Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování. Počítačová simulace procesu

Rozměr: px
Začít zobrazení ze stránky:

Download "Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování. Počítačová simulace procesu"

Transkript

1 Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování Počítačová simulace procesu

2 Magnetronové naprašování princip metody vývoj technologie

3 Magnetronové naprašování princip metody Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.

4 Magnetronové naprašování princip metody - substráty Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.

5 Magnetronové naprašování princip metody - target Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.

6 Magnetronové naprašování princip metody Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.

7 Rychlost růstu (au) Magnetronové naprašování princip metody Hysteresis region Průtok N2 (sccm) Zdroj: S.Berg

8 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) výboj v plazmatu

9 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) foton výboj v plazmatu

10 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) výboj v plazmatu

11 Relativní intensita Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) OES-TiAl/Ar hranol rozklad světla??? Spectrum analyzer výboj v plazmatu Vlnová délka [nm]

12 Magnetronové naprašování OES Spectrum Analyzer (freeware!) Z. Navrátil, D. Trunec, R. Šmíd and L. Lazar (2006). A software for optical emission spectroscopy - problem formulation and application to plasma diagnostics. Czechoslovak Journal of Physics 56, Suppl. B, B DOI:

13 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning odtrávení otrávení Ar N2 flow

14 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2+ Ar N2 flow

15 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2+ Ar N2/Ar N2 flow

16 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2/Ar tlak N2 flow

17 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace

18 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace

19 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace unstable metallic stable

20 N2 Flow Magnetronové naprašování Algoritmus regulace Metallic Stable Unstable Total Process Pressure (regulated)

21 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace N2 flow Pressure set Time Patent presents algorithm how to find this optimal process pressure

22 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)

23 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)

24 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)

25 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem

26 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh

27 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba - subdodavatel

28 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp

29 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment

30 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment Parametry vrstvy -> laboratoř

31 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment Parametry vrstvy -> laboratoř

32 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody

33 Počítačová simulace procesu data z depozic popis algoritmu postprocessing praktické využití

34 Počítačová simulace procesu ~ druh katody ~ proud oblouku ~ proud do cívky

35 Relative deposition rate - (um/hod) Počítačová simulace procesu Data z depozic 1 Deposition rate TiN vs Iarc Imac = -3A I mac = 0 A Imac = 3A y=-0, ,00535 x Iarc - 0,00332 x Imac + 0,00026 x Iarc x Imac Iarc (A)

36 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O )

37 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice (~10 000x) h = random (min, hmax)

38 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, 2 )

39 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, )

40 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, ) = random (0, )

41 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice jednohodinový proces 1 hodina simulace (3GHz IntelCore2Duo)

42 Počítačová simulace procesu Postprocessing

43 Počítačová simulace procesu Postprocessing vodorovný řez

44 Počítačová simulace procesu Postprocessing svislý řez vodorovný řez 400 mm

45 Počítačová simulace procesu Praktické využití různá naložení Vzdálenost = 10mm Vzdálenost = 20mm Bez krytů-> Vzdálenost = Délka nástroje = 100mm Délka nástroje = 100mm Délka nástroje = 100mm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 4,1 nm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 4,4 nm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 5,0 nm

46 Počítačová simulace procesu Praktické využití nevhodné převodové poměry *100 mm x Tvorba multivrstev *100 mm x Nerovnoměrná distribuce po obvodu

47 Děkujeme za pozornost

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev

Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD

Více

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev

Využití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná

Více

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA

FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody

Více

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008

Vybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD

Více

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého

Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky

Více

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz

REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s

Více

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015

Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF

Více

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem

Více

ř ť ř é ř Š ř š ř ř Č ú Č Č ř ř ó ř é ř ř ř Č Č ú ř Ř Ě ř ť ó ť ř š ť š é ú é š š ř ř é ÁŘ ů š é é š š ů é š é é é š ř ř ů ú é é é ř ř ů é ó é ť é ň é é ú š é é Ý ř ť ř é é ů Ř š ř é é ř ú ř š ř ó é ú

Více

Tenká vrstva - aplikace

Tenká vrstva - aplikace Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.

