VLIV IONTOVÉHO BOMBARDU NA VLASTNOSTI SYSTÉMŮ VYTVÁŘENÝCH PVD TECHNOLOGIÍ. Antonín Kříž
|
|
- Zuzana Matějková
- před 7 lety
- Počet zobrazení:
Transkript
1 Abstrakt VLIV IONTOVÉHO BOMBARDU NA VLASTNOSTI SYSTÉMŮ VYTVÁŘENÝCH PVD TECHNOLOGIÍ Antonín Kříž ZČU v Plzni, Univerzitní 22, Plzeň, kriz@kmm.zcu.cz Influence of ion bombardment upon properties of PVD-produced systems Tenké vrstvy vytvářené technologií PVD dosáhly výrazných úspěchů v aplikaci řezných nástrojů. V této oblasti prodělávají změnu nejen samotné tenké vrstvy, ale i použitý substrát. Zatímco ještě před několika lety byla k depozici využívána především rychlořezná ocel, tak v současné době se jedná především o substrát ze slinutého karbidu. Tento substrát byl dlouhou dobu považován za materiál, který je v podmínkách PVD depozice neměnný. Praxe však ukázala, že následkem iontového bombardu dochází v souvislosti s chemickým složením a s velikostí karbidických zrn použitého substrátu k chemické změně povrchového rozložení prvků, především k úbytku kobaltu. Tato změna může iniciovat nežádoucí změnu vlastností systému tenká vrstva-substrát. Příspěvek se zabývá vlivem iontového bombardu na vlastnosti vytvářeného systému. Pro experiment byly použity nejčastěji používané typy slinutých karbidů, které byly podrobeny iontovému bombardu za podmínek běžné depozice a rovněž byly použity extrémní podmínky. U takto ovlivněného substrátu byly sledovány iniciované povrchové změny. Thin films produced by PVD technology have achieved marked success being applied to cutting tools. In this field, not only the actual thin films, but also the substrates used, udergo changes. While several years ago the substrates were predominantly high-speed steels, the current ones are mainly sintered carbides. For a long time, these used to be considered materials, which experience no changes under the conditions of PVD deposition. It was shown in practice, however, that in connection with chemical composition of the substrate and carbide grain size, a change in distribution of chemical elements on the surface occurs, i.e. mainly cobalt depletion. This process might set off undesirable changes in the properties of the thin film-substrate systems. The paper deals with the influence of ion bombardment on properties of the produced system. The most frequently used types of sintered carbides were employed in the experiment. They were subjected to ion bombardment under both common and extreme conditions of deposition. Given the processed substrate, surface changes were examined. 1. SYSTÉM VYTVOŘENÝ PVD TECHNOLOGIÍ Pojem systém tenká vrstva-substrát se zavedl v okamžiku kdy se tloušťka materiálu snížila natolik, že poměr povrchu k objemu značně vzrostl. Tehdy začaly mít podstatný vliv na vlastnosti této vrstvy povrchové děje, které se diametrálně odlišují od stavů vnitřních. Fyzikální vlastnosti tenké vrstvy se mohou tedy výrazně lišit od vlastností téže látky v objemovém stavu. U takto tenkých vrstev má zásadní vliv na vlastnosti také substrát, na kterém je vrstva deponována. Z tohoto důvodu je třeba vrstvu i substrát zkoumat jako systém, neboť vlastnosti substrátu (fázové a chem. složení, pnutí, mikrostruktura, rozměr zrn a jejich orientace, homogenita, mikro a makrotvrdost, čistota atd.) mají výrazný vliv na konečné 1
2 vlastnosti systému tenká vrstva-substrát. Z toho vyplývá, že je třeba sledovat nejen kvalitu samotné tenké vrstvy, ale i děje, které jsou depozičními, popř. předdepozičními procesy v substrátu iniciovány. Jak již bylo uvedeno v minulosti se očekávala od slinutých karbidů velká stabilita jak chemická, teplotní, tak i pevnost vazby mezi pojivem a karbidickými částicemi. Teprve nedávné experimenty a výsledky z praxe prokázaly degradaci povrchových vrstev slinutého karbidu použitím nevhodných parametrů především předdepozičního procesu. 1.1 Předdepoziční proces PVD technologie Před depozicí tenkých vrstev je nutné provést očistění povrchu, které často zahrnuje jak mechanický, tak následně chemický postup. Mechanické čištění se nejčastěji provádí definovaným otryskáním křemičitým pískem. Tímto otryskáním se odstraní nejen hrubé nečistoty popř. původní vrstvy, ale u reálných vzorků se příznivě pozmění drsnost povrchu. V případě odstranění původních tenkých vrstev nitridů kovů otryskáním je třeba zvolit delší doby a energie dopadajících částic. Tento proces čištění může způsobit změnu geometrie nástroje. Pro snížení tohoto rizika je vždy zařazeno přeostření nástroje. Dalším krokem zlepšení kvality povrchu je chemické čištění, které je vždy aplikováno. V současné době se provádí rozsáhlé experimenty s odstraněním původních vrstev chemickou cestou. Zatím se ukazuje obtížnost tohoto řešení ve spojitosti se změnou chemického složení povrchových lokalit substrátu. Tento problém se ukázal být aktuální i při přechodu čištění substrátu z oceli na slinutý karbid. Tato změna substrátů si vyžádala volbu jiných chemických činidel, která neiniciují degradační pochod povrchu substrátu změnou skladby jednotlivých prvků (především kobaltu). Sledovaným procesem předdepozičního procesu byl vliv iontového bombardu. S ohledem na technologii procesu, která probíhá již v depozičním zařízení, nelze zachytit (bez přerušení depozice) stav exploatovaného povrchu. Jestliže dojde k nežádoucí změně povrchových vrstev substrátu s následnou depozicí vrstvy, odhalí se tato degradace systému až v praxi. Z tohoto důvodu byla tomuto procesu věnována požadovaná pozornost. Následující příklad zachycuje tuto situaci. Na řezné nástroje (celokarbidové vrtáky) byl u světově uznávané depoziční firmy aplikován stále stejný typ vrstev TiAlN. Tyto vrstvy byly odzkoušeny v provozních podmínkách a byly shledány jako vyhovující. Po několikáté depozici se objevila série vrtáků, která nedosahovala ani trvanlivosti nástrojů bez vrstvy. Hned v prvním okamžiku obrábění nastala jejich destrukce, vyštípnutí ostří. Všechny vrtáky této série vykazovaly stejné poškození. Byly provedeny analýzy na rovinném vzorku, který byl deponován spolu s touto sérií a byla pomocí analýzy GD-OES zjištěna změna rozložení kobaltu v povrchových vrstvách substrátu slinutého karbidu (obr.č.1) [1]. 2
