Laserová depozice tenkých vrstev
|
|
- Ludvík Bařtipán
- před 8 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Laserová depozice tenkých vrstev Tomáš Kocourek 1,2, Miroslav Jelínek 1,2 1) Fyzikální ústav AV ČR, Na Slovance 2, Praha 8, ) Fakulta biomedicínského inženýrství ČVUT, nám. Sítná 3105, Kladno,
2 Laserová depozice tenkých vrstev LASEROVÁ DEPOZICE TENKÝCH VRSTEV Mechanismus PLD Mechanismus MAPLE EXPERIMENTÁLNÍ TECHNIKA PLD Hybridní PLD MAPLE APLIKACE LASEROVÝCH TENKÝCH VRSTEV Vlnovodové lasery Čidla plynů Tenké vrstvy v lékařství Organické tenké vrstvy
3 TV technologie Vrstvy modifikace povrchu, depozice (nanášení) Depozice PVD, CVD, PECVD (PACVD) PVD napařování (termické, vakuové,..) naprašování (diodové, magnetronové, ECR, supersonická tryska, ) iontové plátování plazmový nástřik laserová depozice
4 Laserové vrstvy LASER pro ohřev, pyrolýzu, fotodisociaci Povrchová modifikace materiálů (kovová skla, rekrystalizace, legování, laserová nástřik) Laser CVD laserem stimulovaná chemická depozice Laser PA CVD laserem stimulovaná plazmochemická depozice Pulzní laserová depozice (PLD)
5 PLD 1 Základní experimentální uspořádání pro laserovou depozici tenkých vrstev : 3 2 vakuová depoziční komora, držák podložek umožňující ohřev podložek a přesné měření teploty, materiál terče a laser. Fokusovaný laserový svazek dopadá na terč, vysokou hustotou záření se materiál terče převede do plazmového obláčku a následně materiál kondenzuje na podložce, umístěné nad terčem. Procesy probíhající během PLD zahrnují v podstatě tři vzájemně provázané druhy interakce : laserové záření - pevná látka, plasma - pevná látka, plasma - laserové záření Schéma pulsní laserové depozice (1- laserový svazek, 2- odražeč, 3- čočka, 4- vstupní okno depoziční komory, 5- karusel s terči, 6- topný stolek s podložkou, 7- vakuový čerpací systém, 8,9- vakuové měrky 7 4 9
6 PLD topný držák laser vzorek plasma terč
7 Depoziční parametry ovlivňují růst, tloušťku, plochu a kvalitu deponovaných vrstev 1. Parametry laseru: vlnová délka (absorpční tloušťka ) délka impulsu (objem zahřátého materiálu) opakovací frekvence (nukleace a růst vrstvy) 2. Interakce laserového záření s terčem: hustota výkonu laserového svazku (tvar plumu, plocha a homogenita vrstvy, energiečástic plumu, růst vrstvy krystalinita, hustota) materiálové vlastnosti terče (tepelná vodivost, objemová hustota terče, absorpce, odrazivost, elektrická vodivost x rychlost šíření rozvod tepla v terči, velikost absorbovaného výkonu, objem zahřátého materiálu x tvorba kuliček x hladký povrch vrstvy)
8 Depoziční parametry ovlivňují růst, tloušťku, plochu a kvalitu deponovaných vrstev velikost stopy laserového svazku (tvar plumu, plochu a homogenitu vrstvy) 3. Interakce plasmového plumu s plynným prostředím a s podložkou: tlak a výběr plynu v depoziční komoře (tvar plumu, rychlost částic, rozklad plynu, excitace, ionizace x hustota, morfologie, krystalinita a složení vrstvy) vzdálenost terč- podložka (množství dopadajících částic, geometrie vrstvy)
9 Depoziční parametry ovlivňují růst, tloušťku, plochu a kvalitu deponovaných vrstev 4. Parametry podložky: mřížkové parametry (režim růstu vrstvy) tepelná vodivost (napětí ve vrstvě, homogenita složení vrstvy) koeficient tepelné roztažnosti (napětí ve vrstvě) teplota podložky (vazby, krystalinita) 5. Režim růstu vrstvy: depoziční rychlost frekvence opakování pulsů tloušťka vrstvy
10 Interakce laserového záření s terčem I 0 RI 0 S x terč α 1 L(τ) Tepelný model absorpce energie laserového záření v terči. I 0 - hustota výkonu dopadající na terč RI 0 - odraženáčást S - plocha svazku α 1 - tloušt ka, kde je absorbováno záření L(τ) - tloušt ka zahřátí terče X - vzdálenost měřená od povrchu terče D - koeficient difúze τ - délka jednoho pulsu m - hmotnost zahřáté vrstvy ρ - hustota terčového materiálu U - sublimační teplo na jednotku hmotnosti Absorbovaný výkon Zahřátí vrstvy tloušťky Objem ohřátého matriálu Energie potřebná k vypaření I( x) = I 0 (1 R) e L( τ ) = 2Dτ V = L( τ ) S αx E = mu = V ρu = SρU 2Dτ C
11 Transport vypařeného materiálu z terče na podložku terč v x φ θ h v z laserový svazek x z podložka Rozložení oblaku je možné popsat funkcí cos θ s exponentem n měnícím se v intervalu 8<n<12 n Úhel plasmového obláčku 1. Atomy a molekuly v základním stavu Po odpaření materiálu z terče začíná plasmový obláček během několika prvních mikrosekund expandovat s rychlostí ~ 10 km/s. 2. Excitované atomy a molekuly 3. Ionty 4. Elektrony 5. Kuličky
12 PLD šíření materiálu CCD fotografie charakterizujícíčasový rozvoj plasmového obláčku po dopadu laserového svazku na terč (YBaCuO terč, 10 Pa O 2 v komoře). Zpoždění : a) 0.5 µs, b) 2µs, c) 3µs, d) 8 µs. CCD fotografie interakce plasmového obláčku s podložkou včasovém zpoždění : a) 6 µs, b) 8 µs, c) 10 µs, d) 50 µs. Plazmový obláček se šíří k terči zleva (následně se odráží od podložky).