Více

Plazmatické metody pro úpravu povrchů

Plazmatické metody pro úpravu povrchů Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů

Více

Í Č ú Č Š Í Á É Č Č ú š š Ž ž š Ť Ť Ž ž Ó ó Ž ž ž Í ú ž Ť ž ž š ň ž š š Í ž Í ň Ž ň š ó š Ž Ž Í Š ú Í ž ž Í š ž ž Ť š š Ž Ž Á ž ó ž Ť š ž ť š Í ň ť ž Ž ž Ž ž Ť ž šť š ž Ž ň ú ž š ž ú ú ť Ž ň ú š ú ž Ž

Více

Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011

Gas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011 Gas Discharges Overview of Different Types Jan Voráč ÚFE 14. listopadu 2011 Obrázky použité v této prezentaci jsou nestoudně ukradeny z internetu, z archivů pracovníků ÚFE MU, ze skript Základy fyziky

Více

Metody depozice povlaků - CVD

Metody depozice povlaků - CVD Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční

Více

Přehled metod depozice a povrchových

Přehled metod depozice a povrchových Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical

Více

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky

VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Ing. Ondřej Hégr CHARAKTERIZACE NANOSTRUKTUR DEPONOVANÝCH VYSOKOFREKVENČNÍM MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM

Více

Centrum základního výzkumu LC 06041. Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L.

Centrum základního výzkumu LC 06041. Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Centrum základního výzkumu LC 06041 Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Řešitelský tým: Doc. RNDr. S. Novák, CSc. Prof. RNDr. R.

Více

Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím

Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím Název ve ejné zakázky: Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím Od vodn ní vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) ZVZ Technická podmínka: Od vodn ní A) Komponenty erpacího systému a systému

Více

Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče

Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Zbyněk Strecker Institute of Machine and Industrial Design Faculty of Mechanical Engineering BUT 6.11.2013 Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Obsah

Více

PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A)

PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A) PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A) GARANT PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (ÚFI) VYUČUJÍCÍ PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc., Ing. Stanislav Voborný, Ph.D. (ÚFI) JAZYK

Více

Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev)

Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev) Naprašování: Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev) Po nárazu iont předává hybnost částicím terče, dojde k vytržení Depozice

Více

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39

galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39 Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857

Více

Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče

Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Zbyněk Strecker Institute of Machine and Industrial Design Faculty of Mechanical Engineering BUT 6.11.2013 Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Obsah

Více

Nové metody monitorování provozu ventilátorů/ New methods for monitoring of the fans

Nové metody monitorování provozu ventilátorů/ New methods for monitoring of the fans Nové metody monitorování provozu ventilátorů/ New methods for monitoring of the fans Motto : Větrací systém se stal důležitou součástí koncepce bezpečnosti tunelu a zasluhuje proto odpovídající prostředky

Více

Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042

Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem

Více

Rost Marek, Záruba Lukáš školitelé: Z. Sekerešová, J. Šonský. Cesta k vědě 19.6.2011

Rost Marek, Záruba Lukáš školitelé: Z. Sekerešová, J. Šonský. Cesta k vědě 19.6.2011 Studium dynamických jevů v termickém plazmatu Rost Marek, Záruba Lukáš školitelé: Z. Sekerešová, J. Šonský Cesta k vědě 19.6.2011 M. Rost, L. Záruba (CkV) Studium jevů v plazmatu 19.6.2011 1 / 28 Obsah

Více

Fyzikální metody depozice KFY / P223

Fyzikální metody depozice KFY / P223 Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování

Více

ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY

ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY s názvem PULSNÍ LASEROVÁ DEPOZICE CEITEC MU vyhotovené podle 156 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, v platném znění (dále jen Zákon o VZ) 1. ODŮVODNĚNÍ ÚČELNOSTI

Více

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada

Plazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze

Více

SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH

SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH Západočeská univerzita v Plzni SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH Antonín Kříž Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, e-mail: kriz@kmm.zcu.cz Tento příspěvek vznikl na základě řešení

Více

Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin. Sdílení tepla sáláním. Balení pro mikrovlnný ohřev

Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin. Sdílení tepla sáláním. Balení pro mikrovlnný ohřev Převod tepla obalem z potraviny do vnějšího prostředí a naopak Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin 1 Obecně tepelné procesy snaha o co nejmenší

Více

Nanogrant KAN ( )