3 Obr.1 Hloubkový koncentrační profil systému, u kterého následkem nevhodných předdepozičních parametrů nastala změna kobaltu v povrchových vrstvách. Jak již bylo uvedeno tato degradace povrchu substrátu byla způsobena nevhodnou změnou předdepozičních parametrů iontového čištění. Toto iontové čištění je založeno na následujícím principu. Kladně nabité ionty odpařené katody kovu, popř. i napuštěného a zionizovaného plynu, dopadají na povrch substrátu, kde jsou zakotveny atomy nečistot, které mají vysokou poruchovou energii. Předáním vysoké kinetické energie iontů (cca 10 ev) [2] dojde k vyražení nečistot z povrchu materiálu. Energie dopadajících iontů je dána záporným předpětím přivedeného na substrát, tlaku plynu v komoře, ionizovaným prostředím a úhlem dopadu. Vlivem dopadu kladných iontů na povrch substrátu dochází také k ohřevu materiálu. Tohoto děje se využívá pro dosažení požadované depoziční teploty substrátu. Při ohřevu na depoziční teplotu pouze iontovým bombardem by mohla nastat uvedená nežádoucí změna povrchu substrátu, z tohoto důvodu se ohřev provádí ještě pomocí tzv. příhřevu topnými články. Teplota substrátu se měří na vzorek přiloženými termočlánky, popř. na základě dříve provedených experimentů. 2. EXPERIMENTÁLNÍ MATERIÁL Snahou provedených experimentů bylo zachytit vliv strukturního složení a velikosti zrn slinutých karbidů na degradační procesy vyvolané následkem iontového bombardu, jehož vliv parametrů byl rovněž sledován. Následující tabulka zachycuje parametry použitých substrátů slinutých karbidů. Tabulka 1 Složení použitých slinutých karbidů značení Pramet obsah WC Co TiC (Ta,Nb)C stř. vel.zrn WC 1 S ,5 2 H10 91,5 7-1,5 1 3 H30 90,4 9-0,6 3 4 HF ,8 3
4 Tabulka 2 Parametry iontového bombardu v předdepozičním procesu ozn. procesu tlak před začátkem [Pa] 0,001 0,002 0,005 teplota před začátkem [ C] 310 přibližně doba čištění doutn.výbojem [min] tlak během čištění doutnavým výbojem [Pa] ,4 bias při doutn.výboji [V] pulsně 900 pulsně proud.hustota při doutn.výboji [ma/cm2] - 4 0,4 doba čištění obloukem [min] tlak během čištění obloukem [Pa] 0,8 0,7 0,8 bias během čištění obloukem [V] staticky 1000 staticky proud.hustota při čištění obloukem [ma/cm 2 ] 1,5 4,5 0,4 teplota po skončení iont.čištění [ C] Z uvedených předdepozičních procesů vyplývá, že byly použity rozdílné parametry, přičemž proces označený jako 5 lze považovat za nejagresivnější. Vyplývá to z počáteční teploty 150 C, takže iontovým bombardem bylo třeba zahřát substrát o 350 C, k tomu byla přizpůsobena i doba (20 min) a proudová hustota. 3. VYHODNOCENÍ VLIVU IONTOVÉHO BOMBARDU Pro toto hodnocení byla použita spektrální analýza GD-OES, jejímž výsledkem jsou hloubkové koncentrační profily jednotlivých prvků. Přesnost této metody je závislá na použití jednotlivých kalibračních standardů. Z důvodu nedostatku potřebných standardů, nebyly sledovány všechny v tabulce uvedené prvky. Použité zařízení LECO SDP-750 nedisponuje kanálovým detektorem pro měření tantalu. Z měření byl rovněž vypuštěn niob, pro jehož přesné stanovení nejsou k dispozici potřebné standardy. Další hodnocení bylo provedeno na základě pozorování povrchu substrátu po iontovém bombardu. Pro toto sledování byl použit jak světelný, tak i řádkovací elektronový mikroskop. Změny povrchu byly sledovány nejen z topografického hlediska, ale také pomocí energiově disperzní mikroanalýzy, která dovoluje chemickou identifikaci jednotlivých pozorovaných strukturních fází. 3.1 Analýza GD-OES U všech iontovým bombardem exploatovaných vzorků byla provedena tato analýza stanovení koncentračních profilů do hloubky 5 µm. Pro přesné zachycení hloubkových koncentračních profilů na povrchu vzorku, byly zvoleny rozsahy dokumentujících grafů v rozsahu 0-0,4 µm popř. 0-0,6 µm. Při vyhodnocení těchto grafů je třeba věnovat pozornost odprašovacím rychlostem jednotlivých strukturních fází. V tabulce 3 jsou zachyceny rychlosti odprašování jednotlivých prvků i fází poměrně vztažené k odprašovací rychlosti čistého železa.[3]. Tabulka 3 Poměrné odprašovací rychlosti jednotlivých prvků a fází Co W C Ti Si N Al WC TiC SiC TiN TiAlSi 0,995 2,048 0,02 0,599 0,237 0,535 0,362 0,04 0,039 0,037 0,565 0,454 4
5 Uvedené údaje odprašovacích rychlostí se vztahují k čistému železu, které se sice v analyzovaných vzorcích vůbec nevyskytuje, ale přesto dané hodnoty ukazují cenné informace. Z těchto údajů lze předpokládat, že kobalt se bude odprašovat nejrychleji z uvedených prvků a fází, neboť wolfram je v karbidické vazbě. Povrch substrátu je vlivem iontového bombardu již pozměněn, jak z hlediska chemického složení tak i mikrogeometrie, proto nelze i z tohoto důvodu exaktně spoléhat na tyto poměrné odprašovací rychlosti. Lze však předpokládat, že v okamžiku odprašování kobaltu při analýze GD-OES bude jeho odprašovací rychlost vyšší, což se projeví jeho vyšší počáteční koncentrací. Jestliže i přes tuto skutečnost je zaznamenána absence kobaltu na povrchu, pak je to jednoznačný důkaz toho, že došlo ke skutečnému snížení jeho koncentrace následkem předdepozičního procesu. Z technických důvodů není možné dokumentovat všechny hloubkové koncentrační průběhy, proto budou uvedeny pouze ty jejichž rozdíl je zásadní a zbývající průběhy hloubkových koncentrací prvků budou popsány. Obr. 2 Hloubkový koncentrační průběh prvků u vzorku 4 z procesu 1 (označení 41) Obr. 3 Hloubkový koncentrační průběh prvků u vzorku 4 z procesu 5 (označení 45) 5
6 Obr. 4 Hloubkový koncentrační průběh prvků u vzorku 4 z procesu 8 (označení 48) Z uvedených příkladů jednoznačně vyplývají rozdíly vlivu předdepozičního procesu. U vzorku 41 je na povrchu změněná koncentrace prvků do hloubky 0,07 µm. Na povrchu jsou zaznamenány prvky použité katody, která měla složení TiAlSi. Rovněž byl zachycen zvýšený obsah dusíku a uhlíku (8%C). Zdrojem těchto prvků je zřejmě kontaminace okolí spolu s přítomností nečistot a u uhlíku ještě navíc nečistoty z výbojky zařízení. U vzorku 45 je změněn obsah prvků substrátu do hloubky 0,22 µm. S ohledem na použitou titanovou katodu jsou na povrchu zachyceny pouze částice titanu. První maximum uhlíku je zřejmě opět způsobeno vlivem nečistot. Druhé maximum koncentrace uhlíku je v oblasti bezprostřední blízkosti povrchu samotného substrátu. Na základě prozatím provedených analýz se nepodařilo zjistit příčinu změny jeho obsahu. Jedno z možných vysvětlení je, že vysoká energie bombardujících iontů způsobí změny ve vazbě karbidů, dojde k difúzi uhlíku a s ohledem na jeho afinitu k titanu se iniciuje vznik TiC. Průběh kobaltu jednoznačně ukazuje na změnu rozložení jeho obsahu. Vlivem iontového bombardu je ze strany substrátu jeho obsah snížen. Určité množství uvolněného kobaltu se zachytí na povrchu vzorku, což se v této lokalitě projeví jeho zvýšeným obsahem. Zvýšení této koncentrace je částečně také ovlivněno vyšší odprašovací rychlostí kobaltu oproti jiným prvkům a přítomným fázím. Poslední sledovaný předdepoziční proces (8) se vyznačoval nejmenším ovlivněním koncentrace prvků na povrchu. Sledovat v tomto rozsahu povrchové koncentrační změny je z technických důvodů přístroje i z důvodů kontaminace povrchu nečistotami téměř nemožné. Výše uvedené příklady zachytily jednotlivé předdepoziční procesy aplikované na shodném substrátu. Z porovnání dalších výsledků vyplývá, že trend ostatních analyzovaných druhů substrátu byl stejný. Byla pouze zaznamenána určitá změna chování jednotlivých prvků. Pro lepší přehlednost byly výsledky zpracovány do tabulky 4. 6
