Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování. Počítačová simulace procesu
|
|
- Eduard Bařtipán
- před 5 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Nahlédnutí pod pokličku vývoje SHM: Magnetronové naprašování Počítačová simulace procesu
2 Magnetronové naprašování princip metody vývoj technologie
3 Magnetronové naprašování princip metody Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.
4 Magnetronové naprašování princip metody - substráty Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.
5 Magnetronové naprašování princip metody - target Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.
6 Magnetronové naprašování princip metody Zdroj: Jan Valter, HVM Plasma s.r.o.
7 Rychlost růstu (au) Magnetronové naprašování princip metody Hysteresis region Průtok N2 (sccm) Zdroj: S.Berg
8 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) výboj v plazmatu
9 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) foton výboj v plazmatu
10 Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) výboj v plazmatu
11 Relativní intensita Magnetronové naprašování Process monitoring (OES) OES-TiAl/Ar hranol rozklad světla??? Spectrum analyzer výboj v plazmatu Vlnová délka [nm]
12 Magnetronové naprašování OES Spectrum Analyzer (freeware!) Z. Navrátil, D. Trunec, R. Šmíd and L. Lazar (2006). A software for optical emission spectroscopy - problem formulation and application to plasma diagnostics. Czechoslovak Journal of Physics 56, Suppl. B, B DOI:
13 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning odtrávení otrávení Ar N2 flow
14 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2+ Ar N2 flow
15 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2+ Ar N2/Ar N2 flow
16 Relative intensty Magnetronové naprašování OES Target poisoning N2/Ar tlak N2 flow
17 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace
18 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace
19 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace unstable metallic stable
20 N2 Flow Magnetronové naprašování Algoritmus regulace Metallic Stable Unstable Total Process Pressure (regulated)
21 Magnetronové naprašování Algoritmus regulace N2 flow Pressure set Time Patent presents algorithm how to find this optimal process pressure
22 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)
23 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)
24 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM)
25 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem
26 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh
27 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Myšlenka Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba - subdodavatel
28 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp
29 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment
30 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment Parametry vrstvy -> laboratoř
31 Myšlenka Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody Simulace MP (FEMM) Konzultace s konstruktérem Návrh Výroba Prototyp Experiment Parametry vrstvy -> laboratoř
32 Magnetronové naprašování vývoj magnetického pole katody
33 Počítačová simulace procesu data z depozic popis algoritmu postprocessing praktické využití
34 Počítačová simulace procesu ~ druh katody ~ proud oblouku ~ proud do cívky
35 Relative deposition rate - (um/hod) Počítačová simulace procesu Data z depozic 1 Deposition rate TiN vs Iarc Imac = -3A I mac = 0 A Imac = 3A y=-0, ,00535 x Iarc - 0,00332 x Imac + 0,00026 x Iarc x Imac Iarc (A)
36 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O )
37 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice (~10 000x) h = random (min, hmax)
38 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, 2 )
39 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, )
40 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice = random (0, ) = random (0, )
41 Počítačová simulace procesu Popis algoritmu 1. pohyb rotace (~1 O ) 2. Monte Carlo depozice jednohodinový proces 1 hodina simulace (3GHz IntelCore2Duo)
42 Počítačová simulace procesu Postprocessing
43 Počítačová simulace procesu Postprocessing vodorovný řez
44 Počítačová simulace procesu Postprocessing svislý řez vodorovný řez 400 mm