Nanogrant KAN ( ) Nanogrant KAN400480701 (2007 2011) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně Ústav jaderné fyziky AV ČR, Mgr. Jiří Vacík, CSc., koordinátor projektu ( Výroční seminář

Více

Typy interakcí. Obsah přednášky

Typy interakcí. Obsah přednášky Co je to inteligentní a progresivní materiál - Jaderné analytické metody-využití iontových svazků v materiálové analýze Anna Macková Ústav jaderné fyziky AV ČR, Řež 250 68 Obsah přednášky fyzikální princip

Více

Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev. Martin Kormunda

Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev. Martin Kormunda Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev Co je to za techniky? Procesy vyváření tenkých vrstev fyzikálními metodami využívají procesy probíhající za nízkého tlaku k dosažení efektivního transportu částic

Více

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností

Tenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti

Více

Aerodynamika vozu, vnější proudění

Aerodynamika vozu, vnější proudění Aerodynamika vozu, vnější proudění J. Jagrik Škoda Auto TFA Aerodynamika a výpočty 11.3.2015 1 Vnější aerodynamika vozu - přehled Cíle: bezpečnost aerodynamická stabilita, špinění ekonomicky a ekologicky

Více

Modelování hrozeb. Hana Vystavělová AEC, spol. s r.o.

Modelování hrozeb. Hana Vystavělová AEC, spol. s r.o. Modelování hrozeb Hana Vystavělová AEC, spol. s r.o. Agenda Možné způsoby identifikace rizik Úskalí analýzy rizik Modelování hrozeb metodiky Modelování hrozeb ukázky Výhody a přínosy modelování hrozeb

Více

Všechno, co jste chtěli vědět o Gridech, ale báli jste se zeptat

Všechno, co jste chtěli vědět o Gridech, ale báli jste se zeptat Seminář LOM, 8. června 2005 Všechno, co jste chtěli vědět o Gridech, ale báli jste se zeptat Jan Kmuníček Ústav výpočetní techniky MU & CESNET Obsah Charakteristika gridovéhoprostředí Typy Gridů Vize výpočetního

Více

ÈÁST VII - K V A N T O V Á F Y Z I K A

ÈÁST VII - K V A N T O V Á F Y Z I K A Kde se nacházíme? ÈÁST VII - K V A N T O V Á F Y Z I K A 29 Èásticové vlastnosti elektromagnetických vln 30 Vlnové vlastnosti èástic 31 Schrödingerova formulace kvantové mechaniky Kolem roku 1900-1915

Více

Plazma v technologiích

Plazma v technologiích Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,

Více

Přednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD

Přednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven

Více

F7030 Rentgenový rozptyl na tenkých vrstvách

F7030 Rentgenový rozptyl na tenkých vrstvách F7030 Rentgenový rozptyl na tenkých vrstvách O. Caha PřF MU Prezentace k přednášce Numerické simulace Příklady experimentů Vybrané vztahy Sylabus Elementární popis vlnového pole: Rtg vlna ve vakuu; Greenova

Více

Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza

Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza Jiřina Matějková UPT Brno AV ČR Ondřej Jašek- KFE Přírodovědecká fakulta MU Brno, jasek@physics.muni.cz Marek Eliáš, Lenka Zajíčková, Vít Kudrle,

Více

Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze

Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Teoretické základy: Plazmochemická depozice z plynné fáze metoda PECVD Rozvoj plazmochemických metod vytváření tenkých

Více

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.

TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší

Více

Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů

Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů Zuzana Rašková Technické muzeum v Brně, Purkyňova 105, 612 00 Brno, raskova@technicalmuseum.cz 24.7.2006 1 Nječastější kovové sbírkové

Více

Úvod do fyziky plazmatu

Úvod do fyziky plazmatu Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:

Více

Plazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying

Plazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmové depozice povlaků Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmový nástřik patří do kategorie žárových nástřiků. Žárový nástřik je částicový proces vytváření povlaků o tloušťce obvykle větší než 50 µm,

Více

Návod pro Laboratoř oboru Výroba léčiv

Návod pro Laboratoř oboru Výroba léčiv Návod pro Laboratoř oboru Výroba léčiv Studium biomateriálů laserovou rastrovací mikroskopií (SBLRM) Vedoucí práce: doc. Ing. Jakub Siegel, Ph.D. 09/2014 Úkoly: 1. Prostudujte základní informace o přístrojích