13 PLD šíření materiálu CCD fotografie charakterizující plasmový obláček pro různé tlaky pracovní atmosféry: mtorr
14 Výhody Přednosti a nevýhody PLD 1. stechiometrická depozice i vícesložkových materiálů (za vhodných depozičních podmínek) 2. vysoká rychlost depozice (~ 1 nm/sec) 3. laser je umístěn vně vakuové komory pouze místní ohřátí a odpaření materiálu 4. jednoduchost, flexibilita a univerzálnost experimentálního zařízení, relativně nízká cena systému 5. malý a geometricky jednoduchý terč, malá spotřeba materiálu, nízká cena 6. vytváření epitaxních vrstev za relativně nízkých teplot 7. možnost vytváření vrstev a multivrstvových struktur různých a vícesložkových materiálů 8. PLD proces je charakterizován rychlým a čistým lokálním ohřevem povrchu terče, což minimalizuje kontaminaci vytváření vrstev
15 Přednosti a nevýhody PLD Nedostatky PLD Problém homogenního pokrytí velké plochy z důvodu úzkého úhlového rozložení částice emitovaných z terče (ALE i pokrytí podložek až o průměru 5 10 cm) Povrch deponované vrstvy může být pokryt kuličkami materiálu (ALE lze vytvářet i multivrstvy a vlnovodové vrstvy)
16 MAPLE (Matrix Assisted Pulsed laser Evaporation) topný stolek pro uchycení podložky podložka laser organická molekula rotující držák terče chlazený tekutým N 2 těkavé rozpouštědlo
17 Experimentální technika PLD
18 Experimentální technika PLD
19 Experimentální technika PLD
20 Experimentální technika PLD
21 TV PLD hybridní systémy RF výboje MHz (mezi elektrodami, elektroda - komora, výboj v duté katodě) PLD + magnetronové naprašování + RF Výsledek - monokrystalické, polykrystalické, nanokrystalické a amorfní vrstvy - gradientní vrstvy, nano-kompozitní vrstvy
22 TV β C 3 N 4 (grant INCO Copernicus) RF + pulsní modulace laserový svazek (λ=248 nm, 5 ev) podložka živá elektroda elektroda N 2, N, N +, N 2 + C, C +, C + 2, C ++, C W/cm 2 grafitový terč
23 TV β C 3 N 4 (grant INCO Copernicus)
24 Depoziční proces PLD s RF výbojem
25 TV β C 3 N 4 (grant INCO Copernicus) podložka uzemněná elektroda N 2 uzemněná elektroda podložka N 2 živá elektroda živá elektroda
26 TV β C 3 N 4 (grant INCO Copernicus)
27 Tenké vrstvy TiC, TiCN, SiC (PLD + magnetron)
28 PLD + magnetron
29 PLD + magnetron
30 Gradientní vrstvy C Ti Si Vzorek TD 5, laser- magnetron
31 MAPLE komora vakuová měrka napouštěcí ventil zásobník tekutého N 2 rotující chlazený držák terče ventil optická lavice pro fokusující optiku vstupní okno pro laserový svazek turbomolekulární pumpa topný stolek pro uchycení podložky jehlové ventily měření průtoku plynu elektrická průchodka
32 MAPLE komora
33 Aktivní vlnovodové vrstvy Pro planární a kanálkové vlnovodové lasery Ti:safír, Nd:YAG (YAP), Nd:sklo, Er:YAG (YAP), Nd:KGW, Pr:GGG, Yb:GGG, čerpací svazek reflexní zrcadlo planární vlnovod s dopantem výstupní zrcadlo generované záření čočka Ti:safír vlnovodový laser, délka 3.8 mm, výst. výkon 350 mw
34 Pasivní vlnovodové vrstvy -optickáčidla plynů (NANOPHOS) Svazek je zaveden do vlnovodu prizmou. Vazba je dána úhlem dopadu θ S. Při rezonanční vazbě laserového svazku s vlnovodem, při specifickém úhlu, se objeví v odraženém svazku tmaváčára (m- line). dark line bright line laser beam prism θ S reflected spot in the far field region n W, t W n L, t L n Λ, t Λ } layers
35 TV čidla plynů optická (NANOPHOS IST) 0, Signál fotodiody (V) tension (V) 0,12 0,1 0,08 0,06 0,04 0,02 0 A : repeatability t (s) t (s) B : no pressure effects butane, V=0.1V N2, V=0.09 V N 2 vakuum vacuum, V=0.065 V 1 : vacuum vakuum 2 : N2 N 2 3 : N2 N 2butanu ppm butane 4 : N2 N 2 ZnO vrstva detekce butanu
36 PLD - vlnovodové vrstvy (velké plochy)
37 PLD - vlnovodové vrstvy
38 TV čidla plynů - odporová Ω Pt kontakty vrstva podložka topná spirála Čidla obsahují aktivní vrstvu, dopanty (materiály obsahující ionty- Ni 2+, Fe 3+, Cu 2+, atd.), katalyzátory (Pt, Pd, Ni, Fe, atd.) a povrchové membrány (SiO 2, polytetrafluoroethylen atd.).
39 TV čidla plynů- odporová Závislost odporu (R) a citlivosti (S) na teplotě pro SnO 2 /Pd senzor. Max. citlivost S =1093 docílena při 284 C (1000 ppm H 2 x vzduch).