45 Počítačová simulace procesu Praktické využití různá naložení Vzdálenost = 10mm Vzdálenost = 20mm Bez krytů-> Vzdálenost = Délka nástroje = 100mm Délka nástroje = 100mm Délka nástroje = 100mm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 4,1 nm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 4,4 nm Tloušťka vrstvy na konci nástroje = 5,0 nm
46 Počítačová simulace procesu Praktické využití nevhodné převodové poměry *100 mm x Tvorba multivrstev *100 mm x Nerovnoměrná distribuce po obvodu
47 Děkujeme za pozornost
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VíceFYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA
FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VícePlazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceAnotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015
Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování
DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem
Víceř ť ř é ř Š ř š ř ř Č ú Č Č ř ř ó ř é ř ř ř Č Č ú ř Ř Ě ř ť ó ť ř š ť š é ú é š š ř ř é ÁŘ ů š é é š š ů é š é é é š ř ř ů ú é é é ř ř ů é ó é ť é ň é é ú š é é Ý ř ť ř é é ů Ř š ř é é ř ú ř š ř ó é ú
VíceTenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VícePlazmatické metody pro úpravu povrchů
Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů
VíceÍ Č ú Č Š Í Á É Č Č ú š š Ž ž š Ť Ť Ž ž Ó ó Ž ž ž Í ú ž Ť ž ž š ň ž š š Í ž Í ň Ž ň š ó š Ž Ž Í Š ú Í ž ž Í š ž ž Ť š š Ž Ž Á ž ó ž Ť š ž ť š Í ň ť ž Ž ž Ž ž Ť ž šť š ž Ž ň ú ž š ž ú ú ť Ž ň ú š ú ž Ž
VíceGas Discharges. Overview of Different Types. 14. listopadu 2011
Gas Discharges Overview of Different Types Jan Voráč ÚFE 14. listopadu 2011 Obrázky použité v této prezentaci jsou nestoudně ukradeny z internetu, z archivů pracovníků ÚFE MU, ze skript Základy fyziky
VíceMetody depozice povlaků - CVD
Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční
VícePřehled metod depozice a povrchových
Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical
VíceVYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Ing. Ondřej Hégr CHARAKTERIZACE NANOSTRUKTUR DEPONOVANÝCH VYSOKOFREKVENČNÍM MAGNETRONOVÝM NAPRAŠOVÁNÍM
VíceCentrum základního výzkumu LC 06041. Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L.
Centrum základního výzkumu LC 06041 Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Řešitelský tým: Doc. RNDr. S. Novák, CSc. Prof. RNDr. R.
VíceDodávka vakuové komory s p íslušenstvím
Název ve ejné zakázky: Dodávka vakuové komory s p íslušenstvím Od vodn ní vymezení technických podmínek podle 156 odst. 1 písm. c) ZVZ Technická podmínka: Od vodn ní A) Komponenty erpacího systému a systému
VíceOptimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče
Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Zbyněk Strecker Institute of Machine and Industrial Design Faculty of Mechanical Engineering BUT 6.11.2013 Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Obsah
VícePRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A)
PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A) GARANT PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (ÚFI) VYUČUJÍCÍ PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc., Ing. Stanislav Voborný, Ph.D. (ÚFI) JAZYK
VíceVytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev)
Naprašování: Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev) Po nárazu iont předává hybnost částicím terče, dojde k vytržení Depozice
Vícegalvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39
Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857
VíceOptimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče
Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Zbyněk Strecker Institute of Machine and Industrial Design Faculty of Mechanical Engineering BUT 6.11.2013 Optimalizace regulačního algoritmu MR tlumiče Obsah
VíceNové metody monitorování provozu ventilátorů/ New methods for monitoring of the fans
Nové metody monitorování provozu ventilátorů/ New methods for monitoring of the fans Motto : Větrací systém se stal důležitou součástí koncepce bezpečnosti tunelu a zasluhuje proto odpovídající prostředky
VíceVzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042
Vzdělávání výzkumných pracovníků v Regionálním centru pokročilých technologií a materiálů reg. č.: CZ.1.07/2.3.00/09.0042 Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem
VíceRost Marek, Záruba Lukáš školitelé: Z. Sekerešová, J. Šonský. Cesta k vědě 19.6.2011
Studium dynamických jevů v termickém plazmatu Rost Marek, Záruba Lukáš školitelé: Z. Sekerešová, J. Šonský Cesta k vědě 19.6.2011 M. Rost, L. Záruba (CkV) Studium jevů v plazmatu 19.6.2011 1 / 28 Obsah
VíceFyzikální metody depozice KFY / P223
Fyzikální metody depozice KFY / P223 Obsah Vymezení pojmu tenkých vrstev, význam TV ve vědě a technice, přehled metod vytváření TV Růst tenkých vrstev: módy a fáze růstu TV, vliv parametrů procesu. Napařování
VíceODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY
ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY s názvem PULSNÍ LASEROVÁ DEPOZICE CEITEC MU vyhotovené podle 156 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, v platném znění (dále jen Zákon o VZ) 1. ODŮVODNĚNÍ ÚČELNOSTI
VícePlazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada
Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze
VíceSYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH
Západočeská univerzita v Plzni SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH Antonín Kříž Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, e-mail: kriz@kmm.zcu.cz Tento příspěvek vznikl na základě řešení
VíceOchrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin. Sdílení tepla sáláním. Balení pro mikrovlnný ohřev
Převod tepla obalem z potraviny do vnějšího prostředí a naopak Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin 1 Obecně tepelné procesy snaha o co nejmenší
VíceNanogrant KAN ( )
Nanogrant KAN400480701 (2007 2011) Nanostruktury na bázi uhlíku a polymerů pro využití v bioelektronice a medicíně Ústav jaderné fyziky AV ČR, Mgr. Jiří Vacík, CSc., koordinátor projektu ( Výroční seminář
VíceTypy interakcí. Obsah přednášky
Co je to inteligentní a progresivní materiál - Jaderné analytické metody-využití iontových svazků v materiálové analýze Anna Macková Ústav jaderné fyziky AV ČR, Řež 250 68 Obsah přednášky fyzikální princip
VíceFyzikální metody přípravy tenkých vrstev. Martin Kormunda
Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev Co je to za techniky? Procesy vyváření tenkých vrstev fyzikálními metodami využívají procesy probíhající za nízkého tlaku k dosažení efektivního transportu částic
VíceTenké vrstvy. metody přípravy. hodnocení vlastností
Tenké vrstvy metody přípravy hodnocení vlastností 1 / 39 Depozice tenkých vrstev Depozice vrstev se provádí jako finální operace na hotovém již tepelně zpracovaném substrátu. Pro dobré adhezní vlastnosti
VíceAerodynamika vozu, vnější proudění
Aerodynamika vozu, vnější proudění J. Jagrik Škoda Auto TFA Aerodynamika a výpočty 11.3.2015 1 Vnější aerodynamika vozu - přehled Cíle: bezpečnost aerodynamická stabilita, špinění ekonomicky a ekologicky
VíceModelování hrozeb. Hana Vystavělová AEC, spol. s r.o.
Modelování hrozeb Hana Vystavělová AEC, spol. s r.o. Agenda Možné způsoby identifikace rizik Úskalí analýzy rizik Modelování hrozeb metodiky Modelování hrozeb ukázky Výhody a přínosy modelování hrozeb
VíceVšechno, co jste chtěli vědět o Gridech, ale báli jste se zeptat
Seminář LOM, 8. června 2005 Všechno, co jste chtěli vědět o Gridech, ale báli jste se zeptat Jan Kmuníček Ústav výpočetní techniky MU & CESNET Obsah Charakteristika gridovéhoprostředí Typy Gridů Vize výpočetního
VíceÈÁST VII - K V A N T O V Á F Y Z I K A
Kde se nacházíme? ÈÁST VII - K V A N T O V Á F Y Z I K A 29 Èásticové vlastnosti elektromagnetických vln 30 Vlnové vlastnosti èástic 31 Schrödingerova formulace kvantové mechaniky Kolem roku 1900-1915
VícePlazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
VícePřednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD
Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven
VíceF7030 Rentgenový rozptyl na tenkých vrstvách
F7030 Rentgenový rozptyl na tenkých vrstvách O. Caha PřF MU Prezentace k přednášce Numerické simulace Příklady experimentů Vybrané vztahy Sylabus Elementární popis vlnového pole: Rtg vlna ve vakuu; Greenova
VíceDepozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza
Depozice uhlíkových nanotrubek metodou PECVD a jejich analýza Jiřina Matějková UPT Brno AV ČR Ondřej Jašek- KFE Přírodovědecká fakulta MU Brno, jasek@physics.muni.cz Marek Eliáš, Lenka Zajíčková, Vít Kudrle,
VíceVytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze
Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Teoretické základy: Plazmochemická depozice z plynné fáze metoda PECVD Rozvoj plazmochemických metod vytváření tenkých
VíceTECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší
VíceVyužití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů
Využití plazmochemické redukce pro konzervaci archeologických nálezů Zuzana Rašková Technické muzeum v Brně, Purkyňova 105, 612 00 Brno, raskova@technicalmuseum.cz 24.7.2006 1 Nječastější kovové sbírkové
VíceÚvod do fyziky plazmatu
Úvod do fyziky plazmatu Lenka Zajíčková, Ústav fyz. elektroniky Doporučená literatura: J. A. Bittencourt, Fundamentals of Plasma Physics, 2003 (3. vydání) ISBN 85-900100-3-1 Navazující a související přednášky:
VícePlazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying
Plazmové depozice povlaků Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmový nástřik patří do kategorie žárových nástřiků. Žárový nástřik je částicový proces vytváření povlaků o tloušťce obvykle větší než 50 µm,
VíceNávod pro Laboratoř oboru Výroba léčiv
Návod pro Laboratoř oboru Výroba léčiv Studium biomateriálů laserovou rastrovací mikroskopií (SBLRM) Vedoucí práce: doc. Ing. Jakub Siegel, Ph.D. 09/2014 Úkoly: 1. Prostudujte základní informace o přístrojích
VíceRozhodování. s více účastníky. Miroslav. school@utia
Rozhodování s více účastníky Miroslav Kárný school@utia utia.cas.cz, http://www.utia utia.cas.cz/as Rozhodování Účastník znalosti neúpln plné cíle násobné omezení rozsahů složitostn itostní strategie akce
VíceNaprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti
Západočeská univerzita v Plzni Fakulta aplikovaných věd Katedra fyziky Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti Bakalářská práce Plzeň 2012 Michal Zítek Prohlášení Prohlašuji,
VíceCHARAKTERIZACE MATERIÁLU II
CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VíceKorozní experimenty konstrukčních materiálů pro technologie CCS
Korozní experimenty konstrukčních materiálů pro technologie CCS Jana Petrů, VŠCHT Praha Jana Poláčková, VŠCHT Praha Jiří Kubásek, VŠCHT Praha Martin Janák, VŠCHT Praha Daniela Marušáková, VŠCHT Praha Aneta
VíceATOMOVÁ SPEKTROMETRIE (v UV a Vis oblasti spektra)
ATOMOVÁ SPEKTROMETRIE (v UV a Vis oblasti spektra) Atomová spektrometrie 1. OES (AES) 2. AAS 3. AFS Atomová spektra Na s elektronovou konfigurací [Ne] 3s 1 (1 val. e - ) Absorpce fotonu je spojena s excitací
VícePrincip naprašování. Rozdíly proti napařování: 1. metoda získávání par 2. nutnost použití pracovního plynu 3. ionizace par a prac. plynu.
Přednáška 6 Naprašování: princip metody, magnetrony, ss naprašování, pulzní naprašování, rf naprašování naprašovací rychlost, naprašování kovů, slitin a sloučenin. Princip naprašování Převedení pevné látky
VíceVysoká škola chemicko-technologická v Praze ÚCHOP Laboratorní ověřování mechanismů termické desorpce s mikrovlnným ohřevem Ing. Pavel Mašín Ing. Jiří Hendrych Doc.Dr.Ing. Martin Kubal Ing. Lucie Kochánková
VíceCEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
CEPLANT Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Operační program Výzkum a Vývoj pro Inovace prioritní osa 2.1 Regionální VaV centra Reg.č. CZ.1.05/2.1.00/03.0086
VíceMetodika hodnocení opotřebení povlaků
Metodika hodnocení opotřebení povlaků Bc. Petr Mutafov Vedoucí práce: Ing. Tomáš Polcar, Ph.D. Abstrakt Tento příspěvek se věnuje porovnáním kontaktního a bezkontaktního způsobu měření, které byly vybrány
VíceNanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a
VícePVD povlaky pro nástrojové oceli
PVD povlaky pro nástrojové oceli Bc. Martin Rund Vedoucí práce: Ing. Jan Rybníček Ph.D Abstrakt Tato práce se zabývá způsoby a možnostmi depozice PVD povlaků na nástrojové oceli. Obsahuje rešerši o PVD
VíceOD NÁPADU K VÝROBKU ANEB APLIKOVANÝ VÝZKUM V PRAXI
OD NÁPADU K VÝROBKU ANEB APLIKOVANÝ VÝZKUM V PRAXI Doc. Ing. Aleš Rubina, Ph.D., Ing. Pavel Uher, Ing. Olga Rubinová, Ph.D. Vysoké učení technické v Brně, Fakulta stavební, Ústav technických zařízení budov,
VícePublications in Refereed Journals
Publications in Refereed Journals Brožek, Vlastimil - Matějíček, Jiří - Neufuss, Karel Wolframové a wolframkarbidové filtry a membrány. [Tungsten and tungsten carbide filters and membranes.] Chemické listy.