Více

Rozhodování. s více účastníky. Miroslav. school@utia

Rozhodování. s více účastníky. Miroslav. school@utia Rozhodování s více účastníky Miroslav Kárný school@utia utia.cas.cz, http://www.utia utia.cas.cz/as Rozhodování Účastník znalosti neúpln plné cíle násobné omezení rozsahů složitostn itostní strategie akce

Více

Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti

Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti Západočeská univerzita v Plzni Fakulta aplikovaných věd Katedra fyziky Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti Bakalářská práce Plzeň 2012 Michal Zítek Prohlášení Prohlašuji,

Více

CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II

CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:

Více

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj

DOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým

Více

Korozní experimenty konstrukčních materiálů pro technologie CCS

Korozní experimenty konstrukčních materiálů pro technologie CCS Korozní experimenty konstrukčních materiálů pro technologie CCS Jana Petrů, VŠCHT Praha Jana Poláčková, VŠCHT Praha Jiří Kubásek, VŠCHT Praha Martin Janák, VŠCHT Praha Daniela Marušáková, VŠCHT Praha Aneta

Více

ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE (v UV a Vis oblasti spektra)

ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE (v UV a Vis oblasti spektra) ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE (v UV a Vis oblasti spektra) Atomová spektrometrie 1. OES (AES) 2. AAS 3. AFS Atomová spektra Na s elektronovou konfigurací [Ne] 3s 1 (1 val. e - ) Absorpce fotonu je spojena s excitací

Více

Princip naprašování. Rozdíly proti napařování: 1. metoda získávání par 2. nutnost použití pracovního plynu 3. ionizace par a prac. plynu.

Princip naprašování. Rozdíly proti napařování: 1. metoda získávání par 2. nutnost použití pracovního plynu 3. ionizace par a prac. plynu. Přednáška 6 Naprašování: princip metody, magnetrony, ss naprašování, pulzní naprašování, rf naprašování naprašovací rychlost, naprašování kovů, slitin a sloučenin. Princip naprašování Převedení pevné látky

Více

Vysoká škola chemicko-technologická v Praze ÚCHOP Laboratorní ověřování mechanismů termické desorpce s mikrovlnným ohřevem Ing. Pavel Mašín Ing. Jiří Hendrych Doc.Dr.Ing. Martin Kubal Ing. Lucie Kochánková

Více

CEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

CEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy CEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Operační program Výzkum a Vývoj pro Inovace prioritní osa 2.1 Regionální VaV centra Reg.č. CZ.1.05/2.1.00/03.0086

Více

Metodika hodnocení opotřebení povlaků

Metodika hodnocení opotřebení povlaků Metodika hodnocení opotřebení povlaků Bc. Petr Mutafov Vedoucí práce: Ing. Tomáš Polcar, Ph.D. Abstrakt Tento příspěvek se věnuje porovnáním kontaktního a bezkontaktního způsobu měření, které byly vybrány

Více

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody

Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a

Více

PVD povlaky pro nástrojové oceli

PVD povlaky pro nástrojové oceli PVD povlaky pro nástrojové oceli Bc. Martin Rund Vedoucí práce: Ing. Jan Rybníček Ph.D Abstrakt Tato práce se zabývá způsoby a možnostmi depozice PVD povlaků na nástrojové oceli. Obsahuje rešerši o PVD

Více

OD NÁPADU K VÝROBKU ANEB APLIKOVANÝ VÝZKUM V PRAXI

OD NÁPADU K VÝROBKU ANEB APLIKOVANÝ VÝZKUM V PRAXI OD NÁPADU K VÝROBKU ANEB APLIKOVANÝ VÝZKUM V PRAXI Doc. Ing. Aleš Rubina, Ph.D., Ing. Pavel Uher, Ing. Olga Rubinová, Ph.D. Vysoké učení technické v Brně, Fakulta stavební, Ústav technických zařízení budov,

Více

Publications in Refereed Journals

Publications in Refereed Journals Publications in Refereed Journals Brožek, Vlastimil - Matějíček, Jiří - Neufuss, Karel Wolframové a wolframkarbidové filtry a membrány. [Tungsten and tungsten carbide filters and membranes.] Chemické listy.

