pracovat s radioaktivním materiálem a bude v prostředí, kde se bude vyskytovat zvýšená úroveň radioaktivního záření, je celé zařízení rozděleno na dvě části: a) na část aktivní, umístěnou uvnitř nerezového boxu polohorké komory b) na část neaktivní, umístěnou mimo nerezový box polohorké komory Tento nevyjímatelný nerezový box je z důvodu bezpečnosti práce hermeticky uzavřen. Rozměry boxu jsou znázorněny v Příloze č. 5 zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 1 - Rozměry boxu). Box bude umístěn ve speciální konstrukci umožňující odstínit radioaktivní záření na úroveň srovnatelnou s přírodním pozadím charakteristickou pro du oblast. Tato úroveň záření již nemá vliv na funkci ani kvalitu přístroje. Rozdělení zařízení je schematicky znázorněno v Příloze č. 5 zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 2 - Ilustrační schéma vedení). Celkové navržené schéma zapojení přístroje pro provoz a servis zařízení při rozdělení zařízení na aktivní a neaktivní část a dílčí schéma zapojení (schéma vysokého napětí, vakuový systém, řídící systém) je znázorněno v Příloze č. 5 zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_schema zapojení. Propojení aktivní a neaktivní části bude diskutováno mezi Prodávajícím a Kupujícím v průběhu plnění veřejné zakázky z důvodu složitosti zařízení, v průběhu plnění mohou být navrženy úpravy po dohodě Prodávajícího a Kupujícího. 132 Rozdělení zařízení na aktivní a neaktivní část 133 Mikroskop bude umístěn uvnitř nerezového boxu pro analýzu radioaktivních vzorků, řídící elektronika bude umístěna vně nerezového boxu 134 Umístění řídící elektroniky (řídícího PC) mimo pracovní část přístroje umístěného v nerezovém boxu min. ve vzdálenosti 10 metrů (všechny kabely jsou rozdělené a spojené konektory) 135 Veškerá média budou do boxu vedena rozpojitelnými kabely resp. trubkami pro vedení médií v min. délce 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky 136 SEM musí být přizpůsoben pro umístění do izolovaného prostředí polohorké komory pro práci s radioaktivními vzorky - stínění instalovaných detektorů navržené dodavatelem nesmí ovlivnit měření, pracovní komora mikroskopu musí mít dostatečné rozměry pro zakládání vzorků do držáku vzorků pomocí tříkloubových manipulátorů typu Master/slave - snadné uchopení výsuvné části pracovní komory, vysunutí, vložení vzorku a zasunutí

4 137 Vakuové vývěvy (vyjímaje vývěvy umístěné v přímé blízkosti mikroskopu nutné pro dosažení vakua pro SEM s FEG zdrojem) umístěny vně nerezového boxu v neaktivní části v prostoru pod boxem, pro servis SEM (např. výměna FEG zdroje) po jeho vyjmutí z boxu bočním vstupem bude zajištěno boční vedení pro servis přístroje mimo box, délka vedení pro umístění v prostoru pod nerezový box i pro servis min. 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky 138 Veškeré potřebné tlakové nádoby umístěny vně nerezového boxu - v prostorech neaktivní části s délkou vedení min. 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky 139 Jednotka vysokého napětí umístěna v prostorech neaktivní části s délkou vedení min. 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky Průchodky nerezového boxu Vzhledem k rozdělení zařízení na dvě části, které musí být technologicky spojené a musí procházet skrz spodní část nerezového boxu, schematicky znázorněno v Příloze č. 5_Projektová dokumentace_instalace (část 2 - Ilustrační schéma vedení), je nutné aby bylo možné rozdělit veškeré prostupy boxem. Z tohoto požadavku vyplývá nutnost technologické průchodky boxem, schematicky znázorněno v Příloze č. 5_Projektová dokumentace_instalace (část 3 - Řešení průchodek). Tyto průchodky spojují obě části (aktivní a neaktivní) přístroje a umožňují jejich bezpečné rozdělení a to jak z neaktivní strany, tak i z aktivní. 