VíceOPTIKA Fotoelektrický jev TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.
OPTIKA Fotoelektrický jev TENTO PROJEKT JE SPOLUFINANCOVÁN EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY. Světlo jako částice Kvantová optika se zabývá kvantovými vlastnostmi optického
VíceABSORPČNÍ SPEKTROSKOPIE VÝBOJE V PULZNÍM MAG- NETRONU NELINEÁRNÍ FITACE SIGNÁLU
ABSORPČNÍ SPEKTROSKOPIE VÝBOJE V PULZNÍM MAG- NETRONU NELINEÁRNÍ FITACE SIGNÁLU Jiří Olejníček 1, Hoang Tung Do, Zdeněk Hubička 1, Rainer Hippler 1 Fyzikální ústav AVČR, Na Slovance, 18 1 Praha 8 University
VíceCHARAKTERIZACE MATERIÁLU II
CHARAKTERIZACE MATERIÁLU II Vyučující a zkoušející Ing. Martin Kormunda, Ph.D. - CN320 Konzultační hodiny: Po 10-12, St 13 14 nebo dle dohody Doc. RNDr. Jaroslav Pavlík, CS.c. - CN Konzultační hodiny:
VíceNÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?
NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Vstupní přednáška pro problematiku: Nástrojové oceli Slinuté karbidy Depozice tenkých vrstev Předmět SMA Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž 3/37 Čas jsou peníze 4/37 Systém tenká
VíceČeské vysoké učení technické v Praze. Katedra fyzikální elektroniky. Témata studentských prací pro školní rok 2014 15
Rámcové téma práce č. 1: Diodově čerpaný Er:YAG oku-bezpečný laser Typ práce: DP Vedoucí práce: Ing. M. Němec, Ph.D. 1 Kozultant(i): prof. Ing. H. Jelínková, DrSc. 2 Student: L. Indra Obsahem práce je
VíceUZAVÍRACÍ KLAPKY S JEDNOU EXCENTRICITOU TYP L32.6
Použití Uzavírací klapky s jednou excentricitou jsou průmyslové armatury určené k úplnému otevření nebo uzavření průtoku. Lze je použít i pro regulaci průtoku. Při dlouhodobém používání v regulačním režimu
VíceOptický emisní spektrometr Agilent 725 ICP-OES
Optický emisní spektrometr Agilent 725 ICP-OES Popis systému: Přístroj, včetně řídicího softwaru a počítače, určený pro plně simultánní stanovení prvků v širokém koncentračním rozmezí (ppm až %), v nejrůznějších
VíceSEZNAM PŘÍLOH 11. SEZNAM PŘÍLOH
SEZNAM PŘÍLOH 11. SEZNAM PŘÍLOH Příloha 1 Výrobní systémy prášku VIGA, EIGA a PIGA... 84 Příloha 2 Proudění bublin v tavící lázni... 84 Příloha 3 Graf hodnot BFE pro různé mísící poměry prášků... 85 Příloha
Vícečlen švýcarské skupiny BCI
> úvod povlakování Tento katalog nabízí základní přehled tvrdých a kluzných vrstev deponovaných PVD technologiemi našeho povlakovacího centra na nástroje a strojní součástí včetně možností předúprav. V
VíceTechnické vzdělávání na Jihočeské univerzitě
Technické vzdělávání na Jihočeské univerzitě Přírodovědecká fakulta JU, Ústav fyziky a biofyziky Měřicí a výpočetní technika, Mechatronika České Budějovice, 15. 01. 2016 www.prf.jcu.cz/ufy Technicky orientované
VíceOPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE
OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE Optical Emission Spectrometry (OES) ATOMOVÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE (AES) (c) -2017 OES je založena na registrování fotonů vzniklých přechody valenčních e - z vyšších energetických
VíceDepozice tenkých vrstev I.