40 PLD -čidla plynů - odporová
41 Vrstvy v lékařství (grant MPO) Srdeční chlopeň
42 Srdeční chlopeň Vrstvy v lékařství (grant MPO)
43 Vrstvy v lékařství (nový grant MPO) Cévní náhrady, anastomické štíty, příchytky
44 Proces pokrytí cévní náhrady (grant MPO)
45 Proces pokrytí cévní náhrady (grant MPO)
46 Proces pokrytí cévní náhrady (grant MPO)
47 Cévní náhrada pokrytá DLC vrstvou (l= 30 cm)
48 Vrstvy v lékařství Depozice HA vrstvy na zubní implantát CO 2 laser KrF laser implantát HA terč
49 Vrstvy v lékařství
50 Vrstvy v lékařství Zubní protéza Ca 10 (PO 4 ) 6 (OH) 2
51 Osteointegrace DLC/Ti protézy Vrstvy v lékařství
52 Vrstvy v lékařství Spodníčelist miniprasátka, nezatížená osteointegrace
53 Zatížená osteointegrace Vrstvy v lékařství
54 MAPLE - depoziční proces
55 Organické vrstvy - MAPLE technologie Testován: fibrinogen, pullulan, polyvinylalkohol, kryoglobulin, InAcAc, ftalocyaniny (PhNi a PhCo) a porfyrin (CuTTP). Studium povrchu (AFM) a vazeb (FTIR a Ramanovská spektroskopie). Při optimálních depozičních podmínkách bylo docíleno shody vlastností mezi terčem a vlastnostmi vrstev. Tenké vrstvy kryoglobulinu deponované MAPLE technologií FTIR spektra
56 Děkuji za pozornost
57 Ceramic heart valve - alumina : valves has been implanted Carbomedics prosthesis has a solid pyrolyse carbon housing and flat leaflets of pyrolitic carbon coated graphite that is impregnated with tungsten. CARBON x HEART VALVE (90 results) Pyrolitic carbon/graphite composites used in heart- valve prostheses TiO2 thin films to improve anti-coagulalibility of pyrolysis carbon applied to artificial heart valve COATING and HEART VALVE (40 results) Heart valve coating with horseradish peroxidase a-c: H : Si and a- C : H silver coated Silzone ( ) heart valve prosthesis protein adsorption and platelet attachement and activation, on TiN, TiC and DLC coating on titanium for cardiovascular applications mechanical valve with silver coating silver coated heart valve polyurethane heart valve haemocompatibility of DLC and TiC- TiN interlayers on titanium silver coated (Silzone ) infection resistant polyester fabric against a biofilm-producing bacteria. Silver- modified polyester for antimicrobial protection of prosthetic valves Pyrolitic carbon heart valve Pyrolitic carbon coated graphite mechanical heart valve prostheses Polyurethane heart walve prothesis Controlled- release drug delivery of diphosphonates to inhibit bioprostetic heart valve calcification release rate modulation with silicone matrices via drug solubility and membrane coating Reduction of surface thrombogenicity modification on polyethuyleneterephthalate (PET) and polytetrafluoroethylene (PTFE). COLA 05, Canada : Eureka (Major, Metalurgický ústav Krakow a Lackner, Laser Centrum Leoben) nový typ chlopně, Ti6Al4V, TiO2, DLC. Vyrobeno PLD. CN, SiC, BN,.bylo uvažováno
58 PODÍL Laboratoř PLD od roku článek v zahraničním časopise 1990 Stuff : Ing. Miroslav JELÍNEK, DrSc Dr. Ing. Jiří BULÍŘ post- doc od r Ing. Ján LANČOK, PhD post- doc Ing. Michal NOVOTNÝ PhD student Ing. Martin PAVELKA PhD student Ing. Tomáš KOCOUREK PhD student Petra MAŠÍNOVÁ student Jan REMSA student Veronika Picková- student Leopold Cudzík- student Dr. Rumen, Tomov, Dr. Rodica Cristescu, Dr.Ing. Vladimír Olšan, Dr.Ing. Vítězslav Trtík, Ing. Jan Šonský, Ing. Martin Klečka, Ing. Michal Němec, atd
59 PODÍL 2 x KrF excimer laser, 7 depozičních komor Lasery, vakuum, RF, VN, materiály, optika, plyny, atd. Supravodiče, feroelektrika, magnetika, DLC, vlnovody, biokompatibilní materiály, chalkogenidy, termoelektrické materiály, tvrdé vrstvy, organika, optické materiály, kvazikrystaly, dopované vrstvy, multivrstvy, aplikace, atd. Talystep, XRD, WDX, SEM, FTIR, Ramanovská spektroskopie XPS, RBS, AFM, PIXE, elektrické vlastnosti mechanické vlastnosti, biomedicínské vlastnosti, atd. Granty: Více než 117 publikací v mezinárodních recenzovaných časopisech (MJ první autor 33 x)
60 Varianta k DLC chlopně, cévní náhrady Umělé srdeční chlopně Mechanické (vysoká životnost, antikolagulační terapie) Bioprotetické (životnost méně než 10 let) náhrad ročně Titan, silikonová guma, polyester, polypropylen, nerezová ocel Pyrolytický uhlík (pyrolytic carbon) jaderná energetika, 1966 Hladký, tvrdý, keramika křehký, tažný (grafitová podložka), s křemíkem (3-8 wt.%), CVD Syntetizován při vysokých teplotách, podpovrchové mikrotrhlinky (mikrometry) 60 tepů/min, 40 mil. cyklů/rok Na 1 milion chlopní asi 50 neúspěchů 4 miliony implantátů na 25 různých tvarů chlopní (18 milion pacient/roků)
61 Varianta k DLC chlopně, cévní náhrady Další : a-sic:h (PECVD) zvýšená hemokompatibilita, Německo Polymerní materiály blízké k tkáni Polyetylen (Ultra High Molecular Poly Ethylene), Indie, dobrá kompatibilita k tkání a krvi Stříbro(Silzone) místní antimikrobové činidlo, od. r. 1997, pacientů Kořenová peroxidáza (Horse redish peroxide) do procesu polymerizace, zvýšení adheze polyethylen glykolu TiO 2, a-c:h, a-c:h:si, TiN, TiC, CN, SiC, BN,. COLA 05, Canada : Eureka (B. Major, Metalurgický ústav Krakow aj. Lackner, Laser Centrum Leoben) umělé srdce, Ti6Al4V, TiO 2, DLC. Cévní náhrady Teflon, DLC, heparin, DNA, polysacharidy (aktivátory)
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, )
Tenké vrstvy pro lékařství 1. Laserové vrstvy ( metody přípravy vrstev, laser, princip metody pulzní laserové depozice PLD, růst vrstev, ) 2. Vybrané vrstvy a aplikace - gradientní vrstvy, nanokrystalické
VíceLasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika
Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceDiamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad
České vysoké učení technické v Praze Fakulta biomedicínského inženýrství Diamantu podobné uhlíkové vrstvy pro pokrytí kloubních náhrad Ing. Petr Písařík petr.pisarik@fbmi.cvut.cz Kladno Listopad 2010 Cíl
VícePlazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého
Plazmová depozice tenkých vrstev oxidu zinečnatého Bariérový pochodňový výboj za atmosférického tlaku Štěpán Kment Doc. Dr. Ing. Petr Klusoň Mgr. Zdeněk Hubička Ph.D. Obsah prezentace Úvod do problematiky
Vícegalvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu MBE Vakuová fyzika 2 1 / 39
Vytváření vrstev galvanicky chemicky plazmatem ve vakuu Vrstvy ve vakuu povlakování MBE měření tloušt ky vrstvy během depozice Vakuová fyzika 2 1 / 39 Velmi stručná historie (více na www.svc.org) 1857
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VícePracoviště se dlouhodbě zabývá přípravou a charakterizací biokompatibilních nanovrstev a nanokompozitních materiálů pro biomedicínské aplikace.