7 Tabulka 4 Výsledky vyplývající z analýzy GD-OES Hloubka změny koncentrace prvků na povrchu substrátu 11 (proces 1) 0,08 µm 15 (proces 5) 0,25 µm 18 (proces 8) Bez ovlivnění 21 (proces 1) 0,09 µm 25 (proces 5) 0,19 µm 28 (proces 8) Bez ovlivnění 31 (proces 1) 0,04 µm 35 (proces 5) 0,18 µm 38 (proces 8) Bez ovlivnění 41 (proces 1) 0,07 µm 45 (proces 5) 0,20 µm 48 (proces 8) Bez ovlivnění 11 (substrát 1, proces 1) 21 (substrát 2, proces 1) 31 (substrát 3, proces 1) 41 (substrát 4, proces 1) 3.2. Analýza povrchu Charakter změny koncentračního průběhu kobaltu Na povrchu Nepatrný vzorku úbytek na 15 (substrát 1, zvýšený povrchu proces 5) obsah, v substrátu absence Nepatrný úbytek na povrchu Mírný úbytek na povrchu Nepatrný úbytek na povrchu 25 (substrát 2, proces 5) 35 (substrát 3, proces 5) 45 (substrát 4, proces 5) Na povrchu vzorku dvě maxima, v substrátu absence Na povrchu vzorku zvýšený obsah, v substrátu absence Na povrchu vzorku zvýšený obsah, v substrátu absence 18 (substrát 1, proces 8) 28 (substrát 2, proces 8) 38 (substrát 3, proces 8) 48 (substrát 4, proces 8) Bez výrazné změny Bez výrazné změny Bez výrazné změny Bez výrazné změny Cílem tohoto sledování bylo zachytit iontovým bombardem iniciované povrchové změny vzorku. Opět z nedostatku prostoru budou uvedeny pouze tři případy procesů iontového bombardu. Ostatní vzorky budou následně popsány. Z uvedených snímků povrchů vyplývá, že u vzorků 41 a 45 docházelo na povrchu vzorku k výrazné depozici částic katody. U vzorku 45 docházelo vlivem vysoké energie dopadajících částic k výrazné změně reliéfu povrchu. Tato změna byla potvrzena i na obr. 8, který byl pořízen pomocí řádkovacího elektronového mikroskopu. Provedená bodová energiově disperzní mikroanalýza prokázala, že dochází k ukotvení titanových částic do prostor vybombardovaného kobaltu, který zpětně redeponoval na povrchu vzorku. S ohledem na velikost karbidických zrn vzniklé povrchové defekty chybějícího kobaltu nedosahovaly výrazných rozměrů, ale jejich četnost byla oproti jiným substrátům větší. U vzorku 48 (obr.7) byla iontovým bombardem iniciována velká povrchová změna kobaltu. Tato změna není tak výrazná z výsledků hloubkových koncentračních profilů analýzy GD-OES, avšak z provedených mikroskopických pozorování a analýzy EDX vyplývá, že 7
8 u tohoto procesu a substrátu nedocházelo k depozici titanu do oblastí odstraněného kobaltu, tak jako u vzorku 45. Obr. 5 Povrch vzorku 41 (proces 1) Obr. 6 Povrch vzorku 45 (proces 5) Obr. 7 Povrch vzorku 48 (proces 8) Obr. 8 Povrch vzorku 45 (proces 5) Další výsledky vyplývající z pozorování exploatovaného povrchu vzorků, jejichž vzhled není pro nedostatek místa v příspěvku presentován budou velmi stručně shrnuty. Vzorek 11 má na povrchu velké množství částic odpařené použité katody. Na substrátu je snížené množství kobaltu, takto vzniklé defekty jsou dobře viditelné. Obdobně se choval i vzorek 21, avšak oproti předchozímu vzorku byly lokality s chybějícím kobaltem menší, ale větší četnosti. Je to zřejmě způsobeno menší velikostí karbidických zrn. Vliv velikosti karbidických zrn se obecně projevil u substrátu 3. Vzorek 31 vykazoval velké množství velkých oblastí s chybějícím kobaltem. Kobalt se během čištění znovu redeponoval na povrchu vzorku. Tento děj je zachycen i na průběhu hloubkové koncentrační křivky. Stav vzorku 45 je zachycen na obr. 5. U vzorku 15, tak jako u dalších substrátů exploatovaných procesem 5 docházelo jednak k silnému odprašování kobaltu z povrchových oblastí substrátu a k jeho zpětné depozici, ale zároveň docházelo k výraznému zakotvení titanových částic na povrchu v místech chybějícího kobaltu. U vzorku 25 je velikost lokalit s odstraněným kobaltem oproti vzorku 15 menší avšak větší četnosti (obdoba jako u procesu 1). Vzorek 35 vykazuje opět velké oblasti s odprášeným kobaltem, který redeponoval na povrchu a s ukotvenými titanovými částicemi. Stav vzorku 45 byl již popsán. U vzorku 18 a použitého 8
9 procesu se výrazně projevil vliv chemického složení substrátu. Obecně lze tento proces charakterizovat menším ulpíváním titanu v lokalitách odprášeného kobaltu. U vzorku 18 však zřejmě díky obsahu TiC v substrátu bylo iniciováno ulpívání titanu nejen v místech chybějícího kobaltu, ale i na povrchu vzorku. Tento proces je výrazný, porovná-li se stav tohoto vzorku se vzorkem 28, kde se vykytují chybějící kobaltové lokality bez přítomnosti titanu. U vzorku 38 dosahovaly lokality chybějícího kobaltu takových rozměrů, že se v nich místy zachytily částice titanu. 4. ZÁVĚR Z uvedených výsledků vyplývá, jak složitý je proces iontového čištění a ohřevu substrátu na depoziční teplotu. Provedené experimenty jednoznačně prokázaly vliv nejen parametrů procesu, ale i použitého substrátu jak z hlediska chemického složení, tak i velikosti zrn. Při vyšších energiích dopadajících iontů dochází ke snížení kobaltu do větší hloubky substrátu. Na druhou stranu dochází k pevnému ukotvení bombardujících částic v těchto defektních místech. Při menší energii iontů nedochází k tomuto procesu adhezního spojení. Na povrchu substrátu se projevuje zpětná redepozice kobaltu. Chemická příbuznost složení substrátu s bombardujícími ionty může při určitých parametrech procesu ovlivnit jejich ulpívání na povrchu. Provedené analýzy rovněž prokázaly vliv velikosti zrna na velikost defektů chybějícího kobaltu. V této první fázi provedených analýz a experimentů byla snaha dokumentovat změnu povrchu iontovým bombardem ovlivněného substrátu. Další analýzy budou sledovat vliv povrchu substrátu modifikovaného předdepozičním procesem na vlastnosti celého systému tenká vrstva-substrát. Tento příspěvek vznikl na základě řešení postdoktorandského grantu a spolupráce s firmou SHM s.r.o. 106/03/P092 LITERATURA [1] KŘÍŽ, A., RINGELHÁN, K. Mechanické vlastnosti otěruvzdorných PVD vrstev na substrátu ze slinutého karbidu. METAL, Ostrava, [2] MUSIL, J.-VYSKOČIL, J. Tenké vrstvy nitridu titanu. Praha, Academia [3] 9
OVLIVNENÍ SUBSTRÁTU SLINUTÉHO KARBIDU IONTOVÝM BOMBARDEM PRED PVD DEPOZICÍ TENKÝCH VRSTEV
OVLIVNENÍ SUBSTRÁTU SLINUTÉHO KARBIDU IONTOVÝM BOMBARDEM PRED PVD DEPOZICÍ TENKÝCH VRSTEV IMPACT OF ION BOMBARDMENT ON A SINTERED CARBIDE SUBSTRATE PRIOR TO THIN FILM PVD DEPOSITION Antonín Kríž ZCU v
VíceNÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?
NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Příspěvek je ve sborníku na str. 67-72, přednáška na www.ateam.zcu.cz Antonín Kříž 3/37 4/37 Čas jsou peníze Systém tenká vrstva-substrát Vrstva Rozhraní Substrát Deponované
VíceNÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE?
NÁSTROJ NEFUNGUJE, KDO ZA TO MŮŽE? Vstupní přednáška pro problematiku: Nástrojové oceli Slinuté karbidy Depozice tenkých vrstev Předmět SMA Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž 3/37 Čas jsou peníze 4/37 Systém tenká
VíceMetalografie. Praktické příklady z materiálových expertíz. 4. cvičení
Metalografie Praktické příklady z materiálových expertíz 4. cvičení Příprava metalografických výbrusů Odběr vzorků nesmí dojít k změně struktury (deformace, ohřev) světelný mikroskop pro dosažení požadovaných
VíceTenká vrstva - aplikace
Poznámka: tyto materiály slouží pouze pro opakování STT žáků SPŠ Na Třebešíně, Praha 10; s platností do r. 2016 v návaznosti na platnost norem. Zákaz šíření a modifikace těchto materiálů. Děkuji Ing. D.
VíceVLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD
23. 25.11.2010, Jihlava, Česká republika VLIV ZPŮSOBŮ OHŘEVU NA TEPLOTNÍ DEGRADACI TENKÝCH OTĚRUVZDORNÝCH PVD VRSTEV ZJIŠŤOVANÝCH POMOCÍ VYBRANÝCH METOD Ing.Petr Beneš Ph.D. Doc.Dr.Ing. Antonín Kříž Katedra
VíceHodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů
Hodnocení korozí odolnosti systémů tenká vrstva substrát v prostředí kompresorů Analysis of Corrosion Resistance of Systems Thin Films Substrate in Compressors Environment Jiří Hána, Ivo Štěpánek, Radek
VíceVLIV MIKROSTRUKTURY SLINUTÝCH KARBIDŮ NA ŽIVOTNOST NÁSTROJŮ A STROJNÍCH SOUČÁSTÍ
Sborník str. 363-370 VLIV MIKROSTRUKTURY SLINUTÝCH KARBIDŮ NA ŽIVOTNOST NÁSTROJŮ A STROJNÍCH SOUČÁSTÍ Antonín Kříž Západočeská univerzita, Univerzitní 22, 306 14, Prášková metalurgie - progresivní technologie
VíceTenké vrstvy. historie předdepoziční přípravy stripping
Tenké vrstvy historie předdepoziční přípravy stripping 1 HISTORIE TENKÝCH VRSTEV Historie depozice vrstev obloukovým odpařováním z katody sahá až do devatenáctého století. Pozorování pulzního a později
VíceVybrané technologie povrchových úprav. Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008
Vybrané technologie povrchových úprav Metody vytváření tenkých vrstev Doc. Ing. Karel Daďourek 2008 Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical vapour deposition PE CVD
VíceHodnocení změn mechanických vlastností v mikrolokalitách po deposičního procesu
Hodnocení změn mechanických vlastností v mikrolokalitách po deposičního procesu Analysis of Changing of Mechanical Properties in Microlocation after Deposition Process Jiří Hána, Radek Němec, Ivo Štěpánek
VíceVakuové metody přípravy tenkých vrstev
Vakuové metody přípravy tenkých vrstev Metody vytváření tenkých vrstev Vakuové metody dnes nejužívanější CVD Chemical Vapour Deposition (PE CVD Plasma Enhanced CVD nebo PA CVD Plasma Assisted CVD) PVD
VíceKroková hodnocení kombinovaného namáhání systémů s tenkými vrstvami. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Radek Poskočil, Jiří Hána
Kroková hodnocení kombinovaného namáhání systémů s tenkými vrstvami Step by Step Analysis of Combination Stress of Systems with Thin Films Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Radek Poskočil, Jiří Hána Západočeská
VíceVyužití plazmových metod ve strojírenství. Metody depozice povlaků a tenkých vrstev
Využití plazmových metod ve strojírenství Metody depozice povlaků a tenkých vrstev Metody depozice povlaků Využití plazmatu pro depozice (nanášení) povlaků a tenkých vrstev je moderní a stále častěji aplikovaná
VíceVLIV SVAROVÉHO SPOJE NA VLASTNOSTI NANÁŠENÝCH TENKÝCH VRSTEV TIN INFLUENCE OF WELDING ON PROPERTIES DEPOSITED THIN FILMS TIN
VLIV SVAROVÉHO SPOJE NA VLASTNOSTI NANÁŠENÝCH TENKÝCH VRSTEV TIN INFLUENCE OF WELDING ON PROPERTIES DEPOSITED THIN FILMS TIN Lenka Pourová a Radek Němec b Ivo Štěpánek c a) Západočeská univerzita v Plzni,
VíceHODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH. Klára Jacková, Ivo Štepánek
HODNOCENÍ POVRCHOVÝCH ZMEN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ PO ELEKTROCHEMICKÝCH ZKOUŠKÁCH Klára Jacková, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt
VíceMetalografie. Praktické příklady z materiálových expertíz. 4. cvičení
Metalografie Praktické příklady z materiálových expertíz 4. cvičení Obsah Protahovací trn Povrchově kalená součást Fréza Karbidické vyřádkování Cementovaná součást Pozinkovaná součást Pivní korunky Klíč
VícePRODUKTIVNÍ OBRÁBĚNÍ OCELI P91
PRODUKTIVNÍ OBRÁBĚNÍ OCELI P91 Ing. Jan Řehoř, Ph.D. Ing. Tomáš Nikl ZČU v Plzni Fakulta strojní, Katedra technologie obrábění ZČU v Plzni, Univerzitní 22, Plzeň e-mail: rehor4@kto.zcu.cz Abstract The
VíceACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION
AKUSTICKÁ EMISE VYUŽÍVANÁ PŘI HODNOCENÍ PORUŠENÍ Z VRYPOVÉ INDENTACE ACOUSTIC EMISSION SIGNAL USED FOR EVALUATION OF FAILURES FROM SCRATCH INDENTATION Petr Jiřík, Ivo Štěpánek Západočeská univerzita v
VíceVLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
VLIV VYBRANÝCH PARAMETRŮ TECHNOLOGICKÉHO PROCESU NA VLASTNOSTI A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT THE INFLUENCES OF SELECTED PARAMETERS OF TECHNOLOGICAL PROCESS ON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEMS
VícePRASKÁNÍ VRTÁKŮ PO TEPELNÉM ZPRACOVÁNÍ Antonín Kříž
Vakuové tepelné zpracování a tepelné zpracování nástrojů 22. - 23.11. 2011 - Jihlava PRASKÁNÍ VRTÁKŮ PO TEPELNÉM ZPRACOVÁNÍ Antonín Kříž Západočeská univerzita v Plzni Fakulta strojní Katedra materiálu
VícePŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS. Pavel Podaný a Antonín Kříž b
PŘEDDEPOZIČNÍ PROCESY PŘI VÝROBĚ TENKÝCH VRSTEV PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS Pavel Podaný a Antonín Kříž b a,b Západočeská univerzita v Plzni, Katedra materiálu a strojírenské metalurgie, Univerzitní
VíceCOMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES
POROVNÁNÍ VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI Z RŮZNÝCH TECHNOLOGICKÝCH PROCESŮ COMPARISON PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEM WITH THIN FILMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES Ivo Štěpánek
VíceVLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ
VLIV PŘÍPRAVY POVRCHU A NEHOMOGENIT TLOUŠŤKY VRSTEV NA CHOVÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ INFLUENCE OF PREPARING SURFACE AND INHOMOGENEITY OF THICKNESS FILMS ON BEHAVIOUR THIN FILMS SYSTEMS Abstrakt Ivo ŠTĚPÁNEK
VíceMERENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ V MIKROLOKALITÁCH NANOINDENTACÍ. Radek Nemec, Ivo Štepánek
MERENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ V MIKROLOKALITÁCH NANOINDENTACÍ Radek Nemec, Ivo Štepánek Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR, ivo.stepanek@volny.cz Abstrakt Príspevek se zabývá
VíceHODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE
HODNOCENÍ HLOUBKOVÝCH PROFILŮ MECHANICKÉHO CHOVÁNÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ POMOCÍ NANOINDENTACE EVALUATION OF DEPTH PROFILE OF MECHANICAL BEHAVIOUR OF POLYMER MATERIALS BY NANOINDENTATION Marek Tengler,