140 Možnost rozpojení všech médíí a kabelů mezi částmi aktivní a neaktivní, s vyjímkou případů kdy se Prodávající a Kupující dohodnou během realizace jinak. 141 Dodání spojovacích členů průchodky všech typů v počtu alespoň o 2 kusy více než je nezbytně nutné pro úplné spojení všech médií a kabelů přístroje, dodavatel specifikuje počet a typ spojovacích členů pro kabely a trubky pro vedení médií Chladicí systém pro polohorkou komoru, Příloha č. 5 Projektová dokumentace_schéma propojení (Chladící systém) 142 Chladicí systém polohorké komory umožňuje proudění vzduchu do nerezového boxu a nastavení uživatelem požadované teploty v boxu 143 Systém pro udržení teploty v boxu v rozmezí cca C, teplota nastavena uživatelem 144 Teplota v polohorké komoře je měřena vhodným způsobem a zobrazena pro kontrolu uživatelem, měřitelný rozsah teploty minimálně 3-80 C 145 Chladící systém je schopen udržet teplotu v místě mikroskopu (uvnitř nerezového boxu) natolik stabilně, aby nedošlo k ovlivnění měření. 146 Chladicí systém musí být opatřen filtry pro zachycení pevných částic. Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu (+ další požadavky v ceně dodávky) 147 Kompresor pro stlačený vzduch, je-li nutný 148 UPS schopna udržet mikroskop i nutná zařízení v provozu nejméně 1 hodinu 149 Aktivní systém kompenzace elektromagnetického rušení s potlačením nejméně 30x včetně stejnosměrné složky. 150 Systém pro analýzu tloušťky a chemického složení tenkých vrstev a multivrstev plně integrovaný do analytického a ovládacího softwaru 151 Jedna výměna katody zdarma zahrnutá v ceně dodávky 152 Další dvě výměny katody zdarma v ceně dodávky Hodnotící parametr 153 Reaktivní a prediktivní softwarová korekce driftu Hodnotící parametr 2. Prodávající ke splnění závazků ze Smlouvy Kupujícímu dodá, nainstaluje, otestuje Číslo Technické a funkční vlastnosti Požadovaná hodnota Technické požadavky na rastrovací elektronový mikroskop pro aktivní prostředí (analýzu radioaktivních vzorků) s FEG zdrojem elektronů (autoemisní Shottkyho katodou), EDS a WDS detektorem. Položky požadovaného systému 1 Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 2 Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 3 Pracovní komora elektronového mikroskopu 4 Stolek mikroskopu 5 Podstavec mikroskopu s aktivním odpružením pro instalaci do nerezového boxu 6 Detektor EDS 7 EDS software 8 Detektor WDS 9 WDS software 10 Software mikroskopu 11 Řídící počítač pro mikroskop 12 Řídící počítač pro detektory EDS a WDS 13 Rozdělení zařízení na části aktivní (umístěné uvnitř nerezového boxu) a neaktivní (umístěné vně nerezového boxu) 14 Průchodky nerezového boxu 15 Chladicí systém pro polohorkou komoru 16 Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 17 Jako zdroj elektronů je požadován Shottkyho emitor s vysokým jasem. 18 Dopadová energie emitovaných elektronů, měnitelná kontinuálně, v rozsahu alespoň 0,2-30 kev 19 Dosažitelná hodnota proudu svazku měřeného na Faradayově cele 100 na 20 Garantovaná stabilita proudu elektronového svazku (měřená na Faradayově cele po instalaci) s možnou odchylkou do max. +/- 0,5 % za hodinu a +/- 1% za 12 hodin 21 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 30 kv; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). 1,2 nm 22 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 15 kv; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). 1,5 nm 23 Objektivová čočka umožňuje práci v módu bez magnetického pole na vzorku. 24 Diferenční čerpání prostoru elektronového zdroje a optiky dostatečně účinnou vývěvou. 25 Automatické a manuální seřízení elektronového děla a optického systému. 26 Spojité nastavení proudu svazku v plném rozsahu urychlovacího napětí mikroskopu 27 Elektronový mikroskop vybaven systémem snížení rychlosti a energie dopadajících elektronů. Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 28 Detektor sekundárních elektronů (SE) uvnitř analytické komory. 29 Detektor sekundárních elektronů (SE) integrovaný do elektronového tubusu. 30 Detektor sekundárních elektronů (SE) určený pro práci v modu nízkého vakua. 31 Detektor zpětně odražených elektronů (BSE) instalovaný v rámci pólového nástavce nebo motorizovaný, výsuvný detektor zpětně odražených elektronů s minimálním rozlišením (detektor plně ovladatelný z prostředí operačního softwaru) alespoň 0,1 Z (atomového čísla) 32 Simultánní akvizice signálu z alespoň dvou libovolných detektorů. 33 Minimální velikost zorného pole bez deformace obrazu při použití nejmenšího možného zvětšení alespoň 50 mm 34 Integrovaná detekce a měření proudu absorbovaných elektronů. 35 Detekce a možnost zobrazení proudu elektronů absorbovaných vzorkem (EBIC). 36 Součástí dodávky je i standard částic zlata na uhlíku pro ověření rozlišení mikroskopu. Pracovní komora elektronového mikroskopu

5 37 Velikost pracovní komory elektronového mikroskopu a její kompletní konfigurace musí umožnit instalaci všech požadovaných zařízení a detektorů bez omezení jejich deklarovaných funkcí a použití požadované zadavatelem. 38 Systém ochrany nebo bezpečnostní prvek, který zastaví posun stolku mikroskopu se vzorkem v případě, že se dotkne kterékoli vnitřní části komory mikroskopu. 39 Integrované aktivní odpružení komory v rámu mikroskopu. 40 Maximální rozměry vzorků zakládaných přímo do pracovní komory s možností neomezeného zobrazení a analýzy celého povrchu vzorku: délka x šířka x výška min. 120 x 100 x 50 mm 41 Možnost zakládání několika standardních metalografických výbrusů o průměru cca 30 mm min. 3 vzorky 42 Možnost instalace EBSD detektoru dodatečně v budoucnu 43 Optimalizované geometrické uspořádání analytických detektorů umožňující simultánní EDS - WDS analýzu 44 Optimalizované porty pro montáž detekčních systémů elektronového mikroskopu - detektorů EDS, WDS, EBSD (pro instalaci v budoucnu) a IR kamery. Geometrie portů musí zaručit plnou funkčnost všech zařízení, instalovaná zařízení se nesmí vzájemně omezovat. 45 Počet volných portů na pracovní komoře elektronového mikroskopu pro budoucí instalaci dalších zařízení a detektorů, vyjímaje optimalizovaný port pro instalaci EBSD detektoru v budoucnu alespoň 1 46 IR kamera pro sledování vnitřku pracovní komory elektronového mikroskopu a polohy vzorku a detektorů. 47 Vakuový systém umožňující dosažení čistého vakua. V případě, že čerpací systém obsahuje olejovou vývěvu, pak čerpací systém je vhodným způsobem zajištěn proti vniku olejových par do pracovní komory elektronového mikroskopu za jakýchkoli okolností (i při odstávce nebo poruše systému). 48 Tlak v komoře je měřen vhodným způsobem v celém rozsahu pracovních podmínek a zobrazen pro kontrolu uživatelem. 49 Zavzdušňování komory elektronového mikroskopu kompatibilní s použitím dusíku minimální čistoty Čerpání a zavzdušnění zakládací komory je automatizováno a ovládáno pomocí softwaru. 51 Čas potřebný k výměně vzorku kratší než 15 minut 52 Elektronový mikroskop musí být vybaven možností práce v režimu nízkého vakua při tlaku v rozsahu (tlak v pracovní komoře) alespoň Pa 53 Pracovní komora musí být přizpůsobena pro vkládání vzorků pomocí tříkloubových manipulátorů typu Master/slave, vysunutí stolku se vzorky, založení vzorku a zasunutí zakládací části se vzorky musí být možné jednoduše ovládát manipulátory, rozměry zakládací části pracovní komory nesmí limitovat založení vzorků pomocí manipulátorů. Stolek mikroskopu 54 3-osý posuv včetně rotace v rovině vzorku a náklonu stolku plně funkční pro všechny dodávané držáky vzorků, všechny pohyby motorizované. 