Více

OPTIKA Fotoelektrický jev TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

OPTIKA Fotoelektrický jev TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. OPTIKA Fotoelektrický jev TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Světlo jako částice Kvantová optika se zabývá kvantovými vlastnostmi optického

Více

ABSORPČNÍ SPEKTROSKOPIE VÝBOJE V PULZNÍM MAG- NETRONU NELINEÁRNÍ FITACE SIGNÁLU

ABSORPČNÍ SPEKTROSKOPIE VÝBOJE V PULZNÍM MAG- NETRONU NELINEÁRNÍ FITACE SIGNÁLU ABSORPČNÍ SPEKTROSKOPIE VÝBOJE V PULZNÍM MAG- NETRONU NELINEÁRNÍ FITACE SIGNÁLU Jiří Olejníček 1, Hoang Tung Do, Zdeněk Hubička 1, Rainer Hippler 1 Fyzikální ústav AVČR, Na Slovance, 18 1 Praha 8 University

Více

CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II

CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:

Více

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?

NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Vstupní přednáška pro problematiku: Nástrojové oceli Slinuté karbidy Depozice tenkých vrstev Předmět SMA Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž 3/37 Čas jsou peníze 4/37 Systém tenká

Více

České vysoké učení technické v Praze. Katedra fyzikální elektroniky. Témata studentských prací pro školní rok 2014 15

České vysoké učení technické v Praze. Katedra fyzikální elektroniky. Témata studentských prací pro školní rok 2014 15 Rámcové téma práce č. 1: Diodově čerpaný Er:YAG oku-bezpečný laser Typ práce: DP Vedoucí práce: Ing. M. Němec, Ph.D. 1 Kozultant(i): prof. Ing. H. Jelínková, DrSc. 2 Student: L. Indra Obsahem práce je

Více

UZAVÍRACÍ KLAPKY S JEDNOU EXCENTRICITOU TYP L32.6

UZAVÍRACÍ KLAPKY S JEDNOU EXCENTRICITOU TYP L32.6 Použití Uzavírací klapky s jednou excentricitou jsou průmyslové armatury určené k úplnému otevření nebo uzavření průtoku. Lze je použít i pro regulaci průtoku. Při dlouhodobém používání v regulačním režimu

Více

Optický emisní spektrometr Agilent 725 ICP-OES

Optický emisní spektrometr Agilent 725 ICP-OES Optický emisní spektrometr Agilent 725 ICP-OES Popis systému: Přístroj, včetně řídicího softwaru a počítače, určený pro plně simultánní stanovení prvků v širokém koncentračním rozmezí (ppm až %), v nejrůznějších

Více

SEZNAM PŘÍLOH 11. SEZNAM PŘÍLOH

SEZNAM PŘÍLOH 11. SEZNAM PŘÍLOH SEZNAM PŘÍLOH 11. SEZNAM PŘÍLOH Příloha 1 Výrobní systémy prášku VIGA, EIGA a PIGA... 84 Příloha 2 Proudění bublin v tavící lázni... 84 Příloha 3 Graf hodnot BFE pro různé mísící poměry prášků... 85 Příloha

Více

člen švýcarské skupiny BCI

člen švýcarské skupiny BCI > úvod povlakování Tento katalog nabízí základní přehled tvrdých a kluzných vrstev deponovaných PVD technologiemi našeho povlakovacího centra na nástroje a strojní součástí včetně možností předúprav. V

Více

Technické vzdělávání na Jihočeské univerzitě

Technické vzdělávání na Jihočeské univerzitě Technické vzdělávání na Jihočeské univerzitě Přírodovědecká fakulta JU, Ústav fyziky a biofyziky Měřicí a výpočetní technika, Mechatronika České Budějovice, 15. 01. 2016 www.prf.jcu.cz/ufy Technicky orientované

Více

OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE

OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE Optical Emission Spectrometry (OES) ATOMOVÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE (AES) (c) -2017 OES je založena na registrování fotonů vzniklých přechody valenčních e - z vyšších energetických

Více

Depozice tenkých vrstev I.