VícePŘÍNOS METALOGRAFIE PŘI ŘEŠENÍ PROBLÉMŮ TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ NÁSTROJOVÝCH OCELÍ. Antonín Kříž
PŘÍNOS METALOGRAFIE PŘI ŘEŠENÍ PROBLÉMŮ TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ NÁSTROJOVÝCH OCELÍ Antonín Kříž Tento příspěvek vznikl na základě spolupráce s firmou Hofmeister s.r.o., řešením projektu FI-IM4/226. Místo,
VíceHODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ
HODNOCENÍ MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ Z GRAFU ZÁVISLOSTI MÍRY INFORMACE NA ZATÍŽENÍ ANALYSIS OF MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FILMS SYSTEMS FROM DEPENDENCE OF KIND OF INFORMATION AND
VícePoužití metody GD-OES Application of GD-OES
Použití metody GD-OES Application of GD-OES Antonín Kříž a), Petr Šmíd b) a) Nové technologie - výzkumné centrum, ZČU-Plzeň, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň b) Katedra fyziky, ZČU-Plzeň, Univerzitní 22, 306
VíceSYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH
Západočeská univerzita v Plzni SYSTÉM TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT V APLIKACI NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH Antonín Kříž Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, e-mail: kriz@kmm.zcu.cz Tento příspěvek vznikl na základě řešení
VíceTEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek
TEPLOTNÍ ODOLNOST TENKÝCH VRSTEV A JEJICH PŘÍNOS V OBRÁBĚNÍ TVRDÝCH OCELÍ Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosonová Jiří Hájek Na počátku byla co se kdy žs st a ne s obyčejná zvědavost, na de en po no ech
VíceVliv olejů po termické depolymerizaci na kovové konstrukční materiály
Vliv olejů po termické depolymerizaci na kovové konstrukční materiály Ing. Libor Baraňák Ph. D, doc. Miroslav Bačiak Ph.D., ENRESS s.r.o., Praha baranak@enress.eu Náš příspěvek na konferenci řeší problematiku
VíceCOMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
POROVNÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT S VELICE ROZDÍLNOU ODOLNOSTÍ PŘI INDENTAČNÍCH ZKOUŠKÁCH COMPARISON OF SYSTEM THIN FILM SUBSTRATE WITH VERY DIFFERENT RESISTANCE DURING INDENTATION TESTS Matyáš Novák,
VíceVrstvy a povlaky 2007
Vrstvy a povlaky 2007 VLIV MECHANICKÝCH ÚPRAV SUBSTRÁTU TU NA ADHEZI TENKÝCH VRSTEV Martina Sosnová Antonín Kříž ZČU v Plzni Úvod Povrchové inženýrství je relativně mladým vědním oborem. Fascinace člověka
VíceVLIV MECHANICKÉHO PORUŠENÍ NA CHOVÁNÍ POVRCHU S TIN VRSTVOU PŘI TEPELNÉM A KOROZNÍM NAMÁHÁNÍ. Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý, Klára Jačková
VLIV MECHANICKÉHO PORUŠENÍ NA CHOVÁNÍ POVRCHU S TIN VRSTVOU PŘI TEPELNÉM A KOROZNÍM NAMÁHÁNÍ Roman Reindl, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý, Klára Jačková Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14
VíceDUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL
DUPLEXNÍ POVLAKOVÁNÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM DUPLEX COATING OF THE NIOBIUM-ALLOYED PM TOOL STEEL Pavel Novák Dalibor Vojtěch Jan Šerák Michal Novák Vítězslav Knotek Ústav kovových materiálů
VíceHodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření
Hodnocení změn povrchových vlastností systémů s tenkými vrstvami po elektrochemickém měření Analysis of Surface Properties of Systems with Thin Films after Electrochemical Measurement Klára Jačková, Ivo
VíceANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ
Středoškolská technika 2019 Setkání a prezentace prací středoškolských studentů na ČVUT ANALÝZA POVLAKOVANÝCH POVRCHŮ ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ Jakub Chlaň, Matouš Hyk, Lukáš Procházka Střední škola elektrotechniky
VíceAntonín Kříž a) Miloslav Chlan b)
OVLIVNĚNÍ KVALITY GALVANICKÉ VRSTVY AUTOMOBILOVÉHO KLÍČE VÝCHOZÍ STRUKTUROU MATERIÁLU INFLUENCE OF INITIAL MICROSTRUCTURE OF A CAR KEY MATERIAL ON THE ELECTROPLATED LAYER QUALITY Antonín Kříž a) Miloslav
VíceUniverzální využití indentačních metod pro hodnocení mechanických vlastností a chování velmi rozdílných systémů materiálů
Univerzální využití indentačních metod pro hodnocení mechanických vlastností a chování velmi rozdílných systémů materiálů Universal Application of Indentation Method for Analysis Mechanical Properties
VíceTEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU
TEPLOTNÍ ODOLNOST PVD VRSTEV VŮČI LASEROVÉMU POVRCHOVÉMU OHŘEVU Beneš, P. 1 Sosnová, M. 1 Kříž, A. 1 Vrstvy a Povlaky 2007 Solaň Martan, M. 2 Chmelíčková, H. 3 1- Katedra materiálu a strojírenské metalurgie-
VíceHODNOCENÍ VLASTNOSTÍ TENKÝCH VRSTEV NITRIDU KOVU
HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ TENKÝCH VRSTEV NITRIDU KOVU Dr. Ing. Antonín Kříž, ZČU v Plzni, Univerzitní 22, 306 14, kriz@kmm.zcu.cz ANOTACE Wear resistant metal nitride thin films are being produced by means
VícePOROVNÁNÍ VLIVU DEPOSICE TENKÝCH VRSTEV A NAVAŘOVÁNÍ NA DEGRADACI ZÁKLADNÍHO MATERIÁLU
POROVNÁNÍ VLIVU DEPOSICE TENKÝCH VRSTEV A NAVAŘOVÁNÍ NA DEGRADACI ZÁKLADNÍHO MATERIÁLU COMPARISON OF INFLUENCES OF DEPOSITION THIN FILMS AND WELDING ON DEGRADATION OF BASIC MATERIAL Monika Hadáčková a
VíceTeplotní degradace tenkých otěruvzdorných vrstev. Ing.Petr Beneš
Teplotní degradace tenkých otěruvzdorných vrstev Ing.Petr Beneš Důvody nutnosti zkoumání teplotní degradace tenkých PVD vrstev účinkům teplotního zatížení PVD vrstev se věnuje jen malý počet odborných
VícePosouzení stavu rychlořezné oceli protahovacího trnu
Posouzení stavu rychlořezné oceli protahovacího trnu ČSN 19 830 zušlechtěno dle předpisů pro danou ocel tj. kaleno a 3x popuštěno a) b) Obr.č. 1 a) Poškozený zub protahovacího trnu; b) Zdravý zub druhá
VíceObrábění slitiny AlSi1Mg0,5Mn nástroji s progresivními tenkými vrstvami
Obrábění slitiny AlSi1Mg0,5Mn nástroji s progresivními tenkými vrstvami Antonín Kříž, Miroslav Zetek, Jan Matějka, Josef Formánek, Martina Sosnová, Jiří Hájek, Milan Vnouček Příspěvek vznikl na základě
VíceEVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL
DETAILNÍ STUDIUM SPECIFICKÝCH PORUŠENÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT PŘI VRYPOVÉ INDENTACI EVALUATION OF SPECIFIC FAILURES OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE FROM SCRATCH INDENTATION IN DETAIL Kateřina Macháčková,
VíceVLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH. Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek
VLASTNOSTI TENKÝCH VRSTEV PŘI VYŠŠÍCH TEPLOTÁCH Antonín Kříž Petr Beneš Martina Sosnová Jiří Hájek Hlavní pozornost odborníků zabývajících se testováním tenkých vrstev orientuje na analýzy za normálních
VíceNÁVRH MATERIÁLU A POVRCHOVÉ ÚPRAVY PRO ŘEZNÉ NÁSTROJE URČENÝCH K OBRÁBĚNÍ PRYŽOVÝCH HADIC ZPEVNĚNÝCH KEVLAREM
NÁVRH MATERIÁLU A POVRCHOVÉ ÚPRAVY PRO ŘEZNÉ NÁSTROJE URČENÝCH K OBRÁBĚNÍ PRYŽOVÝCH HADIC ZPEVNĚNÝCH KEVLAREM Bc. Jiří Hodač Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň Česká republika
VíceTENKÉ VRSTVY NA ŘEZNÝCH NÁSTROJÍCH V APLIKACI OBRÁBĚNÍ PLASTŮ THIN FILM-COATED CUTTING TOOLS FOR CUTTING OF PLASTICS Antonín Kříž a) Pavel Kožmín b) Department of Material Engineering and Engineering Metallurgy,
VíceRYCHLOŘEZNÉ NÁSTROJOVÉ OCELI
RYCHLOŘEZNÉ NÁSTROJOVÉ OCELI Významnou složkou nabídky nástrojových ocelí společnosti Bohdan Bolzano s.r.o. jsou nástrojové oceli rychlořezné, vyráběné jak konvenčně, tak i metodou práškové metalurgie.