SPOLEČNÉ PRACOVIŠTĚ ČVUT FBMI a 1. LF UK, PRAHA, ALBETROV LABORATOŘ EXCIMEROVÉHO LASERU (NANO LABORATOŘ) Pracoviště se dlouhodbě zabývá přípravou a charakterizací biokompatibilních nanovrstev a nanokompozitních
VícePlazmatické metody pro úpravu povrchů
Plazmatické metody pro úpravu povrchů Aleš Kolouch Technická Univerzita v Liberci Studentská 2 461 17 Liberec 1 Obsah 1. Plazma 2. Plazmové stříkání 3. Plazmové leptání 4. PVD 5. PECVD 6. Druhy reaktorů
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VícePlazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada
Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze
VíceTENKÉ VRSTVY. 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením)
TENKÉ VRSTVY Lze připravit : 1. Modifikací povrchu materiálu (teplem, okysličením, laserem,.. 2. Depozicí (nanášením) Metody fyzikální (Physical Vapor Deposition PVD) Metody chemické (Chemical Vapor Deposition-
VíceTechnologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé senzory Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-) Ondřej Ekrt Vymezení
VíceLaserové depoziční metody - obecná charakteristika
Laserové depoziční metody - obecná charakteristika Laserové odprašování zdrojového materiálu z tzv. targetu (terče), upraveného do zhutnělé formy (lisovaná či zmražená tableta) vhodné pro depozici. Laserové
VíceIradiace tenké vrstvy ionty
Iradiace tenké vrstvy ionty Ve většině technologických aplikací dochází k depozici tenké vrstvy za nízké teploty > jsme v zóně I nebo T > vrstvá má sloupcovou strukturu, je porézní a hrubá. Ukazuje se,
VíceUhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů
Uhlíkové struktury vázající ionty těžkých kovů 7. června/june 2013 9:30 h 17:30 h Laboratoř metalomiky a nanotechnologií, Mendelova univerzita v Brně a Středoevropský technologický institut Budova D, Zemědělská
VíceMetody depozice povlaků - CVD
Procesy CVD, PA CVD, PE CVD Chemická metoda depozice vrstev CVD využívá pro depozici směs chemicky reaktivních plynů (např. CH 4, C 2 H 2, apod.) zahřátou na poměrně vysokou teplotu 900 1100 C. Reakční
VícePřehled metod depozice a povrchových
Kapitola 5 Přehled metod depozice a povrchových úprav Tabulka 5.1: První část přehledu technologií pro depozici tenkých vrstev. Klasifikované podle použitého procesu (napařování, MBE, máčení, CVD (chemical
VíceLasery. Biofyzikální ústav LF MU. Projekt FRVŠ 911/2013
Lasery Biofyzikální ústav LF MU Elektromagnetické spektrum http://cs.wikipedia.org/wiki/soubor:elmgspektrum.png http://cs.wikipedia.org/wiki/ Soubor:Spectre.svg Bezkontaktní termografie 2 Součásti laseru
VíceNanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody
Nanokrystalické tenké filmy oxidu železitého pro solární štěpení vody J. Frydrych, L. Machala, M. Mašláň, J. Pechoušek, M. Heřmánek, I. Medřík, R. Procházka, D. Jančík, R. Zbořil, J. Tuček, J. Filip a
VícePřednáška 3. Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování.
Přednáška 3 Napařování : princip, rovnovážný tlak par, rychlost vypařování. Realizace vypařovadel, směrovost vypařování, vypařování sloučenin a slitin, Vypařování elektronovým svazkem a MBE Napařování
VíceFYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA
FYZIKA VE FIRMĚ HVM PLASMA Jiří Vyskočil HVM Plasma spol.s r.o. Na Hutmance 2, 158 00 Praha 5 OBSAH HVM PLASMA spol. s r.o. zaměření a historie firmy hlavní činnost a produkty POVRCHOVÉ TECHNOLOGIE metody
VíceLaserové technologie v praxi I. Přednáška č.2. Základní konstrukční součásti laserů. Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011
Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.2 Základní konstrukční součásti laserů Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Konstrukce laseru 1 - Aktivní prostředí 2 - Čerpací zařízení 3 - Optický
VíceVytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze
Vytváření tenkých speciálních vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze Teoretické základy: Plazmochemická depozice z plynné fáze metoda PECVD Rozvoj plazmochemických metod vytváření tenkých
VíceINTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II.