Depozice tenkých vrstev I. Depozice tenkých vrstev I. Naprašování Mgr. Tereza Schmidtová 15. dubna 2010 Aplikace Klasifikace Obecný přehled aplikací použití pro optické vlastnosti - laserová optika, zrcadla, reflexní a anti-reflexní

Více

ď Ž ó Ý š Ž ú š š š ť ó ť ť š š Ž Ž š Ž Č ď š Ž ň š Ž š š š ú Ú Š ď š š Č ú š ň š š š š š Č ú ú š ú ú š š š š š ň ň š šú š š š š š ť Č š š ú š š Ž šť š š ň ň ú š ň Ž ú š Č ú š ú Š š š ň Š ú ú Č É š š ď

Více

Nové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž

Nové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž Nové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž TATO PŘEDNÁŠKA JE SPOLUFINANCOVÁNA EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.

Více

Optická vlákna. Laboratoř optických vláken. Ústav fotoniky a elektroniky, AVČR, v.v.i. www.ufe.cz/dpt240

Optická vlákna. Laboratoř optických vláken. Ústav fotoniky a elektroniky, AVČR, v.v.i. www.ufe.cz/dpt240 Optická vlákna Laboratoř optických vláken Ústav fotoniky a elektroniky, AVČR, v.v.i. www.ufe.cz/dpt240 Ústav fotoniky a elektroniky AVČR ZÁKLADNÍ VÝZKUM Optické biosensory (SPR Homola) Vláknové lasery

Více

Využití fotonických služeb e-infrastruktury pro přenos ultrastabilních optických frekvencí

Využití fotonických služeb e-infrastruktury pro přenos ultrastabilních optických frekvencí Využití fotonických služeb e-infrastruktury pro přenos ultrastabilních optických frekvencí Ondřej Číp, Martin Čížek, Lenka Pravdová, Jan Hrabina, Václav Hucl a Šimon Řeřucha (ÚPT AV ČR) Josef Vojtěch a

Více

Monitorování svazku elektronů a zvýšení jeho stability na mikrotronu MT 25

Monitorování svazku elektronů a zvýšení jeho stability na mikrotronu MT 25 Monitorování svazku elektronů a zvýšení jeho stability na mikrotronu MT 25 Krist Pavel, Vognar Miroslav, Šimáně Čestmír Oddělení urychlovačů, Ústav jaderné fyziky AVČR v. v. i., 250 68 Řež 130 Cílem naší

Více

Domácí úlohy ke kolokviu z předmětu Panorama fyziky II Tomáš Krajča, , Jaro 2008

Domácí úlohy ke kolokviu z předmětu Panorama fyziky II Tomáš Krajča, , Jaro 2008 Domácí úlohy ke kolokviu z předmětu Panorama fyziky II Tomáš Krajča, 255676, Jaro 2008 Úloha 1: Jaká je vzdálenost sousedních atomů v hexagonální struktuře grafenové roviny? Kolik atomů je v jedné rovině

Více

Sestrojení voltampérové charakteristiky diody (experiment)

Sestrojení voltampérové charakteristiky diody (experiment) Zvyšování kvality výuky v přírodních a technických oblastech CZ.1.07/1.1.28/02.0055 Sestrojení voltampérové charakteristiky diody (experiment) Označení: EU-Inovace-F-9-01 Předmět: Fyzika Cílová skupina:

Více

Analýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji

Analýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji Analýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji Pavel Oupický, Centrum pro optoelektroniku Viktor Sember, Oddělení vysokoteplotního plazmatu Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v.v.i. Abstrakt V článku v

Více

VYUŽITÍ MATLABU PRO MODELOVÁNÍ INTERFEROGRAMŮ PROUDÍCÍHO PLYNU S RŮZNÝM INDEXEM LOMU. Jiří Olejníček Pedagogická fakulta, Jihočeská univerzita

VYUŽITÍ MATLABU PRO MODELOVÁNÍ INTERFEROGRAMŮ PROUDÍCÍHO PLYNU S RŮZNÝM INDEXEM LOMU. Jiří Olejníček Pedagogická fakulta, Jihočeská univerzita VYUŽITÍ MATLABU PRO MODELOVÁNÍ INTERFEROGRAMŮ PROUDÍCÍHO PLYNU S RŮZNÝM INDEXEM LOMU Jiří Olejníček Pedagogická fakulta, Jihočeská univerzita Abstrakt: Příspěvek se zabývá využitím Matlabu pro modelování

Více

Základní typy článků:

Základní typy článků: Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,

Více

Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková

Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková Přírodovědecká fakulta UJEP Ústí n.l. a Ústecké materiálové centrum na PřF UJEP http://sci.ujep.cz/faculty-of-science.html Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková Kontakt: Doc. RNDr.