55 Softwarově ovládaný, automatizovaný stolek s posuvem v osách X x Y x Z alespoň 120 x 100 x 50 mm 56 Opakovatelnost nájezdu stolku s přesností alespoň 1 mikrometr 57 Využitelný rozsah náklonu stolku mikroskopu v obou směrech (-X až + X ) alespoň -5 až Pozice zobrazované oblasti se zachovává při náklonu i rotaci vzorku. Podstavec mikroskopu s aktivním odpružením pro instalaci do nerezového boxu 59 Podstavec s aktivním odpružením pro instalaci mikroskopu do nerezového boxu. 60 Podstavec mikroskopu je mobilní, tzn. umožňuje vložení i vyjmutí mikroskopu z nerezového boxu. 61 Podstavec obsahuje pojízdný systém (např. pojízdná kolečka či jiný systém definovaný dodavatelem) pro účely servisu a obsluhy mikroskopu (např. výměnu FEG zdroje) po jeho dekontaminaci, přístroj se snadno vyjme a opětovně vloží do nerezového boxu Rozměry podstavce (rozměr čelního pohledu přístroje vzhledem k průzoru) x šířka (boční rozměr pro vyjmutí přístroje bočními 62 dveřmi), viz Příloha č. 5 Projektová dokumentace_instalace (část 1 - Rozměry boxu) Detektor EDS < 1,2 m x < 2 m 63 Detektor typu SDD, bez nutnosti chlazení kapalným dusíkem s garantovu funkčností v celém rozsahu pracovních podmínek. 64 Detektor vybaven motorickým vysunováním a zasunováním do pracovní pozice. 65 Velikost aktivní plochy snímacího čipu detektoru min. 50 mm 2 66 Schopnost detekce, kvalitativní a kvantitativní analýzy prvků v rozsahu od Na po Pu. 67 Garantovaná hodnota energiového rozlišení na manganu (Mn Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci detektoru 125 ev 68 Garantovaná hodnota energiového rozlišení na uhlíku (C Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci detektoru 50 ev 69 ############################################################################################################ EDS software 70 Multiuživatelský systém. 71 Musí umožňovat snímání obrazových signálů z mikroskopu. 72 Základní obrazová analýza (jas, kontrast, gamma korekce atd.). 73 Umožňuje kvantitativní bezstandardovou analýzu. 74 Musí umožňovat práci se standardy, vytváření vlastních knihoven standardů. 75 Musí umožňovat export/import spektra v otevřeném formátu (EMSA). 76 Volba analýz v bodě, v oblasti libovolně zvolené uživatelem, v linii a v definovaném rastru. U všech typů analýz je automaticky uloženo celé spektrum v každém bodě analýzy. 77 Vytváření map prvků s možností získání rozložení prvků v libovolné oblasti a podél čáry zvolené v nasnímané oblasti. 78 Musí umožňovat vytváření kvantitativní mapy rozložení prvků. 79 Maximální rozlišení prvkové distribuční mapy EDS alespoň 8000 x 8000 pixelů 80 Vytváření kvantitativních linescanů s rozlišením až 8192 bodů 81 Automatická detekce fází, tvorba fázových map na základě chemického složení, modální analýza. 82 Musí umožňovat ovládat posuvy stolku mikroskopu. 83 Musí umožňovat automatizaci procesu snímání větších ploch zahrnující snímkování povrchu vzorků a akvizice distribučních prvkových map, možnost rozčlenění analyzované oblasti na dílčí celky následované akvizicí dat a jejich následné spojení do jednoho datového výstupu. 84 Kompenzace driftu vzorku v průběhu analýzy. 85 Software umožňuje plnou integraci EDS systému s WDS systémem 86 Musí umožňovat registraci libovolného snímku pořízeného v rámci softwaru nebo z externího zdroje a jeho využití pro navigaci a stvení polohy analytických bodů (ploch). 87 Musí umožňovat řešení interferencí čar analyzovaných prvků dekonvolučními metodami a pulse pile-up korekci (korekce pile-up píků až minimálně třetího řádu) v průběhu akvizice dat pro veškerá kvantitativní data, prvkové distribuční mapy a liniové analýzy 88 Minimálně jedna offline licence dodaného EDS softwaru pro dalšího uživatele. Detektor WDS 89 WDS systém umožňuje detekci, kvalitativní a kvantitativní analýzu prvků od Be do Pu.

