Tenká vrstva - aplikace

Podobné dokumenty
ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Tenké vrstvy. historie předdepoziční přípravy stripping

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH

Vrstvy a povlaky 2007

1 Moderní nástrojové materiály

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS. Pavel Podaný a Antonín Kříž b

člen švýcarské skupiny BCI

Vývoj - grafické znázornění

Přehled metod depozice a povrchových

3.1 Druhy karbidů a povlaků od firmy Innotool

Řezné materiály www. www t. u t n u g n a g loy o. y c. z c

ruvzdorné povlaky endoprotéz Otěruvzdorn Obsah TRIBOLOGIE Otěruvzdorné povlaky endoprotéz Fakulta strojního inženýrství

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o.

3.3 Výroba VBD a druhy povlaků

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

DOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace

Plazma v technologiích

Metody depozice povlaků - CVD

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností

Anomální doutnavý výboj

příprava povrchů pod organické povlaky (nátěry, plastické hmoty, pryžové vrstvy apod.) odstraňování korozních produktů odstraňování okují po tepelném

SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ SPECIÁLNÍ METODY OBRÁBĚNÍ

VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

OPOTŘEBENÍ A TRVANLIVOST NÁSTROJE

Kalení Pomocí laserového paprsku je možné rychle a kvalitně tepelně zušlechtit povrch materiálu až do hloubek v jednotkách milimetrů.

Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory

Základní typy článků:

ŘEZNÉ MATERIÁLY. SLO/UMT1 Zdeněk Baďura

Technologie CMOS. Je to velmi malý svět. Technologie CMOS Lokální oxidace. Vytváření izolačních příkopů. Vytváření izolačních příkopů

OTĚRUVZDORNÉ POVLAKY VYTVÁŘENÉ METODAMI ŽÁROVÉHO NÁSTŘIKU

univerzálnost T9315 T9325 Nové soustružnické materiály

TEPLOTNÍ DEGRADACE TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV. Autor: Ing. Petr Beneš Školitel: Doc. Dr. Ing. Antonín Kříž

OBSAH str. B 3. Frézovací nástroje s VBD str. B 5

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Vlastnosti V 0,2. Modul pružnosti Součinitel tepelné roztažnosti C od 20 C. Tepelná vodivost W/m. C Měrné teplo J/kg C

univerzálnost T9315 T9325 Nové soustružnické materiály

Úvod. Povrchové vlastnosti jako jsou koroze, oxidace, tření, únava, abraze jsou často vylepšovány různými technologiemi povrchového inženýrství.

VYSOKOVÝKONOVÉ LASEROVÉ ROBOTIZOVANÉ PRACOVIŠTĚ

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?

Plazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying

Tenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti

PROTAHOVÁNÍ A PROTLAČOVÁNÍ

Tenké vrstvy. aplikace metody přípravy hodnocení vlastností

CENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL

Povrchová úprava bez chromu Cr VI

MŘÍŽKY A VADY. Vnitřní stavba materiálu

8. Třískové obrábění

KLÍČOVÁ SLOVA povlakování, řezné nástroje, PVD, CVD, slinutý karbid, KNB, diamant

Studium vlivu předdepozičních procesů na vlastnosti progresivních tenkých vrstev

Inovace a zkvalitnění výuky prostřednictvím ICT. Obrábění. Název: Téma: Fyzikální metody obrábění 2. Ing. Kubíček Miroslav. Autor:

Materiály. Produkty

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

CHEMICKO - TEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ

Disertační práce. Souvislost metod hodnocení adhezívn. Martina Sosnová. Katedra materiálů a strojírenské metalurgie. Doc. Ing. Jana Skálová, CSc.

Použití. Charakteristika SLEIPNER PŘÍKLADY:

Použití přesně dělený polotovar je nutností pro další potřebné výrobní operace

Přednáška 10. Příprava substrátů: chemické ošetření, žíhání, iontové leptání.

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování

KVALITA V SÉRII VÝROBKŮ- ČEPELKY A NOŽE LUTZ PRO AUTOMOBILOVÝ PRŮMYSL

OBRÁBĚ CÍ NÁSTROJE THE SURFACE ENGINEERS

Lasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika

Hlavní skupina. Změna charakteristik. Označení Obráběný materiál Příklad užití a podmínky užití

Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS

PÁJENÍ. Nerozebiratelné spojení

C Cr N Mo Ni Mn 0,3% 14,0 % 0,4 % 0,1% 0,4% 0,5%

OTĚRUVZDORNÉ POVRCHOVÉ ÚPRAVY. Jan Suchánek ČVUT FS, ÚST

Iradiace tenké vrstvy ionty

Koroze kovů. Koroze lat. corode = rozhlodávat

KOROZE A TECHNOLOGIE POVRCHOVÝCH ÚPRAV

Odstředivé lití. pravé odstředivé lití. lití odstřeďováním

POVLAKOVANÉ SLINUTÉ KARBIDY A JEJICH EFEKTIVNÍ VYUŽITÍ

Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011

Charakteristika. Použití TVÁŘECÍ NÁSTROJE STŘÍHÁNÍ RIGOR

Nauka o materiálu. Přednáška č.12 Keramické materiály a anorganická nekovová skla