Úvod do fyziky tenkých vrstev a povrchů INTERAKCE IONTŮ S POVRCHY II. Metody IBA (Ion Beam Analysis): pružný rozptyl nabitých částic (RBS), detekce odražených atomů (ERDA), metoda PIXE, Spektroskopie rozptýlených
VíceVakuová technika. Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování
VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ FAKULTA ELEKTROTECHNIKY A KOMUNIKAČNÍCH TECHNOLOGIÍ Vakuová technika Výroba tenkých vrstev vakuové naprašování Tomáš Kahánek ID: 106518 Datum: 17.11.2010 Výroba tenkých vrstev
VíceTenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VíceZákladní typy článků:
Základní typy článků: Články z krystalického Si c on ta c t a ntire fle c tio n c o a tin g Tenkovrstvé články N -ty p e P -ty p e Materiály a technologie pro fotovoltaické články Nové materiály Gratzel,
VícePlynové lasery pro průmyslové využití
Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.3 Plynové lasery pro průmyslové využití Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Využití plynových laserů v průmyslových aplikacích Atomární - He-Ne
VíceODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY
ODŮVODNĚNÍ VEŘEJNÉ ZAKÁZKY s názvem PULSNÍ LASEROVÁ DEPOZICE CEITEC MU vyhotovené podle 156 zákona č. 137/2006 Sb., o veřejných zakázkách, v platném znění (dále jen Zákon o VZ) 1. ODŮVODNĚNÍ ÚČELNOSTI
VíceFyzikální metody nanášení tenkých vrstev
Fyzikální metody nanášení tenkých vrstev Vakuové napařování Příprava tenkých vrstev kovů některých dielektrik polovodičů je možné vytvořit i epitaxní vrstvy (orientované vrstvy na krystalické podložce)
VíceAnotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost. Téma: Plazmové technologie a procesy. Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015
Anotace přednášek LŠVT 2015 Česká vakuová společnost Téma: Plazmové technologie a procesy Hotel Racek, Úštěk, 1 4. června 2015 1) Úvod do plasmochemie Lenka Zajíčková, Ústav fyzikální elektroniky, PřF
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování
DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem
VíceMetody charakterizace
Metody y strukturní analýzy Metody charakterizace nanomateriálů I Význam strukturní analýzy pro studium vlastností materiálů Experimentáln lní metody využívan vané v materiálov lovém m inženýrstv enýrství:
VícePlazma v technologiích
Plazma v technologiích Mezi moderními strojírenskými technologiemi se stále častěji prosazují metody využívající různé formy plazmatu. Plazma je plynné prostředí skládající se z poměrně volných částic,
VíceÚvod do laserové techniky KFE FJFI ČVUT Praha Michal Němec, 2014. Plynové lasery. Plynové lasery většinou pracují v kontinuálním režimu.
Aktivní prostředí v plynné fázi. Plynové lasery Inverze populace hladin je vytvářena mezi energetickými hladinami některé ze složek plynu - atomy, ionty nebo molekuly atomární, iontové, molekulární lasery.
VíceVybrané spektroskopické metody
Vybrané spektroskopické metody a jejich porovnání s Ramanovou spektroskopií Předmět: Kapitoly o nanostrukturách (2012/2013) Autor: Bc. Michal Martinek Školitel: Ing. Ivan Gregora, CSc. Obsah přednášky
VíceTECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III.
TECHNOLOGICKÉ PROCESY PŘI VÝROBĚ POLOVODIČOVÝCH PRVKŮ III. NANÁŠENÍ VRSTEV V mikroelektronice se nanáší tzv. tlusté a tenké vrstvy. a) Tlusté vrstvy: Používají se v hybridních integrovaných obvodech. Nanáší
VícePRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A)
PRINCIPY ZAŘÍZENÍ PRO FYZIKÁLNÍ TECHNOLOGIE (FSI-TPZ-A) GARANT PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (ÚFI) VYUČUJÍCÍ PŘEDMĚTU: Prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc., Ing. Stanislav Voborný, Ph.D. (ÚFI) JAZYK
VíceNávod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě
Návod pro laboratorní úlohu: Závislost citlivosti plynových vodivostních senzorů na teplotě Náplní laboratorní úlohy je proměření základních parametrů plynových vodivostních senzorů: i) el. odpor a ii)
VíceGlass temperature history
Glass Glass temperature history Crystallization and nucleation Nucleation on temperature Crystallization on temperature New Applications of Glass Anorganické nanomateriály se skelnou matricí Martin Míka
VíceMěření charakteristik pevnolátkového infračerveného Er:Yag laseru
Měření charakteristik pevnolátkového infračerveného Er:Yag laseru Ondřej Ticháček, PORG, ondrejtichacek@gmail.com Abstrakt: Úkolem bylo proměření základních charakteristik záření pevnolátkového infračerveného
VíceStudentská 1402/2 461 17 Liberec 1 tel.: +420 485 353 006 cxi.tul.cz. Technologická zařízení
Technologická zařízení Oddělení prototypových technologií a procesů 3D tiskárna Objet Connex 500 Systém od firmy Objet je určen pro výrobu rozměrných a přesných modelů. Maximální rozměry modelů: 490 x
VíceELEKTROTERMICKÁ ATOMIZACE. Electrothermal atomization AAS (ETA-AAS)
ELEKTROTERMICKÁ ATOMIZACE Electrothermal atomization AAS (ETA-AAS) FA nedosahuje detekčních mezí potřebných pro chemickou praxi (FA mg/l, ETA g/l). ETA: atomizátor obvykle ve tvaru trubičky (Massmannova
VíceTechniky mikroskopie povrchů