6 90 WDS systém umožňuje analýzu čar prvků v rozsahu energií rtg. záření (požadovaný rozsah kontinuálně pokryt vhodnými difrakčními krystaly) alespoň 100 ev - 10 kev 91 WDS systém musí umožnit montáž až 6 difrakčních krystalů najednou 92 WDS systém musí být vybaven difrakčními krystaly optimalizovanými pro analýzu C, N a O. 93 WDS spektrometr je vybaven vstupní štěrbinou (umístěnou před detektorem) s motorizovaným ovládáním její pozice a šířky pro optimalizaci intenzity vstupního signálu a poměru intenzit na peaku a pozadí. 94 Integrovaný systém měření proudu svazku pro kvantitativní WDS analýzu. 95 WDS spektrometr musí být vybaven dvěma detektory na bázi průtokového proporcionálního čítače a proporcionálního čítače se stálou náplní vhodného plynu (např. Xe) pro maximální efektivitu detekce rtg záření v požadovaném energiovém rozsahu, oba detektory umožňují detekci rtg. záření jak odděleně tak i současně podle volby uživatele. 96 Garantovaná intenzita signálu na čáře C Ka (měřená na standardu čistého uhlíku), poměr intenzity peaku k pozadí (P/B) 400 pulsů za sekundu na 1 na, P/B Garantovaná intenzita signálu na čáře Fe Ka (měřená na standardu čistého železa), poměr intenzity peaku k pozadí (P/B) 1000 pulsů za sekundu na 1 na, P/B Součástí dodávky je sada standardů prvků/sloučenin pro kvantitativní WDS-EDS analýzu. Pokryty alespoň prvky: Al, Ba, Be, B, Ca, Ce, Cd, Cl, Cr, Co, C, Cu, Ge, Au, In, Ir, F, Fe, K, La, Pb, Mn, Mo, Mg, N, Na, Ni, Nb, P, Pd, Pt, Re, Rh, S, Se, Sc, Si, Sr, Ag, Ta, Te, Sb, Sn, Ti, W, V, Y, Zn, Zr, Bi, Hf. Referenční materiály dodány s certifikátem složení. 99 ############################################################################################################ WDS software 100 Možnost simultání EDS-WDS kvantitativní analýzy s možností volby prvků analyzovaných WDS nebo EDS podle požadavků uživatele, požadována plná softwarová integrace s EDS systémem v rámci jednoho softwaru 101 Analytické funkce umožňující akvizici spektrálních scanů, ověření přítomnosti prvku ve vzorku a kvantitativní analýzu s použitím standardů. 102 Automatická kalibrace detektoru. 103 Minimálně jedna offline licence dodaného WDS softwaru pro dalšího uživatele. Software mikroskopu 104 Automatické nastavení jas-kontrast (ACB), zaostření (AF) a stigmátorů. 105 Funkce nastavení dynamického fokusu na hodnotu Softwarová rotace obrazu a korekce náklonu vzorku. 107 Současné zobrazení alespoň dvou živých obrazů. 108 Umožňuje snímat obrazy 16 bitově s maximálním rozlišením alespoň 250 Mpx 109 Obrazové formáty minimálně TIFF, BMP, JPG. 110 Integrovaný software pro základní obrazovou analýzu, vkládání měřítek do snímků a vytváření protokolu o pozorování. 111 Integrovaný software pro měření vzdáleností, úhlů a ploch v živém i uloženém obrazu SEM. 112 Software umožňuje načtení obrazu pomocí alespoň jednoho z instalovaných detektorů (např. SE detektoru), import obrazu vzorků pořízený jiným zařízením, registraci obrazu a použití pro navigaci mezi analyzovanými oblastmi na vzorku. 113 Umožňuje snímání videosekvencí obrazu analyzovaného vzorku. 114 Automatizované snímání, spojení a ukládání snímků definovaných oblastí. 115 Umožňuje zobrazit a snímat obrazy v kombinaci signálů SE a BSE (např. obraz 50% v SE a 50% v BSE) Řídící počítač pro mikroskop 116 Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 117 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 bitová verze) a dvěma monitory s úhlopříčkou min Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). 119 Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických systémů. 