Polotovary vyráběné práškovou metalurgií

POVLAKOVÁNÍ STŘIŽNÝCH NÁSTROJŮ ZE SLINUTÝCH KARBIDŮ

ODSTRAŇOVÁNÍ PŮVODNÍCH POVLAKŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ PŘED NOVÝM POVLAKOVÁNÍM

Vlastnosti W 1,3. Modul pružnosti Součinitel tepelné roztažnosti C od 20 C. Tepelná vodivost W/m. C Měrné teplo J/kg C

Princip průtlačníku průtlačnice protlačovadla

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA STROJNÍ

Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost

Vlastnosti tenkých DLC vrstev

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

Nové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž

Netřískové způsoby obrábění

Biomateriály na bázi kovů. L. Joska Ústav kovových materiálů a korozního inženýrství

OBRÁBĚ CÍ NÁSTROJE THE SURFACE ENGINEERS

Prášková metalurgie. 1 Postup výroby slinutých materiálů. 1.1 Výroba kovových prášků. 1.2 Lisování pórovitého výlisku

NOVINKY NÁSTROJŮ CZ- 75. Nová kvalita pro účinné a spolehlivé hrubování ACE-POVLAK AC830P. Nový. Pro přerušované a nepřerušované řezy

BRNO UNIVERSITY OF TECHNOLOGY FAKULTA STROJNÍHO INŽENÝRSTVÍ ÚSTAV STROJÍRENSKÉ TECHNOLOGIE

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Elektricky vodivý iglidur F. Produktová řada Elektricky vodivý Vysoká pevnost v tlaku Dobrá tepelná odolnost Vysoká hodnota pv Dobrá chemická odolnost

Openair - Plasma Systems

Transkript:

Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D. Kavková Povlakování

Tenká vrstva - aplikace tenké vrstvy na předních elektrodách plochých displejů (LCD,kalkulačky) optické vrstvy k antireflexnímu pokrytí čoček velmi tvrdé vrstvy na řezných nástrojích

Tenká vrstva materiál vytvořen na základním materiálu (substrátu) - tloušťka (nm až μm) mikrometr (1 μm = 10 6 m = 0, 000 001 m) nanometr (1 nm = 10 9 m = 0, 000 000 001 m) 6 μm 50 μm lidský vlas tenká vrstva

Vrstvy typické tloušťky vrstev reprodukovatelné v sériové výrobě činí 0,5 µm až 4 µm nijak se nezmění ostré hrany, povrchy s texturou ani povrchy leštěné do zrcadlového lesku a úzké výrobní tolerance díky tomu nejsou třeba žádné dodatečné práce a povlakování se může provést jako poslední výrobní krok

Podklad vrstvy - substrát tenká vrstva nanesena na nástroj - deponace povrch celého nástroje = substrát příprava povrchu nástroje na deponaci - zaručení dokonalé adheze k substrátu

Deponovaná tenká vrstva substrát systém - vrstva min. tloušťky společně se substrátem - specifické vlastnosti a chování vrstva rozhraní samotná tenká vrstva - nerovnovážná - iniciuje vznik metastabilních fází důvod - min. tloušťka - následek depozičních procesů

Systém otěruvzdorná vrstva - odolnost proti opotřebení - redukce tření - korozní odolnost - tepelná bariéra mezivrstva - adheze - bariéra rozvoje trhlin - kompenzace diletace a pnutí substrát - pevnost - tuhost - geometrie

Substrát podklad tenké vrstvy - nástroj (povrch) - povrch VBD, atd. speciální příprava před depozicí - záruka adheze

Předdepoziční přípravy procesy předcházející depozici tenké vrstvy na nástroj - úprava řezných hran - chemické čištění substrátu - iontové čištění substrátu všechny procesy mají vliv na adhezi

Předdepoziční přípravy úprava řezných hran chemické čištění substrátu iontové čištění substrátu v případě redepozice tenké vrstvy předchází pochodům 1-3 tzv. stripping - odpovlakování substrátu

Úprava řezných hran nástrojů - pískování

Omílání minimalizace defektů a ostrých přechodů hrana před opracováním hrana po opracování

Otryskávání hrana před opracováním hrana po otryskání elastickými částicemi s abrazivem

Kartáčování ocelová vlákna různě tvrdá polymerní vlákna impregnovaná abrazivem

Aero Lap vysoká rychlost dopadu a skluz po povrchu diamantových zrn leštění a jemné broušení plochy viz. dokončovací metody obrábění

Chemické čištění cíl - zbavit povrch zejména organických nečistot (tj. mastnoty, prachu, brusiva a jiných pevných částic ulpělých na povrchu) čistící kapaliny - různé alkoholy na ropné bázi - mastné kyseliny - zintenzivnění čistícího procesu ultrazvukem následuje vysušení - vakuové sušičky