Techniky mikroskopie povrchů Elektronové mikroskopie Urychlené elektrony - šíření ve vakuu, ovlivnění dráhy elektrostatickým nebo elektromagnetickým polem Nepřímé pozorování elektronového paprsku TEM transmisní
VíceLaserové technologie v praxi I. Přednáška č.8. Laserové zpracování materiálu. Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011
Laserové technologie v praxi I. Přednáška č.8 Laserové zpracování materiálu Hana Chmelíčková, SLO UP a FZÚ AVČR Olomouc, 2011 Lasery pro průmyslové zpracování materiálu E (ev) 0,12 1,17 1,17 1,2 1,5 4,17
VíceLasery optické rezonátory
Lasery optické rezonátory Optické rezonátory Optickým rezonátorem se rozumí dutina obklopená odrazovými plochami, v níž je pasivní dielektrické prostředí. Rezonátor je nezbytnou součástí laseru, protože
VíceANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ
Středoškolská technika 2019 Setkání a prezentace prací středoškolských studentů na ČVUT ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ Jakub Chlaň, Matouš Hyk, Lukáš Procházka Střední škola elektrotechniky
VíceFotoelektronová spektroskopie Instrumentace. Katedra materiálů TU Liberec
Fotoelektronová spektroskopie Instrumentace RNDr. Věra V Vodičkov ková,, PhD. Katedra materiálů TU Liberec Obecné schéma metody Dopad rtg záření emitovaného ze zdroje na vzorek průnik fotonů několik µm
VíceFotokatalytická oxidace acetonu
Fotokatalytická oxidace acetonu Hana Žabová 5. ročník Doc. Ing. Bohumír Dvořák, CSc Osnova 1. ÚVOD 2. CÍL PRÁCE 3. FOTOKATALYTICKÁ OXIDACE Mechanismus Katalyzátor Nosič-typy Aparatura 4. VÝSLEDKY 5. ZÁVĚR
VíceJ = S A.T 2. exp(-eφ / kt)
Vakuové součástky typy a využití Obrazovky: - osciloskopické - televizní + monitory Elektronky: - vysokofrekvenční (do 1 GHz, 1MW) - mikrovlnné elektronky ( až do 20 GHz, 10 MW) - akustické zesilovače
VíceIonizační manometry. Při ionizaci plynu o koncentraci n nejsou ionizovány všechny molekuly, ale jenom část z nich n i = γn ; γ < 1.
Ionizační manometry Princip: ionizace molekul a měření počtu nabitých částic Rozdělení podle způsobu ionizace: Manometry se žhavenou katodou Manometry se studenou katodou Manometry s radioaktivním zářičem
VíceChemické metody plynná fáze
Chemické metody plynná fáze Chemické reakce prekurzorů lze aktivovat i UV zářením PHCVD. Foton aktivuje molekuly nebo atomy, které pak vytvářejí volné radikály nesoucí hodně energie > ty pak rozbijí velké
VíceZápadočeská univerzita v Plzni fakulta Strojní
Západočeská univerzita v Plzni fakulta Strojní 23. dny tepelného zpracování s mezinárodní účastí Návrh technologie laserového povrchového kalení oceli C45 Autor: Klufová Pavla, Ing. Kříž Antonín, Doc.
VíceVytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev)
Naprašování: Vytržení jednotlivých atomů, molekul či jejich shluků bombardováním terče (targetu) ionty s vysokou energií (~kev) Po nárazu iont předává hybnost částicím terče, dojde k vytržení Depozice
Více3. Vlastnosti skla za normální teploty (mechanické, tepelné, optické, chemické, elektrické).
PŘEDMĚTY KE STÁTNÍM ZÁVĚREČNÝM ZKOUŠKÁM V BAKALÁŘSKÉM STUDIU SP: CHEMIE A TECHNOLOGIE MATERIÁLŮ SO: MATERIÁLOVÉ INŽENÝRSTVÍ POVINNÝ PŘEDMĚT: NAUKA O MATERIÁLECH Ing. Alena Macháčková, CSc. 1. Souvislost
VíceTEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU
TEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU Beneš, P. 1 Sosnová, M. 1 Kříž, A. 1 Vrstvy a Povlaky 2007 Solaň Martan, M. 2 Chmelíčková, H. 3 1- Katedra materiálu a strojírenské metalurgie-
VícePrůmyslové lasery pro svařování
Průmyslové lasery pro svařování (studijní text k předmětu SLO/UMT1) Připravila: Hana Šebestová V současné době se vyrábí řada typů laserů. Liší se svou konstrukcí, poskytovaným výkonem, účinností i charakterem
VíceMetody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu
Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích Pedagogická fakulta Katedra aplikované fyziky a techniky diplomová práce Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu Vypracoval: Martin Günzel
VíceSvětlo jako elektromagnetické záření
Světlo jako elektromagnetické záření Základní pojmy: Homogenní prostředí prostředí, jehož dané vlastnosti jsou ve všech místech v prostředí stejné. Izotropní prostředí prostředí, jehož dané vlastnosti
VíceZÁKLADNÍ ČÁSTI SPEKTRÁLNÍCH PŘÍSTROJŮ
ZÁKLADNÍ ČÁSTI SPEKTRÁLNÍCH PŘÍSTROJŮ (c) -2008, ACH/IM BLOKOVÉ SCHÉMA: (a) emisní metody (b) absorpční metody (c) luminiscenční metody U (b) monochromátor často umístěn před kyvetou se vzorkem. Části
VícePřednáška 8. Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD
Přednáška 8 Chemické metody a fyzikálně-chemické metody : princip CVD, metody dekompozice, PE CVD CVD Chemical Vapor Deposition Je chemický proces používaný k vytváření tenkých vrstev. Substrát je vystaven
VíceMonika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ
Monika Fialová VAKUOVÁ FYZIKA II. ZÍSKÁVÁNÍ NÍZKÝCH TLAKŮ CHARAKTERISTIKY VÝVĚV vývěva = zařízení snižující tlak plynu v uzavřeném objemu parametry: mezní tlak čerpací rychlost pracovní tlak výstupní tlak
VíceNávod pro laboratorní úlohu: Komerční senzory plynů a jejich testování