Depozice tenkých vrstev I. Naprašování Mgr. Tereza Schmidtová 15. dubna 2010 Aplikace Klasifikace Obecný přehled aplikací použití pro optické vlastnosti - laserová optika, zrcadla, reflexní a anti-reflexní
Víceď Ž ó Ý š Ž ú š š š ť ó ť ť š š Ž Ž š Ž Č ď š Ž ň š Ž š š š ú Ú Š ď š š Č ú š ň š š š š š Č ú ú š ú ú š š š š š ň ň š šú š š š š š ť Č š š ú š š Ž šť š š ň ň ú š ň Ž ú š Č ú š ú Š š š ň Š ú ú Č É š š ď
VíceNové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž
Nové trendy vývoje tenkých vrstev vytvořených PVD a CVD technologií v aplikaci na řezné nástroje Antonín Kříž TATO PŘEDNÁŠKA JE SPOLUFINANCOVÁNA EVROPSKÝM SOCIÁLNÍM FONDEM A STÁTNÍM ROZPOČTEM ČESKÉ REPUBLIKY.
VíceOptická vlákna. Laboratoř optických vláken. Ústav fotoniky a elektroniky, AVČR, v.v.i. www.ufe.cz/dpt240
Optická vlákna Laboratoř optických vláken Ústav fotoniky a elektroniky, AVČR, v.v.i. www.ufe.cz/dpt240 Ústav fotoniky a elektroniky AVČR ZÁKLADNÍ VÝZKUM Optické biosensory (SPR Homola) Vláknové lasery
VíceVyužití fotonických služeb e-infrastruktury pro přenos ultrastabilních optických frekvencí
Využití fotonických služeb e-infrastruktury pro přenos ultrastabilních optických frekvencí Ondřej Číp, Martin Čížek, Lenka Pravdová, Jan Hrabina, Václav Hucl a Šimon Řeřucha (ÚPT AV ČR) Josef Vojtěch a
VíceMonitorování svazku elektronů a zvýšení jeho stability na mikrotronu MT 25
Monitorování svazku elektronů a zvýšení jeho stability na mikrotronu MT 25 Krist Pavel, Vognar Miroslav, Šimáně Čestmír Oddělení urychlovačů, Ústav jaderné fyziky AVČR v. v. i., 250 68 Řež 130 Cílem naší
VíceDomácí úlohy ke kolokviu z předmětu Panorama fyziky II Tomáš Krajča, , Jaro 2008
Domácí úlohy ke kolokviu z předmětu Panorama fyziky II Tomáš Krajča, 255676, Jaro 2008 Úloha 1: Jaká je vzdálenost sousedních atomů v hexagonální struktuře grafenové roviny? Kolik atomů je v jedné rovině
VíceSestrojení voltampérové charakteristiky diody (experiment)
Zvyšování kvality výuky v přírodních a technických oblastech CZ.1.07/1.1.28/02.0055 Sestrojení voltampérové charakteristiky diody (experiment) Označení: EU-Inovace-F-9-01 Předmět: Fyzika Cílová skupina:
VíceAnalýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji
Analýza emisních čar ve výboji v napařovacím stroji Pavel Oupický, Centrum pro optoelektroniku Viktor Sember, Oddělení vysokoteplotního plazmatu Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v.v.i. Abstrakt V článku v
VíceVYUŽITÍ MATLABU PRO MODELOVÁNÍ INTERFEROGRAMŮ PROUDÍCÍHO PLYNU S RŮZNÝM INDEXEM LOMU. Jiří Olejníček Pedagogická fakulta, Jihočeská univerzita
VYUŽITÍ MATLABU PRO MODELOVÁNÍ INTERFEROGRAMŮ PROUDÍCÍHO PLYNU S RŮZNÝM INDEXEM LOMU Jiří Olejníček Pedagogická fakulta, Jihočeská univerzita Abstrakt: Příspěvek se zabývá využitím Matlabu pro modelování
VíceZákladní typy článků:
Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,
VíceNanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková
Přírodovědecká fakulta UJEP Ústí n.l. a Ústecké materiálové centrum na PřF UJEP http://sci.ujep.cz/faculty-of-science.html Nanotechnologie a Nanomateriály na PřF UJEP Pavla Čapková Kontakt: Doc. RNDr.
VíceLaboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC
Laboratorní návod pro práci s naprašovačkou Denton DESK V HP TSC 2011 Ústav fyziky a měřicí techniky VŠCHT Praha 1 Technologie naprašování kovů K depozicím kovů bude v rámci této práce využito naprašování,
VíceTenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti
Tenké vrstvy nitridů kovů výroba, aplikace, vlastnosti Začátek průmyslové aplikace tenkých vrstev v oblasti řezných nástrojů 1968 CVD depozice vrstvy TiC na řezné destičce ze slinutého karbidu 2/49 Co
VíceTurnaj mladých fyziků 2014
Turnaj mladých fyziků 2014 poznámky k úlohám 2 a 16 Petr Chaloupka FJFI ČVUT CZ petr.chaloupka@fjfi.cvut.cz Úloha č. 2 Hologram.. Vynalezeno 1948 Denisem Gaborem pro potřeby elektronové mikroskopie původní
VíceCentrum základního výzkumu LC Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L.
Centrum základního výzkumu LC 06041 Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Řešitelský tým: Doc. RNDr. S. Novák, CSc. Prof. RNDr. R.
VíceVakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev
VíceZkoušky vnitřním přetlakem > 100 bar
Zkoušky vnitřním přetlakem > 100 bar Září 2006 1 Zkoušky vnitřním přetlakem v laboratoři plastových potrubních systémů Zkoušky statickým vnitřním přetlakem (zkušební teplota, prostředí, tlakové médium)
VíceTechnologie konstrukce smart oděvů. Jana Drašarová
Technologie konstrukce smart oděvů Jana Drašarová Cesty ke SMART textiliím II 2) Inovativní materiály a struktury vložením známých prvků aktivní (parazitické) elementy připojené do struktury aktivní elementy
VíceTenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické
VíceOptogalvanick{ spektrometrie Vítězslav Otruba
Optogalvanick{ spektrometrie Vítězslav Otruba Princip metody Optogalvanický efekt využívá kombinace excitace atomů resonančním zářením a srážkové ionizace částicemi plazmatu (plamene) k selektivní ionizaci
VíceOPTICK SPEKTROMETRIE
OPTICK TICKÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE Optical Emission Spectrometry (OES) ATOMOVÁ EMISNÍ SPEKTROMETRIE (AES) (c) -2010 OES je založena na registrování fotonů vzniklých přechody valenčních e - z vyšších energetických
VíceProjekt PilsenCUBE. Hledání rozumného řešení velkého množství otázek. Lze zajistit dlouhodobě spolehlivou funkci satelitu?
Lze zajistit dlouhodobě dostatek elektrické energie pro vědcké experimenty? Lze zajistit dlouhodobě spolehlivou funkci satelitu? Lze zajistit dostatečně rychlé přenosy dat ze satelitu? Hledání rozumného
Vícejsou nemísitelné. U vrstev, které byly poprvé připraveny v SHM představují krystalickou složku krystaly TiAlN a amorfní složku Si 3
Společnost SHM byla založena dvěma společníky panem Mojmírem Jílkem a Pavlem Holubářem v roce 1993. Jejímu založení předcházela spolupráce obou obchodních partnerů ve výzkumu a vývoji u původního zaměstnavatele
VíceAnihilace pozitronů v letu
Anihilace pozitronů v letu v pevné látce se e + termalizuje během několika ps termalizovaný pozitron anihilace v klidu dominantní proces v pevných látkách netermalizovaný pozitron anihilace v letu (AiF)
VíceTENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením)
TENKÉ VRSTVY Lze připravit : 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) Metody fyzikální (Physical Vapor Deposition PVD) Metody chemické (Chemical Vapor Deposition-
Více