120 Operační paměť alespoň 32 GB pevné disky s kapacitou pro každý z nich alespoň 1 TB 122 Barevná laserová tiskárna formátu A4 s rozlišením tisku. minimálně 1200 dpi 123 Řídící panel ovládání mikroskopu. 124 Klávesnice česká (qwertz) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš Řídící počítač pro detektory EDS a WDS 125 Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 126 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 bitová verze) a s úhlopříčkou min Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). 128 Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických systémů. 129 Operační paměť alespoň 32 GB pevné disky s kapacitou pro každý z nich. alespoň 1 TB 131 Klávesnice česká (qwerty) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš Rozdělení zařízení na části aktivní (umístěné uvnitř nerezového boxu) a neaktivní (umístěné vně nerezového boxu) Vzhledem k povaze umístění a funkci zařízení, které bude pracovat s radioaktivním materiálem a bude v prostředí, kde se bude vyskytovat zvýšená úroveň radioaktivního záření, je celé zařízení rozděleno na dv Tento nevyjímatelný nerezový box je z důvodu bezpečnosti práce hermeticky uzavřen. Rozměry boxu jsou znázorněny v Příloze č. 5 Zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 1 - Rozmě boxu). Box bude umístěn ve speciální konstrukci umožňující odstínit radioaktivní záření na úroveň srovnatelnou s přírodním pozadím charakteristickou pro du oblast. Tato úroveň záření již nemá vliv na fun Celkové navržené schéma zapojení přístroje pro provoz a servis zařízení při rozdělení zařízení na aktivní a neaktivní část a dílčí schéma zapojení (schéma vysokého napětí, vakuový systém, řídící systém) je znáz v Příloze č. 5 zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_schema zapojení. Propojení aktivní a neaktivní části bude diskutováno mezi Prodávajícím a Kupujícím v průběhu plnění veřejné zakázky z důvod a) na část aktivní, umístěnou uvnitř nerezového boxu polohorké komory b) na část neaktivní, umístěnou mimo nerezový box polohorké komory kvalitu přístroje. Rozdělení zařízení je schematicky znázorněno v Příloze č. 5 Zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 2 - Ilustrační schéma vedení). složitosti zařízení, v průběhu plnění mohou být navrženy úpravy po dohodě Prodávajícího a Kupujícího. 132 Rozdělení zařízení na aktivní a neaktivní část 133 Mikroskop bude umístěn uvnitř nerezového boxu pro analýzu radioaktivních vzorků, řídící elektronika bude umístěna vně nerezového boxu 134 Umístění řídící elektroniky (řídícího PC) mimo pracovní část přístroje umístěného v nerezovém boxu min. ve vzdálenosti 10 metrů (všechny kabely jsou rozdělené a spojené konektory) 135 Veškerá média budou do boxu vedena rozpojitelnými kabely resp. trubkami pro vedení médií v min. délce 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky

7 136 SEM musí být přizpůsoben pro umístění do izolovaného prostředí polohorké komory pro práci s radioaktivními vzorky - stínění instalovaných detektorů navržené dodavatelem nesmí ovlivnit měření, pracovní komora mikroskopu musí mít dostatečné rozměry pro zakládání vzorků do držáku vzorků pomocí tříkloubových manipulátorů typu Master/slave - snadné uchopení výsuvné části pracovní komory, vysunutí, vložení vzorku a zasunutí Vakuové vývěvy (vyjímaje vývěvy umístěné v přímé blízkosti mikroskopu nutné pro dosažení vakua pro SEM s FEG zdrojem) umístěny 137 vně nerezového boxu v neaktivní části v prostoru pod boxem, pro servis SEM (např. výměna FEG zdroje) po jeho vyjmutí z boxu bočním vstupem bude zajištěno boční vedení pro servis přístroje mimo box, délka vedení pro umístění v prostoru pod nerezový box i pro servis min. 