Návod pro laboratorní úlohu: Komerční senzory plynů a jejich testování Úkol měření: 1) Proměřte závislost citlivosti senzoru TGS na koncentraci vodíku 2) Porovnejte vaši citlivostní charakteristiku s charakteristikou
VíceElektronová Mikroskopie SEM
Elektronová Mikroskopie SEM 26. listopadu 2012 Historie elektronové mikroskopie První TEM Ernst Ruska (1931) Nobelova cena za fyziku 1986 Historie elektronové mikroskopie První SEM Manfred von Ardenne
VíceZáklady Mössbauerovy spektroskopie. Libor Machala
Základy Mössbauerovy spektroskopie Libor Machala Rudolf L. Mössbauer 1958: jev bezodrazové rezonanční absorpce záření gama atomovým jádrem 1961: Nobelova cena Analogie s rezonanční absorpcí akustických
VíceZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ
ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI FAKULTA ELEKTROTECHNICKÁ Katedra technologií a měření DIPLOMOVÁ PRÁCE Optické vlastnosti dielektrických tenkých vrstev Bc. Martin Malán 214 Abstrakt Předkládaná diplomová
VíceMechanická modifikace topografie strojních součástí
Mechanická modifikace topografie strojních součástí, M.Omasta Ústav konstruování Odbor metodiky konstruování Fakulta strojního inženýrství Vysoké učení technické v Brně, vytvořeno v rámci projektu FRVŠ
VícePlazmové depozice povlaků. Plazmový nástřik Plasma Spraying
Plazmové depozice povlaků Plazmový nástřik Plasma Spraying Plazmový nástřik patří do kategorie žárových nástřiků. Žárový nástřik je částicový proces vytváření povlaků o tloušťce obvykle větší než 50 µm,
VícePříprava grafénu. Petr Jelínek
Příprava grafénu Petr Jelínek Schéma prezentace Úvod do tématu Provedené experimenty - příprava grafénu - charakterizace Plánovaná činnost - experimenty Závěr 2 Pohled do historie 1960 HOPG (Arthur Moore)
VíceStudium tenkých mazacích filmů spektroskopickou reflektometrií
Studium tenkých mazacích filmů spektroskopickou reflektometrií Ing. Vladimír Čudek Ústav konstruování Odbor metodiky konstruování Fakulta strojního inženýrství Vysoké učení technické v Brně OBSAH EHD mazání
VíceVYUŽITÍ AKTIVÁTORŮ ABSORPCE MIKROVLNNÉHO ZÁŘENÍ PŘI TERMICKÉ DESORPCI
VYUŽITÍ AKTIVÁTORŮ ABSORPCE MIKROVLNNÉHO ZÁŘENÍ PŘI TERMICKÉ DESORPCI Pavel Mašín - Dekonta, a.s Jiří Hendrych, Jiří Kroužek, VŠCHT Praha Martin Kubal Jiří Sobek - ÚCHP AV ČR Inovativní sanační technologie
VíceOchrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin. Sdílení tepla sáláním. Balení pro mikrovlnný ohřev
Převod tepla obalem z potraviny do vnějšího prostředí a naopak Ochrana obalem před změnami teploty a úloha obalu při tepelných procesech v technologii potravin 1 Obecně tepelné procesy snaha o co nejmenší
VíceCharakteristiky laseru vytvářejícího světelné impulsy o délce několika pikosekund
Charakteristiky laseru vytvářejícího světelné impulsy o délce několika pikosekund H. Picmausová, J. Povolný, T. Pokorný Gymnázium, Česká Lípa, Žitavská 2969; Gymnázium, Brno, tř. Kpt. Jaroše 14; Gymnázium,
VíceDepozice tenkých vrstev I.
Depozice tenkých vrstev I. Naprašování Mgr. Tereza Schmidtová 15. dubna 2010 Aplikace Klasifikace Obecný přehled aplikací použití pro optické vlastnosti - laserová optika, zrcadla, reflexní a anti-reflexní
VíceTypy interakcí. Obsah přednášky
Co je to inteligentní a progresivní materiál - Jaderné analytické metody-využití iontových svazků v materiálové analýze Anna Macková Ústav jaderné fyziky AV ČR, Řež 250 68 Obsah přednášky fyzikální princip
VíceVíme, co vám nabízíme
PDF vygenerováno: 30.12.2016 5:20: Katalog / Laboratorní pomůcky / ace / Nástavce a filtrační špičky na injekční stříkačky Nástavec filtrační na injekční stříkačky MACHEREY-NAGEL Jednoúčelové nástavce
VíceTENKOVRSTVÁ TECHNOLOGIE HYDROGENOVANÉHO KŘEMÍKU PRO FOTOVOLTAICKÉ APLIKACE. oddělení tenkých vrstev F Y Z I K Á L N Í Ú S T A V A V Č R P R A H A
TENKOVRSTVÁ TECHNOLOGIE HYDROGENOVANÉHO KŘEMÍKU PRO FOTOVOLTAICKÉ APLIKACE J I Ř Í S T U C H L Í K oddělení tenkých vrstev F Y Z I K Á L N Í Ú S T A V A V Č R P R A H A Oddělení tenkých vrstev FZÚ O B
VíceAutomatizace výrobních procesů ve strojírenství a řemesel, CZ.1.07/1.1.30/01.0038, Přednáška - KA 5
LASER A JEHO FYZIKÁLNÍ PODSTATA Název projektu: Automatizace výrobních procesů ve strojírenství a řemeslech Registrační číslo: CZ.1.07/1.1.30/01.0038 Příjemce: SPŠ strojnická a SOŠ profesora Švejcara Plzeň
VíceÚpravy brýlových čoček. LF MU Brno Brýlová technologie
Úpravy brýlových čoček LF MU Brno Brýlová technologie Struktura prezentace Rozdělení úprav brýlových čoček Tenké vrstvy Antireflexní vrstva Reflexní vrstva Hydrofobní vrstva Absorpční vrstva Tvrzení Fototropní
VíceBiomateriály na bázi kovů. L. Joska Ústav kovových materiálů a korozního inženýrství
Biomateriály na bázi kovů L. Joska Ústav kovových materiálů a korozního inženýrství Historie 1901 - objev krevních skupin, 1905 - první úspěšná transfuze mezi lidmi 1958 - kyčelní kloub na bázi oceli 1965
VíceIONTOVÉ ZDROJE. Účel. Požadavky. Elektronové zdroje. Iontové zdroje. Princip:
Účel IONTOVÉ ZDROJE vyrobit svazek částic vytvarovat ho a dopravit do urychlovací komory předurychlit ho (10 kev) Požadavky intenzita svazku malá emitance svazku trvanlivost zdroje stabilita zdroje minimální
VíceVyužití technologie Ink-jet printing pro přípravu mikro a nanostruktur II.