Iontové čištění - princip přivedení záporného předpětí na substrát a dopad urychlených iontů na substrát ionty při dopadu na substrát vyrážejí mikronečistoty ulpěné na povrchu 2 fáze čištění doutnavým výbojem - zdrojem iontů ionizovaný plyn v komoře (Ar, H 2, N 2,..) čištění nízkonapěťovým el. obloukem - zdrojem iontů tzv. katodová skvrna

Doutnavý výboj nástroje s vysokým napětím prostředí s Ar = doutnavý výboj = Ar vyráží nečistoty (tj. sloučeniny kyslíku, uhlíku a kovů)

Iontové čištění pomocí titanu katodová skvrna - zdroj iontů Ti ionty Ti odstraní zbylé nečistoty

Základní depoziční procesy

Procesy CVD (Chemical Vapour Deposition) vysoká odolnost proti opotřebení vhodné pro silnější vrstvy - povlakování nepřístupných dutin a drážek vysoká teplotní stabilita vrstev složité vrstvy nitridu kovů, Al 2 O 3, diamantů,... vysoká adheze relativně nízké náklady na zařízení a proces možnost vytvoření vrstvy z několika kovových prvků (např. TiAlN)

CVD - omezení zaoblené okraje a hrany (tloušťka vrstvy) vysoké teploty depozičního procesu (950 - až 1 050) C velká energetická náročnost dlouhý pracovní cyklus - až 10 hod. ekologicky nevhodné pracovní plynné směsi tahová pnutí v povrchové vrstvě nevhodné pro tvarově náročné a vysoce přesné nástroje

Princip metody

Příklady CVD - TiCN tvarové razníky razidlo razící jazyk ohýbače

Procesy PVD (Physical Vapour Deposition) procesy probíhají ve vakuu za teplot mezi (150 a 500) C vlastnosti povlaku - lze cíleně ovlivňovat tvrdost, strukturu, chemickou a tepelnou odolnost, přilnavost - jednotná tloušťka vrstvy (opakovatelnost) - materiál povlaku vysoce čistý a pevný - velká pestrost vrstev - vysoká odolnost proti opotřebení

PVD - omezení podmíněná odolnost korozi během povlakování rotace součástí (konstantní tloušťka vrstvy)

Postup povlakování upnutí nástrojů do planetových držáků - rovnoměrné nanesení povlaku

Komora povlakovacího zařízení z vakuové komory odčerpán vzduch vyhřátí komory

Vyhřátí komory dosažení požadované teploty

Vpuštění argonu

Doutnavý výboj nástroje s vysokým napětím prostředí s Ar = doutnavý výboj = Ar vyráží nečistoty (tj. sloučeniny kyslíku, uhlíku a kovů)

Iontové čištění pomocí titanu nástroje s vysokým napětím titanová elektroda s nízkonapěťovým zdrojem oblouku - na elektrodě zapálen oblouk (katodová skvrna - zdroj iontů Ti) ionty Ti odstraní zbylé nečistoty

Iontové čištění pomocí titanu katodová skvrna - zdroj iontů Ti ionty Ti odstraní zbylé nečistoty

Povlakování výměna atmosfér - Ar nahrazen dusíkem obdoba čištění Ti - zapálen oblouk na Ti elektrodě

Povlakování nitrid titanu TiN ulpí na povrchu nástroje

Povlakování multikomponentní systémy - TiAlSiN další elektroda ve formě slitiny hliníku s křemíkem

Dokončení ochlazení na vhodnou teplotu vyjmutí nástrojů

Schéma PVD 1 argon 2 reakční plyn 3 planární magnetronový zdroj naprašovaného materiálu (nanášený materiál) 4... nástroje 5 vakuové čerpadlo

PACVD (Plasma-Assisted Chemical Vapour Deposition) výhody podstatně nižší teploty zpracování než u CVD přesné vrstvy nízké teploty nevýhody na otvory, štěrbiny atd. vhodné jen podmíněně

PACVD pro výrobu nekovových uhlíkových povlaků uspořádání procesu je obdobou naprašování po naprášení kovové vrstvy pojiva se přivede vysokofrekvenční střídavé napětí po přivedení plynu, který obsahuje prvky materiálu vlastní vrstvy, se uskuteční v pracovní komoře elektrický výboj v plynu ve výboji vzniknou atomy uhlíku a vodíku, které vytvoří na nástrojích a součástkách kompaktní vrstvu změnami přivedeného napětí se ovlivňují vlastnosti vrstvy

BAI 1 200 povlakovací zařízení BAI 1200 nabízí při velmi vysoké produktivitě a spolehlivosti široké spektrum technologií povlakování zvláště na řezné a tvářecí nástroje

RCS více šarží s různými povlaky za den speciálně konstruováné zařízení ke zpracování krátkých cyklů Zvýšení produktivity krátkými časy cyklů díky kombinovanému ohřevu zářením a plazmou, centrálnímu leptání, povlakování z až šesti současně aktivních zdrojů a rychlé ochlazování

BAI 730 D (High Current DC Arc, HCDCA) povlakovací zařízení koncipováno tak, aby bylo možné vytvářet s vysokou produktivitou a spolehlivostí polykrystalické diamantové povlaky mimořádné tvrdosti

Zdroje www.povrchovauprava.cz www.trumpf.com