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky Veškeré potřebné tlakové nádoby umístěny vně nerezového boxu - v prostorech neaktivní části s délkou vedení min. 4 m, bližší 138 specifikace délky a způsobu vedení bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky Jednotka vysokého napětí umístěna v prostorech neaktivní části s délkou vedení min. 4 m, bližší specifikace délky a způsobu vedení 139 bude konzultována v průběhu plnění veřejné zakázky Průchodky nerezového boxu Vzhledem k rozdělení zařízení na dvě části, které musí být technologicky spojené a musí procházet skrz spodní část nerezového boxu, schematicky znázorněno v Příloze č. 5_Zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 2 - Ilustrační schéma vedení), je nutné aby bylo možné rozdělit veškeré prostupy boxem. Z tohoto požadavku vyplývá nutnost technologické průchodky boxem, schematicky znázo v Příloze č. 5_Zadávací dokumentace - Projektová dokumentace_instalace (část 3 - Řešení průchodek). Tyto průchodky spojují obě části (aktivní a neaktivní) přístroje a umožňují jejich bezpečné rozdělení a to j neaktivní strany, tak i z aktivní. 140 Možnost rozpojení všech médíí a kabelů mezi částmi aktivní a neaktivní, s vyjímkou případů kdy se Prodávající a Kupující dohodnou během realizace jinak. 141 Dodání spojovacích členů průchodky všech typů v počtu alespoň o 2 kusy více než je nezbytně nutné pro úplné spojení všech médií a kabelů přístroje, dodavatel specifikuje počet a typ spojovacích členů pro kabely a trubky pro vedení médií Chladicí systém pro polohorkou komoru, Příloha č. 5 Projektová dokumentace_schéma propojení (Chladící systém) 142 Chladicí systém polohorké komory umožňuje proudění vzduchu do nerezového boxu a nastavení uživatelem požadované teploty v boxu 143 Systém pro udržení teploty v boxu v rozmezí cca C, teplota nastavena uživatelem 144 Teplota v polohorké komoře je měřena vhodným způsobem a zobrazena pro kontrolu uživatelem, měřitelný rozsah teploty minimálně 3-80 C 145 Chladící systém je schopen udržet teplotu v místě mikroskopu (uvnitř nerezového boxu) natolik stabilně, aby nedošlo k ovlivnění měření. 146 Chladicí systém musí být opatřen filtry pro zachycení pevných částic. Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu (+ další požadavky v ceně dodávky) 147 Kompresor pro stlačený vzduch, je-li nutný 148 UPS schopna udržet mikroskop i nutná zařízení v provozu nejméně 1 hodinu 149 Aktivní systém kompenzace elektromagnetického rušení s potlačením nejméně 30x včetně stejnosměrné složky. 150 Systém pro analýzu tloušťky a chemického složení tenkých vrstev a multivrstev plně integrovaný do analytického a ovládacího softwaru 151 Jedna výměna katody zdarma zahrnutá v ceně dodávky 152 Další dvě výměny katody zdarma v ceně dodávky Hodnotící parametr 153 Reaktivní a prediktivní softwarová korekce driftu Hodnotící parametr

8

9

10

11 katodou), EDS a WDS detektorem. Garantovaná hodnota

12 Hodnotící parametr vyplní uchazeč Hodnotící parametr vyplní uchazeč

13 tivního záření, je celé zařízení rozděleno na dvě části: tová dokumentace_instalace (část 1 - Rozměry oblast. Tato úroveň záření již nemá vliv na funkci ani vedení). napětí, vakuový systém, řídící systém) je znázorněno cím v průběhu plnění veřejné zakázky z důvodu

14 říloze č. 5_Zadávací dokumentace - Projektová logické průchodky boxem, schematicky znázorněno je a umožňují jejich bezpečné rozdělení a to jak z Hodnotící parametr vyplní uchazeč (Ano/Ne) Hodnotící parametr vyplní uchazeč (Ano/Ne)