Ústav fyziky a měřicí techniky Vysoká škola chemicko-technologická v Praze Využití technologie Ink-jet printing pro přípravu mikro a nanostruktur II. Výrobci, specializované technologie a aplikace Obsah
VíceCo je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur)
Co je litografie? - technologický proces sloužící pro vytváření jemných struktur (obzvláště mikrostruktur a nanostruktur) -přenesení dané struktury na povrch strukturovaného substrátu Princip - interakce
VíceOtázky pro samotestování. Téma1 Sluneční záření
Otázky pro samotestování Téma1 Sluneční záření 1) Jaká je vzdálenost Země od Slunce? a. 1 AU b. 6378 km c. 1,496 x 10 11 m (±1,7%) 2) Jaké množství záření dopadá přibližně na povrch atmosféry? a. 1,60210-19
VíceABSORPČNÍ A EMISNÍ SPEKTRÁLNÍ METODY
ABSORPČNÍ A EMISNÍ SPEKTRÁLNÍ METODY 1 Fyzikální základy spektrálních metod Monochromatický zářivý tok 0 (W, rozměr m 2.kg.s -3 ): Absorbován ABS Propuštěn Odražen zpět r Rozptýlen s Bilance toků 0 = +
VíceSvařování svazkem elektronů
Svařování svazkem elektronů RNDr.Libor Mrňa, Ph.D. 1. Princip 2. Interakce elektronů s materiálem 3. Konstrukce elektronové svářečky 4. Svařitelnost materiálů, svařovací parametry 5. Příklady 6. Vrtání
VíceZdroje optického záření
Metody optické spektroskopie v biofyzice Zdroje optického záření / 1 Zdroje optického záření tepelné výbojky polovodičové lasery synchrotronové záření Obvykle se charakterizují zářivostí (zářivý výkon
VíceBezpečnostní inženýrství. - Detektory požárů a senzory plynů -
Bezpečnostní inženýrství - Detektory požárů a senzory plynů - Úvod 2 Včasná detekce požáru nebo úniku nebezpečných látek = důležitá součást bezpečnostního systému Základní požadavky včasná detekce omezení
VíceKatedra materiálu.
Katedra materiálu Vedoucí katedry: prof. Ing. Petr Louda, CSc. Zástupce vedoucího katedry: doc. Ing. Dora Kroisová, Ph.D. Tajemnice katedry: Ing. Daniela Odehnalová http://www.kmt.tul.cz/ EF TUL, Gaudeamus
VíceMikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS
Tribologie Mikro a nanotribologie materiály, výroba a pohon MEMS vypracoval: Tomáš Píza Obsah - Co je to MEMS - Materiály pro MEMS - Výroba MEMS - Pohon MEMS Co to je MEMS - zkratka z anglických slov Micro-Electro-Mechanical-Systems
VíceChemické metody přípravy tenkých vrstev
Chemické metody přípravy tenkých vrstev verze 2013 Povrchové filmy monomolekulární Langmuirovy filmy PAL (povrchově aktivní látky) na polární kapalině (vodě), 0,205 nm 2 na 1 molekulu, tloušťka dána délkou
VíceMetody využívající rentgenové záření. Rentgenovo záření. Vznik rentgenova záření. Metody využívající RTG záření
Metody využívající rentgenové záření Rentgenovo záření Rentgenografie, RTG prášková difrakce 1 2 Rentgenovo záření Vznik rentgenova záření X-Ray Elektromagnetické záření Ionizující záření 10 nm 1 pm Využívá
VíceCentrum základního výzkumu LC Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením. Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L.
Centrum základního výzkumu LC 06041 Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářením Jaroslav Pavlík, KF PřF UJEP, Ústí n. L. Řešitelský tým: Doc. RNDr. S. Novák, CSc. Prof. RNDr. R.
VíceNano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství. Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ
Nano a mikrotechnologie v chemickém inženýrství Hi-tech VYSOKÁ ŠKOLA CHEMICKO-TECHNOLOGICKÁ V PRAZE ÚSTAV CHEMICKÉHO INŽENÝRSTVÍ Hi-tech Nano a mikro technologie v chemickém inženýrství umožňují: Samočisticí
VíceFOTOAKUSTIKA. Vítězslav Otruba
FOTOAKUSTIKA Vítězslav Otruba 2010 prof. Otruba 2 The spectrophone 1881 A.G. Bell návrh a Spektrofonu (spectrophone) pro účely posouzení absorpčního spektra subjektů v těch částech, které jsou neviditelné.
VíceSpektrometrické metody. Reflexní a fotoakustická spektroskopie
Spektrometrické metody Reflexní a fotoakustická spektroskopie odraz elektromagnetického záření - souvislost absorpce a reflexe Kubelka-Munk funkce fotoakustická spektroskopie Měření odrazivosti elmg záření
VíceTajemství ELI - nejintenzivnějšího laseru světa
Tajemství ELI - nejintenzivnějšího laseru světa František Batysta Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská ČVUT Fyzikální ústav AV ČR 17. leden 2013 František Batysta Tajemství ELI - nejintenzivnějšího laseru
Více