Více

Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC

Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC 2011 Ústav fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha 1 Technologie naprašování kovů K depozicím kovů bude v rámci této práce využito naprašování,

Více

Tenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti

Tenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti Tenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti Začátek průmyslové aplikace tenkých vrstev v oblasti řezných nástrojů 1968 CVD depozice vrstvy TiC na řezné destičce ze slinutého karbidu 2/49 Co

Více

Turnaj mladých fyziků 2014

Turnaj mladých fyziků 2014 Turnaj mladých fyziků 2014 poznámky k úlohám 2 a 16 Petr Chaloupka FJFI ČVUT CZ petr.chaloupka@fjfi.cvut.cz Úloha č. 2 Hologram.. Vynalezeno 1948 Denisem Gaborem pro potřeby elektronové mikroskopie původní

Více

Centrum základního výzkumu LC Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L.

Centrum základního výzkumu LC Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Centrum základního výzkumu LC 06041 Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Řešitelský tým: Doc. RNDr. S. Novák, CSc. Prof. RNDr. R.

Více

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování

Vakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev

Více

Zkoušky vnitřním přetlakem > 100 bar

Zkoušky vnitřním přetlakem > 100 bar Zkoušky vnitřním přetlakem > 100 bar Září 2006 1 Zkoušky vnitřním přetlakem v laboratoři plastových potrubních systémů Zkoušky statickým vnitřním přetlakem (zkušební teplota, prostředí, tlakové médium)

Více

Technologie konstrukce smart oděvů. Jana Drašarová

Technologie konstrukce smart oděvů. Jana Drašarová Technologie konstrukce smart oděvů Jana Drašarová Cesty ke SMART textiliím II 2) Inovativní materiály a struktury vložením známých prvků aktivní (parazitické) elementy připojené do struktury aktivní elementy

Více

Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )

Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické

Více

Optogalvanick{ spektrometrie Vítězslav Otruba

Optogalvanick{ spektrometrie Vítězslav Otruba Optogalvanick{ spektrometrie Vítězslav Otruba Princip metody Optogalvanický efekt využívá kombinace excitace atomů resonančním zářením a srážkové ionizace částicemi plazmatu (plamene) k selektivní ionizaci

Více

OPTICK SPEKTROMETRIE

OPTICK SPEKTROMETRIE OPTICK TICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE Optical Emission Spectrometry (OES) ATOMOVÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE (AES) (c) -2010 OES je založena na registrování fotonů vzniklých přechody valenčních e - z vyšších energetických

Více

Projekt PilsenCUBE. Hledání rozumného řešení velkého množství otázek. Lze zajistit dlouhodobě spolehlivou funkci satelitu?

Projekt PilsenCUBE. Hledání rozumného řešení velkého množství otázek. Lze zajistit dlouhodobě spolehlivou funkci satelitu? Lze zajistit dlouhodobě dostatek elektrické energie pro vědcké experimenty? Lze zajistit dlouhodobě spolehlivou funkci satelitu? Lze zajistit dostatečně rychlé přenosy dat ze satelitu? Hledání rozumného

Více

jsou nemísitelné. U vrstev, které byly poprvé připraveny v SHM představují krystalickou složku krystaly TiAlN a amorfní složku Si 3

jsou nemísitelné. U vrstev, které byly poprvé připraveny v SHM představují krystalickou složku krystaly TiAlN a amorfní složku Si 3 Společnost SHM byla založena dvěma společníky panem Mojmírem Jílkem a Pavlem Holubářem v roce 1993. Jejímu založení předcházela spolupráce obou obchodních partnerů ve výzkumu a vývoji u původního zaměstnavatele

Více

Anihilace pozitronů v letu

Anihilace pozitronů v letu Anihilace pozitronů v letu v pevné látce se e + termalizuje během několika ps termalizovaný pozitron anihilace v klidu dominantní proces v pevných látkách netermalizovaný pozitron anihilace v letu (AiF)

Více

TENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením)

TENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) TENKÉ VRSTVY Lze připravit : 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) Metody fyzikální (Physical Vapor Deposition PVD) Metody chemické (Chemical Vapor Deposition-

Více