VíceVliv úpravy břitu monolitních fréz před PVD povlakováním na jejich trvanlivost
Vliv úpravy břitu monolitních fréz před PVD povlakováním na jejich trvanlivost Influence of Cutting Edge Modification on Durability of PVD Coated Monolithic Shank-Type Cutter Doc. Dr. Ing. Ivan Mrkvica,
VíceVLIV KOROZNÍHO PORUŠENÍ NA PRUBEH DEPOSICNÍHO PROCESU A VLIV NA VÝSLEDNÉ VLASTNOSTI. Petr Fialka, Ivo Štepánek, Klára Jacková, Jirí Hána
VLIV KOROZNÍHO PORUŠENÍ NA PRUBEH DEPOSICNÍHO PROCESU A VLIV NA VÝSLEDNÉ VLASTNOSTI Petr Fialka, Ivo Štepánek, Klára Jacková, Jirí Hána Západoceská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzen, CR,
VíceStudium vlivu předdepozičních procesů na vlastnosti progresivních tenkých vrstev
Studium vlivu předdepozičních procesů na vlastnosti progresivních tenkých vrstev zpracováno jako studijní materiál v rámci řešení projektu FRVŠ 1232/G1 Obsah PODĚKOVÁNÍ...... 2 SEZNAM POUŽITÝCH ZKRATEK
VíceMOŽNOSTI TVÁŘENÍ MONOKRYSTALŮ VYSOKOTAVITELNÝCH KOVŮ V OCHRANNÉM OBALU FORMING OF SINGLE CRYSTALS REFRACTORY METALS IN THE PROTECTIVE COVER
MOŽNOSTI TVÁŘENÍ MONOKRYSTALŮ VYSOKOTAVITELNÝCH KOVŮ V OCHRANNÉM OBALU FORMING OF SINGLE CRYSTALS REFRACTORY METALS IN THE PROTECTIVE COVER Kamil Krybus a Jaromír Drápala b a OSRAM Bruntál, spol. s r.
VícePředstavení firem SHM a PIVOT - 2011
kurz Fyzika ve firmě v rámci projektu Inovace výuky aplikované fyziky na Přírodovědecké fakultě Masarykovy univerzity, podporovaného z operačního programu VpK Za SHM, s.r.o. RNDr. Pavel Holubář a Mojmír
VíceAPLIKAČNÍ MOŽNOSTI GDOS PŘI HODNOCENÍ POVRCHOVÝCH VRSTEV KOVOVÝCH MATERIÁLŮ. VÚHŽ a.s., Dobrá 240, Dobrá, ČR, E mail:
APLIKAČNÍ MOŽNOSTI GDOS PŘI HODNOENÍ POVRHOVÝH VRSTEV KOVOVÝH MATERIÁLŮ Miloš Vaníček, Karel Malaník VÚHŽ a.s., Dobrá 24, 739 51 Dobrá, ČR, E mail: dlz@vuhz.cz Abstrakt In the course of manufacturing and
VíceCENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL
Projekt: CENTRUM VZDĚLÁVÁNÍ PEDAGOGŮ ODBORNÝCH ŠKOL Kurz: Technologie třískového obrábění 1 Obsah Technologie třískového obrábění... 3 Obrábění korozivzdorných ocelí... 4 Obrábění litiny... 5 Obrábění
VícePŘÍSPĚVEK K POVRCHOVÉ ÚPRAVĚ SKLOVITÝM SMALTOVÝM POVLAKEM CONTRIBUTION TO SURFACE ARRANGEMENT WITH VITREOUS ENAMEL COAT
PŘÍSPĚVEK K POVRCHOVÉ ÚPRAVĚ SKLOVITÝM SMALTOVÝM POVLAKEM CONTRIBUTION TO SURFACE ARRANGEMENT WITH VITREOUS ENAMEL COAT Jitka Podjuklová a Kamila Hrabovská b Marcela Filipová c Michaela Slabáková d René
VíceREAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV. Jan VALTER HVM Plasma s.r.o. www.hvm.cz
REAKTIVNÍ MAGNETRONOVÉ NAPRAŠOV OVÁNÍ Jan VALTER SCHEMA REAKTIVNÍHO NAPRAŠOV OVÁNÍ zdroj výboje katoda odprašovaný terč plasma inertní napouštění plynů reaktivní zdroj předpětí p o v l a k o v a n é s
VíceTEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ NIKLOVÝCH SUPERSLITIN HEAT TREATMENT OF HIGH-TEMPERATURE NICKEL ALLOYS. Božena Podhorná a Jiří Kudrman a Karel Hrbáček b
TEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ NIKLOVÝCH SUPERSLITIN HEAT TREATMENT OF HIGH-TEMPERATURE NICKEL ALLOYS Božena Podhorná a Jiří Kudrman a Karel Hrbáček b a UJP PRAHA a.s., Nad Kamínkou 1345, 156 10 Praha Zbraslav, E-mail:
VíceTHE IMPACT OF PROCESSING STEEL GRADE 14 260 ON CORROSIVE DEGRADATION VLIV TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ OCELI 14 260 NA KOROZNÍ DEGRADACI
THE IMPACT OF PROCESSING STEEL GRADE 14 260 ON CORROSIVE DEGRADATION VLIV TEPELNÉHO ZPRACOVÁNÍ OCELI 14 260 NA KOROZNÍ DEGRADACI Votava J., Černý M. Ústav techniky a automobilové dopravy, Agronomická fakulta,
VíceKORELACE ZMĚN POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ ELEKTROCHEMICKÝM ZATÍŽENÍM A KOROZNÍM PŮSOBENÍM V REÁLNÉM ČASE.
KORELACE ZMĚN POVRCHOVÝCH VLASTNOSTÍ ELEKTROCHEMICKÝM ZATÍŽENÍM A KOROZNÍM PŮSOBENÍM V REÁLNÉM ČASE. Abstrakt Klára Jačková, Ivo Štěpánek Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR,
VíceMECHANICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA- SUBSTRÁT S ROZDÍLNOU TLOUŠŤKOU TiN
MECHANICKÉ VLASTNOSTI SYSTÉMU TENKÁ VRSTVA- SUBSTRÁT S ROZDÍLNOU TLOUŠŤKOU TiN Antonín Kříž ZČU NTC, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, ČR Thin hard nitride coating enhance the lifetime of cutting tool above
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Další technologie využívající doutnavý výboj
DOUTNAVÝ VÝBOJ Další technologie využívající doutnavý výboj Plazma doutnavého výboje je využíváno v technologiích depozice povlaků nebo modifikace povrchů. Jedná se zejména o : - depozici povlaků magnetronovým
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace
DOUTNAVÝ VÝBOJ 1. Vlastnosti doutnavého výboje 2. Aplikace v oboru plazmové nitridace Doutnavý výboj Připomeneme si voltampérovou charakteristiku výboje v plynech : Doutnavý výboj Připomeneme si, jaké
VíceZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
ZÁKLADNÍ STUDIUM VLASTNOSTÍ A CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SKLO POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK THE BASIC EVALUATION OF PROPERTIES AND BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILMS GLASS BY INDENTATION TESTS Ivo Štěpánek,
VíceVÝROBA ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ S OTĚRUVZDORNÝMI TENKÝMI VRSTVAMI
VÝROBA ŘEZNÝCH NÁSTROJŮ S OTĚRUVZDORNÝMI TENKÝMI VRSTVAMI Ing. Josef Fajt, CSc. PILSEN TOOLS s.r.o., Tylova 57, 316 00 Plzeň, tel.: +420 378 134 005, e-mail: fajt@pilsentools.cz ANNOTATION The paper is
Více1 Moderní nástrojové materiály
1 Řezné materiály jsou podle ISO 513 členěné do šesti základních skupin, podle typu namáhání břitu. - Skupina P zahrnuje nástrojové materiály určené k obrábění většiny ocelí, které dávají dlouhou třísku
VícePOVRCHOVÉ VYTVRZENÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM PLAZMOVOU NITRIDACÍ SURFACE HARDENING OF NIOBIUM-CONTAINING PM TOOL STEEL BY PLASMA NITRIDING
POVRCHOVÉ VYTVRZENÍ PM NÁSTROJOVÉ OCELI LEGOVANÉ NIOBEM PLAZMOVOU NITRIDACÍ SURFACE HARDENING OF NIOBIUM-CONTAINING PM TOOL STEEL BY PLASMA NITRIDING P. Novák, D. Vojtech, J. Šerák Ústav kovových materiálu
VíceCZ.1.07/1.1.30/01.0038 SPŠ
Monitorovací indikátor: 06.43.10 Počet nově vytvořených/inovovaných produktů Akce: Přednáška, KA 5 Číslo přednášky: 3 Téma: APLIKACE TENKÝCH VRSTEV NA OBRÁBĚCÍCH NÁSTROJÍCH Lektor: Ing. Jiří Hodač Třída/y:
VíceLasery v mikroelektrotechnice. Soviš Jan Aplikovaná fyzika
Lasery v mikroelektrotechnice Soviš Jan Aplikovaná fyzika Obsah Úvod Laserové: žíhání rýhování (orýsování) dolaďování depozice tenkých vrstev dopování příměsí Úvod Vysoká hustota výkonu laseru změna struktury
VíceElektronová Mikroskopie SEM
Elektronová Mikroskopie SEM 26. listopadu 2012 Historie elektronové mikroskopie První TEM Ernst Ruska (1931) Nobelova cena za fyziku 1986 Historie elektronové mikroskopie První SEM Manfred von Ardenne
VíceEVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF MATERIAL SYSTEMS
STUDIUM PORUŠENÍ A MODIFIKACE SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA ZÁKLADNÍ MATERIÁL DO HLOUBKY MATERIÁLOVÝCH SYSTÉMŮ Abstrakt EVALUATION OF FAILURES AND MODIFICATION OF SYSTEMS THIN FILM BASIC MATERIAL TO THE DEPTH OF
VíceTransfer inovácií 20/2011 2011
OBRÁBĚNÍ LASEREM KALENÉHO POVRCHU Ing. Miroslav Zetek, Ph.D. Ing. Ivana Česáková Ing. Josef Sklenička Katedra technologie obrábění Univerzitní 22, 306 14 Plzeň e-mail: mzetek@kto.zcu.cz Abstract The technology
VíceCYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý
CYKLICKÁ VRYPOVÁ ZKOUŠKA PRO HODNOCENÍ VÝVOJE PORUŠENÍ A V APROXIMACI ZKOUŠKY OPOTŘEBENÍ. Markéta Podlahová, Ivo Štěpánek, Martin Hrdý Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR,
VíceCOMPARISON OF THIN FILM SYSTEMS WITH VERY DIFFERENT RESISTIVITY DURING INDENTATION TESTS. Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
POROVNÁNÍ VELMI ROZDÍLNĚ ODOLNÝCH SYSTÉMŮ S TENKÝMI VRSTVAMI POMOCÍ INDENTAČNÍCH ZKOUŠEK COMPARISON OF THIN FILM SYSTEMS WITH VERY DIFFERENT RESISTIVITY DURING INDENTATION TESTS Matyáš Novák, Ivo Štěpánek
VíceÚVOD DO INTEGRITY POVRCHU naše činnost. Antonín Kříž; Petr Beneš
ÚVOD DO INTEGRITY POVRCHU naše činnost Antonín Kříž; Petr Beneš 2.11.2012 Integrita 15.10.2012 Studentské práce sledující integritu povrchu Bakalářská práce David HUDA Vlastnosti a struktury progresivních
VíceKoroze pivních korunek I - struktura II - technologie
Koroze pivních korunek I - struktura II - technologie Produkty koroze na hrdle pivní lahve světového výrobce piva Detail hrdla pivní láhve Koroze na vnitřní straně pivní korunky Možné zdroje koroze popř.
VíceHODNOCENÍ PŘÍČNÝCH VÝBRUSŮ VTISKU PO CYKLICKÝCH VNIKACÍCH ZKOUŠKÁCH PŘI MAKROZATÍŽENÍ NA SYSTÉMECH TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT
HODNOCENÍ PŘÍČNÝCH VÝBRUSŮ VTISKU PO CYKLICKÝCH VNIKACÍCH ZKOUŠKÁCH PŘI MAKROZATÍŽENÍ NA SYSTÉMECH TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT EVALUATION OF CROSS SECTION OF INDENTS AFTER CYCLIC INDENTATION TESTS WITH MACRO
Více3.3 Výroba VBD a druhy povlaků
3.3 Výroba VBD a druhy povlaků 3.3.1 Výroba výměnných břitových destiček Slinuté karbidy Slinuté karbidy jsou materiály vytvořené pomocí práškové metalurgie. Skládají se z tvrdých částic: karbidu wolframu
VíceHODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT NA VYSOKOTEPLOTNÍM TRIBOMETRU
HODNOCENÍ KOMBINOVANÉHO NAMÁHÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT NA VYSOKOTEPLOTNÍM TRIBOMETRU ANALYSIS OF COMBINATION STRESS OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE BY HIGH TEMPERATURE TRIBOMETER Roman Reindl a
VíceTRIBOLOGICKÁ ANALÝZA PIN-on-DISC. PIN-on-DISC TRIBOLOGICAL TEST. Jiří Hájek a Antonín Kříž b
TRIBOLOGICKÁ ANALÝZA PIN-on-DISC PIN-on-DISC TRIBOLOGICAL TEST Jiří Hájek a Antonín Kříž b a ZČU Plzeň, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR, hajek@kmm.zcu.cz b ZČU Plzeň, Univerzitní 22, 306 14 Plzeň, ČR,
VíceDOUTNAVÝ VÝBOJ. Magnetronové naprašování
DOUTNAVÝ VÝBOJ Magnetronové naprašování Efektivním způsobem jak získat částice vhodné k růstu povlaku je nahrazení teploty používané u odpařování ekvivalentem energie dodané dopadem těžkéčástice přenosem
VíceEVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE
STUDIUM VLIVU PŘÍPRAVY POVRCHU SUBSTRÁTU NA CHOVÁNÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA SUBSTRÁT EVALUATION OF INFLUENCE PREPARING OF SURFACE OF SUBSTRATE ON BEHAVIOUR OF SYSTEMS THIN FILM SUBSTRATE Zdeněk Beneš, Ivo
VíceZápadočeská univerzita v Plzni fakulta Strojní
Západočeská univerzita v Plzni fakulta Strojní 23. dny tepelného zpracování s mezinárodní účastí Návrh technologie laserového povrchového kalení oceli C45 Autor: Klufová Pavla, Ing. Kříž Antonín, Doc.
VíceHODNOCENÍ TENKÝCH VRSTEV - NITRIDICKÁ VRSTVA SUBSTRÁTOVÝCH SYSTÉMŮ EVALUATION OF THIN LAYER SUBSTRATE SYSTEM. Milan Vnouček a
HODNOCENÍ TENKÝCH VRSTEV - NITRIDICKÁ VRSTVA SUBSTRÁTOVÝCH SYSTÉMŮ EVALUATION OF THIN LAYER SUBSTRATE SYSTEM Milan Vnouček a a ZČU, Univerzitní 14, 306 14 Plzeň, ČR, vnoucek@kmm.zcu.cz Abstrakt Tento příspěvek
VíceVÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE
1 VÝROBKY PRÁŠKOVÉ METALURGIE Použití práškové metalurgie Prášková metalurgie umožňuje výrobu součástí z práškových směsí kovů navzájem neslévatelných (W-Cu, W-Ag), tj. v tekutém stavu nemísitelných nebo
VíceCOMPARISON OF THIN FILMS SYSTEMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES
POROVNÁNÍ TENKOVRSTVÝCH SYSTÉMŮ PŘIPRAVENÝCH RŮZNÝMI TECHNOLOGICKÝMI PROCESY COMPARISON OF THIN FILMS SYSTEMS PREPARED BY DIFFERENT TECHNOLOGIES Ivo Štěpánek a, Matyáš Novák a, Miloslav Kesl b, Josef Fait
VíceŘEZNÉ MATERIÁLY. SLO/UMT1 Zdeněk Baďura
ŘEZNÉ MATERIÁLY SLO/UMT1 Zdeněk Baďura Současný poměrně široký sortiment materiálu pro řezné nástroje ( od nástrojových ocelí až po syntetický diamant) je důsledkem dlouholetého intenzivního výzkumu a
VícePlazmové metody Materiály a technologie přípravy M. Čada
Plazmové metody Existuje mnoho druhů výbojů v plynech. Ionizovaný plyn = elektrony + ionty + neutrály Depozice tenkých vrstev za pomocí plazmatu je jednou z nejpoužívanějších metod. Pomocí plazmatu lze
VíceCHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT MATERIALS AND CORRELATION WITH MORPHOLOGY OF FAILURES
ZMĚNY V PRŮBĚHU SIGNÁLU AKUSTICKÉ EMISE PŘI VRYPOVÉ INDENTACI NA RŮZNÝCH MATERIÁLECH A KORELACE S MORFOLOGIÍ PORUŠENÍ Abstrakt CHANGING IN ACOUSTIC EMISSION SIGNAL DURING SCRATCH INDENTATION ON DIFFERENT
VíceMechanické vlastnosti otěruvzdorných PVD vrstev na substrátu ze slinutého karbidu. Kříž Antonín 1) Ringelhán Karel 2)
Mechanické vlastnosti otěruvzdorných PVD vrstev na substrátu ze slinutého karbidu Kříž Antonín 1) Ringelhán Karel 2) 1) Department of Material Engineering and Engineering Metallurgy 2) Department of Machining
VíceSTUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK
STUDIUM ZMĚN MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ POLYMERNÍCH MATERIÁLŮ PO TEPLOTNÍM STÁRNUTÍ S HLOUBKOVOU ROZLIŠITELNOSTÍ POMOCÍ NANOINDENTAČNÍCH ZKOUŠEK STUDY OF CHANGING OF MECHANICAL PROPERTIES OF POLYMER MATERIALS
VíceVÝZKUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A STRUKTURNÍ STABILITY SUPERSLITINY NA BÁZI NIKLU DAMERON. Karel Hrbáček a
VÝZKUM MECHANICKÝCH VLASTNOSTÍ A STRUKTURNÍ STABILITY SUPERSLITINY NA BÁZI NIKLU DAMERON. Karel Hrbáček a Božena Podhorná b Vítězslav Musil a Antonín Joch a a První brněnská strojírna Velká Bíteš, a.s.,
VíceVLIV TECHNOLOGIE ŽÁROVÉHO ZINKOVÁNÍ NA VLASTNOSTI ŽÁROVĚ ZINKOVANÝCH OCELÍ
Transfer inovácií 2/211 211 VLIV TECHNOLOGIE ŽÁROVÉHO ZINKOVÁNÍ NA VLASTNOSTI ŽÁROVĚ ZINKOVANÝCH OCELÍ Ing. Libor Černý, Ph.D. 1 prof. Ing. Ivo Schindler, CSc. 2 Ing. Petr Strzyž 3 Ing. Radim Pachlopník
VíceKatedra materiálu a strojírenské metalurgie DEGRADATION OF CONSTRUCTION MATERIAL OF A REACTOR FOR ACRYLATES PRODUCTION DEGRADACE KONSTRUKČNÍHO
Katedra materiálu a strojírenské metalurgie DEGRADATION OF CONSTRUCTION MATERIAL OF A REACTOR FOR ACRYLATES PRODUCTION DEGRADACE KONSTRUKČNÍHO MATERIÁLU REAKTORU PRO VÝROBU ESTERŮ KYSELINY AKRYLOVÉ Antonín
VíceIII. Mezinárodní konference STROJÍRENSKÁ TECHNOLOGIE PLZEŇ 2009 21. 22. 1. 2009
HODNOCENÍ VLASTNOSTÍ SYSTÉMŮ TENKÁ VRSTVA-SUBSTRÁT EVALUATION OF PROPERTIES OF THIN FILM-SUBSTRATE SYSTEMS Doc.Dr.Ing.Antonín Kříž Katedra materiálů a strojírenské metalurgie, Fakulta strojní, ZČU, Univerzitní
VíceDETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS
DETERMINATION OF MECHANICAL AND ELASTO-PLASTIC PROPERTIES OF MATERIALS BY NANOINDENTATION METHODS HODNOCENÍ MECHANICKÝCH A ELASTO-PLASTICKÝCH VLASTNOSTÍ MATERIÁLŮ VYUŽITÍM NANOINDENTACE Martin Vizina a
VíceTEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ KONSTRUKČNÍCH OCELÍ SVOČ - 2008. Jana Martínková, Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň Česká republika
TEPELNÉ ZPRACOVÁNÍ KONSTRUKČNÍCH OCELÍ SVOČ - 2008 Jana Martínková, Západočeská univerzita v Plzni, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň Česká republika ABSTRAKT Práce obsahuje charakteristiku konstrukčních ocelí
Více